生產(chǎn)車間防靜電技術要求

1、 文件編號： 發(fā)放號： 受控狀態(tài)：生產(chǎn)車間防靜電技術要求編制：審核：批準： 發(fā)布日期： 生效日期： 文件發(fā)行及更改記錄表制修訂更改原因更改內容審核批準生效日期版本號1范圍本標準規(guī)定了本公司生產(chǎn)車間靜電防護的技術要求；本標準適用于本公司產(chǎn)品生產(chǎn)、物料存放、試驗現(xiàn)場的防靜電控制。2術語2.1防靜電工作區(qū)（EPA）配備各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標記且滿足防靜電要求，為建立保護面積和進行保護性操作所必須配置的設施和工具的統(tǒng)稱，如有靜電敏感元器件和組裝件操作的生產(chǎn)區(qū)和物料存放區(qū)域。2.2硬接地（hard ground） 直接與大地電極做導電性連接的一種接地方式。2.3軟接地

2、（soft ground）通過一足以限制流過物體的電流達到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。2.4大地電極(earth electrode)埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。他可以是桿狀的、板狀的或網(wǎng)狀的，為接地系統(tǒng)提供接大地的基準點。2.5靜電耗散材料（dissipative materials） 其表面電阻率等于或大于1×105，但小于1×1012；或體積電阻率等于或大于1×104cm，但小于1×1011的材料。3 一般要求3.1防靜電標記符號 在防靜電工作區(qū)應在明顯的位置貼靜電防護標志，如圖3-13-1 靜電防護標志3.2

3、工作人員在進入防靜電工作區(qū)時，須穿戴好防靜電工作服、工作鞋。3.3工作人員對靜電敏感元器件、組裝件進行操作時，須戴好ESD防護腕帶，并測試合格。3.4指定人員定期測量并記錄車間環(huán)境條件。4詳細要求4.1氣候與環(huán)境條件4.1.1溫度 EPA內應裝有溫度調節(jié)裝置，以維持其室溫在25±5，采用準確度優(yōu)于±2的溫度計測量EPA的室溫，并在每日的同一時間進行測量并記錄。記錄表見附表14.1.2濕度EPA內應裝有濕度調節(jié)裝置，以維持室內相對濕度在3070%RH范圍內。采用準確度優(yōu)于±2%的濕度計測量EPA內的濕度，并在每日的同一時間進行測量并記錄。記錄表見附表14.1.3潔凈

4、度保持生產(chǎn)現(xiàn)場干凈、整潔。4.1.4靜電消除器在對靜電敏感元器件或組裝件操作的工作臺上，應裝設靜電消除器（離子風機等），以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在操作過程中因人體、工具及其他物品相互摩擦在工件上產(chǎn)生的靜電荷。靜電消除器應能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護區(qū)域內使靜電位保持在規(guī)定值以內，中和能力應優(yōu)于±250V/s。4.2接地EPA內應有滿足使用功能要求的防靜電接地分系統(tǒng)，并通過大地電極分系統(tǒng)接到大地。4.2.1防靜電接地分系統(tǒng) EPA的防靜電接地分系統(tǒng)包括人體防靜電接地、地板防靜電接地和操作裝置、儀器的防靜電接地等，連接方式如圖4-1。除個別指明需采用硬接地外，一般采用

5、軟接地方式，其接地電阻可由外界電阻、材料內固有電阻或它們的組合構成。4.2.2接地安裝注意事項防靜電接地分系統(tǒng)最好與電源地等其它分系統(tǒng)各自獨立；防靜電工具、裝置等的接地端子允許使用易于拆卸的各種夾式連接器，如鱷魚夾、插針等，但應確保電氣連接可靠。接地主干線截面積應不小于100mm2；支干線截面積應不小于6mm2；設備和工作臺的接地線應采用截面積不小于1.25mm2的多股敷塑導線，接地線顏色應和操作現(xiàn)場其它電源線等的顏色有較大區(qū)別。4.3各種器材、用具的靜電性能4.3.1 測量儀器 EPA相關設施安裝完成后應定期對其進行檢測，并記錄檢測結果（檢測記錄表見附表2），接地系統(tǒng)的測量儀器的量程應為01

6、011，測量電極為圓柱形，直徑50mm，重量2kg。儀器的輸入和輸出線與兩電極通過鱷魚夾、連接器等便于拆卸的方式連接，測量時施以500V電壓。4.3.2 ESD防護工作臺面除非制造工藝要求要使用導（靜）電工作臺面，EPA內的工作臺面應使用靜電耗散材料制成并接地良好。ESD防護工作臺面的對地電阻和表面（點對點）電阻要求見表1。對地電阻測量時，將測量儀器的一端接到工作臺與地線的連接線上，另一個電極測量五個點取平均值（如圖4-2）。表面（點對點）電阻測量時，兩測試電極相距0.9m，測量五組數(shù)據(jù)取平均值，測量時一電極不動，另一電極以0.9m的半徑繞固定的電極旋轉移動（如圖4-3）4.3.3 ESD防護

7、地面 除非制造工藝要求需要使用導（靜）電地面，EPA內應采用靜電耗散地板、地墊或噴涂防靜電漆，并良好接地，其對地電阻和表面（點對點）電阻要求見表1。對地電阻測量時，儀器一個電極接防靜電接地分系統(tǒng)，另一電極放置在防靜電地面上，取房間不同位置測量并取平均值（如圖4-4）；表面（點對點）電阻測量時，一個電極固定，另一個電極以0.9m為半徑取5個測量點，并取平均值（如圖4-5）。表1 EPA內各種器材的靜電性能要求器材名稱章條號表面（點對點）電阻（）對地電阻（）穿戴狀態(tài)下的對地電阻（）說 明ESD防護工作臺4.3.27.5×1051.0×1010 7.5×1051.0&#

8、215;109/ESD防護地面4.3.31.0×1051.0×10101.0×1051.0×109/ESD防護腕帶4.3.4/7.5×1053.5×107/7.5×1051.0×1010/內表面對電纜扣7.5×1055.0×106/腕帶連線端對端物流車、存放架4.3.57.5×1051.0×10107.5×1051.0×109器材名稱章條號表面（點對點）電阻（）對地電阻（）穿戴狀態(tài)下的對地電阻（）說 明周轉容器4.3.67.5×1051.0

9、15;10107.5×1051.0×109（體積電阻）/工作服4.3.71.5×1051.0×10101.5×1051.0×1010/4.3.4 ESD防護腕帶a腕帶穿戴狀態(tài)下的電阻測試操作者以正常方式戴上腕帶，把線端插入測試器，手指壓住手摸觸板，直至儀器可以穩(wěn)定測量為止（如圖4-6）。b腕帶內表面對電纜扣電阻（點對點電阻） 將兩測試點擊分別接觸腕帶內表面和電纜扣與測試儀連接測量（如圖4-7）。c腕帶接地電纜兩端電阻（點對點電阻）用測試電極連接電纜兩端測試（如圖4-8）。4.3.5 物品存放架、內部物流車應能通過支腳或輪子接地，它與工

10、件接觸的表面應由靜電耗散材料制作。對地電阻和表面（點對點）電阻要求見表1。對地電阻測量如圖4-9；表面（點對點）電阻的測量如圖4-10。4.3.6 周轉容器其體積電阻和表面（點對點）電阻要求見表1。體積電阻測量如圖4-11；表面（點對點）電阻測量如圖4-12。4.3.7 ESD防護工作服ESD防護工作服各部分之間應存在電氣連續(xù)性。工作服的設計應能保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。必要時，工作服上設置專門的接地連接點，在穿戴過程中通過導線接地。測量時，工作服放在絕緣臺上，絕緣臺的表面電阻1014；兩電極之間的間距不小于300mm。ESD工作服的對地電阻和表面（點對點）電阻要求見表1。

11、工作服的對地電阻測量如圖4-13；表面（點對點）電阻測量如圖4-14。4.3.8 電烙鐵 電烙鐵應進行硬接地，電烙鐵頭值接地系統(tǒng)的電阻應不大于2。4.3.9 其它 EPA內的防靜電工作椅、防靜電工作鞋等性能要符合相關標準的規(guī)定。4.4 EPA維護與檢查要求對EPA的各項技術要求，必須經(jīng)常性地進行檢查、監(jiān)測，以維持各項性能符合標準規(guī)定。檢查的頻次如表2所列。檢查頻次項目名稱檢查方式每日一次環(huán)境溫度、相對濕度測量佩戴腕帶狀態(tài)下的對地電阻測量ESD防護工作服穿戴情況目視每周一次ESD防護工作臺面接地情況目視地板、地墊接地情況目視系統(tǒng)接地情況目視每月一次標記情況目視工作服對地電阻和表面（點對點）電阻測量每季度一次ESD防護工作臺對地電阻和表面（點對點）電阻測量地板、地墊對地電阻和表面（點對點）電阻測量周轉容器體積電阻和表面（點對點）電阻測量電烙鐵對地電阻測量存放架和內部物流車對地電阻和表面（點對點）電阻測量建成后第一年每季度一次，以后每21個月一次系統(tǒng)接地電阻測量 13/ 1