SEM操作規(guī)程.doc

JSM-7800F掃描電鏡操作規(guī)程1、確認(rèn)Maintenance界面內(nèi)的GUN/AC內(nèi)GUN參數(shù)（電流值穩(wěn)定）和SIP1和SIP2的真空度正常方可運(yùn)行！2、選擇正確的樣品座放置樣品并固定，樣品高度不要超過樣品座上方10mm。注意：接觸樣品座，取放樣品時(shí)務(wù)必戴手套操作！3、裝樣品前必須確認(rèn)高壓處于關(guān)閉狀態(tài)。4、點(diǎn)擊SEM應(yīng)用程序軟件中Specimen窗口的Exchange Position按鈕，使樣品交換室控制面板EXCH POSN燈點(diǎn)亮，并確認(rèn)樣品臺(tái)處于樣品交換的位置（X：0.000mm，Y：0.000mm，Z=40.0mm，R：0.00，T：0.00）。5、按下VENT按鈕對(duì)Exchange chamber放氣，直至VENT常亮，表示樣品交換室處于大氣狀態(tài)。6、松開交換室鎖扣，打開樣品交換室，將已固定好樣品的樣品座，按箭頭方向置于樣品座夾具內(nèi)。7、完全關(guān)閉樣品交換室門，扣好鎖扣。8、按下EVAC按鈕，開始抽真空，EVAC閃爍，待真空達(dá)到要求時(shí)，EVAC常亮。9、手持樣品交換桿，將樣品桿放下至水平并向前輕推，將樣品Holder完全送進(jìn)交換室中，注意當(dāng)HLDR燈亮起后，再完全拉出樣品桿，垂直立起放置，此時(shí)樣品已正常放置于樣品室內(nèi)。注意：在拉動(dòng)樣品桿時(shí)，若有警報(bào)聲，應(yīng)立即停止操作，將樣品桿歸位，檢查操作步驟是否正確。10、在SEM應(yīng)用程序軟件界面正確選擇所使用Holder的類型，輸入樣品高度值，點(diǎn)擊OK確認(rèn)。11、輸入Z值10mm。11、查看樣品室真空度，確認(rèn)真空度小于5.010-4 Pa時(shí)才可開始進(jìn)行圖像操作。12、觀察樣品，獲取圖像。（1）點(diǎn)擊ON，打開高壓，根據(jù)樣品選擇所需的電壓。（2）如果有多個(gè)樣品，按下LDF按鈕切換到低倍模式，選擇要觀察的樣品位置，選好后按LDF按鈕切換回高倍模式。（3）確認(rèn)Scanning Mode在Quick View狀態(tài)，尋找樣品表面的明顯特征。先切換到較高倍率，轉(zhuǎn)動(dòng)FOCUS的旋鈕進(jìn)行聚焦，X、Y散光像差校正旋鈕進(jìn)行像散調(diào)整，調(diào)整亮度與對(duì)比度（可按ACB自動(dòng)調(diào)整或手動(dòng)調(diào)整），直至樣品表面特征的圖像清晰為止（低倍率時(shí)，利用AUTO鍵進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦）。然后切回所需之倍率進(jìn)行圖像觀察。a）如果聚焦時(shí)出現(xiàn)圖像是模糊的，需要進(jìn)行電子束對(duì)中調(diào)整。b）按鍵盤上RDCIMAGE鍵，打開調(diào)整窗口，按鍵盤上WOBB鍵，此時(shí)圖像會(huì)來回?cái)[動(dòng)，旋轉(zhuǎn)鍵盤上X、Y調(diào)整旋鈕使圖像停止擺動(dòng)（X方向擺動(dòng)調(diào)整X旋鈕，Y方向擺動(dòng)調(diào)整Y旋鈕）。c）關(guān)閉WOBB鍵，此時(shí)STIG鍵自動(dòng)亮，分別旋轉(zhuǎn)鍵盤上X、Y調(diào)整旋鈕將圖像調(diào)整清晰。d）繼續(xù)放大倍數(shù)，轉(zhuǎn)動(dòng)FOCUS旋鈕進(jìn)行聚焦，如圖像不清晰，重復(fù)c步直到將圖像調(diào)整清晰。e）如果圖像已經(jīng)調(diào)整好，按鍵盤上“RDCIMAGE”鍵關(guān)閉調(diào)整窗口，進(jìn)行全屏顯示。（4）圖像聚焦像散調(diào)整完畢后，按下FINEVIEW鍵及FREEZE鍵掃描圖像并定格，也可按下PHOTO鍵獲取最終圖像，輸入樣品名稱，選擇文件類型和文件保存位置，點(diǎn)擊“Save”進(jìn)行保存。（5）按“FREEZE”鍵取消鎖定，按“QUICKVIEW”進(jìn)行快速掃描，為下一次調(diào)整圖像做好準(zhǔn)備。13、背散射（BEI detector）觀察1）點(diǎn)擊Exchange Position，EXCH POSN燈同步亮，樣品臺(tái)回到樣品交換的初始位置。2）點(diǎn)擊OFF，關(guān)閉高壓，確認(rèn)高壓處于關(guān)閉狀態(tài)！3）在儀器狀態(tài)區(qū)域?qū)EI勾選，BEI detector自動(dòng)伸入樣品室。4）點(diǎn)擊ON，打開高壓，根據(jù)樣品選擇所需的電壓。5）找好要分析的樣品位置，調(diào)整好倍率，聚焦及像散。6）在圖像顯示區(qū)域選擇圖像信號(hào)為BEC7）按Fine view2 獲取圖像，按下PHOTO鍵獲取最終圖像，選擇 “Save”模式進(jìn)行保存。8）使用完成后，先關(guān)閉高壓，再將BEI打勾取消（即表示BEI detector退回）。14、結(jié)束觀察：1）將放大倍率調(diào)至最低倍。2）點(diǎn)擊OFF，關(guān)閉高壓，確認(rèn)高壓處于關(guān)閉狀態(tài)！2）點(diǎn)擊軟件中Specimen窗口的Exchange Position按鈕，EXCH POSN燈同步亮，樣品臺(tái)復(fù)位，處于樣品交換的初始位置。3）利用樣品交換桿將樣品Holder拉出樣品交換室。4）按下VENT鍵放氣，直至VENT常亮。5）打開樣品交換室，按箭頭方向取出樣品Holder及樣品，并檢查樣品交換室是否正常。6）關(guān)閉樣品交換室并按EVAC抽真空，待EVAC燈不再閃動(dòng)后，觀察結(jié)束。注意事項(xiàng)1、接觸樣品座，取放樣品時(shí)務(wù)必戴手套操作，并確保樣品在樣品臺(tái)上固定牢固；樣品柱高度最好不要超過樣品座上方10mm。樣品高出樣品臺(tái)時(shí)，不要將Z值輸入過小，造成鏡頭碰撞樣品臺(tái)。2、注意：在拉動(dòng)樣品桿時(shí)，若有警報(bào)聲，應(yīng)立即停止操作，將樣品桿歸位，檢查操作步驟是否正確。3、拉出拉桿時(shí)，切記一定要將拉桿完全拉出后才可以立起，否則樣品桿會(huì)彎折變形。4、實(shí)驗(yàn)完成后只需關(guān)閉計(jì)算機(jī)顯示器，其他任何頁面及裝置不予關(guān)閉。樣品操作按鈕介紹Specimen exchange chamber（樣品交換室）控制面板VENT：Exchange ch