無塵室常識以及管理

1、關(guān)于無塵室常識及管理第一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月一、無塵室常識本節(jié)重點(diǎn)：1、理解無塵室定義2、熟悉相關(guān)術(shù)語3、認(rèn)識潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)第二張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月 1、無塵室定義 無塵室也稱為潔凈室(CleanRoom)：是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計的房間。重點(diǎn)：不論外面空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。 第三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2、按功能分類：A

2、. 工業(yè)潔凈室(Industrial Clean Room,ICR)以無生命微粒的控制作為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。 B. 生物潔凈室(Biological Clean Room,BCR) 除ICR的要求外，以過濾或殺菌方式對生物粒子也加以控制的空間。如醫(yī)學(xué)、藥物、食品及生物實(shí)驗等。第四張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月3、按空氣流向分類：無塵室不同于一般空調(diào)房間，其主要目的是供給足量

3、的清潔空氣，排替、稀釋室內(nèi)所產(chǎn)生的污染物質(zhì)，使室內(nèi)潔凈度滿足要求。按空氣流向分類： A.亂流型 B.層流型第五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月A、亂流無塵室第六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月優(yōu)點(diǎn)：1.構(gòu)造簡單。2.設(shè)備費(fèi)用低。3.隔間的擴(kuò)充比較容。4.在加用無塵臺則可確保高潔凈。缺點(diǎn)：1.由于是亂，污染子有可能在室內(nèi)循環(huán)。2.人員及機(jī)器的配置及管需注意。3.到穩(wěn)定態(tài)需要一段時間。亂流無塵室的優(yōu)、缺點(diǎn)第七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月層式空氣氣運(yùn)動成一均勻之直線，空氣由覆蓋百分之百之過器進(jìn)入室內(nèi)。并由高架地板或側(cè)格強(qiáng)板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使

4、用，一般其潔凈室等級為Class1100。此型分為二種：水平層式 垂直層式B、層流無塵室第八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月B-1、水平層流無塵室第九張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月B-2、垂直層流無塵室第十張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月 3、潔凈技術(shù)的誕生及發(fā)展：一切技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展，都是出于生產(chǎn)的需要，潔凈室技術(shù)也不例外。在第二次世界大戰(zhàn)期間，美國生產(chǎn)的飛機(jī)導(dǎo)航用氣浮陀羅儀，由于質(zhì)量不穩(wěn)定，每10個陀羅儀平均要返工120次。50年代初朝鮮半島戰(zhàn)爭期間，美國的16萬臺電子通訊設(shè)備，更換了百萬個以上的電子部件，雷達(dá)出故障的時間占84%，潛水艇聲納出故障的時間占4

5、8%。原因都是電子器件、零部件的可靠性差，質(zhì)量不穩(wěn)定。軍方與廠商究其原因，最終從多方面判定與生產(chǎn)環(huán)境不潔凈有關(guān)。到50年代初，美國原子能委員會為解決對人體有害的放射性塵埃的捕集問題，于1951年研制成功的高效空氣過濾器（HEPAHigh Efficiency Particulate Air Filter）應(yīng)用于生產(chǎn)車間的送風(fēng)過濾，才真正誕生了具有現(xiàn)代意義的潔凈室。第十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月12 4、相關(guān)術(shù)語懸浮微粒 ：一般指懸浮于空氣中的固態(tài)和液態(tài)微粒，其粒徑尺寸范圍約在0.15m 之間。潔凈度 ：用以表示單位體積空間內(nèi)空氣中所含微粒大小及數(shù)量的多少，是區(qū)分空間潔凈程度的

6、標(biāo)準(zhǔn)。氣閘室：設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。第十二張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月13風(fēng)淋室：氣閘室的一種，通過安裝風(fēng)機(jī)、過濾網(wǎng)及控制系統(tǒng)等對入室人員進(jìn)行周身吹掃通道，它是減少外來污染的有效途徑之一。潔凈工作服 ：為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。高效空氣過濾器 HEPA ：在額定風(fēng)量下，對粒徑大于等于0.3m 粒子的捕集效率在99.99%以上及氣流阻力在250Pa 以下的空氣過濾器。超高效空氣過濾器 ：在額定風(fēng)量下，對粒徑0.10.2m 粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa 以下的空氣過濾器。第

7、十三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月14換氣次數(shù)：換氣次數(shù)=房間送風(fēng)量/房間體積，單位是次/小時。作為設(shè)計潔凈室送風(fēng)量的估算值：靜壓差：為避免潔凈室內(nèi)的潔凈度受鄰室的污染，或污染鄰室，潔凈度不同的潔凈室之間，潔凈室與一般房間之間要保持適當(dāng)?shù)撵o壓差，靜壓差不得小于5Pa。與室外的壓差應(yīng)不小于10Pa。第十四張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月 潔凈度與換氣次數(shù)的關(guān)系 潔凈度 換氣次數(shù)（次/小時） 100 000 25 10 000 35 1000 40 100級 按送風(fēng)截面風(fēng)速0.2-0.45m/s計算送風(fēng)量第十五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月16 通常無塵室均需維持

8、正壓以防止外部污染流入,并有利于內(nèi)部微塵的排出。正壓值一般遵循以下兩條設(shè)計： 1、不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差，應(yīng)不小于5Pa； 2、潔凈廠房室內(nèi)與室外的壓差應(yīng)不小于10Pa，一般為1020Pa。 (1Pa=1N/m2) 正壓Class1KP1+10PaClass10KP1+5Pa+ + + P1=P+1020PaPCR外界第十六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月新風(fēng)量：是指不從空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)入的，而是從門窗進(jìn)入的空氣總量。新風(fēng)量是衡量室內(nèi)空氣質(zhì)量的一個重要標(biāo)準(zhǔn)。新風(fēng)量不足的危害：長期處于新風(fēng)量不足的室內(nèi)易患“室內(nèi)綜合癥”，出現(xiàn)頭痛、胸悶、易疲勞的癥狀，還容易引發(fā)呼吸系統(tǒng)

9、和神經(jīng)系統(tǒng)等疾病。我國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T18883-2002規(guī)定，新風(fēng)量不應(yīng)小于30m3/h.人。中國是在2003年發(fā)生非典時才開始真正關(guān)注新風(fēng)量的。北京市衛(wèi)生局對北京80家公共場所的空氣質(zhì)量進(jìn)行抽查，檢查結(jié)果90%屬于嚴(yán)重污染。第十七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月18 潔凈室的新風(fēng)量應(yīng)取以下兩項中的最大值: a.補(bǔ)償室內(nèi)排氣量和保證室內(nèi)正壓值所需空氣量之和。 b.保證潔凈室工作人員所需的新鮮空氣。依據(jù)每人每小時新風(fēng)量不小于40m3。第十八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月民用建筑新風(fēng)量標(biāo)準(zhǔn)第十九張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月5、空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)第二十張，PPT共九

10、十五頁，創(chuàng)作于2022年6月以直徑0.5微米的塵作為比較標(biāo)準(zhǔn)，在1方英尺的空間中：大于0.5微米的塵少于一個，就稱為Class 1。大于0.5微米的塵少于十個，就稱為Class 10。大于0.5微米的塵少于1000個，就稱為Class 1000。依次類推，10000，10 0000，一般區(qū)。1米 = 3.28英尺 1米3 = 35.29英尺3 5-1、潔凈度等級概念1 立方英尺(0.0283立方米)1 英 尺(0.3048米) 直徑 0.5 um的塵粒最大不超過 10000 個.第二十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月5-2、潔凈室分級的意義Class 1：主要用于制造集成電路的微電

11、子工業(yè)， 對集成電路的的精度要求為亞微米。Class 10：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。Class 100：可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝；外科手術(shù)，包括植入手術(shù)；集成電路的制造； 對細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。第二十二張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月Class 1000：主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測試、裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。Class 10000：主要用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配；食品飲料工業(yè)；醫(yī)藥工業(yè)；電子工業(yè)。Class 100000：適用于很多工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造用較小元器件制造大型的電子系統(tǒng)；液壓

12、或氣壓系統(tǒng)的制造、食品飲料的生產(chǎn)；醫(yī)藥工業(yè)也常使用這一級別的潔凈室。第二十三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月5-3 、 潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)1、美國空軍技術(shù)條令 世界上第一個潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。1961年3月問世。美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)的基石。2、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209 1963年12月問世。 0.5m 5.0m3、現(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E第二十四張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月潔凈度級別Clean class 粒 徑 Particles Size (um) 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0 1 35.0 7.50 3.00 1.00 10 350 75.0 30.0 10.0 100

13、750 300 100 1000 1000 7.0 10000 10000 70.3 100000 100000 700 美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E（1992年）第二十五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月5-4、中國潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001（等同采用國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1）特點(diǎn)：與舊規(guī)范相比，控制粒徑2種增加到6種；4個級別增加到9個級別。另，允許采用整數(shù)間的中間級別。第二十六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月 中國潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級空氣潔凈度等級(N)大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)0.1um0.2um0.3um0.

14、5um1um5um1102 210024104 31000237102358 4100002370102035283 51000002370010200352083229610000002370001020003520083202937 3520008320029308 3520000832000293009 352000008320000293000第二十七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月個/M30.5um ISO14644-1(1999) US209E(1992) US209D(1988) FRANCEAFNOR(1981) GERMANYVDI 2083(1990) JAPAN

15、JAOA(1989) 1 - - - - - - 3.5 2 - - - 0 2 10.0 - M1 - - - - 35.3 3 M1.5 1 - 1 3 100 - M2 - - - - 353 4 M2.5 10 - 2 4 1,000 - M3 - - - - 3,530 5 M3.5 100 4,000 3 5 10,000 - M4 - - - - 35,300 6 M4.5 1,000 - 4 6 100,000 - M5 - - - - 353,000 7 M5.5 10,000 400,000 5 7 1,000,000 - M6 - - - - 3,530,000 8 M6

16、.5 100,000 4,000,000 6 8 10,000,000 - M7 - - - - 5-5、基于0.5um粒徑的各國潔凈度等級近似對照表 第二十八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月二、微粒剖析本節(jié)重點(diǎn)：1、人類生活方面的背景2、PM2.5相關(guān)知識3、微粒剖析第二十九張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月1、人類生活方面的背景人類發(fā)展至今，技術(shù)進(jìn)步、設(shè)備進(jìn)步、知識水平提高，但空氣質(zhì)量卻退步了。人一生約吸入27萬M3空氣，70%90%時間在室內(nèi)度過。微小顆粒被人體吸入，沉積于呼吸系統(tǒng)。 530um的顆粒沉積于鼻咽部位，15um的 顆粒沉積于氣管及支氣管，1um以下沉積于肺

17、泡壁。第三十張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2、什么是PM2.5？PM2.5：也稱為可入肺顆粒物。是指大氣中直徑小于或等于2.5微米的顆粒物，英文全稱為particulate matter(顆粒物)?？茖W(xué)家用PM2.5表示每立方米空氣中這種顆粒的含量，這個值越高，就代表空氣污染越嚴(yán)重。在城市空氣質(zhì)量日報或周報中的可吸入顆粒物和總懸浮顆粒物是人們較為熟悉的兩種大氣污染物。PM10：可吸入顆粒物，指直徑大于2.5微米、等于或小于10微米，可以進(jìn)入人的呼吸系統(tǒng)的顆粒物。PM100：總懸浮顆粒物，即直徑小于或等于100微米的顆粒物。第三十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2-1、P

18、M2.5顆粒 大小 第三十二張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2-2、PM2.5的來源PM2.5產(chǎn)生的主要來源，是日常發(fā)電、工業(yè)生產(chǎn)、汽車尾氣排放等過程中經(jīng)過燃燒而排放的殘留物，大多含有重金屬等有毒物質(zhì)。一般而言，粒徑2.5微米至10微米的粗顆粒物主要來自道路揚(yáng)塵等;2.5微米以下的細(xì)顆粒物(PM2.5)則主要來自化石燃料的燃燒(如機(jī)動車尾氣、燃煤)、揮發(fā)性有機(jī)物等。第三十三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2-3、PM2.5的危害1、氣象專家和醫(yī)學(xué)專家認(rèn)為，由細(xì)顆粒物造成的灰霾天氣對人體健康的危害甚至要比沙塵暴更大。2、粒徑在2.5微米以下的細(xì)顆粒物，被吸入人體后會直接進(jìn)入支

19、氣管，干擾肺部的氣體交換，引發(fā)包括哮喘、支氣管炎和心血管病等方面的疾病。第三十四張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2-4、PM2.5在國內(nèi)的發(fā)展第三十五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2-5、PM2.5的防治措施pm2.5的主要來源為機(jī)動車尾氣的排放，對個人來說主要以佩戴真正防pm2.5的口罩為有效手段。盡量減少吸煙甚至不吸煙，煙霧中有大量的pm2.5，會對人體有著直接和間接的危害。大霧天不能晨練。第三十六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月第三十七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月第三十八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2、微粒剖析第三十九張，PPT

20、共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月1、 按來源分類無機(jī)性微粒、有機(jī)性微粒、有生命微粒 2、 微粒的危害對人體，易引起呼吸道和肺部的疾病，同時也會使人過敏，病毒感染；對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運(yùn)作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環(huán)節(jié)。 2-1、微粒剖析第四十張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月41一般微粒粒徑對比0.3m 微塵粒徑人類頭發(fā) (25100m)肉眼可視 (5m)感性認(rèn)知第四十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月大于0um小于0.1um做擴(kuò)散運(yùn)動微粒大小不同 運(yùn)動行為不同第四十二張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年

21、6月2-1、顆粒大小的概念 頭發(fā)直徑 25100m 酵母菌 510m 水蒸氣 0.11m 細(xì)菌 0.051m 濾過性病毒 0.0010.01m第四十三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月活動狀態(tài)產(chǎn)生微粒大小(um)磨擦普通之涂裝表面時沒有潤滑之兩種金屬互相磨擦?xí)r將紙弄皺或折疊時摩擦環(huán)氧樹脂表面時鎖螺絲時皮帶驅(qū)動時用原子筆在普通紙上寫字時操作金屬板時摩擦皮膚時907565403020 10430第四十四張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月動作衣著一般作業(yè)服兩載式無塵服全覆蓋型無塵服粒徑0.3m0.5m0.3m0.5m0.3m0.5m靜止?fàn)顟B(tài)立姿543339151113196坐次448

22、302142112157動作狀態(tài)手腕上下運(yùn)動445029804623004919手自由運(yùn)動347022405702895221上體前屈392022407755403924頭上下左右12306311871512211脫帽26201310轉(zhuǎn)身22408503902673215蹲姿4160312011106056437踏步42402300120086011545步行5360292012851010157562-4、一個人一分鐘產(chǎn)生之粒子數(shù)(1000個/分/人) 第四十五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月461,00010,000外大氣層大氣層田園地帶街市區(qū)10,000,0001,000,00

23、0100,000工業(yè)地帶2-5、一般自然界 氣體等級第四十六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月3、無塵室常見形式本節(jié)重點(diǎn)：1、介紹無塵室常見形式2、結(jié)合實(shí)物圖片說明，加深印象。第四十七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月無塵室常見形式之一空調(diào)機(jī)高效過濾器無塵室空調(diào)機(jī)房通道上夾層1、上送側(cè)回、無架空地板、溫濕度控制通過空調(diào)機(jī)實(shí)現(xiàn)；造價低、噪音小但靈活性差第四十八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月無塵室常見形式之二空調(diào)機(jī)高效過濾器無塵室空調(diào)機(jī)房通道上夾層在方式一的基礎(chǔ)上增加了下夾層，主要考慮設(shè)備配管配線的便利性和整體美觀。第四十九張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月無塵

24、室常見形式之三空調(diào)機(jī)高效過濾器無塵室空調(diào)機(jī)房通道上夾層上送上回，節(jié)約了回風(fēng)夾道所占面積，主要實(shí)用于低級別的潔凈室，自凈時間會延長第五十張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月無塵室常見形式之四管道層輔助層無塵室FFU層屋頂干盤管OAC設(shè)備設(shè)備特點(diǎn)：1、雙技術(shù)下夾層；FFU+CLEAN BOOTH+SMIF方式2、設(shè)備主體與輔助設(shè)備垂直放置3、作業(yè)層是大開間、增加設(shè)備布局變化的靈活性第五十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月無塵室-100級無塵室第五十二張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月送風(fēng)過濾單元FFU第五十三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月第五十四張，PPT共九十

25、五頁，創(chuàng)作于2022年6月1000級無塵室第五十五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月高架地板第五十六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月無塵室10000級第五十七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月風(fēng)淋室（Air Shower）第五十八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月風(fēng)淋室內(nèi)部第五十九張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月傳遞窗第六十張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月潔凈棚第六十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月無塵室天花上部第六十二張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月溫濕度計和粒子計數(shù)器第六十三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6

26、月壓差表1.對車間或房間加正微壓(5-10Pa)，選用0-60Pa微差壓計。2.檢查粗、中、高效空氣過濾器的過濾效果，選用2000-125、250Pa、500Pa或1Kpa等差壓計，隨時觀測過濾網(wǎng)的壓差，以便更換過濾器。常用量程：060Pa 0250Pa 0500Pa 0750Pa -60060Pa - 1250125Pa01kPa 02kPa第六十四張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月泄壓風(fēng)門第六十五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月檢漏實(shí)驗第六十六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月靜電測試第六十七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月風(fēng)速測試風(fēng)罩頂棚測口儀器：熱球

27、風(fēng)速儀精度0.01m/s3%,量程030m/s，集風(fēng)罩。方法用集風(fēng)罩住送風(fēng)口，測出風(fēng)口平均風(fēng)速第六十八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月潔凈室噪音標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)噪聲應(yīng)符合下列要求：一、動態(tài)測試時，潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超 過70分貝。二、空態(tài)測試時，亂流潔凈室的噪聲級不宜 大于60分貝；層流潔凈室的噪聲級不應(yīng)大于 65分貝A。第六十九張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月取15分鐘內(nèi)測量的風(fēng)速平均值， 按不同位置編記錄測定值，計算平均風(fēng)速。 評估標(biāo)準(zhǔn) 垂直單向流面風(fēng)速v0.35m/s水平單向流面風(fēng)速v0.45m/s注:僅當(dāng)單向空氣流微粒數(shù)目符合100級的潔凈度要求，同時風(fēng)速達(dá)到上

28、述數(shù)值，才可判斷該裝置達(dá)到100級。數(shù)據(jù)處理第七十張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月四、空調(diào)送風(fēng)箱（AHU)本節(jié)重點(diǎn)：1、介紹空調(diào)箱內(nèi)部構(gòu)造2、空氣過濾器的分類。第七十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月第七十二張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月4-1、空調(diào)箱內(nèi)部構(gòu)造（Air Handing Unit）第七十三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月744-2、無塵室各種空氣過濾器的分類類別過濾灰塵直徑(m)過濾網(wǎng)材質(zhì)用途初效過濾網(wǎng)5合成纖維玻璃纖維外氣處理，空調(diào)箱前段處理中效過濾網(wǎng)1合成纖維玻璃纖維循環(huán)空氣前端處理高效HEPA0.3玻璃紙Class1001000潔凈

29、室最終過濾網(wǎng)ULPA0.10.3特殊玻璃紙潔凈度1100級超ULPA0.10.05特殊玻璃紙潔凈度1級第七十四張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月高效過濾器袋式中效過濾器紙框處效過濾器第七十五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月高效過濾器送風(fēng)口第七十六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月五、無塵室管理本節(jié)重點(diǎn)：1、無塵室運(yùn)行階段管理2、無塵室施工階段管理3、無塵室檢測項目4、無塵室異常原因分析第七十七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月維持無塵室清凈度四大原則不產(chǎn)生立刻排除不能堆積不可帶入1、無塵室運(yùn)行管理四大原則 第七十八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月1-

30、1.不可帶入HEPA過濾器的骨架不能漏氣。室內(nèi)必須維持設(shè)計之壓力。作業(yè)人員必須更衣，經(jīng)過Air Shower后進(jìn)入無塵室。所有使用材料、設(shè)備、工具必須清掃干凈后始可帶進(jìn)。第七十九張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月高效濾網(wǎng)口密封SILICON膠老化，需定期檢查修補(bǔ)。無塵室正壓標(biāo)識第八十張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月 無塵室及更衣室內(nèi)不得使用紙箱、鉛筆、擦膠、涂改液、砂紙、被剪開或撕開的無塵紙等物品。紙箱鉛筆擦膠涂改液砂紙被剪開或撕開的無塵紙第八十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月進(jìn)入AIR SHOWER 動作規(guī)范化AIR SHOWER底部所設(shè)粘粘紙要及時更換第八十二

31、張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月人員必須穿著無塵服。減少不必要之動作。不可使用容易發(fā)塵的材料。沒有必要的物品不可帶入。 1- 2.不產(chǎn)生第八十三張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月1、對于高科技工業(yè)，比如半導(dǎo)體，電子及生化工廠來說，飛揚(yáng)在車間里的浮塵（肉眼所看不到的）對生產(chǎn)效率和產(chǎn)品品質(zhì)都產(chǎn)生了重大的影響。2、當(dāng)一個穿著常服的員工站立不動時，每分鐘他將產(chǎn)生大約34萬粒 0.5m的微塵；如果他在走動的話那么他將產(chǎn)生大約280萬粒。3、微塵污染嚴(yán)重影響了潔凈室的凈化，而人體又是對潔凈室產(chǎn)生影響的重要污染來源。因此，人體防護(hù)對潔凈室是相當(dāng)重要的。人體防護(hù)對潔凈室的重要性第八十四張，P

32、PT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月 大 褂 衣 大褂： 大褂衣單獨(dú)使用，可與帽子、靴套配合使用。 適合用于CLASS10000100000的潔凈室，適合潔凈要求.第八十五張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月 分 體 服上下裝分開的設(shè)計使穿著更舒適，工效更高。 適用于的潔凈室： CLASS1000-10000第八十六張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月 防靜電連體服 有更好的防塵效果，可防止微塵從身體部位逸出。連帽帶鞋型的連體服可用于更高的潔凈等級，可配合口罩使用。 適合用于CLASS101000的潔凈室，適合潔凈要求。第八十七張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月不能有不易清

33、潔、清掃之角落及機(jī)器周邊。盡量減少外露在室內(nèi)之風(fēng)管、水管等。必須按照標(biāo)準(zhǔn)方法與規(guī)定時間實(shí)施清潔。1-3.不能堆積第八十八張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月紙箱不能進(jìn)入防塵室普通棉手工藝拖把不能進(jìn)入防塵室使用，當(dāng)然也不能存搭防塵室。第八十九張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月AIR SHOWER維護(hù)人員用AIR SHOWER：為防止塵埃進(jìn)入應(yīng)確實(shí)維護(hù)，每周應(yīng)做外部的擦拭，與內(nèi)部的擦拭除塵，并且于半年后每月打開下面回風(fēng)處檢查濾網(wǎng)，并于一年后視檢查狀況更換初級濾網(wǎng)或HEPA(如果需要的話)。第九十張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月增加換氣次數(shù)。在發(fā)塵部位附近排氣。改善氣流形狀以免塵埃附著于產(chǎn)品上。1-4.立刻排除第九十一張，PPT共九十五頁，創(chuàng)作于2022年6月2、施工階段的5級管控：階段操作過程時間凈化程序規(guī)范要求1級不清潔階段工程施工和初期環(huán)境準(zhǔn)備在隔間吊頂、地坪安裝之前a.每日清除垃圾；b.每日打掃工作區(qū)；c.每日檢查材料儲存，清理垃圾并轉(zhuǎn)到廢品儲存點(diǎn)；a.禁止在現(xiàn)場吸