半導體廠GAS系統(tǒng)基礎知識

1、系統(tǒng)基礎知識概述專業(yè)認知廠務系統(tǒng)定義是將廠乃是藉由連接以傳輸使機臺達到預期的功能。務提供的（如水，電，氣，化學品等）,經(jīng)由預留之連接點（）,藉由管路及電纜線連接至機臺及其附屬設備（）機臺使用這些,達成其所被付予的制程需求并將機臺使用后,所產(chǎn)生之可回收水或廢棄物（如廢水,廢氣等）,經(jīng)由管路連接至系統(tǒng)預留接點，再傳送到廠務回收系統(tǒng)或廢水廢氣處理系統(tǒng)。項目主要包括：，.二、專業(yè)知識的基本認識在半導體廠，所謂氣體管路的（配管銜接）以（一般性氣體如、2、2、2、H2等）而言，自供氣源之氣體存貯槽出口點經(jīng)主管線（）至次主管線（）之點稱為一次配（1），自出口點至機臺（）或設備（）的入口點，謂之二次配（2）。

2、以（特殊性氣體如：腐蝕性、毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體）而言其供氣源為氣柜（）。自出口點至（.多功能閥箱）或（多功能閥盤）之一次測（）入口點，稱為一次配（1）,由或之二次側（）出口點至機臺入口點謂之二次配（2）。簡單知識基本掌握第一章氣體概述由于制程上的需要，在半導體工廠使用了許多種類的氣體，一般我們皆依氣體特性來區(qū)分，可分為一般氣體()與特殊氣體()兩大類。前者為使用量較大之氣體，如N2、等，因用量較大，一般氣體常以大宗氣體稱之。后者為使用量較小之氣體？一般指用量小，極少用量便會對人體造成生命威脅的氣體，如4、3等1.1介紹半導體廠所使用的大宗氣體，一般有：、2、2、2、2、等七種。1 .

3、大宗氣體的制造：/(/):之來源取之于大氣經(jīng)壓縮機壓縮后除濕，再經(jīng)過濾器或活性炭吸附去除粉塵及炭氫化合物以供給無塵室()。2 ():利用壓縮機壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)過觸媒轉化器，將反應成2,將H2反應成H2Q再由分子篩吸附2、H2Q再經(jīng)分溜分離O2&N2=-195.6C,O2=-183C2():將2經(jīng)由純化器()純化處理，產(chǎn)生高純度的氮氣。一般液態(tài)氮氣純度約為99.9999%,含小數(shù)點后共6個9。經(jīng)純化器純化過的氮氣純度約為99.9999999%,含小數(shù)點后共9個9。2():利用壓縮機壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0%以上純度之氧，再除去N2、。另外可由水電解方式解離

4、H2&O2,產(chǎn)品液化后易于運送儲存。():利用壓縮機壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0%以上純度之僦氣，因僦氣在空氣中含量僅0.93%,生產(chǎn)成本相對較Wj。2():利用壓縮機壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，經(jīng)二次分溜獲得99.0%以上純度之氫氣。另外可由水電解方式解離H2&O2,制程廉價但危險性高易觸發(fā)爆炸，液化后易于運送儲存。():由稀有富含氨氣之天然氣中提煉，其主要產(chǎn)地為美國及俄羅斯。利用壓縮機壓縮冷卻氣體成液態(tài)氣體，易由分溜獲得。-268.9C,-161.4Co2 .大宗氣體在半導體廠的用途：:主要供給內(nèi)氣動設備動力氣源及吹凈()，助燃。主要供給廠務系統(tǒng)氣動設備動力氣

5、源及吹凈。N2:主要供給部分氣動設備氣源或供給吹凈、稀釋、惰性氣體環(huán)境及化學品輸送壓力來源。02:供給制程氧化劑所需及制程中供給氧化制程用，供203所需之氧氣供應及其它制程所需。:供給制程，離子濺鍍熱傳導介質，稀釋及惰性氣體環(huán)境。H2:供給爐管設備燃燒造成濕氧環(huán)境，制程中做H2之用，制程中作為6之還原反應氣體及其它制程所需。供給化學品輸送壓力介質及制程芯片冷卻3 的供應系統(tǒng)-ON2OOO2OOOH2O-OOO-OOOIFPurifierRoom2FSub-FabIF建化室EF次潦方寶Source氣源Purifier燉化器Sub-Main次主管3FClearRoom3"汽浮Tools機

6、臺大宗氣體（）雖然不像特殊氣體（），有的具有強烈的毒性、腐蝕性。但是我們使用大宗氣體時，仍然要注意安全。2、2、具有窒息性的危險，這些氣體無臭、無色、無味，如大量泄出而相對致空氣中含氧量（一般為21%）減少至16%以下時，即有頭痛與惡心現(xiàn)象。當氧氣含量少至10%時，將使人陷入意識不清狀態(tài),6%以下瞬間昏倒，無法呼吸，6分鐘以內(nèi)即死亡。2因泄漏或混入時，其本身之濃度只要在H2之爆炸范圍(4%-75%)內(nèi)(如對空氣)，只要一有火源，此氣體乃會因相混而燃燒。2會使物質易于氧化產(chǎn)生燃燒，造成火災的不幸事件。因此，身在半導體工廠工作的我們，在設計上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，則是我們努力的工作之一

7、。1.2特殊氣體特性及系統(tǒng)簡介半導體廠所使用的特殊氣體種類繁多，約有四五十種，依危險性可區(qū)分為以下數(shù)類：* 易燃性氣體* 毒性氣體* 腐蝕性氣體* 低壓性/保溫氣體* 惰性氣體1.特殊氣體特性簡介*易燃性氣體:燃點低,一泄漏與其他氣體相混,便易引起爆炸及燃燒如4,3,H2,.）氣瓶架）特殊氣體大量供應系統(tǒng)集束鋼瓶槽車主閥箱/主閥盤閥箱/閥盤（）毒性氣體:反應性極強，強烈危害人體功能,如，3,.*腐蝕性氣體:易與水份起反應而產(chǎn)生酸性物質,有刺鼻，腐蝕，破壞人體的危險性如3,42,*低壓性/保溫氣體:屬粘稠性液態(tài)氣體，需包加熱線及保溫棉,將管內(nèi)的溫度升高以使其氣化,才能充分供應氣體,如6,3,：*

8、惰性氣體:又稱窒息性氣體,當泄漏出的量使空氣中含氧量減少至166%以下時,便會影響人體,甚至死亡,如6,C4F8,N2O,.2.供應系統(tǒng)簡介*）氣瓶柜IFGasRoom:Sub-abi3FCleanRoomIF靠船m2F次爆彈室!3F次漂浮室fflG/C氣瓶柜VMB/VMPTools機臺我們不排除這些氣體會對我們有不良影響。身在半導體工廠的我們，在設計上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，則是我們努力的工作之一。第二章一次配管和二次配管半導體廠的氣體管路，我們一般區(qū)分為一次配管（1）及二次配管（2,又稱）。1 :為由氣體的起始流出點（）至無塵室中的或（）（）。2 :為由或開始至生產(chǎn)機臺設備處為止

9、（）o所使用管材以1/4"、3/8"、1/2"、3/4”為主。之設計應配合氣體類型考量，一般分為及兩大類。2.1 介紹了解半導體氣體工程的配管，和管路設計，必須先了解材料（）2.1.1 材料區(qū)分：1 .&（管件）2 .（配件）3 .（閥件）4 .（調壓閥）5 .（逆止閥）6 .（過濾器）7 .（真空產(chǎn)生器）8 .其他2.1.2選料依據(jù)：?氣體種類,氣體特性*影響材料使用的等級-/.?業(yè)主需求及預算*有無指定廠牌或規(guī)格？依機臺所需用量及本身接點選定料件尺寸*影響材料使用的尺寸-？”/?”/15A/.?依機臺所需壓力及流量不同選擇材料型式*選用壓力范圍適合或流

10、量符合之閥件?視盤面組裝選擇料件接頭型式*/.2.1.3&管件：?1.定義:* :,以公稱內(nèi)徑0配合壁厚作為量度之尺寸.* :以外徑（）及壁厚作為量度之尺寸.*規(guī)格:6M4M100M2.常用材質1304304L&316/316L&&223.表面處理等級：-表面研磨-表面研磨+電解研磨?4.等級:*一般使用316L或316L等級易燃性/惰性氣體316L毒性-雙套管(304+316L)/單管316L腐蝕性氣體-+低壓性氣體316L+2.1.4配件：?1.材質同管件？2.常用種類:+?3.型式及規(guī)格：一般可分為/螺牙接頭尺寸從1/8“1”()及1/4“300A()又分

11、短接頭()長接頭()&(皆有,以作說明)：:表示公司對的分類，是屬于短接頭型式。4:表示尺寸為1/4”。0:表示另一端尺寸同前，為1/4”。E:表示此料件型式為。:表示料件表面處理等極為。:表示此料件為等級的？4.常用廠牌：/.?5.另外大部分又分為三種不同規(guī)格，分別為一般；及。一般型即為平時所見之焊接型式，型為對接型式（即直接以鎖緊），型類似一般型，唯其兩端（三端）尺寸不同。一般組盤所用接頭有兩種，分別為及，其中需鎖緊1/8圈，需鎖緊11/4圈（1/4”以下需鎖緊3/4圈），方能有效鎖緊。大部分的氣體使用之為材質，對具侵蝕性*&O3.O2.1.5 閥件：?1.材質同管件？2.

12、常用種類：手動閥（）球閥波紋管閥膜片閥*氣動閥（）1UIUi*逆止閥（）選取主要依據(jù)其尺寸及兩端接頭型式?jīng)Q定。為使氣體通過之最小壓力。通常選用3以下之型式。3必需使用特殊之，其他?3.常用廠牌：/3高壓閥/低壓閥依使用場所不同來選擇*兩通閥/三通閥/四通閥/.:依需求來選擇注意流向選擇2.1.6 調壓閥：?3.?1.材質同管件？2.材質：，316L,81*N2O-常用種類：*高壓/低壓/一般壓力* 2P無表頭/3P4P單表頭或雙表頭* /?4.一般分高壓與低壓選取，但尚有高流量型式可供選取，另外可依表頭（）需求加以搭配。？（以為例）一般使用316L或316L等級/或1/4”-R25系列3/8”

13、-R35系列1/2-1系列毒性/易燃性/惰性氣體-316L-L25R25系列腐蝕性氣體-+-L25系列低壓性氣體-需選擇可調負壓的-L96系列2.1.7a&?1.常用種類區(qū)別：(-30”0-30)壓力表頭,指針式,C122Il1帶傳輸線122工壓力開關,指針式,電子式壓力表頭*（）壓力傳送器?2.使用于：盤面及管路上？3.壓力范圍大致可分為高壓(0-3000)低壓(-30”0-30)(-30”0160)?4.常用電源：24V,4-202.1.8過濾器:?1.功能：過濾氣體中的微粒子（）?2.過濾等級選擇,即濾徑尺寸（）,可分為:*0.01/0.03/0.003?3.中心濾片（）材質：/

14、316L/濾片材質?4.流量考量（）：分一般流量及大流量30/100/300/1500?5.:?6.注意：一般常用濾片材質（以為例）*:毒性/易燃性/惰性氣體-系列腐蝕性氣體-,316L過濾效防漏性抓取率抗腐蝕效(F)好不好>10.8316L(M)很好好6.2很差很好很好>10.8好2.1.9真空廣生器：裝于/作為抽氣使用的選取主要在于其接頭的尺寸及型式。1/2”2?”2.1.10其他:(1)僦氣：純度99.999以上，每個鋼瓶6立方公尺或7立方公尺,通常一瓶每組可使用23天oC型鋼：制作支撐架用，有高低腳、雙弁、有孔等型式。(3)電工管夾：將管材固定于C型鋼上，最大可使用至5/8

15、”之管子。(4)管束：分單立、雙立、P型等型式，固定管子用(5)牙條：吊掛、固定型鋼用。(6)型鋼墊片：配合牙條、吊掛型鋼用。(7)彈簧螺帽：置于型鋼槽內(nèi)，鎖螺絲或牙條用<符號認識:>1品用RACTUATEti裕U在0t榴I）中用撲悔之嵬夜幽函體由HE!看整出碩除般is岫題2AMtfEL心IVE活雷）浦出口成5之用嘮雷3E4LLTqL"E值帆塔康之刊腳中其內(nèi)注同一球戰(zhàn)糖清4口匚此ZbHE尚止勵用來防止通H流之郵5AMAM<1ALVA山H早就蠲由牌手剪剪杷手陽即切岫現(xiàn)mzj跳粘a學手翻s6flier逾1曲可通通管描中一些性噓子（11©員福某艇的進毗褪障皮7即

16、河砰（沈漫鈿羽用京ttttaif施中的求*1臣子式博菊!&8nijTjnFTtejff制用索值的七嘴中的旗上1S懾械煬星攜9畬用茶防止節(jié)描中之iiLR也建包酬深H漁琥也其宦粉寇傳靜送出就奧10aHERJLEV.&L正將雕流上漸其趕知詞自由國整舊不鉆完去11）1內(nèi)門李Gf5爾聞ft序&師蛆性出魔出出口也混餐竹制墻9整卜12oP劇時曲可鵑源良通如也高管能中嬴國U沖3叫串城建力計）事何電示總前設5的骷力做值拉薩很率跑14。電u$W3呼UE（期«&5）脂星力面睜原相*JK如叫由1印那ft撤演防吊忸涮415由用如瞳BB中工氤=力16LC晨3于胡放在葩期第IL1醐

17、ET的了解口足音圖司氐at17aVtfLUAICtHSROCVG（,嶼康生船）利用蟲代理腦曾附中建和的氯船¥1由出18口EaFSTVfiGLfiFVALyi愫氫"的曾育中的蜃力超幽1件的定值倏，修附中的蛆腑由出蟒廿吃19甲疆洞第圣戰(zhàn)蒯盤期尚曜£氯管2CTWdSlEHgULn管流量慟J物sm尚昭稱逾越郝！俄庖網(wǎng)郵懼正常腹121CA5國”由1昉&酸M陶可遇M管附中一拄微蟬于舊，工以以根異1犍苗流毗潞那度220口即BMHHILMEG距ITCHl4EJ1ffRl垃酬殍網(wǎng)23bEEEbQhlUTLC必2弗ttEK用以他敝力JXB內(nèi)冉升颶煙酒&24SVSOUE

18、htJIOViLVE（田嗣也制闌嗡GM如譙PflKJZS牌2.2 一次配管2.3 一次配管（）2.2.1名詞：主管副主管一次配與二次配連接的閥隔離閥末端閥,11：為由氣體的起始流出點（）至無塵室中的2管路形式魚骨式和回路式兩種在中的供應系統(tǒng)按其形狀可以分為魚骨式：和以魚骨的形狀分布<1a己11I：J口MAIN應向；HLJT立-r/i-r£i也FTflTfl七H1-回路式：和構成回路形式這兩種的供應形式各有自己的優(yōu)缺點，魚骨式成本比較低,但是由于氣體在但方向供應的距離比較長，容易產(chǎn)生較大的壓降，末端部分的容易產(chǎn)生壓力不足的情況；回路式使用從兩端向供氣的方式，很大程度上降低了壓降帶

19、來的不良影響，但是由于延長了的長度，成本比較高。實際上，不管魚骨式還是回路式，通過科學的計算，選擇適當?shù)膲毫凸軓?，都可以滿足廠務的需求，選擇哪種方式，主要看業(yè)主的需要和選擇。3閥件的選擇1-GSEqn*該圖為各種閥件在供應系統(tǒng)中的應用位置yFIvolVP*選擇的依據(jù)：閥的類型：根據(jù)氣體的種類:根據(jù)管路焊接時（防止管路內(nèi)部焊道氧化）的需求*各位置閥的選擇(Main)(Main)23/4",15A:1/2":()()2.2.2名詞：一氣瓶柜一氣瓶架,1為由氣體的起始流出點()至無塵室中的2氣體設備的設計設計流程介紹：1 .客戶提出需求2 .設計建議案提出：a)b)c) Q&#

20、39;3 .箱體，盤面發(fā)包組立：a) Chosenb) c)/設計:1 .功能設計可分為單鋼/雙鋼(2)/三鋼(2+1N2)氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設計可分為三種：分別為單鋼、雙鋼、三鋼。單鋼的設計通常使用于研究機構或實驗室等。制程尚未有量產(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場可隨時協(xié)調停機進行鋼瓶之更換，其優(yōu)點節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調以免中斷制程造成損失。雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，制程不允許停機情況，當一支鋼瓶使用完后，另一支鋼瓶會自動轉為供氣，此兩種形式最大的差別是在管路的純化氮氣是以鋼瓶或廠務端供應，當用的2統(tǒng)一由廠務端來供應時，所有特殊氣體供應系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個供應源，會有較

21、高的風險值；萬一中央供應系統(tǒng)的2中斷，警報系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用，此時極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質可使用同一瓶鋼瓶來增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應變方式。三鋼氣柜成本不會差很多安全性會是最好的，只要空間允許應最優(yōu)先選擇。2 .操作性設計：一般氣瓶柜都設計有兩個特殊氣體鋼瓶，需自動切換的功能以達到連續(xù)供應不斷氣的目的，氣態(tài)氣體通常以壓力感應器來計算鋼瓶的剩余量，若是液態(tài)蒸氣壓氣體則以電子磅秤來偵測剩余量，當一瓶用完時會切換到另一瓶。操作上一般可分為全自動、半自動、手動三種方式通常換鋼瓶時會執(zhí)行下列幾種：(a)(換鋼瓶前)首先將鋼瓶閥關閉，測試是否有關緊，用真

22、空產(chǎn)生器將特殊氣體抽出，再用2來稀釋管壁內(nèi)的特殊氣體，重復執(zhí)行充吹的動作將管壁內(nèi)的特殊氣體稀釋干凈，此時即可更換鋼瓶。(b)(換鋼瓶后)通常以2來進行保壓測試，測試鋼瓶接頭是否銜接良好，再利用2重復執(zhí)行充吹的動作來將鋼瓶接頭清潔干凈。(c)(用特殊氣體)直接用特殊氣體來管壁，主要的目的是要將2完全的清除讓供氣的品質更好，不會因更換鋼瓶而供應品質受到影響。(d)(高壓測漏)通常高壓燃燒性氣體會建議使用高壓測漏，因為經(jīng)過高壓測漏更能確保鋼瓶接頭銜接沒問題。一般鋼瓶更換時機大約是剩余10%勺殘留量，但實際上應以制程的需求來決定，這樣才會得到最佳的更換時間。再者，鋼瓶都有使用期限，操過使用期限因為部分

23、特殊氣體會對鋼瓶造成為腐蝕，污染氣源。為到達上述1-4項的功能，其管件的設計就會比較復雜，建議顧客盡量使用自動的供應系統(tǒng)，若使用手動的方式進行，人員操作需要非常的小心謹慎，只要任何一項步驟有疏失極可能影響供應的品質，嚴重時有可能造成人員傷亡。即使是氣瓶架也應該采用自動的供應系統(tǒng)，雖然沒危險性，人員操作不當極有可能造成污染，畢竟要人員重復動作可能幾十次，不但需要耗很多的時間，人員也要集中很多精神來執(zhí)行，風險等級也相對提高。3 .氣瓶柜管路設計：認識氣瓶柜盤面上的一些設計，以下逐一介紹盤面上重要主件：1 .氣動閥氣源：一般以2來進行控制，不建議使用，因2的供應系統(tǒng)比較穩(wěn)定，不會因停電或運轉設備故障

24、而中斷，此氣源是用于自動或半自動的氣動閥件開關。2 .手動控制閥：主要用于第二到防護作為第二次確認用，一般于供應氣體的出口端。3 .逆止閥：防止特氣倒灌到清潔用的2系統(tǒng)和抽氣用的2系統(tǒng)。4 .調壓閥：用于調整供應系統(tǒng)的供應壓力。5 .壓力傳送器：是防護系統(tǒng)中非常重要的零件，透過它我們可以判斷管路是否泄漏，相關閥件是否正常開關，同時亦可檢知鋼瓶的剩余量。6 .真空產(chǎn)生器：利用2快速流動產(chǎn)生吸力，將管路中的氣體抽出，以到達抽氣的目的。7 .氣體過濾器：一般在鋼瓶出口端會裝比較粗的過濾器，在出端會裝比較細的過濾器，有效過濾氣體中的粒子，過濾器較不易所以一般不建議裝在常的管路中。8 .過流量偵測器：對

25、管路異常流量進行偵測，若是操過設定值，即判斷管路上可能大量泄漏，進而關閉供應系統(tǒng)停止供氣。9 .限流孔：是一種簡易又有效的過流量控制裝置，用以限制大量氣體流過，一般使用于處，其主要功用大量的特殊氣體排出，區(qū)域性的廢氣處理機無法處理的情況發(fā)生。氣瓶柜在管路設計上應該特別注意的事項如下：1 .不相容的氣體管路不可相連在一起。2 .不相容的氣體不能裝在同一個氣瓶柜內(nèi)，即使各自獨立的供應系統(tǒng)也嚴重禁止。3 .管路大小應依實際制程所需的壓力流量來設計。4 .鋼瓶接頭型號應事先由業(yè)主告知我們以免有接頭無法接上的問題。5 .小鋼瓶會使用可調整的支撐架。6 .閥件材質應依氣體特性來選擇。7 .如有考慮擴充性可

26、在出口端加裝一個預留擴充閥。4.安全防護設施：氣瓶柜防護設計，包括外籍的防火與防爆設計、抽風孔、火焰?zhèn)蓽y器、消防灑水頭、毒氣偵測器、緊急遮斷開關、過流量偵測器、溫度偵測器、煙霧偵測器、限流孔、遠端遮斷等。其中消防灑水頭在氣瓶柜內(nèi)的溫度操過65c時，玻璃會自動破裂灑水，但要注意有些腐蝕性氣體會與水產(chǎn)生強烈反映，建議不安裝消防灑水頭。在氣體房內(nèi)也需裝煙霧偵測器及灑水頭，以防止氣瓶柜以外的地方有火災，所有系統(tǒng)應該與中央監(jiān)控系統(tǒng)連線，并與廣播系統(tǒng)連線，一有警報立即疏散相關人員，由廠區(qū)緊急應變小組來進行處理，以免發(fā)生危險。這些相關防護設備在規(guī)劃時應特別考慮其擺放位置及其實用，如緊急遮斷按鈕除氣柜上需要外

27、，在氣體房外或中央監(jiān)控系統(tǒng)亦需架設，避免氣體外泄人員無法進入關閉源頭的鋼瓶；此外警報警示燈與警報聲響亦需在氣體房外面明顯的位置架設，以利人員緊急處理時的識別，并規(guī)劃相關防護器具，如更換鋼瓶時所使用的空氣面罩。為防止地震會在氣瓶柜的底部打上膨脹螺絲固定，使其在地震時不至于位移，地震儀的安裝通常有三個感應器，分別裝于廠區(qū)的三個角落，可避免當有外力的干擾時（如施工）即造成誤動作，一般執(zhí)行地震切斷系統(tǒng)功能，通常會設定兩個地震儀動作才會執(zhí)行此功能，且設定地震等級為五級。另一項比較特殊的就是緊急的廢氣處理設備適用于燃燒性氣體，一般時抽風量只有一半，當特殊氣體外泄時，抽風量會全數(shù)運轉，需與偵測器配合使用，但

28、受空間限制一般以吸附一瓶特殊氣的量作為設計，因為其體積非常大。但因價格昂貴目前尚未普及。5,依氣體特性來設計盤面功能AS型CYLINDERSIZESPECIFICATIONPRVHC-22HP-FHP-NiAFLASEFSL/CDPSDPGSPLI._EMP.UV/IRAUTOSWITCHEMOESVDFIRES)AMPERMOKEZEMSO-PURGEDPS2C247LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYYSi此I247LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYYSiH47LYNYNNYNYYYYYYYOptionYYYwf647LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYY安

29、全功能：鋼瓶閥,火焰?zhèn)蓽y器,灑水頭緊急停氣按鈕,泄漏偵測器的設計:內(nèi)氣體種類配置的設計基本上有兩種方式：一種以供應機臺為主，另一種以氣體種類進行分類，前者較少用也比較不好，雖然它有空間上的優(yōu)點，但不相容氣體裝于同一個箱子內(nèi)萬一泄漏或人員誤動作極有可能激烈反應嚴重甚至爆炸，相對偵測器的點數(shù)會增加，造成成本的負擔，未來擴充性也較差，后者的設計是目前最普遍采用的方式，雖然無法集中，操作可能比較不方便，但氣體偵測點少，安全性高，設計及操作容易，擴充性佳?；旧吓c氣瓶柜的設計是大同小異的，只要氣瓶柜有的功能在亦可以做，但由于經(jīng)費的問題一般功能不會做那么好，以手動為主加一個氣動閥可做緊急遮斷用。一般不常會

30、去操作或動到所以發(fā)生泄漏的機率比較低，設計一般以節(jié)省成本為主。一般是以業(yè)主實際上的需求來設計2、3、4、5或其他點數(shù)的數(shù)目，同時供應數(shù)臺機臺，亦可加調壓閥做二次調壓讓壓力更加的穩(wěn)定，設定上下警報訊號做更有效的供應控制。*&:1.210-2,依操作方式可分為“自動”及“手動”3121來潔凈管路及相關閥件(可省略而經(jīng)由機臺來抽氣)4,依制程需求可再次調壓5擴充閥/擴充閥,視需求可供未來擴充6之電控箱藉由集中控制,弁與廠務中控系統(tǒng)銜接*之：1供氣狀況經(jīng)o與中控系統(tǒng)連線，如有緊急狀況可自動切斷氣源2 .所有閥件接點及焊道均在箱內(nèi),可經(jīng)由_抽風功能來減少氣體外漏之危險3 .()4 ()5 .防爆

31、鋼絲玻璃6,配置門鎖以防不當操作2.3二次配管（/）,1為由或開始至生產(chǎn)機臺設備處為止（）2配管之設計：1、 類型：1）草圖：依業(yè)主提供之基本資料（廠務需求單，機臺、圖面等），簡單繪制之圖面。2）施工圖：依據(jù)草圖協(xié)調事宜，經(jīng)確認無誤后繪制而成。發(fā)至現(xiàn)場施工小組，即可依圖施工。3）竣工圖：施工完畢，現(xiàn)場負責人會將現(xiàn)場施工圖面收回。依現(xiàn)場施工修正之施工圖，繪制竣工圖。2、 工作程序及方法：1）先期工作:以建立所需之為主。對繪圖而言，底圖是重要且必需的參考依據(jù)，同時也希望業(yè)主能夠提供。至于如何做分區(qū)、界定，則與客戶廠務工程師協(xié)調后，再進行底圖之分割及最后之圖檔管理。2）工作進行中：a）以業(yè)主提供之圖

32、面及資料，進行統(tǒng)合及繪制草圖的工作。原則上草圖的統(tǒng)合，是由現(xiàn)場負責人負責-包括資料匯整、位置及水、氣、化、電的點數(shù)確認，手繪草圖的工作等等。再與設計人員進行實際的電腦繪圖工作。b）電腦繪圖完成之草圖，經(jīng)現(xiàn)場負責人確認后，交予客戶相關之設備及廠務工程師。協(xié)調相關之廠商負責人及客戶相關之設備或廠務工程師，至現(xiàn)場實際套圖。為求圖面準確性高，則希望業(yè)主提供做為參考之圖面及資料能愈詳細愈好，以做為最后確認草圖的重要依據(jù)。若業(yè)主提供的圖面及資料有修改時，立即進行修改以利完成工作任務。c）協(xié)調、修改后經(jīng)業(yè)主相關設備或廠務工程師確認之圖面，即為施工圖，可發(fā)至現(xiàn)場施工。3）后期工作：a）現(xiàn)場施工小組依圖面施工，

33、施工路徑與施工圖有異時，施工小組將在圖面上作修正。完工后，依現(xiàn)場施工小組修正之圖面，繪制竣工圖。b）現(xiàn)場負責人與設計人員依竣工圖至現(xiàn)場核對，修正后完成竣工圖面。工程，人員及設備之需求視現(xiàn)場實際需要而調配。例如人員工作量之負荷，是否進駐現(xiàn)場，上下班情況等等，皆須配合業(yè)主之要求及預定之時程。一切以正確完成工作為原則?？蛻羲杼峁┲畧D面及資料（以下為參考資料，實際需求以工程為主）一、圖面：1、 客戶廠區(qū)（最好各樓層皆有）2、 ：，3、 :,4、5、6、二、：1、 （機臺設備詳細資料）（1）（2）2、 各機臺使用之點3、 各機臺使用之三.S.G氣體使用區(qū)域:MM®危害性使用顯域GasType

34、1氧化性易燃性毒性腐食蟲性窒息性CVDPVDDIFFIMPETCHPHOTONF3vvvvvvCl2vvHBrvvvSiF4vvvF2/Kr/NevvF2/Ar/NevvC5F8vvBCl3vvvNOvvvvWF6vvvMM®危害性使用展域GasType氧化性易久然性毒性腐觸性窒息性CVDPVDDIFFIMPETCHPHOTOCH2F2vvvCH3FvvvCOvvvC4F6vvv四.B.G使用區(qū)域:2；2:五.S.G適用機臺及制程:氣體種類適用機臺及制程52()()F2222;3000、B;、H22（）；3031、；（）；（）4663、（、卜（）、；（）、（）；（）；303146N2

35、O；3031、；（）、（）3430312O23Z（）、；3031;3000、；、（）、（）、；（）現(xiàn)場配管施工一、概說：1、配管的范圍：1-1、：由至機臺點。1-2、：由各出口端至機臺點。1-3、配管常用的材料：1-4、1-5、：一般常用尺寸為：1/4、3/8、1/2、3/4常用材質為：、。1-6、盤（）：一般常用尺寸為：1/4、3/81/2、3/4組合閥件常見有：手動閥、調壓閥（）；接頭形式啟:、。2、確定機臺需求：設計人員依業(yè)主提供之機臺需求單，包含機臺名稱、位置、氣體需求數(shù)據(jù)、氣源點（及）編號，繪制草圖。3、核對現(xiàn)場及機臺：3-1、將圖與現(xiàn)場狀況核對，如氣源點、管路路徑、上洞點、盤面、門

36、型架、地板開孔及附屬機臺位置等。3-2、待機臺定位后，需再確認上述2-1項、機臺位置、門型架高度，及機臺上各接點氣體名稱、接頭尺寸、點數(shù)等（在某些設備工程師為新進人員或機臺為首次使用的情況下，經(jīng)常無法提供完整的機臺需求）。4、討論事項：管路在氣源點與機臺間是否安裝盤面、相同氣體之各接點（或）是否共享盤面、盤面高度及如何固定等問題，均需與業(yè)主事前充分討論，以免完工后再次修改。5、確認圖及圖：將定稿之圖及圖，交業(yè)主審核無誤（或修改）后，再交工程人員備料施工。6、繪制竣工圖：現(xiàn)場完工后，設計人員需再次核對圖及圖與現(xiàn)場狀況是否相符，修正后繪制竣工圖一份送交業(yè)主、一份7、配管施工8、確認圖：自設計人員處

37、取得圖，至現(xiàn)場確認圖內(nèi)各項資料是否相符，如氣源點、管路路徑、上洞點等。9、備料：依圖計算所需材料，備妥待用。9-1、施工：9-2、規(guī)劃管路排列順序：依各氣源點與機臺的相關位置、盤面位置、配管路徑及機臺接點等，排列管路順序（能繪制立體圖者尤佳）。9-3、安裝盤面：在指定的高架地板下，依管路排列順序，將相同氣體的盤面集中擺設。9-4、安裝門型架：將指定的高架地板，依需求尺寸開孔后，安裝門型架。9-5、配管：所排列管路順序施工。9-6、注意事項：6-9-1、配管時使用彎管器或焊接；彎管器使用幾倍彎；或部分使用彎管部分焊接，均需事先了解。6-9-2、某些機臺的附屬機臺較為復雜，或擺設位置較遠，施工前均

38、需仔細確認?，F(xiàn)場施工規(guī)范一高層1. 3F盤底到高架地板標高170MM。如現(xiàn)場無法架盤，盤底標高50MMo2. 2F天花板往下650MM是HOOKUP高層；現(xiàn)場,管路爬高至天花板；不得穿越。3. 2FVMB/P上方彎管為VMB/P底盤上平面向上390MM,彎長80MM,高20MM,角度十-15度。4. 1F上方100處彎管，BALLALVE底端與PCW末端相平。二氣體標簽1 .GAS氣體標簽有左右方向，不能混用（只有箭頭方向正確，是不合規(guī)范的）。2 .氣體標簽要貼正，貼牢3 .管路標示貼紙具方向、字體、種類需正確不可馬虎了事。黏貼樣式依業(yè)主要求不同的管徑選擇不同尺寸的管路標示貼紙及粘貼距離。4 .各式及接頭不可先行鎖緊，僅需稍加施力，以免破壞管材。5 .管路施工，水平垂直誤差應小于5%如有不符，即需重新施作。6 .附表則為管路支撐及標示間距表。1<1/2"2M215A-50A3M3>50A4M三、材料類1 、FITTING類施工損耗要W2%。2、要按規(guī)定使用，不能亂用現(xiàn)場有疑問要與監(jiān)工聯(lián)系。3、組要用各組自己領的料，不得亂用別組的料。4、組要用各組自己領的料，不得亂用別組的料。5、場所用SUPPORT現(xiàn)只有兩種規(guī)格300MM和600MMo四、