無油渦旋真空泵技術的發(fā)展與應用

1、無油渦旋真空泵技術的發(fā)展與應用寧憲寧一.無油渦旋真空泵技術的來源與現狀從無油渦旋真空泵產品1980年代末在市場上出現到現在為止，已經近20 年了。而對這種泵的研究和開發(fā)，則遠不止20年。由于這種泵具有普通油旋片 泵不可比擬的優(yōu)點，也有很大的技術難度，所以具核心技術至今掌握在世界一流 的真空科學與技術專家的手中，也只有世界頂尖的真空獲得設備生產廠家能夠生 產。目前世界上商業(yè)化生產與銷售無油渦旋真空泵的公司主要有anest iwata. varian> edwards> busch和我們沈陽紀維應用技術有限公司。實際上將渦旋抽氣技術應用于真空泵產品是渦旋壓縮機技術帶給人們的啟 示。在上

2、個世紀70年代半導體、航空航天、食品、醫(yī)藥、科學儀器等行業(yè)對清 潔真空環(huán)境的需要，以及能源的緊缺，催生了對無油真空獲得設備的研發(fā)。多級 羅茨泵、螺桿泵、爪式真空泵、柱塞式真空泵、羅茨與爪泵復合式真空泵和無油 渦旋真空泵的研發(fā)都有開展。在替代普通油旋片泵方面，無油渦旋真空泵以其抽 氣過程全無油、低能耗、低噪音、氣休壓縮連續(xù)進行使力矩與壓力波動很小并且 容易控制、單級可以分成34個腔體使壓縮比大這樣的特點，發(fā)展迅速，成為 粗真空階段小型無油真空泵的主流產品。但是以渦旋壓縮機技術為基礎的無油渦 旋真空泵技術面臨著渦線形式的選擇、渦旋盤參數優(yōu)化與渦旋線的修止、渦旋盤 尤其是雙側動渦旋盤的加工與檢測、渦

3、旋盤表面自潤滑與耐磨技術、渦旋盤密封 的選擇、系統(tǒng)的平衡、振動和噪音的降低和消除、整機效率的提高等等問題，其 研究與開發(fā)涉及現代數學、機械設計學、計算機技術、材料科學、運動學、力學、 測量等不同的學科與實用技術。如同每一種新產品和新技術的產生、發(fā)展的歷程 一樣，無油渦旋真空泵從產品出現到現在，仍然處于不斷的技術改進和完善的發(fā) 展過程中。二無油渦旋真空泵工作原理無油渦旋真空泵的工作原理來源于creux 1905年的一項發(fā)明專利。該發(fā) 明采用一個在另一個內部，一個固定，另一個轉動的具有連續(xù)的分離、連續(xù)的閉 合性能的''等螺距漸開線，研發(fā)一種渦旋發(fā)動機。渦旋的形狀被定義為繞固定的 軸

4、心展開直線的軌跡。渦旋上任意一點的迪卡爾坐標值如下式所示：x= a* (cos0+0*sin0)y= a* (sin0-0*cos0)其中常數ci代表軸半徑，8代表展開角。渦旋真空泵的渦旋盤付就是一個一端與平面相接的一個或幾個漸開線螺旋 形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交叉組裝在一 起，兩者z間由防h轉機構保證180。相位差，這樣結合組成的一對渦旋盤付構 成了渦旋真空泵的基本抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此z間在幾條直線上接 觸形成對稱的幾對月牙腔，動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體屮心運 動，使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點沿渦旋曲面移動實現吸氣、壓縮與排氣循環(huán)。

5、 在雙側無油渦旋真空泵屮，有兩個方向對應的靜渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤z 間的動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體 從抽氣口吸入、排氣口排岀，完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。曲軸每轉一轉，就 有一組新的月牙腔形成，所以渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)以近1500轉 /分的頻率被連續(xù)重復，對被抽氣體形成包容和強制輸送。圖1 渦旋真空泵動渦旋盤與靜渦旋盤圖2.渦旋真空泵泵頭剖面圖三無油渦旋真空泵技術指標表1 無油渦旋真空泵技術指標型號gwsp1000gwsp600gwsp300排氣速度50hz1/s16. 64s. 774.311/min998. 40526. 20258

6、. 60m3/h59.9131.5715. 52cfm35. 2618. 589. 1360hz1/s19. 9710. 535. 181/min119& 08631.44310. 32m3/h71.9037. 8918. 63cfm12. 3222. 3010. 96極限真空度paw1.00w1.00w2. 60torrw7 50x103w7. 50x10"w 1.98x10 *mbarl.ooxlo-2三 i.ooxi(y2三 2. 60x10-2psi三 1.45x10"三 1.45x10“w3. 80x10 4最大進/排氣壓力大氣壓/13個大氣壓工作環(huán)境溫度

7、°c540°f41 104噪音值db (a)w69w68w68電機輸出功率kw1.500. 750. 55hp2. 001.000. 74工作電壓vac380/220,三相220,單相轉速50hzrpm141060hz1700進/排氣口尺寸mmkf40/25x2kf40/25kf25/25重量kg523632冷卻方式氣冷四無油渦旋真空泵設計重點1 渦線形式的選擇作為一種容積泵，無油渦旋真空泵是通過容積的變化來達到抽真空的目的, 而容積的變化由渦旋型線決定。這樣渦旋型線設計就成為無油渦旋真空泵設計中 一個最基本的問題。判斷型線的優(yōu)劣主要從體積小、容積效率高、運轉平穩(wěn)、易 于保

8、證加工精度等方面考慮。目前采用的型線主要為單一型線、修正型線、組合 型線和通用型線。型線主要包含有基圓漸開線、正多邊形漸開線、線段漸開線、 半圓漸開線、阿基米德螺旋線、代數螺旋線、變徑基圓漸開線、包絡型線等。目 前世界上形成商品化的無油雙側渦旋真空泵型線的數學模型全部為圓的漸開線。 這是因為以下原因：笫一從有效容積的定義出發(fā)，對兒種不同型線的優(yōu)劣進行比較得出，圓的漸開 線的有效容積比為1,正四邊形漸開線為0.9,正六邊形漸開線為0.95,正八 邊形漸開線為0.972,線段漸開線為1.023。圓的漸開線的有效容積比較高； 第二使用該種型線的無油雙側渦旋真空泵具有更加緊湊的結構和良好的工作特 性；

9、笫三圓的漸開線易于加工，可采用展成法，這對于使用高速、高效專機進行大 批量的超精密加工具有十分重要的意義。2.渦旋盤參數優(yōu)化無油渦旋真空泵的主要部件是動、靜渦旋盤，動渦旋盤在曲軸的驅動下相 對靜渦旋盤做平面運動，使動、靜渦旋盤圍成密閉的月牙腔，完成氣體的吸入、 壓縮、排除的過程。對動、靜渦旋盤渦旋型線的關鍵參數進行適當的優(yōu)化，有利 于整機結構的簡化和緊湊，便于生產和加工。如果用結構參數來表征渦旋盤，構成渦旋盤的主要參數有如下5個，它們是:基圓半徑a、渦旋節(jié)距p、渦旋壁厚t、渦旋線起始角6和渦旋壁高度h。其中 p=2na, t=2a0o般來說，為便于測量和設計，我們通常都先確定節(jié)距p和壁厚t以及

10、高 度h三個參數，再推算岀基圓半徑a、渦旋線起始角6,從而建立渦線方程。 對于無油雙側渦旋真空泵，為了保證結構的緊湊和高效，往往對上述三個參數進 行優(yōu)化。優(yōu)化的具體方法本文不再敘述，從加工的角度考慮，其原因和結果如門(1) 高度h在輸氣量不變的情況下，增加h值，有利于減小渦旋盤的直徑，減小軸向 間隙的泄漏線長度，有利于提高容積效率；但是，h增加，必須使得刀具刃加長， 意味著對機床、刀具的要求提高，增加了渦旋盤的加工難度，不易于保證渦旋盤 加工精度。(2) 壁厚tt值的選取原則是須保證一定的強度和剛度，滿足在一定工況下的變形量不 宜太大，渦旋盤壁厚一般在34mm z問，壁厚太薄，影響強度和加工精

11、度; 太厚增加了重量，增加了運動部件的磨損和振動。(3) 節(jié)距p通常用p-t的值來表征渦旋盤壁z間的槽寬，p-t越大，可以使用的 刀具直徑就越大，意味著刀具的剛性越好，加工精度越容易保證。同樣地，也必 須限制p-t的大小，因為它也影響到整個渦旋盤的直徑。實際上，p-t的 選取，應盡量選取一個整數值，這樣有利于標準刀具、量具的選用。3 渦旋型線的修正對渦旋型線進行一定程度的修正，對整機性能的提高是有一定好處的。由 于刀具干涉等原因，對渦旋型線的頭部的型線進行修-正是非常必要的。由于頭部 分別處于渦線的起始段，易于產生應力變形和刀具的讓刀現彖，加厚這一區(qū)域, 以減小應力變形和一定工況下的熱變形是非

12、常必要的。該處的修正，確實可以大 大減小功耗，減小排氣孔內部無效排氣容積，提高排氣過程的平穩(wěn)性，防止產生較 大氣流脈動。五無油渦旋真空泵加工重點無油渦旋真空泵性能包括其極限真空度、抽速、能耗、噪音和振動等。性 能是由泵的容積效率、泄漏、摩擦等因素造成的，而這些因素是由渦旋盤的加工 精度決定的。所以在無油渦旋真空泵的設計與生產屮，保證渦旋盤的加工精度非 常重要。1 重要的幾何精度指標在產品質量控制屮，首先應建立一套相應的幾何精度指標，和性能密切相 關的幾何精度指標必須嚴格要求，同時一些無關緊要的精度指標盡量放寬放松, 以確保加工的經濟性。就渦旋盤壁的側泄漏及摩擦來講，最重要的幾何精度指標有：渦旋

13、型線線 輪廓度、垂直度、位置度、對稱度及壁厚尺寸公差，這5種幾何精度可定義為 徑向精度。就渦旋盤壁頂部泄漏及摩擦來講，最重要的幾何精度指標為動渦旋盤 與靜渦旋盤壁高尺寸公差、動渦旋盤與靜渦旋盤壁頂部及槽底面的平面度，這兩 種精度可定義為軸向精度。下而就徑向精度及軸向精度與性能關系進行詳細的分 析：1 .1徑向精度(1) 線輪廓度線輪廓度是描述實際加工的渦旋型線相對于設計漸開線型線的偏離程度。 由于兩渦旋盤的漸開線型線的嚙合線是動渦旋盤與靜渦旋盤兩基圓的公切線，因 而型線謀差是基圓切線方向實際型線與理想型線的差值。由于實際型線與理想型線存在一定的誤差，相應就會發(fā)生氣體泄漏和機械摩 擦現彖，這種現

14、彖一般總是同時存在的.隨著曲軸的旋轉，嚙合切線也在旋轉, 這樣在不同的壓縮腔就會使有的嚙合區(qū)域氣體泄漏，有的嚙合區(qū)域機械摩擦。因 此，線輪廓度是決定性能的一個比較重要的幾何精度指標，它同時影響幾個腔的 工作情況。(2) 垂直度渦旋盤渦旋壁母線與渦旋盤槽底面的垂直程度稱為渦旋盤旋壁與底面的垂 直度?？倆,渦旋盤壁與底面的不垂直情況有兩種，都會導致氣體的泄漏。(3) 位置度渦旋盤相對軸承座有位置度的要求，即渦旋盤基圓屮心相對于軸承孔屮心 的偏離程度；述對另一面的渦旋盤有位置度要求。位置度誤差在相應的嚙合區(qū)域 造成較大的機械摩擦損失，造成較大的渦旋盤壁側氣體泄漏，隨著曲軸的旋轉, 這種情形會周期發(fā)生

15、。(4) 對稱度由于動渦旋盤為雙而型，渦旋型線對稱度要求極為嚴格。(5)壁厚公差壁厚較大時，會岀現擠壓摩擦現象；壁厚過小時會岀現氣體泄漏現象。1 .2軸向精度(1) 動渦旋盤壁與靜渦旋盤壁高尺寸公差如果采取無渦旋盤壁頂部密封條的方式，動渦旋盤壁與靜渦旋盤渦旋壁的 高度差一般在5微米以內。如果動渦旋盤壁高尺寸高于靜渦旋盤壁高尺寸，就 會在動渦旋盤齒槽根部發(fā)生氣體泄漏，如果靜渦旋盤壁高尺寸高于動渦旋盤壁高 尺寸，就會在靜渦旋盤槽底部發(fā)生氣體泄漏。(2) 渦旋盤壁頂部及槽底面的平面度渦旋盤壁頂部及槽底面的平面度精度高低決定著動渦旋盤(或靜渦旋盤)壁 頂面與靜渦旋盤(或動渦旋盤)底而的密封性能。當平面

16、度精度較差時，會出現局 部點接觸摩擦，而大部分區(qū)域發(fā)生氣體泄漏。2 加工精度誤差分析提高無油渦旋真空泵效率、降低能耗的主要途徑是減小動渦旋盤與靜渦旋 盤所形成壓縮腔z間的泄漏量及機械摩擦功耗。與無油渦旋真空泵性能有關的幾 何精度主要有渦旋盤型線線輪廓度、渦旋壁垂直度、渦旋盤壁相對于背后的軸承 孔及鍵槽的位置度、動渦旋盤雙面型線對稱度、渦旋盤壁頂部及槽底而的平而度 和渦旋盤表面粗糙度。下面就每一種精度指標岀現超差的原因進行分析，并提出 控制建議。(1) 線輪廓度線輪廓精度決定動、靜渦旋盤的嚙合精度，線輪廓度誤差偏大可能與加工 設備和加工方法有關。如果采用直角坐標法加工，造成線輪廓度誤差超差的困素

17、 可能有兩個：其一是編制數控加工程序時漸開線的嚙合精度偏低；其二是在加工 過程中機床x絲杠或丫絲杠的返程間隙太大。(2) 垂直度般說來，渦旋盤壁的不垂直情況有三種，分正錐、倒錐和傾斜。正錐(圖3a)：造成渦旋壁垂直度出現正錐現彖的誤差原因可能有兩個因素, 立銃刀直線度可能存在如圖4a所示的錐度；另-個可能的原因就是立銃刀剛度 不足，在加工時發(fā)生刀具傾斜變形。倒錐(圖3b)：可能有三個誤差原因，其一是刀具刃磨后有如圖4b所示的 錐度，其二是在安裝刀具時銃刀軸線與主軸軸線有夾角(圖4c)；其三是渦旋壁 在加工過程中發(fā)生傾斜變形。傾斜(圖3c.)：可能有兩個誤差原因，其一是夾具定位基準平而與機床工作

18、 臺面不平行；其二是在夾具與工作臺定位平而z間或者夾具與工件定位平而z間 有鐵屑或灰塵，使渦旋盤壁相對于背后基準平面發(fā)生傾斜。(3) 位置度造成渦旋盤相對于背后基準的位置度誤差可能有兩個因素，一個是機床本 身的定位謀差，二是夾具的定位謀差。夾具的定位誤差表現為兩個方面，其一是 繞z軸的角度謀差，引起了渦旋盤相對于基準坐標發(fā)生了旋轉，這主要是由定位 銷與鍵槽z間的配合間隙引起的；其二是渦旋盤基圓屮心相對于軸承孔屮心發(fā)生 的坐標平移，這部分誤差有可能由于芯軸與內孔z間配合間隙引起的，也有可能 由機床的定位謀差引起。如果是機床的問題，就應該采取補償的方法，或者選用 高定位精度的機床；如果是夾具磨損造

19、成的間隙過大，就應該更換夾具。(4) 動渦旋盤雙面型線對稱度由于動渦旋盤為雙面型線要求有良好的對稱度，用立式加工屮心加工時只 能一面型線加工后加工另一面型線，故需要用專用夾具保證。(5) 平面度保證渦旋盤壁頂部及槽底面的平面度對于提高泵的容積效率，降低機械摩 擦功耗是非常重要的。一般說來，造成平而度超差的誤差原因可能有如下幾個方 機床主軸的軸向竄動； 工件的裝夾變形； 機床縱橫拖板的剛度不足。(6) 表面粗糙度表面粗糙度數值愈小，機械摩擦功耗也相應愈小。當發(fā)現表面粗糙度超差 時，可能由以下因素所造成： 立銃刀磨損； 在刀具刃磨時后角太?。?渦旋盤毛坯材質軟，出現''倒毛現彖；

20、排屑不通暢。3 加工方法與加工精度控制無油渦旋真空泵主要零件是動、靜渦旋盤。渦旋盤的加工精度，特別是渦 旋盤的形位公差有很高要求，端板平面的平面度，以及端板平而與渦旋體側壁而 的垂直度，應嚴格控制。因此，需采用專門的加工方法、加工技術和加工設備。 對工裝夾具、刀具及量檢具有很高的要求。渦旋盤的加工方法可分為展成法與數值逼近法兩種，展成法主要應用于專 機加工，數值逼近法主要應用于加工中心。4 渦旋盤的密封對于無油渦旋真空泵的動、靜渦旋盤而言，良好的密封措施是提高其容積 效率的必要條件。密封主耍是動渦旋盤與靜渦旋盤所形成的齊個壓縮腔z間的密 封。動渦旋盤與靜渦旋盤z間的泄漏可分為渦旋盤壁頂部（軸向

21、）泄漏與壁側（徑 向）泄漏，下面分別介紹減小頂部泄漏與壁側泄漏的途徑。4.1渦旋盤壁頂部密封精密加工動渦旋盤與靜渦旋盤的渦旋盤壁、頂部和底面，使渦旋盤壁高度 尺寸、頂部及槽底面平面度滿足設計要求，保證在流體通過動渦旋盤頂部及靜渦 旋盤頂部的泄漏量為最小。在動渦旋盤與靜渦旋盤的頂部平面上開漸開線螺旋槽，在渦旋槽內恢入渦旋型密 封條來保證兩渦旋盤z間的軸向密封。4.2渦旋盤壁側密封精密加工渦旋漸開線型線輪廓，使渦旋體的壁厚尺寸、渦旋盤的線輪廓度 及渦旋體基圓小心相對于基準的位置度滿足設計要隸。同時合理選擇軸與軸承z 間的間隙，使靜渦旋盤壁與動渦旋盤壁z間有一個最小的徑向密封間隙，以減少 相鄰兩腔z

22、間的泄漏。5 振動和噪音控制根據渦旋真空泵振動和噪聲特性，振動噪聲分布及主要零部件模態(tài)分析， 建議進行以下方面的改進以達到減振降噪效果：第一振動和噪聲屮轉頻特征較為突出，顯然這是運行屮的動平衡問題。因此， 改善曲軸動平衡可有效降低動平衡對振動、噪聲的影響。第二改進主耍零部件結構或材料，使它們的各階固有頻率盡量避開對壓縮機振 動和噪聲貢獻較大的頻率段。第三靠近排氣口的高壓區(qū)振動和噪聲較大，根據消聲器原理改變高壓腔結構， 可有效消聲減振。六無油渦旋真空泵的特點1 無油渦旋真空泵性能優(yōu)越渦旋真空泵的主要優(yōu)點是間隙小、泄漏少，具有較高的壓縮比，在較寬的 壓力范圍內有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；由于壓縮

23、腔容積的變化是連續(xù)的， 因而驅動扭矩變化小，功率變化小，振動噪聲低，可靠性高。這是其它類型的干 式真空泵所不具備的。2 無油渦旋真空泵解決了污染與振動問題由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題，給 用戶造成了不良的影響：生物制品行業(yè)與半導體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題，真空鍍膜 設備的鍍膜工藝小，在2040pa真空條件下鍍膜時，如果應用普通旋片機械 真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設備造成污染，影響成膜質量；環(huán)境污染問題，真空抽氣排岀的油霧蒸汽對環(huán)境有污染；科學儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè)，采用油泵對測試結果將造成不 良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空

24、泵作為前級真空泵的作用也相 當明顯；另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱。3 無油渦旋真空泵使系統(tǒng)制造與運行成本降低為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)屮加冷 阱捕獲油分子；系統(tǒng)運行過程當屮述需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空 泵油。相比z下，無油渦旋真空泵使系統(tǒng)制造與運行成本降低： 第一不需要加冷阱之類捕油機構； 第二不需耍更換真空泵油； 第三振動更小、運行更平穩(wěn)；第四能耗降低； 第五重量更輕； 第六突破了油泵使用范圍的限制。4 無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比的優(yōu)點在現有的無油真空泵當屮，無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比

25、 具有下述特點：無油、無摩擦無磨損，不產生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空； 抽氣量大雙渦旋盤結構，與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍；抽氣效率高帶有個抽氣單元，壓差小，泄漏低；非接觸噪音低，振動?。涣己闷胶怆p渦旋盤結構，良好軸向平衡，振動小，噪音低;結構簡單、緊湊一相同尺寸下，運動半徑小，維修方便，維護費用低； 采用空氣冷卻，無需水冷。七. 無油渦旋真空泵的應用領域無油渦旋真空泵的顯著特點使其能夠被迅速應用到卜述領域：半導體行業(yè)一薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；檢測設備一一真空檢測設備，分析測試儀器；科學儀器一一納米材料制備、光束線、電子顯微鏡；醫(yī)療設備一一牙科儀器、透析機；生物制藥一一材料提

26、純、藥品制備；包裝行業(yè)一一食品、藥品、生物制品等包裝設備。八. 無油渦旋真空泵的使用1 安全注意事項使用前，應當注意無油渦旋真空泵的抽氣范圍（用于抽潔凈氣體。不能抽 有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、化學品、溶劑及粉末等），安裝要求（安裝在 沒有易燃、易爆物品、避南、無蒸汽的安全場所。安裝在水平而上（傾角小于5。）。 周圍無灰塵、無鐵屑、石塊或木塊。一定要安全接地。一定要安裝緊急制動開關。 接線要由合格的電工完成）,工作環(huán)境溫度（540”c）,正確安裝使用（接線 或檢查時必須切斷電源，不能將手指或其他物品放入泵的氣孔或冷卻翅片的間隙 中），正確維修檢驗。2 安裝方法安裝前要認真檢查卜述各項： 檢查

27、確認包裝放置方向正確。 檢查確認產品為訂購的型號。 檢查確認無破損。如有破損，聯(lián)系生產廠家解決。 泵運轉時拆掉進氣口與排氣口法蘭。如果連續(xù)帶法蘭工作，會對泵引起損害。安裝時應注意： 安裝在避用、無蒸汽的場所，避免電擊危險； 安裝在通風良好、隔絕爆炸物、無腐蝕性和易燃氣體及其他有關物體處。 安裝在堅實、平整面上（傾角小于5。），陽光不能直射處。 在規(guī)定環(huán)境溫度范圍540°c內工作。在真空室和進氣口連線上安製截止閥和排氣閥。這些閥用于開關泵時阻止 泵小積存的碎屑被抽回真空室小。開關泵時要先關閉截止閥。連接管路一定要潔 凈。建議使用軟管連接，這樣泵的振動不會傳到真空室。連接排氣管時耍注意管

28、 的長度和尺寸。建議排氣管長不超過15米，內徑25mmo注意泵工作時排氣 管不能堵塞。注意排氣壓力不能超過大氣壓。連線時必須首先斷開電源，有合格的電工連線。泵必須提供外部保護，如 8l/s泵最小電路容量為單相、18a,最大分路電流斷路器容量為15a。一定要 安裝推薦容量的電流斷路器以避免電機燒毀，電線和地線截面積一定要超過 2mm2o否則會引起損害或火災。與電機接線端子連接的電線耍配適當的圓圈形 接頭。一定要接地。否則可能引起電擊或人身傷害。圖7無油渦旋真空泵與被抽真空腔體的連接3 無油渦旋真空泵的操作一干燥氣體泵在初次啟動或者長期不用時達到極限真空需要較長時間。應在關閉進氣 閥狀態(tài)下連續(xù)抽氣

29、68小時，每小時打開進氣閥23次，每次35秒。如 果泵抽水或者高濕度氣體（和對濕度60%）,水汽可能殘留在泵中降低泵的 性能。這時關閉泵與系統(tǒng)z間的截止閥，啟動泵，運轉時打開進氣閥進大氣兒次， 每次35秒，可以將泵中的水汽排出。泵工作時要拆去進氣口法蘭和排氣口法 蘭，否則會對泵有損害。泵啟動和關閉時要關閉截止閥，否則開關泵時泵中積存 的碎屑會被抽冋真空室中。重新啟動泵時,啟動前要開啟進氣閥進大氣35秒， 否則會造成泵中溫度不平衡，導致泵失效。4 無油渦旋真空泵的操作一水汽4.1 抽水汽注意事項 無油渦旋真空泵的維護標準是以抽潔凈氣體為基礎制定的，抽水汽標準不同。因 此要注意下述各點： 抽水汽泵的維護時間間隔必須縮短，因為水汽的溫度、抽除量、抽除頻率和水 汽中物質成份對泵的工作都有影響。 抽水汽時，要在規(guī)定溫度下工作，進氣溫度必須低于50°co當被抽氣體溫度 高于50°c時，應當在真空泵與真空室z間的連接管路上安裝冷卻器或冷阱，以 降低進氣溫度，使z低于50°co進氣溫度高于50°c會對泵造成損害。 抽水汽時要加氣鎮(zhèn)閥，真空泵抽水蒸汽會導致水汽在泵內凝結。凝結的水汽會 引起泵極限真空度降低，或者對泵造成損害。氣鎮(zhèn)閥不僅能抽水汽，述能維持極 限真空。4.2.氣鎮(zhèn)閥的使