靜電理論及防護(hù)講課提綱

1、1靜電理論及防護(hù)講課提綱上海市物理學(xué)會(huì)靜電專業(yè)委員會(huì)秘書長(zhǎng) 李學(xué)文博士（未經(jīng)允許,不得翻印）2第三部分、防靜電基本知識(shí)第三部分、防靜電基本知識(shí)一、靜電基礎(chǔ)理論一、靜電基礎(chǔ)理論 3.1 3.1 靜電與靜電現(xiàn)象靜電與靜電現(xiàn)象3.1.13.1.1靜電的定義及其特點(diǎn)靜電的定義及其特點(diǎn)靜電（Electrostatic）就是物體表面過剩和不足的靜止電荷，靜電是一種電能，它留存與物體表面；靜電是正電荷和負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果；靜電是通過電子和離子的轉(zhuǎn)移而形成的。靜電放電現(xiàn)象是大家都熟悉的。當(dāng)天氣干燥時(shí)，用塑料梳子梳頭時(shí)會(huì)產(chǎn)生放電聲；和毛皮摩擦之后的鋼筆桿可吸引小紙屑（當(dāng)電荷密度達(dá)到106C/m2時(shí)

2、）；脫下合成纖維衣服時(shí)產(chǎn)生噼啪聲，夜間還可以看到火花（空氣的擊穿場(chǎng)強(qiáng)為30kv/cm）；在日光燈、電視機(jī)屏幕、唱片、錄音機(jī)磁頭上易于附著灰塵等現(xiàn)象。這都是我們?nèi)粘Ｉ钪薪?jīng)常體驗(yàn)到的靜電現(xiàn)象。工業(yè)上存在的靜電現(xiàn)象是及其廣泛的，在電子、石油、塑料、合成纖維、化工、醫(yī)療等行業(yè)頻繁出現(xiàn)，并為人類所利用。但是，人們往往忽視靜電現(xiàn)象的危害方面，只是在工業(yè)生產(chǎn)作業(yè)中，特別是電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，由于靜電放電引起了機(jī)器故障和誤動(dòng)作，人們才把它們當(dāng)作靜電危害來處理。靜電現(xiàn)象是電荷的產(chǎn)生和消失的過程中產(chǎn)生的電現(xiàn)象的總稱。靜電具有以下特點(diǎn)：3（1）從防靜電危害的角度考慮，凡電阻率在 以下的材料，對(duì)于靜電而言就已經(jīng)是導(dǎo)

3、體，或稱靜電導(dǎo)體；體電阻等于或大于 的材料為靜電的非導(dǎo)體；體電阻率介于 的材料為靜電的亞導(dǎo)體。對(duì)于材料的這種劃分與通常情況下對(duì)導(dǎo)體、絕緣體的劃分是不同的。圖1給出了材料的分類。cm6101cm6101cm6101cm10101圖1材料的分類4（2 2）在一般工業(yè)生產(chǎn)中，靜電具有高電位、低電量、小電流（脈沖電流，有）在一般工業(yè)生產(chǎn)中，靜電具有高電位、低電量、小電流（脈沖電流，有爭(zhēng)議）和作用時(shí)間短的特點(diǎn)，設(shè)備或人體的靜電位最高可達(dá)數(shù)萬伏以至數(shù)十萬伏；爭(zhēng)議）和作用時(shí)間短的特點(diǎn)，設(shè)備或人體的靜電位最高可達(dá)數(shù)萬伏以至數(shù)十萬伏；這要比市電這要比市電220v220v、380v380v高得多。但所積累的靜電量

4、卻很低，通常為微庫(kù)侖級(jí)；靜高得多。但所積累的靜電量卻很低，通常為微庫(kù)侖級(jí)；靜電電流多為毫安級(jí)；作用時(shí)間多為毫秒級(jí)。電電流多為毫安級(jí)；作用時(shí)間多為毫秒級(jí)。（3 3）靜電較之流電受環(huán)境條件、特別是濕度的影響較大；靜電測(cè)量時(shí)復(fù)現(xiàn)性）靜電較之流電受環(huán)境條件、特別是濕度的影響較大；靜電測(cè)量時(shí)復(fù)現(xiàn)性差、瞬態(tài)現(xiàn)象多。差、瞬態(tài)現(xiàn)象多。靜電通世界上任何事物一樣具有兩重性：既能為人類造福，如靜電復(fù)印、靜電靜電通世界上任何事物一樣具有兩重性：既能為人類造福，如靜電復(fù)印、靜電涂敷、靜電除塵等靜電應(yīng)用技術(shù)；亦會(huì)帶來許多危害，諸如石化、電子及電工領(lǐng)涂敷、靜電除塵等靜電應(yīng)用技術(shù)；亦會(huì)帶來許多危害，諸如石化、電子及電工領(lǐng)域。

5、就電子元器件的生產(chǎn)及電子設(shè)備的裝聯(lián)、調(diào)試作業(yè)而言，因接觸摩擦起電、域。就電子元器件的生產(chǎn)及電子設(shè)備的裝聯(lián)、調(diào)試作業(yè)而言，因接觸摩擦起電、人體靜電與接地問題能造成很大經(jīng)濟(jì)損失。初步研究發(fā)現(xiàn)，摩擦起電、人體靜電人體靜電與接地問題能造成很大經(jīng)濟(jì)損失。初步研究發(fā)現(xiàn)，摩擦起電、人體靜電乃是電子。微電子工業(yè)中之間兩大危害源。乃是電子。微電子工業(yè)中之間兩大危害源。3.1.2 3.1.2 各種靜電現(xiàn)象綜述各種靜電現(xiàn)象綜述、大氣靜電現(xiàn)象人類生活的地球本身就是極大的導(dǎo)體，地球貯有負(fù)電荷量為 。在距地面60350km的電離層區(qū)建立了方向垂直于地面的電場(chǎng)。空氣中電場(chǎng)強(qiáng)度離地面愈遠(yuǎn)而愈低。如海平面晴天場(chǎng)強(qiáng)為120v；3

6、km高處為25v；80km高處空氣還是導(dǎo)電的。大氣閃電是自然界靜電現(xiàn)象之一。它和自然界的電解、氣流、風(fēng)沙煙塵等呈現(xiàn)著大量的靜電現(xiàn)象，所以人們生活在靜電的海洋之中。C51002. 95、工業(yè)靜電現(xiàn)象、工業(yè)靜電現(xiàn)象這里涉及的靜電現(xiàn)象是指：同種或異種物質(zhì)的機(jī)械分離（流動(dòng)、摩擦、粉碎等），或感應(yīng)在導(dǎo)體上所積累的電荷。工業(yè)中存在的靜電現(xiàn)象介紹如下：（1）紡織工業(yè)中，紗織纖維靜電位：棉花50v，人造絲100v，尼龍1.05kv，電荷量為左右 。（2）橡膠工業(yè)中的靜電：合成橡膠從苯槽出來時(shí)帶電量為 ，靜電電位（電壓）可達(dá)250kv。（3）石油工業(yè)中，汽油在金屬管道中流動(dòng)時(shí)帶負(fù)電荷，管道帶正電荷，汽油流經(jīng)棉制

7、品材料電位達(dá)2.6kv。槽車裝油的油電位高達(dá)10kv以上。在精練中，油經(jīng)過反復(fù)加壓加熱、噴射、冷卻和壓送等工序都會(huì)使釉料帶有大量的電荷。油罐車在馬路上行駛時(shí)輪胎摩擦起電，釉料本身?yè)u晃亦起電，油經(jīng)過閥門、泵、過濾器和截面改變處劇烈起電；特別是過慮起電時(shí)，靜電位非常高。C121026/107mC(4）印刷造紙工業(yè)中，紙離開輥筒時(shí)電位達(dá)1520kv，經(jīng)加光機(jī)達(dá)50kv；印刷時(shí)紙張可達(dá)1.0kv，油墨霧化亦帶電。（5）汽車運(yùn)輸工業(yè)中輪胎的電阻率為 。一般車速下可充電到1550kv，有時(shí)達(dá)100kv。自行車在柏油馬路上行駛時(shí)輪胎電位可達(dá)10kv以上。（6）塑料工業(yè)中的塑料制品表面電阻率為 ，表面經(jīng)摩擦靜

8、電位即達(dá)1kv以上。8101110cm16201010S6（7）粉碎工業(yè)中，大多數(shù)粉體的體電阻率 ，在傳輸加工中都會(huì)起電，如煤粉、面粉及塑料粉加工廠之粉粒懸浮在空氣中形成了氣溶膠的膠狀溶液，從而產(chǎn)生靜電（煤粉渦流與金剛砂混合帶電5.4kv）（8）電子工業(yè)中，摩擦起電和人體帶電常有發(fā)生，如電子器件在生產(chǎn)及組裝成電子設(shè)備的焊接、搬運(yùn)與檢測(cè)等工序中，難免相互碰撞和接觸摩擦而形成很高的表面電位。再如操作者與大地絕緣時(shí)，人體的靜電電位高達(dá)1.535kv，無論是摩擦起電或是人體靜電產(chǎn)生如此高之高的靜電電位，均能招致耐壓不高的電子器件毀壞或軟擊穿。3.2靜電的產(chǎn)生、來源 由于材料表明電荷的不平衡引起靜電荷，

9、這種電荷的不平衡產(chǎn)生了可以測(cè)量到的電場(chǎng)，該電場(chǎng)能夠在遠(yuǎn)處影響別的物體，此時(shí)物體帶有靜電。靜電放電是指在不同電勢(shì)的兩個(gè)物體之間靜電電荷的轉(zhuǎn)移。靜電起電最常見的原因是兩種材料的接觸和分離。1010cm3.2.1 3.2.1 概述概述靜電問題依附于物體（氣、液、固體）而存在。如果物體帶有過剩的電荷則成為帶電體。物體間的電荷轉(zhuǎn)移過程就是起電過程，互相作用物體間的電荷轉(zhuǎn)移在其界面上進(jìn)行。下面以摩擦起電為例，簡(jiǎn)單說明靜電產(chǎn)生的過程：靜電產(chǎn)生的方式很多，接觸、摩擦、沖流、冷凍、電解、壓電、溫差等都可以產(chǎn)生靜電。但基本過程可歸納為：接觸 電荷轉(zhuǎn)移 偶電層的形成 電荷分離。7圖2 人體的充電過程 下面以摩擦起電

10、為例，簡(jiǎn)單說明靜電產(chǎn)生的過程： 圖3 摩擦電序8正常情況下，物體的正、負(fù)電荷平衡，物體是不帶電的。當(dāng)兩種不同物體相互摩擦?xí)r，如圖2所示，人的鞋子與地毯摩擦?xí)r，各自帶上極性相反、數(shù)量相同的電荷。實(shí)際上，人體在充電過程中，電荷發(fā)生了轉(zhuǎn)移。國(guó)外學(xué)者研究表明：不同物質(zhì)摩擦起電的序列按如下順序排列（見圖3）。圖中，任意兩種物質(zhì)發(fā)生摩擦后，位于較前的物質(zhì)一般帶正電，而位于較后者帶負(fù)電，即電子從位于前面的物質(zhì)轉(zhuǎn)移到后面的物質(zhì)中。這里強(qiáng)調(diào)一個(gè)電荷的概念。（1）類電荷 相斥， 異類電荷 相吸。（2）導(dǎo)體上的電荷可移動(dòng)，絕緣體上的電荷不可移動(dòng)。這就說明，絕緣體上的電荷不能通過接地進(jìn)行中和。圖4 導(dǎo)體上的電荷可移動(dòng)

11、，絕緣體上的電荷不可移動(dòng)93.2.2 3.2.2 金屬間的接觸起電理論金屬間的接觸起電理論在日常生活中，靜電問題多數(shù)與絕緣材料有關(guān)。因此，通常認(rèn)為靜電材料尤其是金屬材料不會(huì)產(chǎn)生靜電。事實(shí)并非如此，兩種金屬接觸分離時(shí)也會(huì)發(fā)生電荷的轉(zhuǎn)移，從而產(chǎn)生靜電。只是分離過程中，由于金屬的導(dǎo)電性良好，常常很快將電荷帶走，分離后金屬上幾乎沒有靜電荷，從而在通常條件下不顯示出靜電帶電現(xiàn)象。3.2.33.2.3固體起電固體起電、接觸帶電、接觸帶電兩個(gè)物體在相互接觸時(shí)，在界面處由于兩個(gè)作用面能態(tài)的差異，如電阻溢出功、溫度等的不同，發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移而形成偶電層。接觸起電的基本過程見圖5(a) 接觸電荷轉(zhuǎn)移 （b）偶電層形成

12、 （c）電荷分離圖圖5 5 接觸摩擦起電的基本過程接觸摩擦起電的基本過程10、剝離起電、剝離起電 當(dāng)相互密切結(jié)合的物體剝離時(shí)，會(huì)引起電荷的分離，引起分離物體雙方帶電的現(xiàn)象，稱為剝離起電。 圖圖6 6 剝離起電剝離起電、壓電起電、壓電起電在給石英等離子型晶體加壓時(shí)，會(huì)在它們表面產(chǎn)生極化電荷，這種現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)。產(chǎn)生壓電效應(yīng)的原因是這些晶體在電學(xué)上各向異性。、熱電起電、熱電起電若對(duì)顯示壓電效應(yīng)的某些晶體加熱，則其一端帶正電，另一端帶負(fù)電，這種現(xiàn)象成為熱電效應(yīng)。例如在給石英晶體加熱時(shí)就會(huì)出現(xiàn)這種現(xiàn)象。 感應(yīng)起電感應(yīng)起電感應(yīng)起電通常是對(duì)于導(dǎo)體來說的。處于電場(chǎng)中的導(dǎo)體，由于靜電感應(yīng)，使得導(dǎo)體上的電荷重

13、新分布，從而使物體的電位發(fā)生變化。對(duì)于絕緣材料，在靜電場(chǎng)中由于極化也可以使其帶電，也把它稱為感應(yīng)起電。113.2.43.2.4粉體起電粉體起電粉體是固體的一種物質(zhì)形態(tài)，粉體由分散性固體顆粒組成。每一個(gè)顆粒都是體積很小的固體介質(zhì)。粉體物質(zhì)因靜電影響生產(chǎn)速度和產(chǎn)品質(zhì)量。影響人們的正常生活，甚至引起災(zāi)害性事故等問題。所以，無論靜電應(yīng)用技術(shù)的研究，還是靜電危害的防治，都非常重視粉體靜電問題。粉體是處于特殊狀態(tài)下的固體。與大塊的固體相比，粉體本身具有分散性和懸浮性兩大特點(diǎn)。粉體的懸浮性使粉體很容易懸浮在空氣中形成煙塵，或懸浮于液體中，很難沉淀析出。不管粉體是金屬還是絕緣體，粉體懸浮使得粉體顆粒與大地總是

14、絕緣的每一顆粒都可能帶電。粉體起電是由于粉體與器壁、粉體與粉體間相互碰撞、接觸分離、摩擦引起的。這時(shí)起電量與其分散度、電導(dǎo)率、速度、周圍空氣濕度、碰撞時(shí)的接觸程度及接觸面積等有關(guān)。顆粒越小，碰撞面積越大，起電愈劇烈。3.2.4 3.2.4 液體起電液體起電工業(yè)液體的輸送、噴射、混合、攪拌、過濾等加工工序中，都會(huì)出現(xiàn)靜電帶電現(xiàn)象。液體與液體相互接觸以后，可能發(fā)生溶解、混合等現(xiàn)象。在此情況下，無法從宏觀上將它們完全分離開來。所以，用理學(xué)的（機(jī)械的）方法使液體產(chǎn)生靜電的現(xiàn)象，主要包括固體與液體之間的接觸分離起電和氣體與液體之間接觸分離起電兩種類型。例如，流動(dòng)起電、沖流起電、沉降起電、噴射起電等靜電起

15、電方式屬于固體液體間接觸分離起電類型；噴霧起電、泡沫起電等都是氣體液體間接觸分離起電的離子。在這些場(chǎng)合下，固液、氣液之間的邊界面被認(rèn)為是產(chǎn)生靜電的原因。12把液體靜電起電現(xiàn)象統(tǒng)一起來的傳統(tǒng)理論，是以在液體中的帶電離子所形成的邊界層上的偶電層學(xué)說為根據(jù)，這種偶電層由于理學(xué)的（機(jī)械的）作用力而分離，從而導(dǎo)致了靜電起電。3.3 3.3 靜電效應(yīng)靜電效應(yīng)靜電荷所產(chǎn)生的靜電場(chǎng)有三種物理效應(yīng)對(duì)于電子工業(yè)危害最大：（1 1）靜電荷產(chǎn)生的電場(chǎng)力）靜電荷產(chǎn)生的電場(chǎng)力 物體產(chǎn)生靜電后，在其周圍形成靜電場(chǎng)。位于靜電場(chǎng)中的任何其它帶電體都會(huì)受到電場(chǎng)力的排斥或吸引。實(shí)驗(yàn)表面，一般絕緣體或電介質(zhì)產(chǎn)生靜電后，每平方厘米靜電

16、力僅為幾百毫克力。這樣小的力對(duì)重物則毫無作用。但對(duì)重量?jī)H為幾毫克的毛發(fā)、紙片、塵埃的吸附作用非常明顯。 （2 2）靜電放電（）靜電放電（ESDESD）靜電放電是指帶電體周圍的場(chǎng)強(qiáng)超過周圍介質(zhì)的絕緣擊穿場(chǎng)強(qiáng)時(shí)，因介質(zhì)產(chǎn)生電離而使帶電體上的靜電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。靜電放電往往會(huì)對(duì)電子器件造成損害或失效。 （3 3）靜電感應(yīng)）靜電感應(yīng) 當(dāng)導(dǎo)體和電介質(zhì)置于靜電場(chǎng)中，在其上感應(yīng)出正或負(fù)的靜電荷。靜電感應(yīng)電位可達(dá)數(shù)千伏以上，這樣高的靜電壓能對(duì)電子器件造成不良影響。133.43.4、ESDESD對(duì)電子設(shè)備的危害對(duì)電子設(shè)備的危害3.4.1 3.4.1 概述概述ESD是英文Electrostatic Dis

17、charge的縮寫，即靜電放電的意思。當(dāng)某些電介質(zhì)、導(dǎo)體帶上靜電荷后，盡管所帶電荷量不多，但由于自身對(duì)大地分布電容非常小，使得靜電電位較高。當(dāng)垂直于帶電物體表面的靜電電位達(dá)到2000伏時(shí)，就會(huì)向空氣放電。在日常生活中，許多ESD現(xiàn)象，我們都親身經(jīng)歷過。譬如，在冬季一間溫暖的房間里，走在覆蓋地毯的地面時(shí)，當(dāng)你伸手接觸門的把手時(shí)，就會(huì)有電擊的感覺；脫下合成纖維衣服時(shí)產(chǎn)生噼啪聲，夜間還可以看到火花（空氣的擊穿場(chǎng)強(qiáng)為30kv/cm）；天氣干燥時(shí)，用塑料梳子梳頭時(shí)會(huì)產(chǎn)生放電聲。對(duì)于人體而言，這種靜電的突然放電不會(huì)造成任何傷害；可是，對(duì)于ESDS（靜電放電敏感器件）器件，靜電放電就可能損害電子器件。ESD

18、對(duì)電子器件的損害是人體覺察不到的，具有隱蔽性，需通過儀器才能檢測(cè)出（見圖5）。電子器件發(fā)生ESD事件，主要是各種靜電源（人體、工作臺(tái)等）對(duì)電子器件放電所致。在集成電路（integrated circuit）工業(yè)中，靜電放電可以使集成電路芯片介質(zhì)擊穿，芯線熔斷、漏電流增大加速老化、電性能參數(shù)改變等等。靜電放電對(duì)電子器件損害具有潛在和緩慢失效性，這種情況危害更大。通常，ESDS（靜電放電敏感器件）器件易發(fā)生靜電放電，所以，受ESD的危害更大。今天，大多數(shù)電子器件采用對(duì)靜電極為敏感的MOS工藝制作，因此，無論從器件的發(fā)展還是器件的應(yīng)用出發(fā)，為了防止ESD對(duì)電子器件的危害，有必要對(duì)電子器件受靜電危害的

19、機(jī)理以及相應(yīng)的防護(hù)措施進(jìn)行探討。試圖闡明電子器件ESD產(chǎn)生的原因，并對(duì)IC的ESD保護(hù)提供指導(dǎo)。14圖圖5 5 在在FESMEFESME和和TEMTEM兩種儀器下看到的兩種儀器下看到的PMOSPMOS上拉晶體管的硅損傷情況上拉晶體管的硅損傷情況 3.4.23.4.2、靜電源、靜電源由于各種原因（摩擦或靜電感應(yīng)），電子器件或其他物體（包括人體）會(huì)帶靜電，則這些帶電物體（包括電子器件）稱為靜電源。在電子工業(yè)領(lǐng)域，人體是最常見的靜電源，因人體接觸電子器件導(dǎo)致的ESD事件頻繁發(fā)生?？梢?，靜電源是電子器件發(fā)生ESD事件必不可少的條件。所以，深入研究電子器件靜電源的產(chǎn)生的根源顯得非常有必要。3.4.2.1

20、3.4.2.1靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生電子器件所處的環(huán)境中，存在著各種靜電源。這些靜電源是由物體帶電所致，那么，物體又是如何帶電？要弄清楚這個(gè)問題，就必須先談?wù)勳o電產(chǎn)生的物理過程。靜電（Electrostatic）就是物體表面過?；虿蛔愕撵o止電荷。靜電是一種能量，它留存于物體表面；靜電是正電荷和負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果；靜電是通過電子或離子的轉(zhuǎn)移而形成的。15通常任何物體所有的正負(fù)電荷是等量的。當(dāng)與其它物體摩擦、接觸、并由于機(jī)械作用分離時(shí)，在一種物體上積聚正電荷，另一種物體上則積聚負(fù)電荷，在各物體上產(chǎn)生靜電，并在外部形成靜電場(chǎng)。兩種物質(zhì)相互摩擦是產(chǎn)生靜電的一種方式，但不是唯一方式。像噴涂作

21、業(yè)水滴吸附空氣中的負(fù)離子促成其表面雙電層的形成，也可以產(chǎn)生靜電?，F(xiàn)代科學(xué)研究的結(jié)果表明：電效應(yīng)、壓電效應(yīng)、導(dǎo)體（或電介質(zhì)）的靜電感應(yīng)都可以產(chǎn)生靜電。對(duì)于電子器件而言，靜電產(chǎn)生的主要來源有兩類：摩擦起電：電子器件在生產(chǎn)、包裝過程中，因接觸摩擦起電；靜電感應(yīng)：當(dāng)電子器件的導(dǎo)體處在電場(chǎng)中，在其上感應(yīng)出正（或負(fù)）的靜電荷。3.4.2.2 3.4.2.2 電子生產(chǎn)使用環(huán)境中的靜電源電子生產(chǎn)使用環(huán)境中的靜電源電子工業(yè)中，摩擦起電和人體帶電常有發(fā)生，如電子器件在生產(chǎn)及組裝成電子設(shè)備的焊接、搬運(yùn)與檢測(cè)等工序中，難免相互碰撞和接觸摩擦而形成很高的表面電位。再如操作者與大地絕緣時(shí)，人體的靜電電位高達(dá)1.535kv

22、，無論是摩擦起電或是人體靜電產(chǎn)生如此高之高的靜電電位，均能招致耐壓不高的電子器件毀壞或軟擊穿。實(shí)際上，人體和電子器件本身就是重要的靜電源。除此之外，電子器件周圍的環(huán)境中還存在其它靜電源（比如，工作表面、包裝袋等）。表1列舉出電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境存在的靜電源。一旦這些靜電源通過電子器件放電，ESD損害電子器件的事件就會(huì)發(fā)生。不同靜電源所帶的電量、產(chǎn)生的電壓及對(duì)電子器件生產(chǎn)裝配的影響也各不相同。以工作服為例，作業(yè)人員穿用的普通工作服（純棉制）與工作臺(tái)面摩擦?xí)r可產(chǎn)生0.210微庫(kù)侖的電荷量，在服裝表面能產(chǎn)生6000伏以上的靜電電壓并使人體帶電。當(dāng)人體與電子器件接觸時(shí)，即可導(dǎo)致放電，造成器件電介質(zhì)的擊穿。

23、16 表表1 1 電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境存在的靜電源電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境存在的靜電源物體或工藝加工材料（用品）或活動(dòng)工作表面封蠟、涂料或浸漆表面：工作臺(tái)普通樹脂或塑料面：工作椅地板塑料地板打蠟拋光木板普通乙烯樹脂瓦服裝普通清潔室工作服普通合成面料服裝、手套非導(dǎo)電鞋純棉軟包裝及操作普通塑料：袋、罩、封皮普通泡沫容器：泡沫材料裝配、清洗、試驗(yàn)修理水霧清除器普通塑料焊料吸管帶有不接地焊嘴的烙鐵通過流體或蒸發(fā)或吹干芯片載體芯片板托架、盤工具類物流器具（用品）運(yùn)轉(zhuǎn)車存放柜高壓設(shè)備產(chǎn)生靜電感應(yīng)電壓并放電17表表2 2： 靜電對(duì)部分電子器件的擊穿電壓靜電對(duì)部分電子器件的擊穿電壓器件類型 ESD的最小敏感度 (以靜電電

24、壓V表示) VMOS 301800MOSFET 100200砷化鎵FET100300EPROM100以上JFET 1407000SAW(聲表面波濾波器) 150500運(yùn)算放大器 1902500MOS2503000肖特基二極管 3002500SMD薄膜電阻器3003000雙極型晶體管 3807800射極耦合邏輯電路 5001500可控硅 680100018電子器件要發(fā)生ESD事件，除了與靜電源有關(guān)外，還與器件的敏感度有關(guān)。靜電放電敏感器件可寫成ESDS器件。電子器件和設(shè)備的靜電放電敏感度，是以其能耐受得住的最大靜電電壓值來表征。表2列出了部分電子器件的擊穿電壓。從表2可以看到，ESD器件可被幾十

25、伏的靜電電壓損害。3.4.33.4.3、ESDESD對(duì)電子器件的危害對(duì)電子器件的危害在電子器件生產(chǎn)過程中，靜電放電可以改變半導(dǎo)體器件的電性能，造成器件的降級(jí)或損壞。尤其是靜電放電對(duì)器件的損害具有潛在性緩慢失效，據(jù)有關(guān)資料統(tǒng)計(jì)表明，潛在性緩慢失效占電子器件靜電放電失效總數(shù)的90，因此其危害極大。3.4.3.1 ESD3.4.3.1 ESD對(duì)電子器件侵害方式對(duì)電子器件侵害方式ESD對(duì)電子器件侵害方式主要有三種：靜電源直接對(duì)電子器件放電；帶電器件對(duì)其他導(dǎo)體的靜電放電；場(chǎng)感應(yīng)放電。、靜電源直接對(duì)電子器件放電、靜電源直接對(duì)電子器件放電 ESD事件常常發(fā)生在帶電導(dǎo)體（包括人體）對(duì)ESDS的放電過程中。一般

26、的靜電危害是人體或帶電導(dǎo)體直接對(duì)ESDS放電造成。、帶電器件對(duì)其他導(dǎo)體的靜電放電、帶電器件對(duì)其他導(dǎo)體的靜電放電當(dāng)靜電放電敏感器件在操作過程中，或者與包裝材料、機(jī)器表面接觸后，就會(huì)積累靜電荷。當(dāng)器件在包裝盒移動(dòng)或震動(dòng)時(shí)就會(huì)發(fā)生靜電放電。這種放電情況，涉及的電容和能量不同于人體對(duì)ESDS器件的放電情況。在某些情況下，CDM事件比HBN事件所造成的危害更大。、電場(chǎng)感應(yīng)放電、電場(chǎng)感應(yīng)放電感應(yīng)場(chǎng)可以直接或間接對(duì)地造成危害。因?yàn)槿魏螏щ婓w周圍都存在靜電場(chǎng)。如果ESDS器件進(jìn)入靜電場(chǎng)范圍，就會(huì)因?yàn)楦袘?yīng)而帶電。如果器件在電場(chǎng)區(qū)域內(nèi)接地，電荷轉(zhuǎn)移到地的過程稱為CDM事件。193.4.3.2 3.4.3.2 電子

27、器件的電子器件的ESDESD損傷的失效類型損傷的失效類型電子器件ESD損傷的失效類型分為突發(fā)性失效和潛在性失效。、突發(fā)性失效、突發(fā)性失效突發(fā)性失效是指當(dāng)電子器件暴露在ESD環(huán)境中時(shí)，電路參數(shù)可能明顯發(fā)生變化，它的功能可能喪失。ESD可能引起金屬熔化，造成短路或者絕緣層擊穿等，使器件的電路遭到永久性的破壞。這類失效可以在裝運(yùn)之前的成品測(cè)試中檢查出來。據(jù)有關(guān)資料統(tǒng)計(jì)表明，在受靜電損傷的電子器件中，突發(fā)性失效約占失效總數(shù)的 。、潛在性失效、潛在性失效潛在性失效是指當(dāng)器件暴露在ESD環(huán)境中，可能引起器件性能的部分退化，但是部影響它發(fā)揮應(yīng)有的功能。然而，器件的使用壽命大大縮短。這種損傷具有累加性，隨著所

28、遭受的靜電放電脈沖次數(shù)的加多，使器件的靜電損傷電壓閾值逐次降低，或使器件的參數(shù)緩慢變壞。據(jù)資料統(tǒng)計(jì)表明：潛在性失效占電子器件靜電放電失效總數(shù) 。因此，電子器件的潛在性失效危害更大。為進(jìn)一步直觀的認(rèn)識(shí)ESD對(duì)電子器件的潛在危害，下面結(jié)合電子器件的ESD失效模型進(jìn)行闡述。10%90%如圖6所示，MOS管的柵極可以認(rèn)為是一個(gè)低電壓（20v）、低漏電流的電容器。電容器主要是由源極金屬化合物和柵極硅材料構(gòu)成。硅氧化物柵極絕緣物質(zhì)組成電容器絕緣體。20圖圖6 MOS6 MOS管的失效模型管的失效模型當(dāng)源極和柵極的電壓足夠高，達(dá)到柵極絕緣層的擊穿電壓時(shí)，ESD對(duì)MOS管的損害事件就會(huì)發(fā)生。這時(shí)，靜電放電的電

29、弧燒灼柵極絕緣層，留下一個(gè)微小的洞，造成電子器件的永久損傷。和任何電容一樣，為達(dá)到規(guī)定的電壓值，MOS管的柵極必須充電，達(dá)到一定的電荷量。相對(duì)尺寸較小的電子器件而言，尺寸較大的電子器件電容較大，單位電壓需要較多電荷。因此，尺寸大的電子器件受ESD的影響要比尺寸小的電子器件小的多。213.4.43.4.4、電子器件發(fā)生、電子器件發(fā)生ESDESD的機(jī)理的機(jī)理3.4.4.13.4.4.1電介質(zhì)（靜電源）帶電模型電介質(zhì)（靜電源）帶電模型帶電介質(zhì)（靜電源）可以通過各種途徑對(duì)電子器件放電，譬如，人的手指（帶靜電）接觸電子器件時(shí)，就可能導(dǎo)致ESD事件發(fā)生。所以，有必要對(duì)電介質(zhì)帶電特性進(jìn)行研究。電介質(zhì)帶電時(shí)，

30、相當(dāng)于被充電的電容器。假設(shè)帶電介質(zhì)的電容為C，放電前穩(wěn)定的帶電量為Q，電介質(zhì)的電壓為V，則有： （1）由公式（1）可知，在電介質(zhì)電壓V一定的情況下，電介質(zhì)的電容量越大，其儲(chǔ)存的電荷量就越多。換句話說，電容量大的電子器件，承擔(dān)單位電壓需要較多電荷。常見帶電電介質(zhì)所帶電量為毫微庫(kù)侖級(jí)，電容量為幾十微微法，所以其靜電電壓較高。例如，某靜電源的電荷量為0.6微庫(kù)侖，其對(duì)地電容20微微法時(shí)，靜電源的靜電電壓為3000伏。由此可見，靜電源具有高電位、低電量的特點(diǎn)。CVQ 3.4.4.23.4.4.2、電子器件的、電子器件的ESDESD模型模型、人體模型、人體模型電子器件的ESD過程是一個(gè)非常復(fù)雜的隨機(jī)過程

31、。產(chǎn)生靜電放電的靜電源多種多樣，而且同一種靜電源對(duì)于不同的電子器件放電產(chǎn)生的結(jié)果也不一樣，所以ESD事件往往具有不可重復(fù)性。ESD事件的不可重復(fù)性給建立電子器件的ESD模型帶來困難，要完全模擬靜電放電的所有特征是不可能的。通常，根據(jù)不同靜電源放電的主要特點(diǎn)，建立相應(yīng)的ESD模型，來模擬靜電放電的主要特征。根據(jù)靜電源放電的z主要特征，電子器件的放電模型主要有3種。它們分別是：人體模型、機(jī)器模型和帶電器件模型。22圖圖7 HBM7 HBM模型模型在上述三種ESD模型中，人體模型是最基本，也是建立其它兩種放電模型的基礎(chǔ)。所以，有必要對(duì)人體放電的規(guī)律進(jìn)行研究。圖7所示的電路是標(biāo)準(zhǔn)的人體ESD模型，用1

32、00pF的電容器串聯(lián)1500 的電阻模擬人體放電。很容易計(jì)算出人體放電的電流瞬時(shí)值為： （2）式中，： 人體電壓； R：人體電阻； C：人體對(duì)地電容。由于人體放電回路的時(shí)間常數(shù)很大，所以放電電流的波形呈脈沖狀，電流幅值可達(dá)1安培以上（見圖8）。RCtoeRUti/)(oU23圖圖8 HBM ESD8 HBM ESD短路電流波形短路電流波形 圖圖9 MM9 MM模型電路原理圖模型電路原理圖、機(jī)器模型、機(jī)器模型機(jī)器模型（Machine Model），簡(jiǎn)稱MM。用來模擬帶電導(dǎo)體對(duì)電子器件發(fā)生的靜電放電事件。機(jī)器模型最初由日本人提出，試圖產(chǎn)生“最嚴(yán)酷”的人體靜電放電事件，因此機(jī)器模型也稱日本模型。見圖

33、9，機(jī)器模型的基本電路模型是，200pF的電容部經(jīng)過電阻直接對(duì)器件進(jìn)行放電。機(jī)器模型模擬導(dǎo)體帶電后對(duì)器件的作用，如在自動(dòng)裝配線上的器件遭受帶電金屬構(gòu)件對(duì)器件的靜電放電，也可模擬帶電的工具和測(cè)試夾具等對(duì)器件的作用。24、帶電器件模型、帶電器件模型隨著器件生產(chǎn)和裝配的現(xiàn)代化，人體接觸器件的機(jī)會(huì)相對(duì)減少，電子器件本身在加工、處理、運(yùn)輸過程中可能因與工作面及包裝材料等接觸、摩擦而帶電，當(dāng)帶電的電子器件接近或接觸導(dǎo)體或人體時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生進(jìn)點(diǎn)放電。在生產(chǎn)線上由于帶電器件靜電放電對(duì)敏感電子器件造成的危害相對(duì)突出。如圖10，通常永帶電器件模型來描述帶電器件發(fā)生靜電放電現(xiàn)象。nH120pFpF圖10 CDM模型

34、參數(shù)RLC = 0 , 0 ，253.4.5 3.4.5 電子器件靜電防護(hù)原理電子器件靜電防護(hù)原理電子器件在生產(chǎn)和使用過程中，不產(chǎn)生靜電是不可能的。產(chǎn)生靜電并非危險(xiǎn)所在，危害在于靜電的積累以及由此產(chǎn)生的靜電放電?？梢杂肦C放電電路來模擬靜電源，設(shè)絕緣導(dǎo)體對(duì)地電容為C，絕緣電阻為R，所帶起始電量為，則任意時(shí)刻t時(shí)導(dǎo)體表面的電荷 為 （3）QRCtoeQtQ/)(26第四部分第四部分 靜電測(cè)試及分析技術(shù)靜電測(cè)試及分析技術(shù)4.1 4.1 概述概述 這部分內(nèi)容主要介紹電子設(shè)備、元器件等產(chǎn)品制造和使用過程中，防靜電系統(tǒng)(包括：接地系統(tǒng)、地面、墻壁、工作臺(tái)、臺(tái)墊、工作椅、物流傳遞器具、包裝用品、人體靜電防

35、護(hù)用品、操作維修工具、離子風(fēng)機(jī)等)的測(cè)試目的、原理及方法。4.1.1靜電檢測(cè)的作用靜電檢測(cè)的作用靜電測(cè)試是整個(gè)靜電防護(hù)工作中不可缺少的重要組成部分。為掌握靜電起電放電的規(guī)律，了解生產(chǎn)、儲(chǔ)運(yùn)和技術(shù)保障過程中靜電放電的情況，判斷該過程中靜電放電的危險(xiǎn)性，確定靜電危險(xiǎn)場(chǎng)所，檢驗(yàn)靜電防護(hù)措施的效能以及分析靜電事故，都必須進(jìn)行靜電測(cè)試。此外，在靜電科研中以及靜電應(yīng)用的工藝設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)、施工、生產(chǎn)等過程中，也需要測(cè)試靜電參數(shù)。為考核靜電敏感電子產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量，也需要對(duì)這些產(chǎn)品的靜電敏感度進(jìn)行測(cè)試。4.1.2 4.1.2 靜電測(cè)試的目的靜電測(cè)試的目的靜電測(cè)試的目的可以歸納為以下幾點(diǎn)：1、為靜電防護(hù)工程設(shè)

36、計(jì)和改善產(chǎn)品自身抗靜電性能提供依據(jù)；2、在實(shí)際運(yùn)行條件下，判斷人體、設(shè)備等是否可能成為靜電放電危害源；3、檢測(cè)靜電防護(hù)器材（器具、工具、設(shè)備、材料）的抗靜電性能和質(zhì)量；4、評(píng)價(jià)靜電防護(hù)措施的效果；5、當(dāng)發(fā)生靜電放電危害后進(jìn)行模擬測(cè)試，分析事故原因，為采取有針對(duì)性的措施提供依據(jù)；6、評(píng)價(jià)靜電敏感電子產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量。274.1.3 4.1.3 靜電測(cè)試的特點(diǎn)靜電測(cè)試的特點(diǎn)靜電測(cè)試與一般的強(qiáng)電或弱電測(cè)試相比，具有自身的特點(diǎn)，只有把握這些特點(diǎn)，才能選擇好適宜的測(cè)試儀器，制定出合適的實(shí)驗(yàn)方法和程序，得出較準(zhǔn)確的結(jié)果。 靜電測(cè)試具有下列特點(diǎn);1、靜電測(cè)試儀器要具有小的輸入電容和極高的輸入電阻2、靜電

37、測(cè)試結(jié)果往往與測(cè)試方法和測(cè)試電壓等測(cè)試條件有關(guān)目前國(guó)內(nèi)外靜電測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)化尚未全面完成，測(cè)試儀器多種多樣，在實(shí)際工作中往往存在測(cè)試方法不統(tǒng)一，結(jié)果不一致，再現(xiàn)性差等問題。3、靜電測(cè)試受各種環(huán)境條件的影響顯著4、靜電放電敏感度測(cè)試時(shí)對(duì)使用的模擬器輸出波形要求較嚴(yán)格4.1.4 靜電測(cè)試的主要內(nèi)容靜電測(cè)試的主要內(nèi)容 1、基本參量測(cè)試2、防靜電設(shè)施與器具性能測(cè)試3、包裝材料靜電性能測(cè)試4、人體靜電參數(shù)測(cè)試5、織物與服裝靜電性能測(cè)試6、靜電敏感度測(cè)試284.2 4.2 靜電基本參量的測(cè)試靜電基本參量的測(cè)試4.2.14.2.1靜電電位（電壓）的測(cè)試靜電電位（電壓）的測(cè)試靜電電壓是指帶電體表面某點(diǎn)的靜電位與

38、某一參考點(diǎn)（通常是指“地”）電位之間的差值。由于通常將地電位取為零，故帶電體表面的靜電電位值即代表了該處的電壓水平。如果已知帶電體對(duì)地電容和電量，根據(jù) 就可求出帶電體的對(duì)地電壓。CQU/1 1、導(dǎo)體電位測(cè)試、導(dǎo)體電位測(cè)試（1 1）測(cè)試儀器）測(cè)試儀器導(dǎo)體電位測(cè)試儀器主要分為兩類：接觸式靜電電壓表和非接觸式靜電電壓表 、接觸式靜電電壓表、接觸式靜電電壓表 接觸式靜電電壓表（靜電伏特計(jì)）通常是利用靜電力矩來進(jìn)行測(cè)試的。常用的靜電電壓表，其型號(hào)、性能見表3。測(cè)試原理：利用等電位原理測(cè)試，把被測(cè)帶電體用對(duì)地絕緣的電纜直接連在輸入阻抗為 以上靜電電壓表的測(cè)量電極上，由（靜電電壓表）表頭直接讀出被測(cè)帶電體的

39、電位，這種測(cè)試叫等電位測(cè)試法，也稱接觸式測(cè)量。 121029表表3 3常用的接觸式靜電電壓表常用的接觸式靜電電壓表1210.Rkv1010.Rkv1010.R型號(hào)名稱級(jí)別量程特性Q2V靜電伏特計(jì)1.030、75、150、750、1500、3000（v）20oC、RH90時(shí)，輸入電阻輸 入電容C30pFQ3V高壓靜電電壓計(jì)157.5、15、30（）1525 oC、RH85時(shí)，輸入 電 阻 ， 輸 入 電 容 C12pFQ4V高壓靜電電壓表1.020、50、100（）20oC、RH85時(shí)，輸入電阻， 輸入電容C20pF30、非接觸式靜電電壓表、非接觸式靜電電壓表根據(jù)工作原理的不同，該類儀表主要分為

40、靜電感應(yīng)型和電離型兩種。a、靜電感應(yīng)型的靜電表面電位計(jì)簡(jiǎn)單的說，靜電感應(yīng)型儀表的原理是將測(cè)試探頭靠近帶電體，利用探頭與被測(cè)試帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場(chǎng)測(cè)試帶電體表面電位，實(shí)質(zhì)上是對(duì)帶電體表面電場(chǎng)的測(cè)試（見圖18）。被測(cè)帶電體CwTCbRbL圖18 直接感應(yīng)式儀表測(cè)試原理314.2.24.2.2、靜電電量測(cè)試、靜電電量測(cè)試 電量是反映帶電體情況本質(zhì)的物理量之一，它決定著帶電體產(chǎn)生靜電放電發(fā)生的概率。如果帶電體為一個(gè)導(dǎo)體，可以通過接觸式靜電電位計(jì)先測(cè)出其靜電電壓，然后按照基本關(guān)系式 計(jì)算出基本電量。工程實(shí)際中，需要進(jìn)行靜電電量測(cè)試的物體多為帶電的絕緣物體。絕緣物體所帶電荷并不完全分布在表面上，在物體

41、內(nèi)部也有電荷存在，所以需借助于法拉第筒來完成靜電電量的測(cè)試。對(duì)于導(dǎo)體而言，法拉第筒同樣適用。CUQ （1）測(cè)試設(shè)備法拉第筒、滾筒摩擦機(jī)（或其它標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的摩擦起電器具）、靜電電量表（接觸式靜電電壓表、電容器）。（2）測(cè)試原理和方法將被測(cè)物體按有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的摩擦器具和方法摩擦后，放入與靜電電量表電氣連接的法拉第筒內(nèi)，測(cè)出帶電量。（3）測(cè)試裝置的工程實(shí)用數(shù)據(jù) a、法拉第筒法拉第筒的實(shí)際應(yīng)用往往受到限制。因此，也可以去掉內(nèi)外筒的蓋子，內(nèi)筒的容積要大于帶電體三倍以上，外筒的高度應(yīng)比內(nèi)筒高出10左右，內(nèi)外筒間隙（即內(nèi)筒的靜電容）要視測(cè)試靈敏度的要求和測(cè)試儀表的測(cè)試范圍而定。、絕緣支架絕緣支架電阻大于 ，例

42、如用聚四氟化物c、并聯(lián)電容器泄漏電阻應(yīng)在 以上，電容值應(yīng)與靜電電壓表的量程匹配。、靜電電壓表輸入電阻應(yīng)大于 。（4）靜電電量的計(jì)算121011410112101324.2.3 4.2.3 靜電電容的測(cè)試靜電電容的測(cè)試電容是與靜電能量、靜電電壓、靜電電量、靜電時(shí)間常數(shù)等物理量有關(guān)的系統(tǒng)的重要參數(shù)之一。研究靜電起電規(guī)律、判斷靜電能量的大小、確定靜電源的安全電壓以及分析產(chǎn)生靜電事故的原因，都要確定設(shè)備、物料和人體的對(duì)地電容。因此，靜電電容的測(cè)試非常重要。測(cè)試的方法主要有交流測(cè)試法和直流測(cè)試法兩類。4.2.44.2.4電阻與電阻率的測(cè)試電阻與電阻率的測(cè)試電阻是與靜電泄漏緊密相關(guān)的電氣參數(shù)之一，電阻測(cè)試

43、包括絕緣電阻、接地電阻、靜電接地電阻和靜電泄漏電阻測(cè)試；電阻率測(cè)試包括表面電阻率和體電阻率的測(cè)試。1、絕緣材料電阻與電阻率的測(cè)試（1）絕緣電阻與電阻率的概念介質(zhì)材料的試樣上安放兩個(gè)電極，在其間施加一定的直流電壓U時(shí)，測(cè)量電極間就有電流I流過，電壓U與電流I的比之，稱作絕緣電阻R， 即 然而，電極間流過的電流I包括沿試樣表面流動(dòng)的泄漏電流 和穿過介質(zhì)內(nèi)部的電流 兩部分。URISIVI33表面電阻 ，體電阻 ，則材料電阻R為表面電阻、體電阻的并聯(lián)值，這三個(gè)電阻值均與測(cè)量電極 大小、形狀有關(guān)，因此，給出測(cè)量結(jié)果時(shí)應(yīng)同時(shí)表明測(cè)量電極的參數(shù)。為了定量描述材料的導(dǎo)電性質(zhì)，擺脫測(cè)量值對(duì)測(cè)量電極參數(shù)的依賴關(guān)系

44、，引入了表面電阻率和體電阻率的概念。SSURIVvURI表面電阻率定義為單位寬度、單位長(zhǎng)度材料的表面電阻值，即正方形材料兩對(duì)邊間的表面電阻值，單位為歐姆，其數(shù)值大小與正方形的幾何尺寸無關(guān)4.3 4.3 防靜電設(shè)施及器具靜電性能測(cè)試防靜電設(shè)施及器具靜電性能測(cè)試防靜電系統(tǒng)包括靜電腕帶、防靜電服、防靜電鞋、地面、接地設(shè)施、工作臺(tái)、儲(chǔ)物架、小推車等防靜電設(shè)施用品，它們都是實(shí)施靜電防護(hù)必不可少的物質(zhì)手段。因此，對(duì)這些防靜電設(shè)施進(jìn)行靜電性能測(cè)試，以確保投入使用時(shí)其性能合格，對(duì)靜電防護(hù)效果四影響是直接而具體的。所測(cè)試的主要參數(shù)是接地電阻和表面電阻。測(cè)試的儀器包括地電阻測(cè)試儀、500V DC兆歐表、萬用電表、

45、腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀等測(cè)試裝置。測(cè)試所用電壓依據(jù)被測(cè)試電阻而定。有的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定 ，當(dāng)電阻 時(shí)，使用10V，當(dāng)時(shí)，使用電壓100V。5101XR5101XR344.3.1 ESD4.3.1 ESD防護(hù)腕帶、鞋束（足跟帶）靜電性能測(cè)試防護(hù)腕帶、鞋束（足跟帶）靜電性能測(cè)試在投入操作之前，當(dāng)人體佩戴防靜電腕帶后，應(yīng)當(dāng)首先進(jìn)行對(duì)地電阻測(cè)試。測(cè)試時(shí)，應(yīng)確保腕帶是佩戴于正常工作時(shí)的部位，將腕帶連接導(dǎo)線的自由端接入測(cè)試的一個(gè)電極插孔（儀表的另一插孔接地），見圖19，用手指按下接觸板按鈕，經(jīng)15s待儀表穩(wěn)定后讀數(shù)。腕帶對(duì)地電阻一般規(guī)定為 。75101105 . 7R圖圖19 測(cè)試佩戴腕帶時(shí)測(cè)試佩戴腕帶時(shí)

46、系統(tǒng)電阻系統(tǒng)電阻圖圖20 腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣電阻測(cè)試電阻測(cè)試 35腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）將兩測(cè)試電極分別接觸內(nèi)面和電纜扣與測(cè)試儀連接測(cè)量（見圖20）腕帶接地電纜兩端電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）用測(cè)試電極連接電纜兩端測(cè)試（見圖21）圖圖21 21 腕帶連接電纜系腕帶連接電纜系統(tǒng)電阻測(cè)試統(tǒng)電阻測(cè)試4.3.2 ESD4.3.2 ESD防護(hù)工作服靜電性能測(cè)試防護(hù)工作服靜電性能測(cè)試工作服防靜電的有效性直接依賴于它的表面電阻。要求工作服的設(shè)計(jì)應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體直接或間接接觸，并自身具有較小的表面電阻值。1 1、防靜電工作服對(duì)地電阻和表面電阻的測(cè)試、防靜電工作服對(duì)地電阻和表面電阻的測(cè)試36一般要求工作服的表面電阻為 ，對(duì)地電阻為 ，其測(cè)試原理分別如圖22和圖23所示。測(cè)試電極為圓柱形，直徑為50mm，重量2kg。85101105 . 7R5107.5 101 10R 圖圖22 服裝對(duì)地電阻服裝對(duì)地電阻測(cè)試原理圖測(cè)試原理圖圖圖23 23 服裝表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電服裝表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)試原理圖阻測(cè)試原理圖374.3.3 4.3.3 防靜電鞋電阻測(cè)試防靜電鞋電阻測(cè)試防靜電鞋也是提供人體靜電泄漏通道的主要措施，且能在一旦腕帶發(fā)生問題時(shí)，可以作為一種最基本的人體與大地