微電子學概論Cha幻燈片

1、123機械機械部分部分傳感傳感執(zhí)行執(zhí)行控制部分控制部分電子學電子學mems微電子學微電子學456789101112131415161718192021大機器加工大機器加工小機器，小小機器，小機器加工微機器加工微機器機器微機械微機械用微電子加用微電子加工技術(shù)工技術(shù)mems系統(tǒng)系統(tǒng)x光鑄模光鑄模+壓壓塑技術(shù)塑技術(shù)(liga)從頂層向下從頂層向下從底層向上從底層向上分子和原子級加工分子和原子級加工國防、航空航天、生物醫(yī)學、環(huán)境國防、航空航天、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控、汽車都有廣泛應用。監(jiān)控、汽車都有廣泛應用。2000年有年有120-140億美元市場億美元市場 相關(guān)市場達相關(guān)市場達1000億美元億美元2年后

2、市場將迅速成長年后市場將迅速成長mems微系統(tǒng)微系統(tǒng)2223242526電路工藝與結(jié)構(gòu)加工工藝交替進行電路工藝與結(jié)構(gòu)加工工藝交替進行先加工電路，后加工結(jié)構(gòu)先加工電路，后加工結(jié)構(gòu)先加工機械結(jié)構(gòu)，再加工電路先加工機械結(jié)構(gòu)，再加工電路27282930三三 種種 加加 速速 度度 計計 的的 特特 性性 比比 較較技技 術(shù)術(shù) 指指 標標電電 容容 式式壓壓 電電 式式壓壓 阻阻 式式阻阻 抗抗高高高高低低電電 負負 載載 影影 響響非非 常常 大大大大小小尺尺 寸寸大大小小中中 等等溫溫 度度 范范 圍圍非非 常常 寬寬寬寬中中 等等線線 形形 度度 誤誤 差差高高中中 等等低低直直 流流 響響 應應

3、有有無無有有交交 流流 響響 應應寬寬寬寬稍稍 寬寬有有 無無 阻阻 尼尼有有無無有有靈靈 敏敏 度度高高中中 等等中中 等等沖沖 擊擊 造造 成成 的的 零零 位位 漂漂 移移無無有有無無旋旋 轉(zhuǎn)轉(zhuǎn) 或或 無無 需需 校校 準準 功功 能能有有無無有有電電 路路 復復 雜雜 程程 度度高高中中 等等低低成成 本本高高高高低低交交 叉叉 軸軸 敏敏 感感 度度主主 要要 取取 決決 于于 機機 械械 設(shè)設(shè) 計計 ， 而而 非非 轉(zhuǎn)轉(zhuǎn) 導導 作作 用用3132333435mirrorsupportstructuresubstrate hingestorsion hinges1st dof2nd dofforce-redirecting linkage3637383940414243444546474853545556 一般意義上的系統(tǒng)集成芯片一般意義上的系統(tǒng)集成芯片 廣義上的系統(tǒng)集成芯片廣義上的系統(tǒng)集成芯片電、光、電、光、聲、熱、聲、熱、磁力等外磁力等外界信號的界信號的采集采集各各種傳感器種傳感器執(zhí)執(zhí)行行器器、顯顯示示器器等等信息輸入信息輸入