Alicat質(zhì)量流量控制器操作手冊(cè)

1、氣體質(zhì)量流量控制器操作手冊(cè)精品10/26/2005 Rcv.4 DOC-AL1MAN16C保護(hù)你的權(quán)益和延長你的產(chǎn)品使用壽命設(shè)備應(yīng)用的注意率項(xiàng)請(qǐng)不要隨意拆卸，替換部件，或者執(zhí)行未經(jīng)認(rèn)可的修正。這樣會(huì)使產(chǎn)品失去保修。本設(shè)備無 用戶可維護(hù)部件，并且只能由廠家授權(quán)方維護(hù)或維修。不要在易爆，潮濕或腐蝕的環(huán)境下使用此產(chǎn)品。不要用于任何腐蝕性的氣體，例如：氨，丙烯，HCI, SC?, H,S, NO?, NO,硅烷，氯， 等等不要在流動(dòng)氣體，當(dāng)水蒸汽凝結(jié)成水，并堵塞產(chǎn)品內(nèi)部的條件下使用此產(chǎn)品，這樣會(huì)造成壓 力傳感器的破壞不要使用一個(gè)量程范圍超出實(shí)際測量值很多的流量計(jì)，例如，不要把1000升的t程用在100

2、 升的應(yīng)用上，這樣會(huì)導(dǎo)致流量計(jì)達(dá)不到理想的精度。判斷你的流量計(jì)量程，確定工況流量是流量計(jì)滿量程的70%左右。設(shè)備安裝的注意事項(xiàng)不要快速的切斷/開啟閥，那樣會(huì)致使流量計(jì)處在瞬時(shí)的高壓下一（尤其重要的是低流量 （50SCCM和更低）和小流量的流量線路），因?yàn)槟菢幽茉斐刹顗簜鞲衅鞯膿p壞。在固定或移動(dòng)配件時(shí)，不要讓控制器的閥門處于受力狀態(tài)一閥門是一個(gè)精密設(shè)備，任何閥 徑的扭曲都會(huì)影響產(chǎn)品的控制性能。不要讓流t控制器的外殼置于任何液體中，因?yàn)楸井a(chǎn)品不具有防水的電氣外殼。保證電源具有正確的正負(fù)極，電壓和電流確保在使用一個(gè)DC61或其他鈍切電纜時(shí)，在通電之前請(qǐng)仔細(xì)檢妾你的接線線路。如果可能的話，請(qǐng)確保在設(shè)備

3、的前端使用一個(gè)2050微米）過濾系統(tǒng)（設(shè)備操作的建議確保質(zhì)量和體積流量計(jì)的標(biāo)定介質(zhì)與測量介質(zhì)一致。確?？紤]到了當(dāng)改變測量氣體或測混合氣體時(shí)，會(huì)減小質(zhì)量和體積流量計(jì)的精度，和出現(xiàn)無 法預(yù)測的結(jié)臬。請(qǐng)查看手冊(cè)中關(guān)于校正附備氣體粘度的指示。確保設(shè)備不要使用在高壓，或高背壓的環(huán)境中。通常使用在1075 PS1G (0.66-1 bar)的壓 力下。不可超過此壓力，否則測量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，并且還會(huì)給儀表造成損害。確保詼備經(jīng)常復(fù)位，在復(fù)位的時(shí)候，應(yīng)該確保此時(shí)絕對(duì)沒有流量通過。(控制器將在設(shè)定點(diǎn) 為零的時(shí)候鹵動(dòng)復(fù)位)確保產(chǎn)品使用在150PSIG壓力下。對(duì)于壓力表和壓力控制器，產(chǎn)品的壓力應(yīng)該在其滿量程 之內(nèi)。產(chǎn)品

4、特別指定，在低壓使用時(shí)可能會(huì)減小耐壓極限。確保產(chǎn)品在最佳性能下運(yùn)行確?？梢哉{(diào)節(jié)你的控制器P和D閥參數(shù)建置，以便適應(yīng)您的系統(tǒng)要求，注意調(diào)節(jié)前的最初 詼置永遠(yuǎn)不要在沒有壓力的情況下，來設(shè)置控制器的非零的設(shè)定點(diǎn)。這樣的活，控制器會(huì)給閥門 梃供一個(gè)滿電壓，來達(dá)到這個(gè)詼定點(diǎn)。這樣會(huì)使閥門變得非常熱而永久損壞確保垠據(jù)你的盅新校準(zhǔn)表來使用產(chǎn)品如果您有問題請(qǐng)聯(lián)系我們。我們樂意為您提供幫助!北京頗特儀器有限公司聯(lián)系電話：01064424033、轉(zhuǎn)28分機(jī) 技術(shù)部目錄頁數(shù)安裝5管道詼備5裝配5應(yīng)用5電源和信號(hào)連接6輸入信號(hào)7模擬輸入信號(hào)7RS-232數(shù)字揄入信號(hào)7輸出信號(hào)7RS-232數(shù)字輸出信號(hào)7標(biāo)準(zhǔn)（P5Vd

5、c）電壓輸出信號(hào)8選項(xiàng)（MOVdc電壓輸出信號(hào)8選頂（420mA）電流輸出信號(hào)8選項(xiàng)第2路模擬輸出信號(hào)8氣體質(zhì)量流量控制器操作說明10主模式10詼定點(diǎn)10氣體絕對(duì)壓力10氣體溫度10體積流量11質(zhì)量流量11閃爍報(bào)警信息11選擇菜單模式11控制設(shè)定點(diǎn)模式12輸入12回路13選擇回路13氣體選擇模式14通信選擇模式15部件1D15波特率15數(shù)據(jù)速率15廠家數(shù)據(jù)模式16目錄頁數(shù)氣體體枳流i控制器操作說明17主模式17體積流量17詼定點(diǎn)17閃爍報(bào)錯(cuò)信息17選擇菜單模式18控制箕定點(diǎn)模式18揄入18選擇回路19氣體選擇模式20通信選擇模式20廠家數(shù)據(jù)模式20RS232輸出和輸入20超級(jí)終端的使用和設(shè)置2

6、0切換流模式到輪循模式20通過RS232發(fā)送詼定點(diǎn)21通過RS232線纜調(diào)節(jié)比例和導(dǎo)數(shù)條款22選擇一種氣體23數(shù)據(jù)格式24RS232通訊協(xié)議基本結(jié)構(gòu)25Alicat質(zhì)量流量控制器的設(shè)定點(diǎn)輸入方式切換26操作原理27常見問題及技術(shù)支持28標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表30氣體質(zhì)量流量控制器和體枳流量控制器性能指標(biāo)32氣體質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器尺寸團(tuán)36選項(xiàng)：累計(jì)模式39選項(xiàng)：9V電池包40選項(xiàng)：本地設(shè)定點(diǎn)模塊42選項(xiàng)：高溫選項(xiàng)43附件:FlowVision軟件44附件說明45感謝您購買ALICAT氣體流量控制罪。請(qǐng)仔細(xì)查找和閱讀該操作手冊(cè)。這樣會(huì)幫助您更好地 使用ALICAT產(chǎn)品。該手冊(cè)介紹了以下Ali

7、cat的產(chǎn)品：16位氣體質(zhì)量流量控制器16位氣體體積流量控制器安裝管道設(shè)備所有ALICAT氣體流量控制器，進(jìn)口和出口都是內(nèi)螺紋連接。由于流量計(jì)在流量主體中安裝 了一個(gè)層流元件，因此流量計(jì)的前端或后端無須是直管道。迸口和出口尺寸相同，并且是同 軸對(duì)稱。通常說來，端口大小和尺寸根據(jù)量程的不同而變化。配有1032端口的控制器，有“Q”型環(huán)面密封，無須其他的密封劑和膠帶。注意不要在端 口上面使用密封劑或粘稠物，因?yàn)楫?dāng)這些化合物進(jìn)入流量計(jì)時(shí)，會(huì)致使流量計(jì)永久性的損害。 當(dāng)使用螺紋密封時(shí)，逋常采用特伏龍密封膠帶，來防止螺紋周邊的泄漏。當(dāng)使用密封膠帶時(shí)， 避免殘留在第一個(gè)牙或第二個(gè)牙上，這樣降低密封帶碎片進(jìn)

8、入氣流的可能性(它會(huì)使流量計(jì) 損壞)。當(dāng)更換配件時(shí)，一定要先清除蝶紋外部的任何密封帶，否則它們可能會(huì)松落，并進(jìn) 入氣流中。此外，推薦在滿量程為1 (S) LPM,或者低于1 (S) LPM的控制器前端管路中，安裝一個(gè) 20微米過濾器，或者在清量程為1 (S) LPV以上的控制器的前姥管路，安裝一個(gè)50微米的 過濾器。裝配所有ALICAT氣體流量控制器，都帶有方便安裝在平坦的面板上的裝配孔。在手冊(cè)的36到 38頁說明了這些孔的尺寸大小。小閥門控制器對(duì)位置通常是不敏感的。大閥門控制器對(duì)于 位置有些敏感，因?yàn)橛捎陂y門是由相當(dāng)厚重的柱體裝置而成的。推薦閥門柱體要豎直安裝。 如果大閥門安裝的位置與推薦位

9、置不同，這時(shí)給控制器一個(gè)零設(shè)定值，當(dāng)彈管力關(guān)閉閥門的 時(shí)候，容易會(huì)產(chǎn)生泄漏。應(yīng)用允許最大的在線操作壓力為150PSIG (1000kPa)o注意：超過165PSIA在線壓力時(shí)，會(huì)導(dǎo)致固態(tài)差壓傳感器永久性的損壞。如果在線壓力高于125PSIG (862kPa),應(yīng)當(dāng)在流量控制器的前端管路中，安裝一個(gè)壓力調(diào) 節(jié)器，使壓力降低到125PSIG (862kPa),或更低壓力。我們控制器的許多類型都是根據(jù)廣 泛咨詢題客的特殊應(yīng)用才設(shè)計(jì)出來的。根據(jù)應(yīng)用的不同，兩個(gè)控制器會(huì)有相同量程，但是型 號(hào)會(huì)有所不同?？刂破鲝囊粋€(gè)應(yīng)用領(lǐng)域到另一個(gè)時(shí)，應(yīng)該仔細(xì)測試它在新應(yīng)用中的適應(yīng)性。 注意體積流量計(jì)和控制器不適合應(yīng)用在

10、高壓或高背壓的環(huán)境中。通常都應(yīng)用在1015 PSIG(0.66Tbar)的壓力條件下。不可超過此壓力，否則測量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，而且還會(huì)給僅我造成損害電源和信號(hào)連接如圖1所示，ALICAT控制器通過電源插座，或者的8針Mini-DIN連接器來供應(yīng)電源。如 下面的注釋，用一個(gè)適配器來使交流轉(zhuǎn)換為直流電壓和電流。電源插座配有正極為2.1mm 的凹漕電壓插頭。電纜和直流/交流適配罪可從制造廠家購買（首45頁配件），或者由當(dāng)?shù)?的制造商制造。通過Mini-DIN連接器供應(yīng)電源,如下面所示：小型閥門：如果你的控制器使用小閥門（大約是你的拇指大?。瑒t需要一個(gè)12-18Vdc （標(biāo)準(zhǔn)的68歐姆閥門線圖）或19-

11、28Vdc （選項(xiàng)為136歐姆閥門線圈）帶有2.1 mm正極凹槽插頭，同時(shí)須配有300mA電流的電源供應(yīng)。注意：20mA輸出模式時(shí)，電源要求至少 15Vdc0大型閥門:如果你的控制器使用一個(gè)大型閥門（大約你拿頭的大?。?，需要一個(gè)24-30VDC 帶有2.1 mm正極凹槽插頭，配有750mA的供應(yīng)電流的電源供應(yīng)。針數(shù)功能Mini-PIN線纜顏色1420mA輸出信號(hào)或無用黑色25.12Vdc或第二路模擬輸出（4-20mA,5VdcJOVdc）或報(bào)警褐色3RS-232輸入信號(hào)紅色4模擬詼定點(diǎn)輸入信號(hào)橙色5RS-232輸出信號(hào)黃色60-5 Vdc (或(MOVdc)揄出信號(hào)綠色7電源正極輸入（如上所述

12、）蘭色8地線（公共端）紫色注解：上面的針檢出說明，應(yīng)用在所有的使用Mini-DIN連接器的流量計(jì)和控制翳上。 不同輸出信號(hào)的實(shí)用性，決定于流量控制器的選項(xiàng)預(yù)定。表中帶下劃線的選項(xiàng),為儀表標(biāo)準(zhǔn)單上注明的可選配置0 1通用8針Mini-DIN連接-針口注意：禁止連接電源到16針上以免造成永久的損壞！輸入信號(hào)模擬輸入信號(hào)如圖1, 4針連按模擬輸入信號(hào)標(biāo)港信號(hào)0-5Vdc：標(biāo)準(zhǔn)模擬輸入信號(hào)是05Vdc,除非訂購其它輸入方式。在4針上接0-5Vdc 的輸入信號(hào)，8針上按其公共地線端。在2針上有一個(gè)5.12VDC的電壓揄出，然后通過一個(gè) 50K歐姆的電位計(jì)，將轉(zhuǎn)換的模擬輸入信號(hào)再返回到4針，這樣就構(gòu)成一個(gè)

13、可調(diào)節(jié)的P5Vdc 輸入信號(hào)源。如圖所示：50 KOhm Potentiometer圖2.后控制器設(shè)定的簡單方法可選信號(hào)0-10Vdc：如果訂購時(shí)選用此模式，則把（MOVdc輸入信號(hào)接到4針上，公共地線 端接到8針上?？蛇x信號(hào)420mA:如果訂購時(shí)選用此模式，則把率20mA輸入信號(hào)將接到4針上，公共地 線接到8針上。足麥：4-20mA的輸出模式要求至少由15Vde的電源供應(yīng)。RS-232數(shù)字輸入信號(hào)如果你使用RS-232輸入信號(hào)，按圖2所示，必須把RS-232輸出信號(hào)（5針），RS-232輸入信 號(hào)（3針），和地線（8針）接到你的計(jì)算機(jī)串行口上。連接電纜可以使用廠家制造的，或采 用本地制造商制

14、造。在圖3中，注意圖表顯示的連接“端口”界面圖，連接器在流量計(jì)的上 部，DB-9型端口在計(jì)算機(jī)的背部。電纜終弊和圖3成鏡象顯示（見20頁的RS-232輸出和 輸入的詳細(xì)說明） 輸出信號(hào)*注意*回顧圖1的針輸出類型表格（pagc6）。通常容易誤將2針（5.12Vdc輸出參考電壓） 作為標(biāo)準(zhǔn)的0-5 Vdc的模擬輸出信號(hào)！實(shí)際上2針只是普通的恒定的512Vde電壓，它反映 的是系統(tǒng)總電壓，也可以作為輸入信號(hào)的電源。允許用戶通過一個(gè)50K歐姆電位計(jì)控制輸 出，然后返回模擬詼定點(diǎn)針口，這樣就構(gòu)成一個(gè)0-5Vdc的設(shè)定電源。RS-232數(shù)字輸出信號(hào)如果你使用RS-232輸出信號(hào)，按圖2所示，必須把RS-

15、232輸出信號(hào)（5針），RS-232輸入信 號(hào)（3針），和地線（8針）接到你的計(jì)算機(jī)串行口上。連接電纜可以使用廠家制造的，或根 據(jù)采用本地制造商制造。在圖3中，注意圖表顯示的連接“端口”界面圖，連接器在流量計(jì)的上部，DB-9型端口在計(jì)算機(jī)的背部。電纜終端和圖3 成鏡象顯示（見20頁的RS-232輸出和輸入的詳細(xì)說明）標(biāo)準(zhǔn)（05Vdc）電壓墻出信號(hào)所有的AUCAT流量控制器的6針上都具有0-5Vdc的（選項(xiàng)O-lOVdc）輸出信號(hào)。這個(gè)通常 也是其他的訂購命令的輸出選項(xiàng),電壓對(duì)應(yīng)量程范圍：零流量時(shí)對(duì)應(yīng)O.OlOVdc,滿量程時(shí)刻 應(yīng)5.0Vdc。輸出電壓在整個(gè)量程過程中呈線性的。接地端為信號(hào)的公

16、共端8針。選項(xiàng)（MOVdc電壓輸出信號(hào)如果你的流量計(jì)訂購的是O-l（）Vdc輸出信號(hào)，它將會(huì)連接在6針上。（根據(jù)隨流量計(jì)一起的 校準(zhǔn)數(shù)據(jù)表，確定您訂貨時(shí)所選擇的輸出信號(hào)。）此電壓對(duì)應(yīng)量程為：零流量時(shí)對(duì)應(yīng)O.OlOVdc, 和滿量程時(shí)對(duì)應(yīng)W.OVdco輸出電壓在整個(gè)量程過程中是星線性的。此信號(hào)的地線公共端在 8針上。選項(xiàng)（420mA）電流輸出信號(hào)如果你的流量計(jì)訂購的是4-20mA電流輸出信號(hào)，它將會(huì)連接在1針上。（根據(jù)隨流量計(jì)一 起的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)表，確定您訂貨時(shí)所選擇的輸出信號(hào)）。電流信號(hào)為零流量時(shí)對(duì)應(yīng)4mA,清量 程時(shí)對(duì)應(yīng)20mA。輸出電流在整個(gè)過程中都是線性的。信號(hào)的地線在公共端8針上。（電流

17、輸出要求由15-3OVdc電源供應(yīng)）。注意：這是電流源設(shè)備，不要把此設(shè)備連接到“電壓回路”（kwppserud）中去。選項(xiàng)第2路模擬輸出信號(hào)您可以在訂購的同時(shí)在2針上指定第2路輸出選項(xiàng)。（根據(jù)隨流量計(jì)一起的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)表，來 確定您訂貨時(shí)所選擇的輸出信號(hào)）。此輸出可能是05Vdc, 0-10Vdc,或420mA模擬輸出信 號(hào)，并且輸出信號(hào)可以表示任何測量參數(shù)。通過這個(gè)選項(xiàng)輸出，體枳流量計(jì)能夠輸出35Vde （在6針上）和冬20mA （在2針上）的體積流量，或者質(zhì)量流量計(jì)可以輸出質(zhì)量流量（0-5Vdc在6針上）和絕壓（05Vdc在2針上）。注意：這是電流源設(shè)備。不要把此設(shè)備連接到“電源回路”（k“p

18、pswrud）中。;IOPrp(W 1nrmn-號(hào) Unit Am UnitB號(hào) Unite *工.i_ Yellow ,h ，江10pw上: Y2l!0N 11asI 1k 鬻1，pw!V IB c:對(duì).1JIfIIaL T *115Female Serial Cabe FrontOo/針功能電纜廄色碼1電源輸入（+）紅色2RS-232信號(hào)輸出藍(lán)色3RS-232輸入信號(hào)白色4模擬輸入信號(hào)綠色一 3地線（電源、通信和信號(hào)的公共端）黑色6信號(hào)輸出（訂購確定電壓或電流）褐色一個(gè)工業(yè)選項(xiàng)連接器也同樣采用:0 5 選項(xiàng)工業(yè)連接器0 4典型多傳道（可設(shè)地址）連線結(jié)構(gòu)注意：所有訂購工業(yè)連接器的流量計(jì)和控制

19、器上，都可應(yīng)用到上面的針輸出。不同輸出信號(hào) 的應(yīng)用取決干訂購時(shí)的功能選項(xiàng)。AUCAT氣體質(zhì)量流量控制器操作說明ALICAT質(zhì)量流量控制器可以提供多種有用的測量參數(shù)，是一種簡單、耐用的食備。AL1CAT 根據(jù)訂購的型號(hào)，有多種顯示“模式"（MQDE）。所有ALIC AT控制器都具有默認(rèn)的主模 式，菜單選擇模式，控制詼定模式，氣體選擇模式（氣體選擇模式不能用于用戶特定的氣體, 或者混合氣體），傳輸選擇模式和標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)模式。另外，您的設(shè)備還可以指定累計(jì)模式（39 頁），只要接通電源，設(shè)備就會(huì)出現(xiàn)默認(rèn)的主模式。主模式（Main Mode）接通電源后，初始界面顯示的是質(zhì)量流量計(jì)的主模式。如圖6所

20、示，在主模式上顯示以下的參數(shù)。選擇的氣體類型顯示在流量單位的下面。+22.73Set Pt. 0 .000PSIO +13.49+0.000MASS seen AirMa £ n+0.000Uci 1 urfie+0.000MODE圖6 MS系列流量控制器主模式顯示“MODE”功能鍵在顯示屏的右下角，用于在模式之間的切換。詼定點(diǎn)（Sul Pt）詼定點(diǎn)顯示在顯示屏的右上角。在主界面中，設(shè)定點(diǎn)不可以調(diào)節(jié)的。如何改變?cè)O(shè)定點(diǎn)，請(qǐng)查 看“控制設(shè)定點(diǎn)模式工氣體絕對(duì)壓力（PSIA）ALICAT流量控制器采用一個(gè)絕壓傳感器，來測量被測氣體的在線壓力。此傳感器可以用于 低真空，并且在低于或高于一個(gè)大氣

21、壓下都可以精確讀數(shù)。此參數(shù)顯示在左上角動(dòng)態(tài)標(biāo)將 “PS1A”的下面。通過按動(dòng)動(dòng)態(tài)標(biāo)怨上面的按鈕，可將參數(shù)移動(dòng)到主顯示上。絕壓的工程 單位為磅/立方英寸（PSIA）o絕壓的讀數(shù)減去當(dāng)?shù)氐拇髿鈮杭礊楸韷?，其公式為?PSIG=PSIA-（當(dāng)?shù)氐拇髿鈮簭?qiáng)（默認(rèn)情況下為14.7 PS1）流量控制器通常采用氣體絕壓來計(jì)算質(zhì)量流量。如果轉(zhuǎn)換為公制，iPSI=6.89kPa氣體溫度（TEM） :AL1CAT流量控制器，使用溫度傳感器來測量被測氣體的在線溫度。溫度顯示的工程單位是攝氏度（SC）o流量控制器利用氣體溫度參數(shù)來計(jì)算質(zhì)量流量。此參數(shù)在顯示屏的正中上方，且在標(biāo) 示為“°C”的下面。按動(dòng)標(biāo)卷“

22、°C”上方的按鍵（中上方），則此參數(shù)可移動(dòng)到主顯示上。體積流量（Volume）:體枳流量是根據(jù)第26頁所描述的流量測量操作原理確定的。此參數(shù)顯 示在左下角標(biāo)卷（Volume）的上面。通過按動(dòng)標(biāo)卷“Volume"（左下方）的按犍，可將體枳 流量顯示在主顯示上。為了精確的測量體枳流量，必須選擇測試氣體的種類（詳見氣體選擇 模式），這是非常重要的。因?yàn)榛涫歉鶕?jù)被測氣體在測量溫度下的粘度值來計(jì)算流量。在 流量計(jì)的計(jì)算中，如果測量氣體不是所選擇的，則其粘度假是不正確的，將會(huì)導(dǎo)致輸出結(jié)果 也是不精確，且與兩種氣體的粘度值成正比關(guān)系。質(zhì)量流量（Vass曰。）:質(zhì)量流量指的是標(biāo)準(zhǔn)的溫度和

23、壓力狀態(tài)（14.696 PSIA和25）下的 體積流量。參數(shù)顯示在正中下方，并且顯示在標(biāo)示為“Mass”的正上方。通過按動(dòng)標(biāo)卷“Mass” 下方的按鍵（中下方），可將質(zhì)t流量顯示在主顯示?？刂破鞅阌盟鶞y出溫度和絕壓，來計(jì) 算氣體在一個(gè)大氣壓和溫度為25的狀態(tài)下的流量。這就需要一個(gè)冏定參考點(diǎn)，來與其他 流量對(duì)比。閃爍報(bào)錯(cuò)信息（Flashing Error Message）:我們的流量計(jì)和控制器，當(dāng)在傳感器的測量值超出 量程時(shí)，會(huì)顯示報(bào)錯(cuò)信息（MOV=量超量程，«）=體積超t程，POV=壓力超量程，TQV= 溫度超量程）。當(dāng)任何一項(xiàng)顯示閃爍的時(shí)候，則顯示的參數(shù)和質(zhì)量流量測量都是不精確的。

24、 若減小所指出的閃爍參數(shù)值，可使設(shè)備恢復(fù)到正常的狀態(tài)和精確度。選擇菜單模式（Select Menu Mode）一旦按動(dòng)按犍“MODE”,則會(huì)顯示“Select Menu”（選擇菜單），按下笈接近您的選項(xiàng)的按 鍵，進(jìn)入相應(yīng)的屏幕顯示。再按下“MQDE”按鍵則返回主菜單模式。（注意：如果您的控 制罪預(yù)定了累計(jì)模式選項(xiàng)（見42頁），按下“MODE”按犍則會(huì)顯示“Totalizing Mode”累 計(jì)模式，第二次按下“MQDE”按犍才會(huì)顯示Select Menu"選擇菜單。）OODGas ControlSelectSELECTMENUComm. Nf9.RS-232 Data Menur ）

25、 ）（MopEJ團(tuán)7選擇菜單顯示控制設(shè)定點(diǎn)模式（Control Setup Mode）按下顯示屏上標(biāo)卷“Control Setup”上面的按鍵，進(jìn)入控制設(shè)定點(diǎn)模式（如圖7所示），在此 模式下，設(shè)備允許用戶設(shè)置大部分與PID控制有關(guān)的參數(shù)。流量控制器允許用戶選擇用何種方式把劭定點(diǎn)的值傳達(dá)給控制器，本 地控制方式如何調(diào)節(jié)設(shè)定點(diǎn)，和P1D控制回路的比例、微分項(xiàng)控制回路調(diào)節(jié)。按“UP”和“DQWN”按鍵，可以長按來達(dá)到快速調(diào)節(jié)，也可以反復(fù)的按鍵耒達(dá)到微調(diào)。輸入（Input）如上團(tuán)8指示，流量控制器包裝時(shí)，默認(rèn)設(shè)置為模擬方式控制。按下右上角的動(dòng)態(tài)標(biāo)示為 “Input”上面的按鍵，亶到箭頭指向塞個(gè)選項(xiàng)，來

26、改變?nèi)绾谓o控制器傳輸設(shè)定點(diǎn)。除了所 選擇的墻入方式之外，控制器將會(huì)忽視任何控制方式的詼定點(diǎn)，并且在斷掉電源之后，它還 會(huì)記憶選擇的輸入方式。模擬輸入（Analog）在Mini-DIN連接器（可查看此手冊(cè)安裝部分的描述）的4針上設(shè)置一個(gè)遠(yuǎn)程模擬設(shè)定點(diǎn)。 為了確定你訂購時(shí)采用哪種模擬設(shè)定點(diǎn)信號(hào)，提供跟降著控制翳的檢驗(yàn)數(shù)據(jù)表。除非你訂購 別的類型，否則標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)是0-5Vdco注意如果4針上沒有信號(hào)連接，并且控制器設(shè)定是模 擬控制.則設(shè)定點(diǎn)濟(jì)會(huì)產(chǎn)電漂移C警告I絕對(duì)不要在沒有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控 制器為任何非本的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)。因?yàn)榭刂破鲿?huì)在閥門上使用滿電量負(fù)荷，未達(dá)到這個(gè)設(shè)定 點(diǎn)。當(dāng)這里沒有流量

27、，閥門會(huì)因此交的非常熱而損壞！串行輸入（Serial）詼定一個(gè)遠(yuǎn)程數(shù)字RS-232設(shè)定點(diǎn)，并通過計(jì)算機(jī)或PLC串行端口進(jìn)行設(shè)置（可查看此手冊(cè) 安裝和RS-232部分的描述）。警告！絕對(duì)不要在沒有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器為 任何非零的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)。因?yàn)榭刂破鲿?huì)在閥門上使用滿電量負(fù)荷，未達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。當(dāng) 這里沒有流量，閥門會(huì)因此變的非常熱而損壞！本地輸入（Local）直接在控制器上設(shè)定一個(gè)設(shè)定點(diǎn)。要得到更多關(guān)于改變?cè)O(shè)定點(diǎn)的信息，可參考下面“Select” 的描述。如果本地改變?cè)O(shè)定點(diǎn)，需要將本地輸入設(shè)置為優(yōu)先級(jí)。警告1絕對(duì)不要在沒有壓力 產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制罌為任何非零的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)

28、。因?yàn)榭刂破鲿?huì)在閥門上使用滿 電量負(fù)荷，來達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。當(dāng)這里沒有流量，閥門會(huì)因此交的非常熱而損壞！DOOSelect Loop InputA- A- O0 0 02 5ITp DAL>Msss Uolume Press>Rn31cigSerialLocalSet 0.00ControlUp Down Setupc j r ）（ Mop0圖8 ALIC AT控制設(shè)定點(diǎn)模式Loop （回路）該流量控制器獨(dú)一無二的特點(diǎn)是可選擇多種閉環(huán)回路。當(dāng)在系統(tǒng)電子部件的前端加一個(gè)控制 閥的時(shí)候，質(zhì)量流量控制器則用來控制出口壓力（僅僅是絕壓），或者是體積流量來代替質(zhì) 量流量。重復(fù)按動(dòng)在控制器上接近

29、“Loop”的按雄來控制可變量。從質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為體積 流量時(shí)，不需要改變什么，如果要有，即改變P和D設(shè)置。當(dāng)你將控制流量切換到控制壓 力時(shí)，有時(shí)需要做相應(yīng)的根本性的改動(dòng)。如果你對(duì)此問題感到棘手，可及時(shí)聯(lián)系廠家。選擇回路（Select）為了避免意外的更改P1P回路的參數(shù)或者設(shè)定點(diǎn)，控制設(shè)置模式默認(rèn)設(shè)置在一個(gè)無效的位 置上。為了改變?cè)O(shè)定點(diǎn)或P1D回路中的P和D參數(shù)，請(qǐng)按下左上角動(dòng)態(tài)顯示標(biāo)示為“Select” 上面的按鍵，直到箭頭指向你要改變的參數(shù)上。當(dāng)你巳經(jīng)選擇好需要改變的參數(shù)時(shí)，清按動(dòng) 態(tài)顯示“UP”和“DOWN”下端對(duì)應(yīng)的按鍵，來對(duì)數(shù)值的上下調(diào)節(jié)。重復(fù)間斷的按鍵可進(jìn) 行緩慢的微調(diào)，長按犍則進(jìn)行

30、快速調(diào)節(jié)。P值對(duì)應(yīng)的是P】D回路中比例項(xiàng)。在改變此參數(shù)之前，請(qǐng)必須寫下初始值并保存，以便以后 可以恢復(fù)到廠家的默認(rèn)設(shè)置。D值對(duì)應(yīng)的是PID回路中微分項(xiàng)。在改變此參數(shù)之前，請(qǐng)必須寫下初始值并保存，以便以 后可以恢復(fù)到廠家的默認(rèn)諛置。AUTOon/AUTOoff指的是自動(dòng)校準(zhǔn)或者自動(dòng)歸零功能。一般控制器詼置在由動(dòng)歸零 （AUTOon）的模式上，除非由于你（AUTOoff）的特殊應(yīng)用，要求它必須關(guān)閉。當(dāng)詼備接 受一個(gè)0設(shè)定點(diǎn)值大于兩秒的時(shí)候，設(shè)備會(huì)自動(dòng)歸零。一個(gè)零設(shè)定點(diǎn)會(huì)導(dǎo)致閥門關(guān)閉，和一 個(gè)“無流量”條件。設(shè)備可通過這個(gè)功能定時(shí)地消除由于漂移所造成的累計(jì)誤差，因此具 有更高的精度。Set指的是設(shè)定

31、點(diǎn)。此參數(shù)僅在輸入模式選擇“Local”的情況下才可更改。可查看上面輸入 模式選擇的介紹?？刂破鞯脑湺c(diǎn)在零到滿量程之間，可以使用UP和DQWN鍵來調(diào)節(jié)。 警占！絕對(duì)不要在沒有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器為任何非零的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)。因 為控制器會(huì)在閥門上使用滿電量負(fù)荷，未達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。當(dāng)這里沒有流量，閥門會(huì)因此交 的非常熱而損壞I氣體選擇模式P9DWN MainHydrogenHeiiumNitrogenNitrous OxideNeonOxygen DOWN Gasi r i)00氣體選擇模式可通過按動(dòng)選擇菜單上，標(biāo)簽標(biāo)示為“Gas Select”的上面的按鍵進(jìn)入，具體如 圖9所示。在圖

32、6中，選擇的氣體顯示在默認(rèn)的主顯示上，并且在圖9中，氣體選擇模式中 用箭頭指出。按動(dòng)標(biāo)為的“UP”和“DORN”下面的按鍵，或“PgUP”和“PgDWN”上 面對(duì)應(yīng)的按鍵，直到箭頭指向想要?dú)怏w的前端，來選擇氣體。當(dāng)返回主模式時(shí)，則選擇的氣 體會(huì)顯示出來。（注意：氣體選擇模式不可用在用戶定制氣體或混合氣體。）09氣體選擇顯示通信選擇模式通信選擇模式，通過按動(dòng)選擇菜單顯示下的“Comm.RS-232”下面的按鍵進(jìn)入。如圖10所示：圖10通信選擇顯示部件D （UnitID）有效識(shí)別字母為“A-Z”和”（見下面的注意事項(xiàng)）。系統(tǒng)允許用戶給每個(gè)設(shè)備都配單轉(zhuǎn) 的地址，這樣多個(gè)部件就可以通過一個(gè)RS-232

33、接口連接到計(jì)算機(jī)上。通信選擇模式允許在 看或者改變?cè)O(shè)備的地址。要改變?cè)O(shè)備的ID地址，按顯示屏左上角的“Suluci”鍵，便指針指 向“UnitID”，然后，使用顯示下方的“UP”和“DOWN”鍵，來改變所需要的設(shè)備的1D, 按“MQDE”鍵退出通信選擇模式時(shí)，ID值的變化會(huì)生效。注意事項(xiàng):當(dāng)字符作為地址碼ID時(shí),按"MODE"鍵退出通信選擇模式后,設(shè)備會(huì)進(jìn)入 端模式。看流模式信息在心-232通信（見19頁）。波特率波特率（比特每秒）決定了儀器和計(jì)算機(jī)之間數(shù)據(jù)傳輸?shù)乃俾?。兩個(gè)設(shè)備必須發(fā)送/接受相 同的波特率，以使設(shè)著能夠通過RS-232傳揄。設(shè)備的默認(rèn)波特率是19200波特，

34、有時(shí)是19.2K 波特。在通信選擇模式下要改變波特率，請(qǐng)按顯示屏左上角的“Suluct”健，直到指針指向 “Baud”，然后，按屏幕下方的“UP”和“DQWN”鍵，來選擇四配你的計(jì)算機(jī)和PLC所 需要的波特率，選項(xiàng)有38400、19200、9600、或2400波特如果不重新啟動(dòng)電源波特率的更 改是無效的。數(shù)據(jù)速率改變數(shù)據(jù)速率，會(huì)影響儀器在流模式下儲(chǔ)存數(shù)據(jù)的速率。慢速率（Slow）是快速率（Fast） 的1/2。波特率決定快速率的速度。如果通信速率降低了計(jì)算機(jī)處理器（普通的老的便攜電 腦）的運(yùn)行能力，則需要減小數(shù)據(jù)速率，或者減小流模式中收集的數(shù)提文件的大小。在通信 選擇模式下改變數(shù)據(jù)速率，只要下

35、按顯示屏左上角的"Select*犍，直到指針指向“DateRak”，然后，使用屏幕下方的“UP”和“DOWN”鍵, 來選擇“Fast”或“Slow"。當(dāng)改變“Fast”和“Slow”的值時(shí)數(shù)據(jù)速率會(huì)立即更改。廠家數(shù)據(jù)模式在選擇菜單下，按下“MfgData”鍵進(jìn)入“廠家數(shù)據(jù)”（圖11）?！癕fgl”將顯示廠家的名稱 和電話號(hào)碼?！癕fg2”顯示流量計(jì)的重要信息，包括型號(hào)，序列號(hào)和生產(chǎn)日期。Model MC-10SLPM-D Serial No 27117 Date MF9.il/07/2005 Calibrated B“DLSoftware 6P67R23HainMfg 2M

36、ODE團(tuán)11廠家數(shù)據(jù)顯示RS232輸入和輸出超級(jí)終端的使用和設(shè)置：1 .打開Windows下的“附件”，選擇“通訊”，選擇“超級(jí)終端”2 .打開“超級(jí)終端”，取消“連接描述”窗口，在“新寤連接-超級(jí)終端”下選擇“文 件”，再選擇“屬性”3 .在“連接時(shí)使用”條欄選擇連接的端口，例如CQM1端口或COM2端口（必須為 COM端口或USB模擬COM端口）4 .然后選擇“配置”，配置如下：每秒位數(shù)：19200,數(shù)據(jù)位：8,奇偶校臉：無，停 止位：1,數(shù)據(jù)流控制：無。5 .再選“屬性”中選上部“設(shè)置”項(xiàng)，首先設(shè)置“終端仿真”為ANSI 其次，詼置右下角的ASCII碼，設(shè)置如下：ASCII碼發(fā)送，不選擇

37、“換行符作為發(fā)送末尾”項(xiàng)，選擇本地回顯鍵入的字符”項(xiàng),ASCII 碼接收：選擇“將換行符附加到傳入行求尾”項(xiàng),不選擇“將傳入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為7位 的ASCII碼”項(xiàng)，“將超過終端寬度的行自動(dòng)換行”項(xiàng)打勾，最后選擇確定，打開流 量控制器開關(guān)，自動(dòng)記錄數(shù)據(jù)6 .保存此設(shè)置，關(guān)閉超級(jí)終端并重新打開。在輪德模式中，具幕首先為空白，只剩下一個(gè)閃爍的指標(biāo)。為了使屏幕中顯示數(shù)據(jù)流，可按 動(dòng)“Enter”幾下以便清除無關(guān)的信息。然后犍入*©=,再回車，如果數(shù)據(jù)還是沒有出現(xiàn), 請(qǐng)檢查所有的連接和端口部件。切換流模式到輪循模式：當(dāng)流量計(jì)為流模式時(shí),屏幕每秒大約顯示1。60次的更新數(shù)據(jù)（取決于每行數(shù)據(jù)的數(shù)量），

38、 這樣用戶可以實(shí)時(shí)觀察真實(shí)的數(shù)據(jù)。當(dāng)使用一根RS232數(shù)據(jù)線，來控制多個(gè)質(zhì)量流量計(jì)時(shí)， 此功能是比較合適和需要的。在輪鎬模式下流量計(jì)正常測量流量,但當(dāng)是輪循模式時(shí)，僅對(duì)其發(fā)送一次數(shù)據(jù)。每個(gè)流量計(jì) 都具有一個(gè)單獨(dú)的地址。除了出廠時(shí)默認(rèn)的地址為A之外，其他的有效地址是從B到Z, 總共有26個(gè)不同的流量計(jì)。一旦流量計(jì)進(jìn)入流模式，并且在屏幕上顯示信息的時(shí)候，此時(shí)可以：1 .鍵入*=A,然后回車（可以通過RS-232通訊選擇菜單選搽或更改標(biāo)識(shí)地址和數(shù)據(jù)采集 模式）來停止流模式的信息。注意當(dāng)你鍵入并且不能讀出你所鍵入信息的時(shí)侯，確保你的流 量計(jì)不要停止。同時(shí)，流量計(jì)不能執(zhí)行“后退鍵Backspace”和“

39、刪除鍵dektJ,所以必須一次準(zhǔn)確鍵入。如果拼寫錯(cuò)誤，可以鍵 入回車后重新開始。如果鍵入的命令和流量計(jì)要求的不一樣，則流量計(jì)會(huì)忽略錯(cuò)誤命令。如 果鍵入的命令是正確的，數(shù)據(jù)流則會(huì)立刻停止，并進(jìn)入輪循模式。2 .然后你可以鍵入A再回車。發(fā)送一個(gè)瞬時(shí)的A,并且會(huì)返回一個(gè)值。你可以多次鍵入A 然后回車。此外只要犍入*0=,然后回車，就可以重新迸入流模式。如果想繼續(xù)進(jìn)入 輪循模式可重復(fù)步鞭lo3 .給一個(gè)設(shè)備指定一個(gè)新的地址時(shí)，需要鍵入*=新地址，舉例說明，*=B。需要注意 的是當(dāng)采用一個(gè)RS232通訊線控制多個(gè)流量控制器的時(shí)候，如果設(shè)置一個(gè)新的地址，則 所有流量控制器的地址將會(huì)變成同一個(gè)地址。所以，質(zhì)

40、量流量控制器的地址需要單獨(dú)設(shè) 定和關(guān)閉。每個(gè)質(zhì)量流量控制器需要給其一個(gè)單獨(dú)的地址，用同一個(gè)線可以將地址還原 并且迸行單獨(dú)的輪管操作。通過RS232發(fā)送設(shè)定點(diǎn)：通過RS232發(fā)送一個(gè)設(shè)定點(diǎn)，“Input”輸入選項(xiàng)，必須詼定在“Serial”模式上。為了設(shè) 定控制器的設(shè)定點(diǎn)，或者改變現(xiàn)在的設(shè)定點(diǎn)，可鍵入一個(gè)在0到64000之間的數(shù)，且64000 對(duì)應(yīng)滿量程，然后回車。詼定點(diǎn)和流量會(huì)因此而變化。如果它們沒有變化，請(qǐng)多次鍵入回車， 并且重復(fù)命令。線性的執(zhí)計(jì)算公式為：數(shù)值=(想詼定的設(shè)定點(diǎn)X64000) /滿量程舉例說明，如杲你的質(zhì)量流量控制器的量程為W0SLPM,你想要設(shè)定點(diǎn)為35SLPM,你應(yīng)該 輸

41、入下面的數(shù)值：22400= (35 SLPMX 64000)/100SLPM如果你的控制器在從流模式轉(zhuǎn)到輪衡模式的時(shí)侯，設(shè)定點(diǎn)前必須加上對(duì)應(yīng)的地址然后再輸入 控制器。例如,如果你的控制器巳經(jīng)輸入地址D,則設(shè)定點(diǎn)命令應(yīng)該輸入為：D22400然后回車通過RS232數(shù)據(jù)線調(diào)節(jié)比例和導(dǎo)致條款：鍵入*=A然后回車，來停止流模式的信息。想要調(diào)節(jié)PID控制器的比例項(xiàng)“P”，請(qǐng)鍵入*R21然后回車?？刂破鲿?huì)讀出當(dāng)前21寄存器的值，在。65535之間。在此最好記錄下這個(gè)數(shù)值，以便你需 要恢復(fù)廠家設(shè)置。然后在21寄存器中鍵入你想要的新的數(shù)值。例如，如果你希望“P”值為 220,那么你可鍵入*W21=220,然后回

42、車便可。想要調(diào)節(jié)PID控制器的導(dǎo)數(shù)項(xiàng)“D”請(qǐng)鍵入*R22然后回車?？刂破鲿?huì)讀出當(dāng)前22寄存器的使，且在065535之間。在此最好記錄下你這個(gè)數(shù)值，以便 你需要恢復(fù)到廠家設(shè)置。然后在22寄存器中鍵入你所要輸入的新數(shù)值。例如，如果你希望 “D”值為25,那么你可鍵入*W22=25然后回車。你可以通過以下方法改變劭定點(diǎn)，輸入“A32000”（A是默認(rèn)地址，如果你巳經(jīng)通過RS 232 修改地址，在數(shù)值前的字母也會(huì)相應(yīng)的變化），按回車，來給出一個(gè)1/2的滿量程的次定點(diǎn)， 監(jiān)視這個(gè)裝置由此操作引起的變化，確?？梢詽M足你的需要。記住“P”項(xiàng)為控制從一個(gè)設(shè) 定點(diǎn)到另一個(gè)詼定點(diǎn)的速度，“D”項(xiàng)為控制當(dāng)它接近一個(gè)

43、新的設(shè)定點(diǎn)的時(shí)候減速的速度。選擇一種氣體：通過RS232輸入可改變選擇的氣體。其命令如下：流模式：寐#回車輪循模式：地址8#回車（舉例說明，A8#回車） 在這里，#號(hào)指的是選擇氣體的代碼，具體如下團(tuán)。注意，流量控制罪顯示屏上的氣體選 項(xiàng)也會(huì)相應(yīng)的改變。#氣體0空氣Air1氫氣ArgonAr2甲烷 MethaneCH43一氧化碳coCO4二氧化碳CO2co25乙烷EthaneC2H66氫氣H2h27氮?dú)釮eliumHe8氨氣N2N29一氧化二氮N2ON2O10笈氣NeonNe11氧氣。2O212丙烷 PropaneC3H813正丁烷 Butanen-C4H1014乙塊 AcetyleneC2H2

44、15乙烯 EthyleneC2H416異丁烷 iso-Butane1-C2H10舉例說明：選擇丙烷：英12回車。數(shù)據(jù)格式：顯示,舞上的數(shù)據(jù)流，顯示了主模式屏上的流量參數(shù)。對(duì)于體枳流量控制器，這里有3列參數(shù) 時(shí)應(yīng)控制器命令、詼定點(diǎn)、和選擇氣體A+4.1234.125AirA+4.1234.125AirA+4.1234.125AirA+4.1234.125AirA+4.1234.125AirALICAT體積流量控制器數(shù)據(jù)格式對(duì)于質(zhì)量流量控制器，這里有6列數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)流量計(jì)壓力、溫度、體枳流量、質(zhì)量流量、設(shè)定 點(diǎn)、和被選擇氣體。第一列數(shù)據(jù)是指絕對(duì)"壓力（通常為PSIA）,第二列數(shù)據(jù)為溫度（通常

45、為 攝氏度），第三列數(shù)據(jù)為體枳流量，第四列數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。例如,如果流量計(jì)定購單位是 SCFM,流量計(jì)顯示讀書為2.004SCFM,并且下面輸出的最后兩欄代表體枳流量和質(zhì)量流量,且單位分別為CFM和SCFMoA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirA+014.70+025.00+02.004+02.00402.004AirALICAT

46、質(zhì)量流量控制累數(shù)強(qiáng)格式RS232通訊協(xié)議基本結(jié)構(gòu)波特率19200 bit/s, 8bit, 1位停止，無椽瞼位格式：0EBH,地址，命令，長度（n）,數(shù)據(jù)1, 一數(shù)據(jù)h,冗余說明：0EBH為幀起始位長度小于輸出端口數(shù)冗余=地址+命令+長度+數(shù)1+數(shù)h如果冗余=0EBH,為防止與幀起始位相同，則發(fā)送反碼，即冗余=14H當(dāng)接收正確時(shí)，1）在命令1, 2, 5, 6時(shí)，回送0EBH,地址，命令，01H, 0FAH,冗余，并執(zhí) 行命令。2）在命令3, 4, 7時(shí)，回送相應(yīng)信息。當(dāng)接收不正確時(shí)，1） 地址正確，冗余不正確，回送。EBH,地址，命令，01H, 0F5H,冗余。2）地址不正確，不回送任何信息

47、。此外ASCII碼中數(shù)與數(shù)之間（如，壓力，溫度，流量，氣體類型）可能以“空格”為分隔號(hào)， 數(shù)組的分隔則可能是以（例如第一組壓力溫度流量等數(shù)據(jù)和第二壓力溫度流量等數(shù)據(jù)）。反映在ASCII碼上則例如:14.6925.6 0.00（）0.000 AirASCH碼則對(duì)應(yīng)為&#49&#52&#46&#54&#57&#32*#50&#53&#46&#5 儂 #32&#48&#46&#4赧#48&#48&#32&#48&#46&#48&#48&#48&

48、;#32&#65&# 105&# 114其中&#代表ASCH碼的號(hào)，32代表“空格”14.69 對(duì)應(yīng) &#49&#52&#46&#54&#5725.6 對(duì)應(yīng) &#50&#53&#46&#540. 000 對(duì)應(yīng) &#48&#46&#48&#48&#48Air 對(duì)應(yīng) &#65&#105&#114回車換行后應(yīng)&#-23636類似于此，輸入信號(hào)也為ASCII碼（具體見ALICAT操作手冊(cè)）例如：*=AV回車為輪徜方式*=A回車為

49、流方式部#回車為輪循方式下選擇氣體、Address(地址)$#回車 為流方式下選擇氣體A數(shù)值回車為設(shè)定控制點(diǎn)的值A(chǔ)licat質(zhì)量流量控制器的設(shè)定點(diǎn)輸入方式切換通常使用方法如下：連接質(zhì)t流量控制器，進(jìn)入超級(jí)終端界面下：如果此時(shí)的質(zhì)量流量計(jì)輸入方式為RS-232 (SERIAL)鍵入*=A,然后回車，并確定巳經(jīng)連接鍵入*R20,然后回車，會(huì)顯示一個(gè)數(shù)據(jù)，請(qǐng)立刻記下這個(gè)數(shù)據(jù)！以便將來返回到廠家的初始 設(shè)置。這個(gè)數(shù)據(jù)加上16384,算出一個(gè)新的數(shù)據(jù)。例如，算出一個(gè)數(shù)據(jù)為24000然后鍵入*20=24000,再回車。此時(shí)控制器4號(hào)針口輸入信號(hào)方式則變?yōu)槟M輸入I同理，開始為模擬輸入的方式時(shí)：鍵入*=A,

50、然后回車，確定巳經(jīng)連接鍵入*R20,然后回車，得到一個(gè)數(shù)據(jù)，請(qǐng)立刻記下這個(gè)數(shù)據(jù)！以便將來返回廠家的初始設(shè)置。 這個(gè)數(shù)據(jù)減去16384,算出一個(gè)新的數(shù)據(jù)。例如，算出一個(gè)數(shù)據(jù)為36000然后鍵入*取20=36000再回車。此時(shí)控制罌4號(hào)針口輸入信號(hào)方式則變?yōu)閿?shù)字RS-232輸入！操作原理Alicat所有的M系列和V系列的氣體流量計(jì)(以及MC系列河VC系列的氣體流量控制 器)都是以精確測量體枳流量為基礎(chǔ)的。體積流量是由流量計(jì)內(nèi)部獨(dú)特的截流裝置兩修的差 壓所決定的，Alicat的這種截流裝置稱為層流部件。被測氣體在通過整個(gè)層流部件時(shí)被強(qiáng)制 分流為相互平行的流層；因此我們?cè)O(shè)備的運(yùn)行方式都有層流部件所決定

51、。與其他流量測量設(shè) 備不同的是，層流流t計(jì)上壓降和流量是成線性關(guān)系的。我們的16種流量計(jì)因?yàn)槠湓矶?有如下等式：Q=(P,-P2)兀廣/8rlL此處：Q=體積流量，P產(chǎn)入口靜壓，P2=出口靜壓，r二層流元件半徑，4二流體絕對(duì)黏度，L=層流元件長度根據(jù)n，r和L是恒量；方程1可以重新寫為：Q=K (Ap/n)這里K由于幾何因素而是常量，方程2表示體積流量Q,差壓乙P和絕對(duì)粘度是一般形式氣體粘度：為了得到精確的體枳流量，必須測量所選擇的氣體。這是很重要的，困為流量計(jì) 計(jì)算的流量是在根據(jù)測量溫度下的氣體粘度計(jì)算的。如果氣體不是選擇的，則流量計(jì)的計(jì)算 使用的粘度值是不正確的，并且輸出的在兩種不同的氣

52、體粘度的正比結(jié)果是不準(zhǔn)確的。 Alicat質(zhì)量流量計(jì)和控制器的設(shè)計(jì)，相比其它類型的層流質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)如下：1 .無直管道安裝要求2 .內(nèi)置提供氣壓和溫度(密度)補(bǔ)償3 .筒單，對(duì)安裝位置的要求不敏感4 .實(shí)時(shí)數(shù)字功能提供一個(gè)寬大的選項(xiàng)范圍而不需要附加的軟件工具5 .此外，所有Alicat有CE認(rèn)證并可提供NIST付費(fèi)校險(xiǎn)Alicat的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)默認(rèn)為25幻和1大氣壓(14.696PS1A),除非定購其他特殊的。Alicat按照工業(yè)規(guī)，范來確定測量單位，例如SLPM (標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘)或SCFM (標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下立 方英寸/分鐘)，來表示在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)壓力和溫度下通過的體枳流量。常見問題及技術(shù)支

53、持顯示屏無顯示或很微的檢查電源和地線連接讀數(shù)不隨實(shí)際在線流量的變化而變化，幾乎固定且接近零點(diǎn)或滿量程差壓傳感器可能巳經(jīng)損壞。避免安裝時(shí)，使差壓傳感器所受壓降超過10PS1D。逋常引起此間 題的原因，是流量計(jì)的前端管路快速啟動(dòng)電磁閥的開關(guān)，引起瞬時(shí)高壓氣體。由于過壓引起 的損壞不在保修范圍之內(nèi)。質(zhì)量流量、體積流量、壓力或溫度的顯示閃爍并且顯示"MOV” "VOV” "POV或“TOV” 流量計(jì)和控制器在傳感器的測量值超出量程時(shí)，會(huì)顯示報(bào)錯(cuò)信息（MQV=質(zhì)量超量程，VQV= 體積超量程，POV=壓力超量程，丁。¥=溫度超量程）。當(dāng)任何一項(xiàng)閃爍的時(shí)侯，則顯示的

54、參 數(shù)和質(zhì)量流量測量數(shù)值都是不精確的。減小指出報(bào)錯(cuò)的參數(shù)值，可使設(shè)備恢復(fù)到正常的操作 和精度。安裝過后，發(fā)現(xiàn)無流量Alicat公司的體積質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量控制器，通常情況下出廠時(shí)閥門是關(guān)閉的，需 要有一個(gè)設(shè)定點(diǎn)來開啟它。檢查你現(xiàn)在的設(shè)定點(diǎn)信號(hào)，并且是否有正確針口（PIN）連接， 同時(shí)，在設(shè)定點(diǎn)控制模式下是否在“Input”選項(xiàng)中，選擇了正確的輸入模式。同時(shí)檢查地 線是否連接正確。流量延遲在設(shè)定點(diǎn)后確保足夠的壓力可以達(dá)到想要的流量。如果設(shè)定點(diǎn)輸入信號(hào)線，或者設(shè)定點(diǎn)輸出信號(hào)線相討 較長，必須要提供更粗的電線（特別是地線），來取消長線所導(dǎo)致的電壓衰減。如果D參數(shù) 數(shù)值相對(duì)'P參數(shù)數(shù)值較大，P1D控制的設(shè)置不當(dāng)，也會(huì)引起此現(xiàn)象。流量計(jì)不可以和其他流量計(jì)使用一條線路一般體積流i計(jì)和控制器，不允許和另一個(gè)流量計(jì)，或控制器用在同一個(gè)管路中，因?yàn)樗鼈?會(huì)受到壓降的影響。體枳流量控制器不應(yīng)跟質(zhì)量流量控制器相比較。如果在兩個(gè)流量計(jì)之間 沒有泄漏，并且具有相同的標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力的情況下，質(zhì)量流量計(jì)可以相互校正。在氣體測 量時(shí)，兩個(gè)兩量計(jì)必須是校準(zhǔn)的。AL1CAT質(zhì)量流量計(jì)設(shè)置的標(biāo)準(zhǔn)溫度是25SC,壓力為14.696PSIAO注意：根據(jù)用戶特定的標(biāo)準(zhǔn)條件可以定購特殊流量計(jì)。校準(zhǔn)表中提供了每個(gè)流量計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)條 件?？刂破鞯牧髁匡@示相對(duì)于設(shè)定點(diǎn)的改變，顯得緩慢或有時(shí)會(huì)來回?cái)[動(dòng)。