真空度測試儀技術(shù)指標(biāo)

1、真空度測試儀技術(shù)指標(biāo) 主要特點 基于電離電荷的采樣技術(shù) ZKY-III型真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我廠首創(chuàng)了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準(zhǔn)確性。 漏電電流的處理 對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時，會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和

2、有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。 內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線 真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時，其放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測量，對每一種真空滅弧室必須有對應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù)，通過數(shù)學(xué)處理，將其特征參數(shù)送入ZKY-III系列產(chǎn)品。因此,Z

3、KY-III系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線。 這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中絕無僅有的。完善的輸入保護(hù)電路 當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時，測量時真空滅弧室會被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。ZKY-III的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時工作不正常時（重新開機(jī)即可），也不會造成電路部分的損壞。 技術(shù)參數(shù)測量范圍： 1*10-51*10-1pa測量誤差： l*l0-41*l0-1pa中誤差<5%測量分辨率： 10-5pa允許環(huán)溫： O55空氣濕度： <85%RH電 源： AC220士10%外型尺寸： 430X300X235mm使用說明 ZKY-III型真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備。它以單片計算機(jī)為主控單元，測試過程完全實現(xiàn)自動化。該儀器在原理上改變了國內(nèi)外同類產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法，而采用離子電荷來做標(biāo)定。這樣，在物理原理上有更好的準(zhǔn)確性，而且，有效地抑制了測試過程中脈沖電源的干擾，使測試穩(wěn)定可靠。該儀器采用兩次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測量過程中考慮了完全漏氣的真空滅弧室的判別，真正做到了對安裝于整機(jī)上的真空