單晶爐機(jī)械結(jié)構(gòu)

1、拉制單晶棒拉制單晶棒（本產(chǎn)品研究環(huán)節(jié)）（本產(chǎn)品研究環(huán)節(jié)）石英砂金屬硅石英砂金屬硅 多晶多晶 單晶硅棒單晶硅棒 單晶硅片單晶硅片 集成電路集成電路 太陽(yáng)能電池太陽(yáng)能電池 太陽(yáng)能電池應(yīng)用太陽(yáng)能電池應(yīng)用 集成電路應(yīng)用集成電路應(yīng)用 直拉式單晶硅生長(zhǎng)爐是一種高效率制備硅單直拉式單晶硅生長(zhǎng)爐是一種高效率制備硅單晶體的設(shè)備。晶體的設(shè)備。 將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進(jìn)行將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進(jìn)行高溫高溫熔化（大于熔化（大于1450），在，在低真空度低真空度和和氬氣保護(hù)氬氣保護(hù)下，下，通過(guò)籽晶插入多晶硅熔體后，在籽晶周圍形成過(guò)冷通過(guò)籽晶插入多晶硅熔體后，在籽晶周圍形成過(guò)冷態(tài)并進(jìn)行有規(guī)律結(jié)晶生長(zhǎng)，

2、形成一根單晶棒體。態(tài)并進(jìn)行有規(guī)律結(jié)晶生長(zhǎng)，形成一根單晶棒體。加熱器加熱器籽晶籽晶CCD坩堝提升坩堝提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)坩堝坩堝 抽真空抽真空 檢漏檢漏 調(diào)壓調(diào)壓 熔料熔料 穩(wěn)定穩(wěn)定 熔接熔接 引晶引晶 放肩放肩 轉(zhuǎn)肩轉(zhuǎn)肩 等徑等徑 收尾收尾 停爐停爐 氧化氧化籽晶提升籽晶提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)單晶棒單晶棒液面測(cè)液面測(cè)溫儀溫儀熱場(chǎng)測(cè)熱場(chǎng)測(cè)溫儀溫儀氬氣氬氣流量流量爐體爐體電控柜電控柜電源柜電源柜總重總重 籽晶提升機(jī)構(gòu)經(jīng)籽晶提升機(jī)構(gòu)經(jīng)過(guò)靜平衡和動(dòng)平過(guò)靜平衡和動(dòng)平衡測(cè)試衡測(cè)試 帶稱重傳感器帶稱重傳感器 快慢速雙電機(jī)快慢速雙電機(jī) 外置限位調(diào)節(jié)外置限位調(diào)節(jié) 觀測(cè)玻璃窗觀測(cè)玻璃窗 光電編碼計(jì)行程光電編碼計(jì)行程

3、拆裝鋼絲繩時(shí)纜索管位置拆裝鋼絲繩時(shí)纜索管位置 取出壓力輥?zhàn)咏M件取出壓力輥?zhàn)咏M件 右端蓋右端蓋 左端蓋左端蓋取出右端蓋取出右端蓋花鍵軸、纜索管花鍵軸、纜索管取出晶轉(zhuǎn)磁流體取出晶轉(zhuǎn)磁流體10拆下提升腔右端蓋的拆下提升腔右端蓋的4顆螺釘。顆螺釘。11拆下提升腔左端蓋的蓋板，用銅棒敲擊花鍵軸，將拆下提升腔左端蓋的蓋板，用銅棒敲擊花鍵軸，將 其向其向右端推出，同時(shí)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜索管從銅螺母右端推出，同時(shí)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜索管從銅螺母的螺紋上脫開(kāi)，將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁的螺紋上脫開(kāi)，將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封作為一個(gè)整體從提升腔內(nèi)抽出。流體密封作為一個(gè)整體從提升腔內(nèi)

4、抽出。12用小拉馬取下花鍵軸左端的滾動(dòng)軸承。用小拉馬取下花鍵軸左端的滾動(dòng)軸承。13松開(kāi)并取下把花鍵軸滑套固定到纜索管上的松開(kāi)并取下把花鍵軸滑套固定到纜索管上的4顆螺釘。顆螺釘。9松開(kāi)壓力滾子組件固定到提升腔上的松開(kāi)壓力滾子組件固定到提升腔上的4顆螺釘，拆下顆螺釘，拆下 壓壓力滾子組件。力滾子組件。14將纜索管從花鍵滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花將纜索管從花鍵滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花鍵軸，否則，滾珠將會(huì)從滾槽中掉下來(lái)。鍵軸，否則，滾珠將會(huì)從滾槽中掉下來(lái)。左端蓋及銅螺母左端蓋及銅螺母對(duì)中針對(duì)中針纜索管的對(duì)中纜索管的對(duì)中1、使用、使用0.2mm的塞尺塞入離的塞尺塞入離合器，當(dāng)離合器通電

5、時(shí)，合器，當(dāng)離合器通電時(shí)，固定離合器右側(cè)的定位螺固定離合器右側(cè)的定位螺釘。釘。2、離合器斷電，取出塞尺，、離合器斷電，取出塞尺，重新通電，檢查是否吸合。重新通電，檢查是否吸合。3、離合器斷電，用、離合器斷電，用0.2mm的的塞尺檢查間隙是否有變化。塞尺檢查間隙是否有變化。4、反復(fù)測(cè)試幾次，至離合器、反復(fù)測(cè)試幾次，至離合器吸合、分離正常。吸合、分離正常。設(shè)備名稱維修周期步驟籽晶鋼纜每次運(yùn)行檢查磨損、損壞情況籽晶提升滑輪及卷絲輪每個(gè)月清潔并檢查對(duì)中性晶轉(zhuǎn)和晶升皮帶3個(gè)月檢查磨損/對(duì)中和張力晶轉(zhuǎn)、晶升電機(jī)噪聲、刷磨損3個(gè)月檢查碳刷長(zhǎng)度聯(lián)軸器緊定螺釘3個(gè)月檢查緊固性晶升離合器組件的調(diào)整3個(gè)月檢查離合器

6、間隙及動(dòng)作 滾珠直線導(dǎo)軌滾珠直線導(dǎo)軌 精密絲桿，自鎖精密絲桿，自鎖 承受軸向力磁流承受軸向力磁流體密封體密封 快慢速雙電機(jī)快慢速雙電機(jī) 光電編碼計(jì)行程光電編碼計(jì)行程拆旋轉(zhuǎn)皮帶拆旋轉(zhuǎn)皮帶松開(kāi)松開(kāi)3個(gè)緊定螺釘個(gè)緊定螺釘取下旋轉(zhuǎn)接頭和冷卻管取下旋轉(zhuǎn)接頭和冷卻管取下波紋管取下波紋管取夾緊圈和旋轉(zhuǎn)帶輪取夾緊圈和旋轉(zhuǎn)帶輪抽出坩堝軸抽出坩堝軸拆下固定磁流體的螺釘拆下固定磁流體的螺釘提起磁流體提起磁流體設(shè)備名稱維修周期步驟坩堝軸冷卻膠管每個(gè)月檢查裂紋及損壞情況堝轉(zhuǎn)、堝升驅(qū)動(dòng)皮帶3個(gè)月檢查磨損、對(duì)中和張緊堝轉(zhuǎn)、堝升電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置3個(gè)月檢查所有螺釘?shù)木o固堝轉(zhuǎn)、堝升電機(jī)噪聲、刷磨損3個(gè)月檢查碳刷長(zhǎng)度波紋管3個(gè)月檢查損

7、壞情況絲桿3個(gè)月清潔和潤(rùn)滑銅螺母3個(gè)月檢查磨損情況滾珠直線導(dǎo)軌6個(gè)月清潔和潤(rùn)滑絲杠軸承6個(gè)月脂潤(rùn)滑坩堝軸每年檢查磨損和對(duì)中1、將副爐室升起，旋開(kāi)。、將副爐室升起，旋開(kāi)。2、確認(rèn)、確認(rèn)O型圈已經(jīng)裝好，把型圈已經(jīng)裝好，把翻板閥關(guān)閉。翻板閥關(guān)閉。3、用、用5mm的內(nèi)六角扳手和的內(nèi)六角扳手和17mm的呆扳手把翻板閥兩端的的呆扳手把翻板閥兩端的固定螺釘松開(kāi)。固定螺釘松開(kāi)。4、打開(kāi)真空泵，真空球閥，、打開(kāi)真空泵，真空球閥，抽取主爐室真空。抽取主爐室真空。5、利用主爐室內(nèi)外壓差，翻、利用主爐室內(nèi)外壓差，翻板閥會(huì)自動(dòng)吸緊。板閥會(huì)自動(dòng)吸緊。6、當(dāng)壓力抽到極限真空時(shí)，、當(dāng)壓力抽到極限真空時(shí)，將翻板閥兩端的固定螺釘

8、上緊。將翻板閥兩端的固定螺釘上緊。7、充入氬氣，做一次隔離實(shí)、充入氬氣，做一次隔離實(shí)驗(yàn)以確保翻板閥調(diào)整后密封良驗(yàn)以確保翻板閥調(diào)整后密封良好。好。松開(kāi)外端的松開(kāi)外端的2只外六角螺釘只外六角螺釘松開(kāi)內(nèi)端的松開(kāi)內(nèi)端的2只內(nèi)六角螺釘只內(nèi)六角螺釘采用光學(xué)系統(tǒng)將晶體圖像分采用光學(xué)系統(tǒng)將晶體圖像分到到2 2個(gè)獨(dú)立個(gè)獨(dú)立CCDCCD完成引晶、等完成引晶、等徑的單獨(dú)控制。徑的單獨(dú)控制。圖像處理速度快，引晶跟蹤圖像處理速度快，引晶跟蹤能力強(qiáng)，引晶效果好能力強(qiáng)，引晶效果好機(jī)械調(diào)整簡(jiǎn)單機(jī)械調(diào)整簡(jiǎn)單采用了國(guó)內(nèi)首創(chuàng)、獨(dú)特的副爐室自動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，采用了國(guó)內(nèi)首創(chuàng)、獨(dú)特的副爐室自動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可在副爐室提升到位時(shí)的緩慢旋開(kāi)和快速旋閉，可在副爐室提升到位時(shí)的緩慢旋開(kāi)和快速旋閉，提高取晶的安全性；提高取晶的安全性；采用特殊的隔離閥板水冷內(nèi)循環(huán)結(jié)構(gòu)，