CDA及制程真空簡(jiǎn)介

1、 壓縮乾燥空氣及壓縮乾燥空氣及製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)廠務(wù)四處空調(diào)課廠務(wù)四處空調(diào)課 第一單元第一單元壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)系統(tǒng)目的系統(tǒng)目的 提供低含水量之壓縮潔淨(jìng)空氣提供低含水量之壓縮潔淨(jìng)空氣需求設(shè)備需求設(shè)備 離心式空氣壓縮機(jī)離心式空氣壓縮機(jī)(螺旋式空氣壓縮機(jī)螺旋式空氣壓縮機(jī)) 吸附式乾燥機(jī)吸附式乾燥機(jī)(冷凍式乾燥機(jī)冷凍式乾燥機(jī)) 微粒子過濾器微粒子過濾器品質(zhì)要求品質(zhì)要求(各廠需求略有不同各廠需求略有不同) 系統(tǒng)末端壓力高於系統(tǒng)末端壓力高於7.0kg/cm2 空氣露點(diǎn)溫度低於空氣露點(diǎn)溫度低於-70(水份含量低於水份含量低於0.12ppm) 微粒數(shù)少於微

2、粒數(shù)少於10顆顆/ft3 壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓力單位壓力單位 inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr大氣壓力大氣壓力 1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr絕對(duì)壓力絕對(duì)壓力 錶壓力錶壓力+大氣壓力大氣壓力壓力換算壓力換算 1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi 壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)風(fēng)量單位風(fēng)量單位 CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)單位換

3、算單位換算 1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH =(3.28ft)3/min=35.3CFM特定風(fēng)量條件特定風(fēng)量條件 Standard Condition(SCMM)：1atm、20、65%R.H Normal Condition(NCMM)：1atm、0、0%R.H壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)Standard&Normal風(fēng)量轉(zhuǎn)換風(fēng)量轉(zhuǎn)換 理想氣體定律理想氣體定律 (P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 P：絕對(duì)壓力絕對(duì)壓力 T：絕對(duì)溫度絕對(duì)溫度Standard&Normal風(fēng)量轉(zhuǎn)換範(fàn)例風(fēng)量轉(zhuǎn)換範(fàn)例 100SCMM= NCMM 理想氣體定律

4、理想氣體定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0+273) Ans：93.17NCMM Q(Standard) Q(Normal)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣處理流程壓縮乾燥空氣處理流程壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)離心式空氣壓縮機(jī)離心式空氣壓縮機(jī)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)離心式空氣壓縮機(jī)離心式空氣壓縮機(jī) 冷 凝 水 橈 性 接 頭 油 過 濾 器 油 溫 控 制 閥 油 冷 卻 器主 油 泵 油 加 熱 器 油 箱 旁 通 閥 過 濾 網(wǎng) 油 空 氣 水 後 冷 卻 器中 間 冷 卻 器中 間冷

5、 卻 器 輔 油 泵進(jìn) 口 空 氣 過 濾 器 和 消 音 器進(jìn) 口 調(diào) 節(jié) 導(dǎo) 葉 止 回 閥 排 油 氣 風(fēng) 扇 及 過 濾 器壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)IGV&BOV壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機(jī)元件介紹乾燥機(jī)元件介紹壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機(jī)元件介紹乾燥機(jī)元件介紹氣動(dòng)控制閥件氣動(dòng)控制閥件壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機(jī)溫度乾燥機(jī)溫度/壓力錶壓力錶(機(jī)械式機(jī)械式)入口壓力入口壓力出口壓力出口壓力A桶槽壓力桶槽壓力 B桶槽壓力桶槽壓力冷卻壓力冷卻壓力A桶槽溫度桶槽溫度B桶槽溫度桶槽溫度排氣出口溫度排氣出口溫度壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機(jī)溫度

6、乾燥機(jī)溫度/壓力錶壓力錶(機(jī)械式機(jī)械式)Inlet PressureLeft Chamber PressureA桶槽桶槽B桶槽桶槽Outlet PressurePurgeRight Chamber PressureMoisture Indicator1.藍(lán)色藍(lán)色正常正常2.粉紅粉紅含水含水壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機(jī)溫度乾燥機(jī)溫度/壓力錶壓力錶(機(jī)械式機(jī)械式)B桶槽桶槽冷卻壓力冷卻壓力壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機(jī)溫度乾燥機(jī)溫度/壓力控制開關(guān)壓力控制開關(guān)(電子式電子式)加熱溫度加熱溫度控制開關(guān)控制開關(guān)(維持維持200)加熱器溫度加熱器溫度保護(hù)開關(guān)保護(hù)開關(guān)(370)B桶槽高溫切

7、換桶槽高溫切換保護(hù)開關(guān)保護(hù)開關(guān)(50)A桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護(hù)開關(guān)保護(hù)開關(guān)(50)空氣出口溫度空氣出口溫度監(jiān)視點(diǎn)監(jiān)視點(diǎn)A桶槽建壓桶槽建壓壓力開關(guān)壓力開關(guān)(45psi)B桶槽建壓桶槽建壓壓力開關(guān)壓力開關(guān)(45psi)加熱結(jié)束溫度加熱結(jié)束溫度控制開關(guān)控制開關(guān)(80)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)Cycle Time(22hr) 單一桶槽依續(xù)完成吸附與再生過程之總時(shí)間單一桶槽依續(xù)完成吸附與再生過程之總時(shí)間吸附過程吸附過程(11hr) 乾燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序乾燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序再生過程再生過程(11hr) 洩壓程序洩壓程序(8min)：洩除欲再生桶槽保有之壓力洩除欲再生桶

8、槽保有之壓力 加熱程序加熱程序(240min max)：加溫移除乾燥粒子所含水份加溫移除乾燥粒子所含水份 冷卻程序冷卻程序(410min max)：冷卻乾燥粒以恢復(fù)吸附能力冷卻乾燥粒以恢復(fù)吸附能力 建壓程序建壓程序(15min)：建立再生完成桶槽之壓力建立再生完成桶槽之壓力壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)工作流程工作流程吸附過程吸附過程入口閥入口閥(桶槽切換時(shí)作動(dòng)桶槽切換時(shí)作動(dòng))A桶排氣閥桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)吸附桶槽吸附桶槽待機(jī)桶槽待機(jī)桶槽建壓閥建壓閥(OFF)桶槽切換依據(jù)桶槽切換依據(jù)1.偵濕器作動(dòng)偵濕器作動(dòng)(7

9、.513kHz)2.時(shí)間控制時(shí)間控制(11hr)B桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護(hù)開關(guān)保護(hù)開關(guān)(50)A桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護(hù)開關(guān)保護(hù)開關(guān)(50)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)再生過程再生過程洩壓程序洩壓程序(8min)入口閥入口閥A桶排氣閥桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(ON)B桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)洩壓桶槽洩壓桶槽吸附桶槽吸附桶槽建壓閥建壓閥(OFF)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)再生過程再生過程加熱程序加熱程序(240min max)入口閥入口閥A桶排氣閥桶排氣閥(ON)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥桶洩壓閥

10、(OFF)加熱桶槽加熱桶槽吸附桶槽吸附桶槽建壓閥建壓閥(OFF)加熱溫度加熱溫度控制開關(guān)控制開關(guān)(維持維持200)加熱器溫度加熱器溫度保護(hù)開關(guān)保護(hù)開關(guān)(370)加熱結(jié)束溫度加熱結(jié)束溫度控制開關(guān)控制開關(guān)(80)1.鼓風(fēng)機(jī)啟動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)啟動(dòng)2.加熱器啟動(dòng)加熱器啟動(dòng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)再生過程再生過程冷卻程序冷卻程序(410min max)入口閥入口閥A桶排氣閥桶排氣閥(ON)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)冷卻桶槽冷卻桶槽吸附桶槽吸附桶槽建壓閥建壓閥(ON)35壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)再生過程再生過程建壓程序建壓程序(15min)

11、入口閥入口閥A桶排氣閥桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)建壓桶槽建壓桶槽吸附桶槽吸附桶槽建壓閥建壓閥(ON)35A桶槽建壓桶槽建壓壓力開關(guān)壓力開關(guān)(45psi)B桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護(hù)開關(guān)保護(hù)開關(guān)(50)A桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護(hù)開關(guān)保護(hù)開關(guān)(50)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)微粒子補(bǔ)捉原理微粒子補(bǔ)捉原理氣流慣性/衝擊粒子粒子粒子欄截?cái)U(kuò)散/靜電粒子運(yùn)動(dòng)路徑粒子運(yùn)動(dòng)路徑 第二單元第二單元製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)系統(tǒng)目的系統(tǒng)目的 移除系統(tǒng)內(nèi)氣體、創(chuàng)造具真空度之空間移除系統(tǒng)內(nèi)氣體、創(chuàng)造具真空度之

12、空間需求設(shè)備需求設(shè)備 真空機(jī)真空機(jī) (真空泵真空泵)品質(zhì)要求品質(zhì)要求(各廠略有不同各廠略有不同) 系統(tǒng)末端真空度高於系統(tǒng)末端真空度高於25.0 inHg製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)壓力單位壓力單位 inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr大氣壓力大氣壓力 1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr絕對(duì)壓力絕對(duì)壓力 錶壓力錶壓力+大氣壓力大氣壓力真空度真空度 負(fù)壓力單位負(fù)壓力單位or壓力單位壓力單位(vac)製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)流程圖真空系統(tǒng)流程圖製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空機(jī)組成真空機(jī)組成製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空機(jī)工作流程真空機(jī)工作流程空空 氣氣 部部 份份潤(rùn)滑油部份潤(rùn)滑油部份製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空機(jī)錶件真空機(jī)錶件/圖控點(diǎn)圖控點(diǎn)/附屬元件附屬元件製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空機(jī)真空機(jī)入口導(dǎo)引閥入口導(dǎo)引閥真空開關(guān)設(shè)定：下限真空開關(guān)設(shè)定：下限-26.0inHg 上限上限-28.0inHg設(shè)備啟動(dòng)設(shè)備啟動(dòng)(真空度小於真空度小於26.0inHg vac)真空度大於真空度大於26.0inHg(vac) 小