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文檔簡介
1、南昌大學本科生畢業(yè)設計(論文)書寫式樣一、頁面設置:上2.54cm,下2.54cm,左3.67cm,右2.67cm,行間距1.35倍。二、目錄:“目錄”兩字小三號宋體加粗,目錄內容小四號宋體。三、摘要1 中文摘要:標題小二號宋體加粗,“專業(yè)、學號、姓名、指導教師”五號宋體,“摘要”兩字四號宋體,摘要內容小四號宋體,“關鍵詞”三字小四號宋體加粗,2 英文摘要:標題小二號Times New Roman 體加粗,“Abstract” 四號Times New Roman 體;“Abstract” 內容小四號Times New Roman 體,“Keyword”小四號Times New Roman 體加
2、粗。四、正文:標題四號宋體,正文內容小四號宋體。五、圖表:圖表內容五號宋體。六、參考文獻:參考文獻四字四號宋體,參考文獻內容小四號宋體,其中英文用小四號Times New Roman 體。七、致謝:致謝兩字四號宋體,致謝內容小四號宋體。具體書寫式樣如下:1、目錄式樣(內容小四號宋體)目 錄(小三號宋體)摘要Abstract 第一章 GaN基半導體材料及器件進展(多數(shù)文章為“緒論”) 11 .1 III族氮化物材料及其器件的進展與應用 1 1. 2 III族氮化物的基本結構和性質 41. 3 摻雜和雜質特性 121. 4 氮化物材料的制備 131. 5 氮化物器件 191. 6 GaN基材料與其
3、它材料的比較 221. 7 本論文工作的內容與安排 24第二章 氮化物MOCVD生長系統(tǒng)和生長工藝 31 2. 1 MOCVD材料生長機理 31 2. 2本論文氮化物生長所用的MOCVD設備 32結論 136參考文獻(References)138致謝 1502、摘要式樣(1)中文摘要式樣(內容小四號宋體)III-族氮化物及其高亮度藍光 LED外延片的MOCVD生長和性質研究(小二號宋體)專 業(yè): 學 號: 學生姓名: 指導教師:(五號宋體)摘 要(四號宋體)寬禁帶III族氮化物半導體材料在短波長高亮度發(fā)光器件、短波長激光器、光探測器以及高頻和大功率電子器件等方面有著廣泛的應用前景。自1994年
4、日本日亞化學工業(yè)公司率先在國際上突破了GaN基藍光LED外延材料生長技術以來,美、日等國十余家公司相繼報導掌握了這項關鍵技術,并分別實現(xiàn)了批量或小批量生產GaN基LED。盡管如此,這項高技術仍處于高度保密狀態(tài),材料生長的關鍵思想及核心技術仍未公開,還無法從參考文獻及專利公報中獲取最重要的材料生長信息。本論文就是在這種情況下立題的,旨在研究GaN基材料生長中的物理及化學問題,為生長可商品化的高亮度GaN基LED外延材料提供科學依據。本文在自制常壓MOCVD和英國進口MOCVD系統(tǒng)上對III族氮化物的生長機理進行了研究,對材料的性能進行了表征。通過設計并優(yōu)化外延片多層結構,生長的藍光LED外延片質
5、量達到了目前國際上商品化的中高檔水平。并獲得了如下有創(chuàng)新和有意義的研究結果:1首次提出了采用偏離化學計量比的緩沖層在大晶格失配的襯底上生長單晶膜的思想,并在GaN外延生長上得以實現(xiàn)。采用這種緩沖層,顯著改善了GaN外延膜的結晶性能,使GaN基藍光LED器件整體性能大幅度提高,大大降低了GaN基藍光LED的反向漏電流,降低了正向工作電壓,提高了光輸出功率。本文得到了國家863計劃、國家自然科學基金以及教育部發(fā)光材料與器件工程研究中心項目的資助。關鍵詞(小四號宋體加粗):氮化物; MOCVD; LED;盧瑟福背散射溝道;光致發(fā)光;光透射譜 (2)外文摘要式樣(內容小四號Times New Roma
6、n 體) Study on MOCVD growth and properties of III-nitrides and high brightness blue LED wafers(小二號Times New Roman 體) Abstract (四號Times New Roman 體)GaN based - nitrides have potential applications on high brightness LEDs, short wavelength lasers, ultraviolet detectors, high temperature and high power
7、electronic devices. Study on physics issues and technologies of nitrides open a new area of 3th generation semiconductor.More than ten companies in America and Japan reported to have developed the nitrides growth technology since Nichia company in Japan first realized the commercialization of GaN ba
8、sed blue LED in 1994.In this thesis,GaN and its ternary were grown by a home-made atmosphere pressure metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) and Thomas Swan 6×2” MOCVD systems. High bright blue LED wafers were obtained by optimizing the nitrides growth technology and wafer structure. So
9、me encouraging results are following as:1. We present the idea of using a buffer layer of deviation from stoichiometry for materials growth on large lattice mismatch substrates. This idea was realized in nitrides growth in this thesis. The epilayer crystalline quality was improved and the dislocatio
10、n density was decreased by using GaN low and high temperature buffer layers of deviation from stoichiometry. The RBS/channeling spectra exhibited that the minimum yield min of GaN layers was just only 1.5%. The leak electric current of GaN based LED was obviously decreased and lower than 1A at 5 vol
11、t reverse voltage by using this new buffer technology.This work was supported by 863 program in China.Keyword: (小四Times New Roman 體加粗)Nitrides;MOCVD;LED;Photoluminescence;RBS/channeling;Optical absorption3、正文式樣 (標題四號宋體,正文內容小四號宋體)第一章 GaN基半導體材料及器件進展1 .1 III族氮化物材料及其器件的進展與應用 在科學技術的發(fā)展進程中,材料永遠扮演著重要角色。在與現(xiàn)代
12、科技成就息息相關的千萬種材料中,半導體材料的作用尤其如此。以Si為代表的第一代半導體誕生于20世紀40年代末,它們促成了晶體管、集成電路和計算機的發(fā)明。以GaAs為代表的第二代半導體誕生于20世紀60年代,它們成為制作光電子器件的基礎。III族氮化物半導體材料及器件研究歷時30余年,前20年進展緩慢,后10年發(fā)展迅猛。由于III族氮化物特有的帶隙范圍,優(yōu)良的光、電性質,優(yōu)異的材料機械和化學性能,使得它在短波長光電子器件方面有著廣泛的應用前景;并且非常適合制作抗輻射、高頻、大功率和高密度集成的電子器件。III族氮化物半導體材料已引起了國內外眾多研究者的興趣。 12 III族氮化物的基本結構和性質
13、 4、圖表式樣(內容五號宋體)(1)表式樣表1-1用不同技術得到的帶隙溫度系數(shù)、Eg0、ac和T0的值樣品類型實驗方法帶隙溫度系數(shù)dEg/dT(eV/K)T=300KEg0(eV)ac (eV/K)T0 (K)參考文獻GaN/Al2O3光致發(fā)光-5.32´10-43.5035.08´10-4-99661GaN/Al2O3光致發(fā)光¾3.4897.32´10-470059GaN/Al2O3光致發(fā)光-4.0´10-4¾-7.2´10-460062GaN/Al2O3光吸收-4.5´10-43.471-9.3´10
14、-477263(2)圖式樣加熱電阻氣流測溫元件測溫元件圖熱風速計原理轉換控制頻率信 號 源頻率控 制 器地址發(fā)生 器波形存儲 器轉換器濾波器頻率設置波形數(shù)據設置 圖2 DDS方式AWG的工作流程5、參考文獻式樣(內容小四號宋體)參考文獻(References)(四號宋體)1 WellMultiple-modulator fraction-n dividerPUS Patent,50381171986-02-022 Brian MillerA multiple modulator fractionl dividerJIEEE Transaction on instrumentation and Measurement,1991,40(2):578-5833 萬心平,張厥盛集成鎖相環(huán)路原理、特性、應用M北京:人民郵電出版社,1990302-3074 MilerFrequency synthesizersPUS Patent,46098811991-08-065 Candy J CA use
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