電子顯微鏡習(xí)題三答案

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上習(xí)題三1. “SEM”的中英文全稱 掃描式電子顯微鏡 scanning electron microscopy2. 掃描電子顯微鏡的主要構(gòu)造有哪些? 電子光學(xué)系統(tǒng) 掃描系統(tǒng) 信號探測放大系統(tǒng) 圖象顯示和記錄系統(tǒng) 真空系統(tǒng) 電源系統(tǒng)3. 掃描電子顯微鏡的主要工作原理是什么？掃描電鏡的工作原理可以簡單地歸納為“光柵掃描，逐點成像“。用一束極細(xì)的電子束掃描樣品，在樣品表面激發(fā)出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)形貌有關(guān)，次級電子由探測器收集，并被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?，再?jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸龋@示出與電子束

2、同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了樣品的表面結(jié)構(gòu)形貌4. “SEM”中的掃描系統(tǒng)由哪些主要部件構(gòu)成掃描系統(tǒng)主要由掃描偏轉(zhuǎn)線圈、掃描信號發(fā)生器；掃描放大控制器等部件組成 5. “SEM”中，掃描系統(tǒng)的主要作用是什么？電子光學(xué)系統(tǒng)和掃描系統(tǒng)的作用是用來獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源6. 掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)是如何定義的？7. 在“SEM”中，掃描電子束激發(fā)樣品產(chǎn)生的物理信號主要有哪些？8. “SEM”中二次電子像和背散射電子像的主要異同是什么？ 用背反射信號進行形貌分析時，其分辨率比二次電子低。背散射電子來自樣品表層幾百納米的深度范圍。不僅能用作形貌分析，而且可以用來顯示原子序數(shù)襯度，定

3、性地用作成分分析。 二次電子是在入射電子束的作用下被轟擊出來并離開樣品表面的樣品原子的核外電子，來自表層510nm，能有效顯示樣品表面形貌，二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒有明顯的依賴關(guān)系，不能用它來進行成分分析9. 在“SEM”中，接收樣品信息的探測器主要有哪些？10. 在圖-1所示樣品表面形貌示意圖中，a、b、d、f處的二次電子產(chǎn)率由高到低的排序是什么？圖-1樣品表面形貌示意圖二次電子產(chǎn)率：a<b<d<e 或 f(邊緣效應(yīng)), e 與f 難以區(qū)分a<b<d<c(尖端效應(yīng))11. 隨著原子序數(shù)的增大，背散射電子產(chǎn)額是增大還是減??？ 增大12. 在圖-2所示背散射電子圖像中，A、B二處原子序數(shù)較大的是誰？ A圖-2背散射電子圖像AB13. 掃描電子顯微鏡有哪些主要的性能指標(biāo)？ 分辨率 放大倍數(shù) 景深14. 用掃描電子顯微鏡觀察非導(dǎo)電樣品，為何通常要在非導(dǎo)電樣品的表面鍍上一層薄導(dǎo)電膜？ 非導(dǎo)電樣品，如塑料、礦物等，在電子束作用下會產(chǎn)生電荷堆積，影響入射電子束斑和樣品發(fā)射的二次電子運動軌跡，使圖像質(zhì)量下降。15. 在非導(dǎo)電樣品的表面鍍上一層薄導(dǎo)電膜，所采用的材料通常有哪些？導(dǎo)電膜的鍍膜方法主要有哪二種？