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文檔簡介
1、For personal use only in study and research; not for commercial use表面增強(qiáng)拉曼光譜學(xué)SERS 綜述,簡史,原理,實(shí)驗(yàn),展望本文回顧表面增強(qiáng)拉曼光譜學(xué)SERS,surface Enhanced Raman Scattering。作者出身物理,主要關(guān)注器件和技術(shù),盡可能簡單平實(shí),少用公式。SERS結(jié)合靈敏的Raman譜,表面科學(xué)甚至電化學(xué),是重要的靈敏特異檢測技術(shù)。目錄1簡史2定義3理論3.1 電磁增強(qiáng)理論3.2 化學(xué)增強(qiáng)理論4 實(shí)驗(yàn)4.1 總的實(shí)驗(yàn)結(jié)構(gòu)4.2 襯底制造4.3 譜的解讀5 應(yīng)用6 展望簡史欲說SERS先說Raman
2、譜,欲說Raman先說散射光散射的核心含義是散射中心,如微粒,吸收輻射并再次輻射電磁波的過程,據(jù)此定義,磷光和熒光都可視為散射。傳統(tǒng)的散射暗示了入射波的傳播方向和散射光的方向有偏折,甚至完全反向,即背散射,實(shí)際上,受激散射的散射波的方向和入射波是一致的,受激性使然。故散射的散只有歷史意義了。最早被系統(tǒng)研究的光散射當(dāng)屬Rayleigh散射,即散射中心尺度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于光波長的情況,其最重要的規(guī)律就是散射強(qiáng)度正比于頻率四次方變化??梢姽庾V中長波或曰紅端頻率低,其Rayleigh散射強(qiáng)度遠(yuǎn)比短波端弱,即著名的天空為何呈現(xiàn)藍(lán)色的問題的答案。之后Mie用電磁論系統(tǒng)的研究了光散射,解決了不同大小的各類規(guī)則散射體
3、問題,至今仍然意義重大,常說的Mie散射其實(shí)不確切,Mie給出的是各類散射的解甚至包含了Rayleigh散射。此外的Dyndall散射,臨界乳光之類的光散射現(xiàn)象暫時(shí)省略。在上述光散射中,散射波和入射波的頻率相同,Stockes早前甚至提出所謂的Stokes定律:考慮能量守恒,散射波的波長不可能小于激發(fā)散射的光的波長??疾熘T如熒光,磷光等過程,此定律沒錯(cuò),但是Stokes定律的范圍僅僅限于入射波和散射中心無動量,無能量交換的過程,即所謂的彈性散射。后來Smekel最早預(yù)言了頻率變化的非彈性散射。Brillioun觀測到了以其名字命名的Brillioun散射,即低頻聲聲子對光子的散射,頻移較小。R
4、aman和Landsberg分別在苯和石英中觀測到了Raman散射,即高頻光聲子對光子的散射,Raman頻移可能很大,Landsberg稱此散射為合并散射combination scattering。從原理上分析,紅外和Raman是一對互補(bǔ)技術(shù)。討論分子受光子影響時(shí)的躍遷(吸收和發(fā)射)概率用到含時(shí)微擾論,其核心就是計(jì)算表示外光場的偶極子算符在初末態(tài)間的躍遷矩陣元,分子的偶極矩miu可分為固有偶極矩miu(Q)和(線性)可極化率polarizibilty張量alpha與光子電場E的點(diǎn)積,alpha(Q)E。Q為簡正坐標(biāo)。紅外譜源于分子的偶極矩對Q的偏導(dǎo),Raman譜源于分子的可極化率alpha對
5、Q的偏導(dǎo)。即紅外譜和Raman譜各自反映了分子的一部分性質(zhì),而且不計(jì)耦合作用的話,偶極矩和可極化率是正交的,即一個(gè)振動模式要么是紅外活性要么是Raman活性,vv,故曰紅外譜和Raman譜是互補(bǔ)的,但考慮耦合的話,只能說一個(gè)模式紅外活性強(qiáng),則其Raman活性就弱,vv。一般情況下非極性鍵的Raman活性大,極性鍵的紅外活性大,當(dāng)然有些鍵的振動模式對二者都是沉默的。就測量而言,紅外比Raman簡單,原因有二,其一,紅外的原理的是偶極矩對Q的變化,偶極矩是矢量,有三個(gè)分量,與Raman譜聯(lián)系的可極化率alpha是2階張量;其二,紅外吸收譜測量比較簡單,而Raman散射的強(qiáng)度很弱,Raman的微分散
6、射截面的典型值在10的-30方平方厘米,散射光強(qiáng)一般小于入射光強(qiáng)的百萬分之一,比熒光的強(qiáng)度小至少10的9次方,基本上在光探測器的探測極限上掙扎。但是Raman相對于紅外的優(yōu)勢包括,其一,可極化率能提供比偶極矩更多的信息,這還暫時(shí)不含非線性Raman。其二,可在溶液中測量Raman,因?yàn)樗臉O性大,是極弱Raman散射體,但水對紅外強(qiáng)吸收,這點(diǎn)對生物應(yīng)用尤其重要。當(dāng)然現(xiàn)代的振動光譜學(xué)中紅外和Raman相互融合,同等重要。SERS的誕生上文說了,常規(guī)Raman的致命問題在于強(qiáng)度很低。對此一般的解決方案有二,其一,增加入射激發(fā)光強(qiáng),其二,調(diào)諧入射光頻至散射體的共振吸收帶上,利用共振時(shí)的強(qiáng)烈吸收。這兩
7、點(diǎn)也許預(yù)示了SERS的誕生。SERS現(xiàn)象最早是1974年英國南安普頓大學(xué)的Fleishman在研究吸附于粗糙銀電極上的pyridine的光譜時(shí)發(fā)現(xiàn),這種表面Raman譜上呈現(xiàn)清晰尖銳的特征Raman帶,比同濃度溶液Raman譜增強(qiáng)很多。他當(dāng)時(shí)簡單的認(rèn)為這種增強(qiáng)源于粗糙化后的電極巨大的表面積吸附pyridine的數(shù)目比溶液多1。之后經(jīng)美國西北大學(xué)的Van Duyne(現(xiàn)在仍然是大牛)計(jì)算此類實(shí)驗(yàn)中吸附后得到的Raman信號比溶液中的得到的增強(qiáng)6個(gè)數(shù)量級,而且不可能被簡單單獨(dú)的歸結(jié)于大表面積的大吸附數(shù)目,他提出增強(qiáng)另有原因,后來經(jīng)過發(fā)展成為SERS的電磁增強(qiáng)論,其主要觀點(diǎn)是粗糙電極上的納米結(jié)構(gòu)是納
8、米天線,能極大的增強(qiáng)入射激發(fā)光,即大大增強(qiáng)吸附于電極上的分子感受到的局域入射電磁場強(qiáng)度,此外分子發(fā)出的Raman散射光同樣也被納米結(jié)構(gòu)放大,即本節(jié)開頭所說的針對低強(qiáng)度的第一種解決方案,增大光強(qiáng)。之后Creighton和Albrecht根據(jù)其他一些實(shí)驗(yàn)事實(shí)提出了SERS的化學(xué)增強(qiáng)理論,尤其針對化學(xué)吸附的分子的SERS譜解析,其實(shí)質(zhì)是認(rèn)為 分子在電極金屬上的吸附改變分子的電子結(jié)構(gòu),金屬的費(fèi)米能級作為分子LUMO-HOMO躍遷的中介態(tài),將本應(yīng)發(fā)生在紫光-紫外的高能躍遷的能差一分為二,成為在可見頻段上的兩步共振躍遷,即本章開頭提到的第二種方法。之后的10年就是兩學(xué)派擺事實(shí),講道理文斗的10年,也是從發(fā)
9、好文章,基礎(chǔ)性文章到濫發(fā)文章挖空SERS這題目概念的10年。結(jié)果是,兩派誰也沒說服誰,SERS是身世還是未定。再之后當(dāng)然就是低潮,直到90年代中期,托兩件事的福SERS又復(fù)興了,其一,生物風(fēng),單分子,單細(xì)胞探測的興起,SERS被發(fā)現(xiàn)是單分子,單粒子探測的優(yōu)良方法,增強(qiáng)使然;其二,納米風(fēng),SERS似乎生來就是納米技術(shù),因?yàn)殡姌O上的粗糙顆粒都在10-100納米量級,能支撐所謂的surface plasmon SP,而且SERS根本理論的解釋對納米科學(xué)而言是也是基礎(chǔ)性的東西,尤其對plasmoinics。這次復(fù)興的標(biāo)志性事件有二,都與單分子探測有關(guān),其一是Kneipp小組將激發(fā)光調(diào)諧到與聚集的銀膠體
10、的的SP波長共振,在探測到吸附的cresyl紫分子的SERS譜,這個(gè)激發(fā)光能與吸附分子電子能級躍遷間(共振Raman躍遷)的能差是不同的,即非共振型的a。事件二,Nie(聶)和Emory將激發(fā)光調(diào)諧至于分子的電子態(tài)躍遷共振,進(jìn)一步利用共振效應(yīng),即所謂的 表面增強(qiáng)共振拉曼散射SERRS,其靈敏度更高c。進(jìn)入新世紀(jì),SERS的方向依然是結(jié)合納米技術(shù)討論其基本理論,其應(yīng)用主要在生物和醫(yī)學(xué)方面。2定義SERS可以定義為Raman散射體因在幣金屬(金,銀,銅),堿金屬,過渡金屬上的吸附而引起的Raman信號增強(qiáng)現(xiàn)象。SERS與通常的Raman的不同在于1 Raman強(qiáng)度與頻率成4次方關(guān)系,SERS的激發(fā)
11、輪廓很寬,這點(diǎn)也許與襯底上的納米結(jié)構(gòu)尺寸分布寬,以及由此引起的二次發(fā)射的增強(qiáng)電磁波的頻率范圍寬有關(guān)。 SERS譜里隨振動頻率的增加,帶強(qiáng)度減小。比如CH伸縮振動在SERS譜里一般很弱2 由于分子吸附前后對稱性改變而引起的選律破壞,常規(guī)Raman種的禁戒躍遷在SERS里可能出現(xiàn)。3 SERS的帶可被電極上的電勢改變。4 SERS增強(qiáng)一般是長程的,可達(dá)到距離表面數(shù)十納米。3理論3.1 電磁增強(qiáng)理論導(dǎo)體中電子氣的群體激發(fā)稱為plasmon,若激發(fā)被限定在表面則稱為surface plasmon SP,SP分傳播型,Propagating SP,比如金屬光柵表面的SP定域型,Localized SP,
12、比如球體上的SP表面的粗糙結(jié)構(gòu)和彎曲結(jié)構(gòu)是用光激發(fā)SP的前提,而直接用光在光滑無結(jié)構(gòu)的金屬表面激發(fā)SP是不可能的,因?yàn)閯恿坎黄ヅ?,詳見Raether的書Surface Plasmon on smooth & Rough Surface & on Gratings里關(guān)于SP的色散關(guān)系的論述。電磁增強(qiáng)理論的實(shí)質(zhì)就是考察 電磁場中的球形金屬微粒的行為,這些微粒的尺度遠(yuǎn)比入射的激勵(lì)電磁波波長小,由此可用Rayleigh近似(又稱靜電近似),即認(rèn)為電磁波對微粒而言是均勻的,這點(diǎn)也類似于QM中求躍遷概率時(shí)用到的偶極子近似。金屬的復(fù)介電常數(shù)1()表示,注意它其實(shí)事實(shí)頻率的函數(shù),用2表示金屬粒
13、子周圍的的電介質(zhì)的介電常數(shù),一般是非金屬的,故2一般是實(shí)數(shù)。則金屬微粒對入射電磁場的增強(qiáng)可表為(1-2)/(1+22)其中分母里的2是形狀因子,對其他形狀,比如橢球略有不同。可以看出,當(dāng)在某波長下,1的實(shí)部等于-22時(shí),分母趨于0,該分式值很大,即所謂的共振增強(qiáng)。對金屬而言,介電常數(shù)一般還有虛部,表示該金屬對電磁場的耗散,虛部越大,耗散越快。共振時(shí),把納米結(jié)構(gòu)是為平面波中的偶極子,入射平面波被放大后再輻射出去,以偶極子輻射的衰減分式向所有方向輻射。值得注意的是,這些納米粒子不僅放大外來的激發(fā)電磁波也放大吸附質(zhì)發(fā)出的Raman散射波。純粹由電磁增強(qiáng)機(jī)制引發(fā)的SERS的增強(qiáng)因子是E的4次方。以上這
14、些結(jié)論對其他非球形形貌的表面納米粒子也普遍有效,只是增強(qiáng)因子分母里的數(shù)值因子2有所不同。對幣金屬和堿金屬,共振發(fā)生的入射光在可見范圍內(nèi),其他類型的金屬可能要求紫外等頻段。在共振范圍附近,幣金屬和堿金屬的介電常數(shù)的虛部很小,即對電磁場的耗散小,這對激發(fā)狹窄強(qiáng)烈的共振峰有利。在理論上電磁增強(qiáng)機(jī)制的增強(qiáng)因子在E的4次方,實(shí)際上由于Raman頻移,Raman光和入射光不同頻,故實(shí)際的增強(qiáng)因子應(yīng)該是入射光E平方乘以Raman光E的平方。如果Raman頻移較大,則入射光和raman光不可能同時(shí)得到共振。這就解釋了前邊提到的SERS譜中高頻Raman帶強(qiáng)度的減低,即增強(qiáng)對頻率而言是非均勻的,SP的共振波長,
15、入射激發(fā)光波長以及Raman光波長三者的選擇必須注意,一般情況下,SP的波長只能激發(fā)一者共振,另一者可能只能近共振甚至非共振。電磁增強(qiáng)機(jī)制的最大特征就是,增強(qiáng)與吸附分子種類無關(guān)。在不同層次和復(fù)雜程度上,對于納米結(jié)構(gòu)的描述方法包括,孤立球體,孤立橢球體,互作球體,互作橢球體,隨機(jī)分布的半球,分形表面等最簡單的模擬方法是用有限元法,F(xiàn)DTD法,定域的電磁場,介電常數(shù)也與體材料一樣。FDTD的關(guān)鍵在于Yee原胞的劃分問題。實(shí)際的襯底上納米結(jié)構(gòu)間存在互作,嚴(yán)格模擬必須考慮這點(diǎn),現(xiàn)在發(fā)的文章也比較多的考慮這點(diǎn)。對于回轉(zhuǎn)體,用Mie-Gans理論即可解決,但是實(shí)際納米粒子的形狀比較復(fù)雜,在偶極子近似下,形
16、狀不重要,但模擬過渡金屬襯底時(shí),接近100納米的納米結(jié)構(gòu)和外加激發(fā)場的幾百納米相比,形狀不可不計(jì),所以現(xiàn)在發(fā)模擬的文章,多種形狀,比如三角形,正方形,多面體都可見,和plamonic模擬一結(jié)合,又是一個(gè)熱點(diǎn)。任意形狀的納米結(jié)構(gòu)的模擬要用到DDA,離散偶極子近似。當(dāng)納米結(jié)構(gòu)的尺寸變大時(shí),高階矩的影響開始顯現(xiàn),由于高階矩的定域性,導(dǎo)致放大的效率變低,所以當(dāng)尺寸超過100納米之后,增強(qiáng)效果變差。完整的電動力學(xué)計(jì)算可以包含納米結(jié)果間的互作。詳見Moskovits1985年的review。(我好多沒看懂)EM模擬的問題在于,1 介電常數(shù),其實(shí)不僅是頻率的函數(shù),還和納米結(jié)構(gòu)的尺度有關(guān),因?yàn)榧{米體系屬于介觀
17、系統(tǒng)mesoscopic,其特性介于原分子和體材料bulk material之間,據(jù)試驗(yàn)報(bào)道,當(dāng)金納米粒子的尺度小于2納米時(shí),其SPR峰間消失,確切的說是,展寬到無法辨認(rèn),大約50納米時(shí)出現(xiàn)尖銳PSR峰,當(dāng)粒子減小,峰逐漸展寬,到大約2納米時(shí)完全消失,原因是mott相變,金從導(dǎo)體表為半導(dǎo)體,隨著尺寸減小,達(dá)到電子自由程尺度,電子被多次散射,電導(dǎo)急劇增大,SP消失。一般認(rèn)為當(dāng)金屬納米粒子的尺寸小于10納米時(shí),其介電常數(shù)就不能再用體材料的參數(shù)而需要修正了。2 分形的影響,實(shí)際的表面,即使你能很好的模擬各個(gè)納米結(jié)構(gòu),納米粒子的排列方式,即分形又是一大問題。這種問題在其他領(lǐng)域里也曾遇到,比如,用有效介
18、質(zhì)模型EMT由于percolation而失效。即使是在規(guī)則排布的金屬NP襯底上,分形也是存在的,因?yàn)?,無論NP是用何種方式合成,其生長過程,比如ostwald ripening或者三種薄膜生長模型VW,F(xiàn)M,SK,都不可避免的引入分形結(jié)構(gòu),比如,用HRTEM觀察單分散NP的表面,一般都有精細(xì)結(jié)構(gòu),假如存在若干原子規(guī)則堆積的高級晶面cluster,問題就來了,這些結(jié)構(gòu)是優(yōu)先的吸附位,電磁場超級放大器,高催化活性位,前兩個(gè)角色影響增強(qiáng)因子的測定,后者可能在測譜過程中光解吸附分子,造成譜的不穩(wěn)定,當(dāng)然也影響增強(qiáng)因子的測定。為了盡可能減小此類分形結(jié)構(gòu)的影響,一般要求生長過程盡可能的緩慢。分形的第二大影
19、響在于其時(shí)間上的漲落很大,原則上需要含時(shí)性描述。3 計(jì)算規(guī)模,典型表面上NP數(shù)目很大,如何權(quán)衡計(jì)算成本和模擬結(jié)構(gòu)??傊{米結(jié)構(gòu)形貌各異,分形分布,故模擬隨機(jī)分布的SERS表面,如ORC襯底表面,蒸鍍,腐蝕表面以及聚集金屬膠體幾乎是不可能的任務(wù),這也是需要規(guī)則排列,單分散金屬納米粒子襯底的原因。3.2 化學(xué)增強(qiáng)理論CHEM電磁增強(qiáng)論里的納米結(jié)構(gòu)對附近的電磁波的放大作用應(yīng)該是無選擇性的,但是CO和N2可極化率幾乎相等,但同條件的SERS譜,二者的強(qiáng)度相差百倍,此外,電化學(xué)SERS里,固定激光波長掃描電勢能觀測到很寬的共振。這些實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象可以證明電磁增強(qiáng)理論之外還有另一種獨(dú)立的增強(qiáng)理論,或者實(shí)際的實(shí)
20、驗(yàn)中得到的增強(qiáng)是電磁增強(qiáng)和這種獨(dú)立增強(qiáng)的乘積,二者往往不可分離的,這就是化學(xué)增強(qiáng)論。化學(xué)增強(qiáng)機(jī)制本質(zhì)是帶電荷轉(zhuǎn)移的共振Raman,常規(guī)拉曼是發(fā)生在基態(tài)和虛態(tài)之間的躍遷,虛態(tài)在基態(tài)和第一激發(fā)態(tài)之間,這也是常規(guī)Raman低散射截面的原因。共振Raman的躍遷上能級是一個(gè)實(shí)在的電子能級,故吸收是共振型的強(qiáng)吸收?;瘜W(xué)增強(qiáng)論認(rèn)為,化學(xué)吸附產(chǎn)生新的電子態(tài)作為Raman散射過程中的中介,原來需要紫光-紫外并一步完成的躍遷被一分為二稱為兩個(gè)共振躍遷并兩步完成,因?yàn)榻饘儋M(fèi)米能級居于吸附分子的HOMO-LUMO的中央并不少見,躍遷涉及電荷轉(zhuǎn)移,轉(zhuǎn)移方向因系統(tǒng)而異。關(guān)于純化學(xué)增強(qiáng)的理論模型見Lombardi等人文章
21、,主要基于二階微擾論。CHEM的模擬,吸附分子-金屬襯底體系太大,從頭算做不到,分子動力學(xué)也不容易。前者一般選擇是用金屬cluster其代表金屬表面,一般只做單個(gè)分子的吸附模擬,然后與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)比較。軟件用gaussian居多后者要求設(shè)計(jì)原胞的技巧,對體系,比如多個(gè)有互作的吸附分子在金屬上的吸附系統(tǒng)。CHEM模擬的問題在于前者相對精確,但耗時(shí),且體系不能太大,否則計(jì)算成本迅速增加,后者由于用了經(jīng)驗(yàn)參數(shù),精確度不如前者。CHEM和EM的混合hybrid模擬,似乎是個(gè)挑戰(zhàn),而且我沒有見到過文獻(xiàn)EM和CHEM的貢獻(xiàn)如何區(qū)分?一般而言,在幣金屬襯底上,前者的貢獻(xiàn)遠(yuǎn)大于后者,但一旦涉及吸附分子和金屬有強(qiáng)烈
22、互作時(shí),CHEM的貢獻(xiàn)就不可忽略了,比如,SH,CN和近,雜環(huán)和銀,此外,過渡金屬和不少簡單分子由于軌道匹配,可以形成很強(qiáng)的化學(xué)吸附。如果要以非SERS的技術(shù)定性的考察分子與襯底間的作用強(qiáng)弱,恐怕只有兩種更復(fù)雜和昂貴的技術(shù),1 EELS,即電子版的SERS,2,NEXAFS,考察元素的化學(xué)環(huán)境。4 實(shí)驗(yàn)4.1 總的實(shí)驗(yàn)結(jié)構(gòu)氣相SERS4.2 襯底制造按出現(xiàn)先后,不規(guī)則到規(guī)則分電化學(xué)氧化還原循環(huán)襯底(ECORC襯底)最早最簡單的襯底,就是把高純幣金屬清洗,拋光,然后經(jīng)過若干電化學(xué)氧化-還原循環(huán)(CV法)得到粗糙表面,電介質(zhì)一般是KCL或者硫酸。此法以銀為簡單,金比較難,銅我沒做過。銀ECORC襯
23、底簡單,但易氧化,如果之后在大氣環(huán)境里做SERS,我一般會在ORC后吧襯底防塵暴露2小時(shí),讓銀自然氧化,表面形成氧化銀膜,以免此氧化過程影響測量。金直接氧化很難,據(jù)說電位要求比較高,也有用ORC銀上化學(xué)鍍或者電鍍金的,但合金襯底對譜解讀不利,而且如果金鍍層的覆蓋度低以至于有銀裸露,得到的SERS譜就很麻煩。金襯底難,但相對銀而言,穩(wěn)定性高很多??偟牡膩碚f,OCR襯底很多文獻(xiàn)說重復(fù)性比較差,但實(shí)際配合rotating法等平均技術(shù),重復(fù)性不見得不好化學(xué)腐蝕,用酸,直接腐蝕,和ORC襯底類似evaporation 用濺射等方法把單質(zhì)金或者銀直接沉積在玻璃上得到粗糙金屬薄膜,金溶膠,銀溶膠,聚集或者非
24、聚集的都可以,聚集的金屬溶膠實(shí)際形成分形fractal表面,在聚集體的某些位置可以形成很高的電磁場,但這些位置分布很不均勻且難以預(yù)知,增強(qiáng)的時(shí)域漲落很大。以上的襯底活性位置相當(dāng)randomly distributed,增強(qiáng)作用非均勻各向異性,而且真正其增強(qiáng)作用的結(jié)構(gòu)往往是至今10nm左右的nanorod,沿長軸nanorod易極化,增強(qiáng)效果好?;蛘呓饘倌ど系膩喖{米尖銳結(jié)構(gòu)cluster,既是優(yōu)先吸附位又是“電磁場超級增強(qiáng)器”(lightning rod effect)可能這種萬里挑一的cluster是幾百平方納米內(nèi)的惟一的對增強(qiáng)貢獻(xiàn)者,據(jù)文獻(xiàn)報(bào)道 ,此類結(jié)構(gòu)的增強(qiáng)可達(dá)13次方量級,實(shí)際測量到的
25、增強(qiáng)時(shí)整個(gè)區(qū)域的平均值,一般低至少兩個(gè)數(shù)量級。若是做穩(wěn)態(tài)SERS,即攝譜時(shí)間/積分時(shí)間大于分鐘,則以上的這些非均勻因素影響不大,但是做時(shí)間分辨SERS的話,結(jié)果的時(shí)間-,空間可重復(fù)性問題就出來了。NP array,MFON貌似是西北大學(xué)van duyne組最早搞出來的,為了解決以上的空間上的非均勻性問題,將單分散的金或者銀或者同NP通過某種方式自主裝于惰性襯底上,但大面積的NP array,比如平方毫米級的均勻的幾十納米的金屬NP array似乎沒有報(bào)道,(要誰知道告訴我一聲,100金幣)?;蛘哂靡捉M裝的SiO2 NP,PS做模板,然后金屬化得到MFON襯底,也可以超聲/腐蝕脫模,在NP的間隙處得到規(guī)則陣列,還可以再退火,得到近半球形陣列。光刻襯底,很貴,很貴,因?yàn)槿绻蠊饪叹€寬在50納米的話,基本上之后電子束光刻EB可用,要制作平方毫米尺寸的襯底費(fèi)時(shí),而且儀器不好找。plasmonic 襯底,光子晶體襯底理論研究階段其實(shí)襯底的非均勻性無處不在,尤其是原子級的非均勻性
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