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文檔簡介

能量分析器: 是譜儀的核心部分，用以精確測定電子結(jié)合能。能量分析器:有半球或筒鏡分析器。位置靈敏探測器：一種高效探測器，可用于小面積XPS。 E k=h-E b- 式中E k為光電子動能，h 為激發(fā)光能量，E b是固體中電子結(jié)合能，為逸出功 不同溫度處理后不同溫度處理后Pd- SnO2Pd- SnO2薄膜中元素組成薄膜中元素組成 不同溫度下不同溫度下SnO2SnO2和和Pd- SnO2Pd- SnO2膜特征峰膜特征峰SnSn3d5/23d5/2的結(jié)合能的結(jié)合能 TiO2/ SnO2TiO2/ SnO2復(fù)合薄膜表面化學組成及相對含量復(fù)合薄膜表面化學組成及相對含量 TiO2/ SnO2TiO2/ SnO2復(fù)合薄膜表面復(fù)合薄膜表面3#3#樣品的樣品的XPSXPS高分辨圖譜高分辨圖譜 及及C1sC1s測試數(shù)據(jù)測試數(shù)據(jù)濺射前后薄膜表面的濺射前后薄膜表面的T2PT2P圖譜圖譜復(fù)合薄膜表面復(fù)合薄膜表面ArAr+ +濺射濺射300s300s后的后的Ti2pTi2p圖譜及圖譜及Ti2pTi2p測試數(shù)據(jù)測試數(shù)據(jù)TiO2/SnO2TiO2/SnO2復(fù)合薄膜復(fù)合薄膜3#3#樣品的樣品的O1sO1s圖譜圖譜TiO2/SnO2TiO2/SnO2復(fù)合薄膜的復(fù)合薄膜的O1sO1s測試數(shù)據(jù)測試數(shù)據(jù)此課件下載

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