單晶硅拉制工安全操作規(guī)程

1、單晶硅拉制工安全操作規(guī)程 1檢查好晶軸、坩禍軸的旋轉(zhuǎn)、升降是否敏捷勻稱。假如過緊時調(diào)整爐膛上的密封圈，緊固到不漏氣為準。若擰時不漏氣但旋轉(zhuǎn)升降不敏捷勻稱，則要更換密封圈。 2真空泵運轉(zhuǎn)的方向應按規(guī)定的方向旋轉(zhuǎn)，否則可能引起機械泵油倒灌到擴散泵中去。若真空泵電動機電源線有松掉或斷落現(xiàn)象時，應將真空泵和擴散泵連接的塑料管拉掉，調(diào)整電動機旋轉(zhuǎn)方向。 3使用擴散泵必需避免油的氧化。 4封爐時須檢查爐門橡皮是否有油污物，是否能起密封作用，同時檢查爐膛內(nèi)有沒有多余物件。 5增溫前要開冷卻水，并檢查水是否暢流，以防燒壞設備。 6運動部件如導軌、絲杠等經(jīng)常要擦洗、潤滑。籽晶軸和坩鍋要經(jīng)常用紗布酒精或甲苯擦潔凈

2、。采用水冷卻要防止漏水生銹。 7爐膛內(nèi)要保持光亮清潔。，工作之后應準時清除氧化物，爐膛應常關(guān)閉。爐子不工作時，必需保持真空度，以使石墨件不受潮濕且能延長擴散泵使用壽命。 8密封圈和橡皮墊，切忌用油和酒精之類擦拭，也不得壓得過緊。 9先開主機箱風扇電動機使風扇轉(zhuǎn)動，風向向上，說明相序正確。再打開“增熱”按鈕。若發(fā)覺相序不對，風扇不轉(zhuǎn)，應馬上停止增熱排解故障。 10首先將細調(diào)調(diào)至中間位置進行主回路送電。打開操縱臺上的總電源開關(guān)，操縱臺上各個開關(guān)與相應的部分應正常工作?？倓畲庞兄甘静拍荛_直流電動機(籽晶、坩堝、軸)。 11主機箱中因有鼓風機振動，每隔一段時間應打開箱子檢查各螺釘是否有松動現(xiàn)象，如有松

3、動應馬上擰緊。 12操縱臺的邊線有其相位關(guān)系，操縱臺與回路之間也有同位關(guān)系，一經(jīng)調(diào)好之后，就不要再動。檢查修理時若要拆線必需做好標志，以免搞錯。 13用化學方法腐蝕已清洗完畢的多晶硅(回爐多晶)后，要每塊認真地檢查有無氧化物，若有蝕渣氧化物須重新腐蝕。 14裝料時必需檢查石英坩堝有無裂紋，有無白點和氣泡，裝料要裝穩(wěn)。 15籽晶必需裝牢，也不得裝歪(偏離軸心線不大于3)。 16裝爐時必需檢查爐內(nèi)石墨件有無裂紋、氧化層和短路現(xiàn)象，增熱器和電極是否接觸良好。同時熱部件要裝得正，爐子漏氣時不準熔硅。 17摻雜時一定要把籽晶提高，置于摻雜勺上方。 18拉晶中途出了事故被迫停爐時，應把石墨托升到最高位置。

4、 19不同廠、不同爐次多晶柱制高阻單晶時，每爐多晶柱應分開使用，以利拉制凹凸阻單晶。 20真空復合計的指示必需大于0133帕(0.001毫米汞柱)以上才能開硅管增熱器進行測量，真空度要大于00133帕(0.0001毫米汞柱)才能進行除氣，除氣不能超過5分鐘。 21用自來水冷卻時先打開7號水龍頭(注：水龍頭編號系依據(jù)設備詳細狀況確定)，再打開4號水龍頭，最終開房內(nèi)的總龍頭(在開自來水之前要把調(diào)壓開關(guān)關(guān)緊。6號水龍頭也要關(guān)好)，即可使用。 22用水泵時需看7號水龍頭的流量，流量過大將調(diào)壓開關(guān)開大，過小將調(diào)壓開關(guān)關(guān)小，否則壓力過大會損壞設備。 23若水槽水溫升高而自來水壓力不夠則按以下程序操作： (1)將5號水龍頭打開， (2)將7號水龍頭打開，爐內(nèi)熱水從地流出。 24若發(fā)覺外壓升高，應將房內(nèi)總水龍頭關(guān)掉