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文檔簡介

1、無塵室管理作業(yè)規(guī)范1. 目的:建立無塵室管理規(guī)則有效管理無塵室之運轉并對生產(chǎn)設備 工具物料 人員進出潔凈衣等管制以確保無塵室之高潔凈度需求與正常運作2. 適用范圍:適用于臺鑫國際股份有限公司無塵室ClassParticle(0.5u)環(huán)境規(guī)格10001000 J23±2oC45珈1000010000J23±2oC55珈100000100000 J23±2oC55±2恥3權責:3.1無塵室管制:生產(chǎn)作業(yè)區(qū)主管或當班負責人員3.2稽核單位:生產(chǎn)作業(yè)區(qū)領班以上或執(zhí)行IPQC稽核人員3.3新進人員(無塵室)作業(yè)說明:人事或制造單位3.4無塵服管理:行政單位4.作

2、業(yè)內(nèi)容:4.1人員進出要求4.1.1資格:a. 甄選無塵室工作人員時,應避免任用對化學溶劑過敏,有煙癮者,手容易出汗或因氣 喘經(jīng)常性咳嗽或打噴嚏者b. 凡進入無塵室人員皆需經(jīng)教育訓練,方可單獨進出無塵室若未經(jīng)合格而需進入者得須由合格人員陪同帶領下,方可進入c. 外賓進入無塵室,務必由各單位主管或指定人員陪同,陪同人員將外賓資料于-廠 商/來賓進入無塵室登記表后方可進入4.1.2無塵服要求:各區(qū)域無塵服穿著如下所示一樓一樓區(qū)域Class無塵服要求訪客區(qū)域Class無塵服要求訪客切割區(qū)100000大衣+四孔鞋大衣+鞋套洗凈區(qū)1000全罩連身衣+長筒鞋+手 套全罩連身 衣+鞋套+ 手套蝕刻區(qū)1000

3、0量測區(qū)1000拋光區(qū)10000包裝區(qū)10004.1.3進入注意事項:a. 作業(yè)人員進入 Class 1000無塵室不可化妝,包含口紅、粉、眼影,香水等。b. 無塵室(含更衣室)嚴禁攜帶或使用香煙、打火機、食品、口香糖及化妝品等。c. 臨時攜入之文件允許使用一般紙張。d. 抽煙后,15分鐘內(nèi)禁止進入無塵室(Class 1000)e. 禁止攜入木質(zhì)用具或易產(chǎn)生粉塵材質(zhì)之用具,例如鉛筆,橡皮擦、立可白等。f. 凡是攜入一般用具、物品皆需于更衣室中用IPA擦拭,以確保所入物品不會造成微塵污染。g. 非經(jīng)事先核準,無塵室內(nèi)嚴禁攝影,錄像等,若經(jīng)核準,務必由各單位主管陪同。g.外套,私人物品放置于個人鐵

4、柜。h人員及攜入之物品,需在經(jīng)過空氣洗塵室以空氣洗塵。 4.1.4進入程序:人員進入無塵室之程序如下。a. 脫鞋置于換鞋柜中,進入更衣室。b. 檢查,擦拭所攜帶之物品。c. 更衣程序:連身全罩式半套式1. 穿戴發(fā)。2. 至自己所屬之衣架處(依部門別/序號別)取無塵衣。3. 以雙手抓住無塵衣之下跨開口處,由頭頂套入,再將雙手 及雙腳套入袖口,拉好下跨拉鈾煉。4. 確實將發(fā)帽入頭套內(nèi)。5. 至自己所屬之鞋柜處取無塵鞋或鞋套(無塵衣褲管需扎入無塵鞋中)。6. 穿戴口罩,鋼絲線朝向上方,綠色外沿朝外,以手指壓口 罩鋼絲部份,以便口罩和鼻梁密合。7. 戴PVC手套:穿戴前先前配帶電環(huán) (見4.1.5動作

5、),再將PVC 手套上自己雙手,手套需確實扎入無塵衣之袖口中,不可邊走邊穿戴手套。8. 檢視儀容,特別注意頭發(fā)有無外露,口罩是否緊貼鼻梁。1. 同左1.2. 同左2.3. 穿上大衣式無塵衣d. 經(jīng)洗塵室洗塵后方可進入無塵室,洗塵時間為20秒以上,每次最多以兩人為限。e. 洗塵室:站立于空氣洗塵室內(nèi), 雙手擺動,旋轉身體至空氣洗塵結后,始可開門離開洗塵室。f. 著無塵服時不可離開無塵室區(qū)域(含更衣)以外。4.1.5離開無塵室:a. 經(jīng)由洗塵室離開無塵室,禁止人員從旁安全門出入。b. 將無塵衣置于自己的衣架上 (衣架懸掛方式:將衣架子兩邊夾至雙肩,掛上衣架),無塵鞋置于鞋柜中。c. 乳膠手套、口罩

6、、發(fā)帽、鞋套等視使用情況可重復使用(針對經(jīng)常性進出人員),并將其無塵服一同擺放整齊,原則上每雙乳膠手套使用8小時,口罩為8小時,發(fā)帽與鞋套為一周后丟棄、更新之。d. 不用之乳膠手套、口罩、發(fā)帽、鞋套等一律丟入垃圾桶內(nèi),不可到處擺放。4.1.6潔凈事項a. 無塵室每日例行清潔(5S)與垃圾處理工作,原則上由生產(chǎn)制造單位執(zhí)行之b. 無塵室每周地板清掃(吸塵器)工作,原則上由行政部委外執(zhí)行之。c. 無塵衣、鞋汰舊換新:(1)無塵衣使用大于三年時,必需予以丟棄。(2)無塵衣破損修補超過三次時,必需予以丟棄(3)因工程施工,而嚴重污染時,予以丟棄。4.1.7無塵衣、鞋送洗分派:a. 頻率:原則上每周統(tǒng)一

7、送洗一次 (各單位可視個人使用狀況調(diào)整延長 ),行政單位提供整理箱 (依部門別)由使用者自行提出清洗需求, 若遇有緊急逃生緊急施工等狀況時, 得視需要加強清 洗頻率。b. 無塵衣、鞋送洗送洗作業(yè):無塵衣、鞋依編號管理之,送洗時使用者自行投入整理箱,并登記于無塵服送洗作業(yè)登錄表中行政單位人員依據(jù)登錄之.記錄清點量;清洗回廠時仍需包裝在同一整理箱或塑料袋中,無塵衣名牌需朝外,字體清晰可見,由行政單位人員清點確認。4.2 無塵室管理注意事項 :4.2.1 秩序要求事項:a. 任何門戶應需隨時保持關閉b非因工作上需要,不得坐于地板之上。c. 嚴禁以身體依靠機臺、墻壁、工作桌,Cassette推車站立。

8、d. 面對工作桌及 Cassette時盡量少講話,面向機臺時請注意肢體動作。e. 嚴禁快速走動或追逐(緊急警報響除外)f. 遵守無塵衣之穿著規(guī)定。g. 于工作區(qū)內(nèi)盡少通私人電話,公事電話亦以簡短為宜。h. 無塵室用之貨架,推車,垃圾桶等應放置于固定位置。i. 生產(chǎn)流程單書寫應于工作臺上,禁止于Cassette上蓋板之直接撰寫。j. 無塵室內(nèi)可允許之人員數(shù)目超過規(guī)定數(shù)目時(生產(chǎn)作業(yè)區(qū)主管判定之),將暫不允許人員再進入無塵室。k. 非經(jīng)許可,請勿擅自使用化學藥劑。l. 非經(jīng)許可,請勿擅自攜出機臺操作手冊。4.2.2 安全衛(wèi)生注意事項:a. 無塵室內(nèi)發(fā)現(xiàn)異狀(不明之聲音、煙蒂,溶液及味道)應迅速反應

9、至值班之主管。b. 火警報響時,應迅速呼叫同伴從安全門撤退,并立刻設法與廠務部及消防單位聯(lián) 絡。c. 身體不適時應立刻通知主管。d. 同一區(qū)域不能單獨一人作業(yè),設備維修必需至少兩人(含)以上以維護個人安全。4.2.3 運轉設備:a. 設備應選發(fā)塵量少,表面不易積塵之設備。b. 真空幫浦(Pump),馬達皮帶等容易產(chǎn)生污染物質(zhì)之設備應盡量裝于無塵室外,但若需裝設在 無塵室內(nèi)時,應有適當?shù)母采w或局部的排氣。c. 設備安裝位置及連接管路,應考慮容易清掃為原則。d. 磨耗之機件,皮帶等,容易產(chǎn)生塵粒,故要定期更換。e. 無塵室內(nèi)使用之工具,原則上要作為無塵室專用,除特別理由不得攜出無塵室。4.2.4

10、維修或施工注意事項:a. 嚴禁切削工程,如有必要,需先作防護措放(以真空吸塵器,塑料布鋪于地板上)方可進行。b. 工程施工后,需清潔施工處周遭環(huán)境,使用過之工具,垃圾不任意丟棄。c. 禁止使用砂紙、木材、鉛筆和橡皮擦等易造成污染之工具。d. 大范圍施工或破壞性施工時,應以隔板隔離施工區(qū),并明確標示施工中字樣之告示牌。4.2.5 生產(chǎn)機臺周遭:a. 為防止產(chǎn)生影響制程之氣流擾亂,不可在機臺作業(yè)區(qū)氣流之上放置物品或其它作業(yè)。b. 避免不必要之動作,以防止亂流及微塵污染。c. 掉落地上之物品若為消耗品則禁止使用,如需繼續(xù)使用則需先經(jīng)酒精或IPA清潔干凈方可使用,機臺每日操作前應有清潔之動作。4.2.

11、6 設備、機臺、用具和原料進入:a. 大型機臺或用具由可拆封板或安全門進入外,其余一般用品和人員由更衣室進入。b. 由可拆封板或安全門進入之大型機臺或用具,需在走道上將包裝部份拆除并以酒精或IPA擦拭干凈再行搬入。c. 經(jīng)由更衣室進入之物品,需在經(jīng)無塵布沾酒精或IPA擦拭后才可進入空氣洗塵室。4.2.7 化學藥品a. 化學藥品置放于固定地點,使用后應立即加蓋,避免外泄,發(fā)生危險或影響工作。b. 化學藥品容器,應有明確之中 /英標示,標示不可擅自涂改,更不可私自更換容器包裝,以免誤用.C.化學藥品不可擺放在機臺上,貨架上d. 不清楚的化學藥品不可自作主張 ,擅自處理,以免發(fā)生危險e. 有機化學藥

12、品與酸性化學藥品不可混合以免危險f. 有關化學藥品的處理問題,請依工業(yè)安全衛(wèi)生規(guī)定辦理 .4.3 無塵室 5S 管理作業(yè)4.3.1 無塵室中未經(jīng)主管指定 (認可)之位置 ,不可任意于機臺 ,工作桌/椅,等任何一處張貼字條 ,告 若同意張貼時應注意工整美觀 .4.3.2 推車 :a. 推車輪軸損壞應立即停用并送修 .b. 無塵室外推車要進入無塵室前必須以IPA擦拭油污及污染物。c. 推車非貨架,不可長時間堆放玻璃或其物品而未處理。4.3.3 氮氣柜及置物柜a. 設置位置應避開狹窄信道陳設應整齊、清潔,且注意是否在門的開關回旋范圍內(nèi)。b. 不可堆棧二層以上,亦嚴禁突出于邊緣之外。c. 損壞之氮氣柜

13、及置物柜應立即停止使用并送修,以防止意外發(fā)生。4.3.4 工作機臺、桌、椅、梯:a. 工作桌應放置于定位,不可隨意挪移。b. 損壞之桌、椅,應立即停用并送修,以防止意外發(fā)生。c. 非工作上必要不得坐在工作桌上,或站在工作椅上。d. 工作椅不用時應緊靠工作桌或置于旁邊角落,盡量不阻礙通道。e. 紙張、無塵布不可堆置于工作桌或機臺上。f. 廢棄之紙張,無塵布一律丟棄于垃圾筒內(nèi)。4.3.5 垃圾桶a. 垃圾不可在無垃圾桶的位置堆放,否則應申購放置垃圾桶,設置垃圾桶后不可任意移動或挪 作它用,若有損壞應立即停用并送修,垃圾桶外觀應保持簡潔外觀。b. 流體物質(zhì)不可傾倒于垃圾桶內(nèi)。c. 垃圾桶設置位置,應

14、于人員進出方便,且垃圾產(chǎn)生量較多的區(qū)域,并以邊緣、角落為宜。4.3.6 門:a. 無塵室所使用的門除進出之外,應維持關閉狀態(tài),外觀臟污時應立即派員擦拭干凈。b. 禁止用接觸地面的工具,腳,接觸,踩或踢門,若有損壞時應即刻通知主管處理。4.3.7 電線,插座,蛇管:a.機臺之管線應用束線帶束緊,固定于墻角或不防礙通行之角落。b 施工時有電線的部份,應不使之散落或交錯放至道上。c. 使用插座時應確定所使用工具之電壓與插座電壓是否相同。d. 注意電線部份不可用腳踩踏。4.3.8 文件數(shù)據(jù):a. 需置于指定位置,不可任意放置,使用后需立歸回原位。b. 內(nèi)容不可徑自書寫,涂改或作它記號。c. 需注意管制文件隨時保持最新版本。d. 過期之舊版本需實時取出,轉交回文件管制中心集中處理。e. 工作記錄表填寫應確實,清晰,不可潦草或不易辨認。f. 工作記錄表更改,應將錯誤數(shù)據(jù)上方以一單棋線劃去,更新數(shù)據(jù)

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