E84 握手流程(中文版)

1、弊 番號(hào)OUR No. E84PI/O INTERFACE概要解説書(shū) 中文版配布先-COPY計(jì)-SUM承認(rèn)-APP調(diào)査-CHK作成-DRAWN神鋼電機(jī)株式會(huì)社SHINKO ELECTRIC CO.,LTD.JAPANCGR6-13021 19/19変更來(lái)歴Rev日付內(nèi)容承認(rèn)作成000.11.2初版藤原SSG佐野 Translated by Don Lee/ASTW/Training Center 2007/01/20目 次1背景目的42E84E23之不同點(diǎn)43限制44機(jī)器構(gòu)成45用語(yǔ)說(shuō)明56控制信號(hào)之種類(lèi)67Interlock Timeout88通信程序98.1裝載移載98.2卸載移載119異

2、常檢測(cè)129.1移載動(dòng)作開(kāi)始前之異常129.2移載動(dòng)作中之異常139.3異常移載動(dòng)作後之異常149.4GO信號(hào)OFF變化159.5異常之復(fù)舊1510注意事項(xiàng)1511Connector及各信號(hào)之分配1612電路圖Sensor Unit尺寸181 背景目的半導(dǎo)體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之?dāng)U大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導(dǎo)入以AGV/OHT為代表之自動(dòng)搬送系統(tǒng)（AMHS）的趨勢(shì)。AMHS中、製造裝置與OHV（臺(tái)車(chē)）藉由使用Photo I/O之通信、來(lái)取得Load/Unload之同步。此Photo I/O通信係藉由SEMI規(guī)格來(lái)定義、製造裝置及OHV需進(jìn)行遵守此規(guī)格的通信控制。SEMI規(guī)格中、

3、雖定義E23作為上述Photo I/O通信規(guī)格、但於99年以E23為基本而重新定義了功能強(qiáng)化之E84、此E84規(guī)格有成為主流的趨勢(shì)。本書(shū)係記述E84規(guī)格之概要。又，本書(shū)之對(duì)象係定為進(jìn)行與AMHS裝置及半導(dǎo)體製造裝置間之介面相關(guān)的設(shè)計(jì)/管理。2 E84E23之不同點(diǎn)追加/變更於E84之項(xiàng)目如下。 連續(xù)Handoff Sequence 同時(shí)Handoff Sequence 追加HO_AVBL信號(hào)、ES信號(hào) Timer之規(guī)定 改訂Connector pin之分配3 限制本書(shū)僅記述導(dǎo)入於OHT系統(tǒng)之E84規(guī)格。因此、以下項(xiàng)目與該系統(tǒng)不相關(guān)故予以割?lèi)?ài)。 連續(xù)Handoff/同時(shí)Handoff Seque

4、nce 使用於連續(xù)Handoff之Timer4 機(jī)器構(gòu)成圖4.1顯示本規(guī)格之E84 I/O Interface的適用例。図4.1E84 I/O介面例I/O裝置 E84中並無(wú)規(guī)定Device種類(lèi)安裝位置I/O裝置Load Port載體E84 I/O介面半導(dǎo)體製造裝置（側(cè)面）AGV / RGVOHV主機(jī)AMHS控制裝置5 用語(yǔ)説明表5.1顯示本書(shū)使用之用語(yǔ)。表5.1用語(yǔ)説明用語(yǔ)解説Active裝置具備移載機(jī)構(gòu)之裝置。遵循SEMI E23規(guī)格（OHT系統(tǒng)中、OHV屬於Active裝置。）Passive裝置藉由Active裝置來(lái)進(jìn)行移載之裝置。遵循SEMI E23規(guī)格Passive裝置包含加工裝置/S

5、tocker等。本書(shū)中、Passive裝置係與裝置同義。AMHS裝置(= Automated Material Handling System)具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置。RGV: Rail Guided Vehicles / AGV: Automated Guided Vehicles / OHT: Overhead Hoist Transports。Auto Access ModeAMHS裝置以自動(dòng)方式進(jìn)行Handoff之模式。Manual AccessModeOperator以手動(dòng)方式進(jìn)行Handoff之模式。載體卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來(lái)收藏

6、晶圓之箱子。遵循SEMI E1.9規(guī)格Handoff表示藉由Active裝置對(duì)Passive裝置進(jìn)行裝載及卸載之移載動(dòng)作。本書(shū)中、係與裝載/卸載移載同義。Handoff干涉區(qū)域Handoff中Active裝置之載體有可能與Passive裝置之載體衝突的空間。HandoffInterlock異常Handoff中Passive裝置檢測(cè)到異常之狀態(tài)。Active裝置之載體與Passive裝置之載體、有可能在Handoff干涉區(qū)域衝突衝突。無(wú)法Handoff利用狀態(tài)Passive裝置無(wú)法進(jìn)行Handoff之狀態(tài)。Loadport加工裝置/Stocker等之Interface Port。遵循SEMI E

7、15規(guī)格Load從Active裝置往Passive裝置之卸載移載。Unload從Passive裝置往Active裝置之裝載移載。6 控制信號(hào)之種類(lèi)使用於E84通信之各信號(hào)的種類(lèi)如表6.1所示。關(guān)於通信方向：A=Active裝置、P=Passive裝置。表6.1信號(hào)之名稱(chēng)及功用信號(hào)名稱(chēng)通信方向信號(hào)之說(shuō)明CS_0 ( = Carrier Stage 0)AP指定使用於載體Handoff之Loadport。ON ：使用於載體Handoff。OFF：不使用。CS_1( = Carrier Stage 1)AP指定使用於載體Handoff之Loadport。ON ：使用於載體Handoff。OFF：不使

8、用。OHT系統(tǒng)中、由於各Loadport設(shè)置有PhotoI/O（1Photo I/O1LoadPort）、因此不使用本信號(hào)。VALID ( = Indicates that the signal transition is active and selected.)可以通信AP表示Active裝置Passive裝置間之通信為有效。ON ：通信為有效。OFF：通信為無(wú)效。Active裝置在使本信號(hào)ON之前、需以CS_0信號(hào)或CS_1信號(hào)（或兩者）來(lái)指定移載對(duì)象之Loadport。OHT系統(tǒng)中、僅使用CS_0L_REQ ( = Load Request)要求裝載PA表示Loadport被指定為載體

9、之裝載（Active裝置之卸載）。ON ：Loadport被指定為載體之裝載OFF：Loadport未被指定為載體之裝載。由Active裝置以CS_0信號(hào)指定Loadport、當(dāng)VALID=ON時(shí)、Passive裝置使本信號(hào)ON。當(dāng)Passive裝置確認(rèn)到載體被放置到正確位置之後、即將本信號(hào)OFF。U_REQ ( = Unload Request)要求卸載PA表示Loadport被指定為載體之卸載（Active裝置之裝載）。ON ：Loadport被指定為載體之卸載OFF：Loadport未被指定為載體之卸載。由Active裝置以CS_0信號(hào)指定Loadport、當(dāng)VALID=ON時(shí)、Pass

10、ive裝置即將本信號(hào)ON。Passive裝置在載體被完全取走後、即將本信號(hào)OFF。TR_REQ(= Transfer Request)要求HandoffAP對(duì)Passive裝置要求Handoff。ON ：已提出Handoff要求。OFF：未已提出Handoff要求。當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、本信號(hào)亦OFF。READY ( = Ready for Transfer)準(zhǔn)備HandoffPA表示Passive裝置、已從Active裝置收到TR_REQ信號(hào)。ON ：Passive裝置已做好Handoff之準(zhǔn)備。OFF：Passive裝置尚未做好Handoff之準(zhǔn)備。當(dāng)確認(rèn)到Active裝置之TR_REQ

11、=ON後、Passive裝置即將本信號(hào)ON。當(dāng)確認(rèn)到Handoff結(jié)束且Active裝置之COMPT=ON後、Passive裝置即將本信號(hào)OFF。BUSY ( = Busy for Transfer)Handoff進(jìn)行中AP表示Active裝置、正進(jìn)行Handoff中。ON ：正進(jìn)行Handoff中。OFF：非進(jìn)行Handoff中。Passive裝置在READY=ON狀態(tài)、可開(kāi)始進(jìn)行Handoff時(shí)、Active裝置將使本信號(hào)ON。Handoff中Passive裝置不可進(jìn)行任何物理性動(dòng)作。當(dāng)Passive裝置將L_REQ（或U_REQ）信號(hào)OFF、結(jié)束Handoff時(shí)、Active裝置即將本信

12、號(hào)OFF。（此時(shí)、把持裝置需退出至干涉區(qū)域之外）COMPT(= Complete Transfer)Handoff結(jié)束AP表示Active裝置已結(jié)束Handoff操作。ON ：已結(jié)束Handoff。OFF：尚未結(jié)束Handoff。當(dāng)結(jié)束Handoff操作時(shí)（Active裝置將BUSY信號(hào)OFF）、Active裝置即將本信號(hào)ON。Passive裝置在確認(rèn)到READY=OFF後、Active裝置即將本信號(hào)OFF。CONT( = Continuous Handoff)連續(xù)HandoffAP表示有連續(xù)Handoff。ON ：表示連續(xù)Handoff持續(xù)中。OFF：無(wú)連續(xù)Handoff。當(dāng)有連續(xù)Hando

13、ff時(shí)、根據(jù)最初移載時(shí)Passive裝置之BUSY=ON Active裝置即將本信號(hào)ON、根據(jù)最後移載時(shí)Passive裝置之BUSY=ON、Active裝置即將本信號(hào)OFF。OHT系統(tǒng)中、現(xiàn)在不使用本信號(hào)。HO_AVBL( = Handoff Available)可HandoffPA表示Passive裝置裝置可進(jìn)行Handoff。又亦有表示Passive裝置存在某種異常之情形。ON ：可配合Handoff。OFF：存在某種異常無(wú)法配合Handoff。本信號(hào)係在開(kāi)始進(jìn)行Handoff操作前、向Active裝置表示Passive裝置之狀態(tài)。當(dāng)Passive裝置正常時(shí)、本信號(hào)為ON。當(dāng)Passive

14、裝置檢測(cè)到CS_0信號(hào)所指定之Loadport存在某種異常時(shí)、藉由Active裝置將VALID信號(hào)ON或TR_REQ信號(hào)ON、Passive裝置即將本信號(hào)OFF。又當(dāng)檢測(cè)到該P(yáng)assive裝置之其他Loadport有異常時(shí)、本信號(hào)亦可能OFF。所謂異常係指無(wú)正確地進(jìn)行載體檢測(cè)。Passive裝置一直停留於Manual Mode。Passive裝置無(wú)法配合Handoff之狀態(tài)。ES ( = Emergency Stop)緊急停止PA係要求緊急停止Active裝置之動(dòng)作。ON ：正常操作OFF：要求緊急停止當(dāng)Passive裝置判斷為危險(xiǎn)狀況時(shí)、為立即停止Handoff而將本信號(hào)OFF。所謂危險(xiǎn)狀況

15、係指恐傷及資源或製造物時(shí)。對(duì)作業(yè)工程會(huì)造成傷害之情形。發(fā)生HandoffInterlock異常之情形。當(dāng)按下Passive裝置側(cè)之ES(或EMO)按鈕時(shí)。通常、Active裝置在VALID ONOFF之間監(jiān)測(cè)本信號(hào)。7 Interlock TimeoutActive裝置側(cè)之Timer（TA=Timer of Active equipment）及Passive裝置側(cè)之Timer（TP=Timer of Passive equipment）如表7.1及表7.2所示。各Timer、係以檢測(cè)裝載/卸載時(shí)Interlock之異常為目的。表7.1Active裝置所監(jiān)視之TimerTimer監(jiān)視Timer之

16、期間範(fàn)圍（秒）預(yù)設(shè)值（秒）TA1VALID ON L_REQ ONVALID ON U_REQ ON1 - 9992TA2TR_REQ ON READY ON1 - 9992TA3COMPT ON READY OFF1 - 9992表7.2Passive裝置所監(jiān)視之TimerTimer監(jiān)視Timer之期間範(fàn)圍（秒）預(yù)設(shè)值（秒）TP1L_REQ ON TR_REQ ONU_REQ ON TR_REQ ON1 - 9992TP2READY ON BUSY ON1 - 9992TP3BUSY ON CARRIER DETECT（卸載移載開(kāi)始至檢測(cè)到載體為止）BUSY ON CARRIER REMOV

17、E（裝載移載開(kāi)始至取走載體為止）1 - 99960TP4L_REQ OFF BUSY OFFU_REQ OFF BUSY OFF1 - 99960TP5READY OFF VALID OFF1 - 99928 通信程序8.1 裝載移載裝載移載時(shí)Photo I/O之Timing Chart如圖8.1所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內(nèi)容如表8.1所示。圖8.1裝載移載時(shí)之Timing Chart信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0Active裝置Passive裝置VALIDTR_REQBUSYCOMPTREADYPassive裝置 Active裝置L_REQU_REQHO_AVBL

18、ESTP5TP4TP2TP1TA3TA2TA1TimerActive裝置TimerPassive裝置TimerTP3結(jié)束移載載體離開(kāi)PortActive裝置到達(dá)通信開(kāi)始結(jié)束通信裝載移載開(kāi)始動(dòng)作內(nèi)容圖8.1裝載移載時(shí)之通信內(nèi)容Step信號(hào)名信號(hào)方向動(dòng)作說(shuō)明CS_0 ONAP當(dāng)Active裝置到達(dá)要進(jìn)行裝載移載之Passive裝置時(shí)、即使用CS_0信號(hào)來(lái)指定移載對(duì)象之Loadport。VALID ONAP表示可與以CS_0信號(hào)所指定之Loadport進(jìn)行通信。U_REQONPA在完成從Passive裝置之Loadport使 FOUP卸載（Active裝置進(jìn)行裝載移載）之準(zhǔn)備時(shí)、即將U_REQ信號(hào)O

19、N。TR_REQONAPActive裝置對(duì)Passive裝置側(cè)要求開(kāi)始移載。READYONPAPassive裝置側(cè)對(duì)Active裝置表示已完成移載之準(zhǔn)備。BUSYONAP開(kāi)始移載。U_REQOFFPA當(dāng)從Loadport上FOUP被完全取走時(shí)、Passive裝置側(cè)即將U_REQ信號(hào)OFF。BUSYOFFAP當(dāng)結(jié)束移載操作且脫離與Passive裝置側(cè)干涉之區(qū)域時(shí)、即將BUSY信號(hào)OFF。TR_REQOFFAP當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、即將本信號(hào)OFF。COMPTONAP通知Passive裝置已結(jié)束裝載移載。READYOFFPA當(dāng)確認(rèn)到COMPT信號(hào)ON後、即將本信號(hào)OFF。COMPTOFFAP當(dāng)確

20、認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。VALIDOFFAP當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。此時(shí)、即結(jié)束Active裝置Passive裝置之通信。CS_0OFFAP當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。8.2 卸載移載卸載移載時(shí)Photo I/O之Timing Chart如圖8.2所示、Active 裝置與Passive裝置間之通信內(nèi)容如表8.2所示。圖8.2卸載移載時(shí)之Timing Chart信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0Active裝置 Passive裝置VALIDTR_REQBUSYCOMPTREADYPassive 裝置Active裝置L_REQ

21、U_REQHO_AVBLESTP5TP4TP2TP1TA3TA2TA1TimerActive裝置TimerPassive裝置Timer載體正確地移至Port上TP3結(jié)束移載Active裝置到達(dá)開(kāi)始通信結(jié)束通信開(kāi)始卸載移載動(dòng)作內(nèi)容表8.2卸載移載時(shí)之通信內(nèi)容Step信號(hào)名信號(hào)方向動(dòng)作說(shuō)明CS_0 ONAP當(dāng)Active裝置到達(dá)要進(jìn)行卸載移載之Passive裝置時(shí)、即使用CS_0信號(hào)來(lái)指定移載對(duì)象之Loadport。VALID ONAP表示可與以CS_0信號(hào)所指定之Loadport進(jìn)行通信。L_REQONPA自完成將FOUP 從Passive裝置之Loadport裝載（Active裝置進(jìn)行卸載移載

22、）之準(zhǔn)備時(shí)、即將L_REQ信號(hào)ON。TR_REQONAPActive裝置對(duì)Passive裝置側(cè)要求開(kāi)始移載。READYONPAPassive裝置對(duì)Active裝置表示已完成移載準(zhǔn)備。BUSYONAP開(kāi)始移載。L_REQOFFPA當(dāng)FOUP正確地裝載於Loadport上時(shí)、Passive裝置側(cè)即將L_REQ信號(hào)OFF。BUSYOFFAP在結(jié)束移載操作且脫離與Passive裝置側(cè)之干涉區(qū)域時(shí)、即將BUSY信號(hào)OFF。TR_REQOFFAP當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、即將本信號(hào)OFF。COMPTONAP通知Passive裝置側(cè)已結(jié)束卸載移載。READYOFFPA當(dāng)確認(rèn)到COMPT信號(hào)ON後、即將本信號(hào)O

23、FF。COMPTOFFAP當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。VALIDOFFAP當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。此時(shí)、即結(jié)束Active裝置 Passive裝置之通信。CS_0OFFAP當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。9 異常檢測(cè)以下舉例說(shuō)明OHT系統(tǒng)在Handoff中發(fā)生異常之模式。9.1 移載動(dòng)作開(kāi)始前之異常 1) OHV雖已到達(dá)對(duì)象Port、但不開(kāi)始進(jìn)行移載而立即通過(guò)。原 因：裝置尚未完成移載準(zhǔn)備（Manual Mode等）或在異常狀態(tài)。信號(hào)變化：一直處?kù)禜O_AVBL=OFF或ES=OFF之狀態(tài)（亦可能兩者皆O(shè)FF）。信號(hào)名信號(hào)方向T

24、imingCS_0OHV裝置VALIDREADY裝置OHVHO_AVBLES動(dòng)作內(nèi)容由於HO_AVBL為OFF故結(jié)束通信OHV到達(dá)開(kāi)始通信追記：若該Loadport未經(jīng)Teaching亦會(huì)有同樣現(xiàn)象、而未執(zhí)行E84 I/F即結(jié)束搬送。2)已到達(dá)對(duì)象Port、雖短暫待機(jī)但未開(kāi)始進(jìn)行移載即通過(guò)。原 因：裝置尚未完成移載準(zhǔn)備等?；蛟赗EADY=ON前HO_AVBL=OFF。信號(hào)變化：TA1或TA2發(fā)生Timeout後、使OHV側(cè)之信號(hào)全部OFF。（以下之Timing Chart中、為在TA2 Timeout時(shí)。）信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0OHV裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置

25、OHVL_REQU_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1OHV Timer裝置Timer動(dòng)作內(nèi)容結(jié)束通信等待READY ONTA2 TimeoutOHV到達(dá)開(kāi)始通信9.2 移載動(dòng)作中之異常開(kāi)始裝載移載1)在Gripper升降中或開(kāi)閉中OHV變成異常狀態(tài)、而中止移載動(dòng)作。a)OHV檢測(cè)到異常。原因：在OHV發(fā)生了某種異常（偏離Teaching位置/搖晃檢知/在荷ONOFF變化等）。信號(hào)變化：使OHV側(cè)之信號(hào)全部OFF之後、使HO_AVBL=OFF或ES=OFF。（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0OHV裝置VALIDTR_REQBUSY

26、READY裝置OHVU_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1OHV Timer裝置Timer動(dòng)作內(nèi)容發(fā)生異常（OHV）緊急停止TP2OHV到達(dá)開(kāi)始通信b)裝置檢測(cè)到異常。原因：裝置因某種異常而要求緊急停止（按下EMO /在荷Sensor不一致等）。信號(hào)變化：HO_AVBL=OFF或ES=OFF。（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0OHV裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置OHVU_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1OHV Timer裝置Timer動(dòng)作內(nèi)容發(fā)生異常（裝置）緊急停止TP2OHV到達(dá)通信開(kāi)始2）

27、結(jié)束卸載後、Gripper打不開(kāi)。原 因：Loadport之在荷狀態(tài)與動(dòng)作狀態(tài)不一致。 （卸載移載雖已結(jié)束但L_REQ並未OFF。）信號(hào)變化：TP3 發(fā)生Timeout後、OHV亦一直等待L_REQ=ONOFF。信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0OHV裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置OHVL_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1OHV Timer裝置Timer動(dòng)作內(nèi)容等待L_REQ OFFTP3 Timeout卸載移載開(kāi)始FOUP已正確放置在Port上OHV到達(dá)通信開(kāi)始TP29.3 移載動(dòng)作後之異常1) 結(jié)束 裝載/卸載移載後、短暫停留後重新開(kāi)始移動(dòng)。原 因：裝

28、置側(cè)未確認(rèn)到OHV之移載結(jié)束通知?；虼_認(rèn)過(guò)遲。 （COMPT=ON之後、超過(guò)指定時(shí)間亦未READY=OFF。）信號(hào)變化：發(fā)生TA3 Timeout後、OHV重新開(kāi)始移動(dòng)。（發(fā)生輕度異常。）信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0OHV裝置VALIDTR_REQBUSYCOMPTREADY裝置OHVU_REQHO_AVBLESTimerTP4TP2TP1TA3TA2TA1OHV Timer裝置Timer動(dòng)作內(nèi)容等待READY OFFTA3 TimeoutFOUP已不在Port上裝載移載開(kāi)始OHV到達(dá)通信開(kāi)始TP3異常結(jié)束9.4 GO信號(hào)OFF變化 1)突然異常結(jié)束。原 因：Device破損、Senso

29、r光遮斷、外部光之干涉等。信號(hào)變化：GO信號(hào)產(chǎn)生ONOFF變化、通信中之所有信號(hào)皆被Reset。其後即不再進(jìn)行通信。信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0OHV裝置VALIDTR_REQBUSYREADY裝置OHVU_REQHO_AVBLESTimerTP1TA2TA1OHV Timer裝置Timer動(dòng)作內(nèi)容GO信號(hào)OFF信號(hào)RestTP2OHV到達(dá)通信開(kāi)始GO信號(hào)係用來(lái)確認(rèn)光信號(hào)被正確地被接收的信號(hào)。 光信號(hào)受信時(shí)ON 光路遮斷時(shí)(非受信時(shí)) OFF9.5 異常之復(fù)舊以下說(shuō)明OHT系統(tǒng)之復(fù)舊方法。收集OHV之Event Log以探尋異常原因。（最好從發(fā)生現(xiàn)狀及Log來(lái)判斷。） 找出異常模式後再進(jìn)

30、行復(fù)舊作業(yè)。OHV之復(fù)舊如以下所示。a) 自ST停止後到等待READY=ON期間裝置若將HO_AVBL=OFF時(shí)、OHV即結(jié)束E84程序並自動(dòng)進(jìn)行復(fù)舊後再開(kāi)始移動(dòng)。TA3 Timeout發(fā)生後亦進(jìn)行同樣之處理。（移載中若OFF時(shí)、即進(jìn)行與b相同之處理。）b) 當(dāng)移載動(dòng)作中裝置將ES=OFF時(shí)、OHV即立刻停止並顯示異常Code後、即等待人工復(fù)舊作業(yè)。（將OHV Ret並進(jìn)行再入線。）c) 若以上述操作仍無(wú)法復(fù)舊時(shí)、由於有可能是Hard/Soft之問(wèn)題 因此須進(jìn)行OHV及周邊機(jī)器之調(diào)查。裝置之異常復(fù)舊方法、由於依各裝置系統(tǒng)其Process時(shí)間、缺陷模式以及復(fù)舊程序均不同、因此本書(shū)不加以規(guī)定。10 注意事項(xiàng)為維持雙向通信、須注意以下各點(diǎn)。使OHV側(cè)裝置側(cè)之兩Device的投光部經(jīng)常相對(duì)向。確保光路避免外部光產(chǎn)生干涉。11 Connector 及各信號(hào)之分配Passive裝置側(cè)Connector之型式、係遵循ISO4902採(cǎi)用DB-25Socket（母）型式。1）電氣信號(hào)之規(guī)格Active/PassiveON狀態(tài)電流電壓OFF狀態(tài)電流電壓輸入Max 10mAMax 1.8 VdcMax 200AMax 30 Vdc輸出Max 25mA SinkMax 1.8 VdcMax 100A SourceMax 30 Vdc電源電