博愛校區(qū)奈米中心考核內(nèi)容-黃光室-量測(cè)室

1、修訂日期 :104 年 10 月 20 日博愛校區(qū)奈米中心考核手冊(cè)(基本規(guī)則 /1F)1.配戴識(shí)別證：務(wù)必配戴識(shí)別證，不可將識(shí)別證放在無塵衣底下(內(nèi))。帶領(lǐng)無識(shí)別證人員 (如廠商 )進(jìn)出時(shí)，必須先向管理員 (沈先生 )申請(qǐng)臨時(shí)工作證，並有核可人員帶領(lǐng)進(jìn)出管理，進(jìn)出入須依管理登記並符合程序。帶領(lǐng)無識(shí)別證人員 (如同學(xué) )進(jìn)出時(shí)，有 1.申請(qǐng)基本訓(xùn)練申請(qǐng)表， 2.機(jī)臺(tái)操作訓(xùn)練申請(qǐng)表 (分奈米中心設(shè)備或非奈米中心設(shè)備 )，必須先向管理員 (沈先生)申請(qǐng)文件確認(rèn)，並有核可人員帶領(lǐng)進(jìn)出管理，進(jìn)出入須依管理登記並符合程序?？蛇M(jìn)入奈米中心的人員有 1.合格識(shí)別證 2.基本訓(xùn)練申請(qǐng)表機(jī)臺(tái)操作訓(xùn)練申請(qǐng)表須經(jīng)管理

2、員 (中心承辦人 )許可 3.廠商臨時(shí)工作證。廠商進(jìn)去時(shí)需申請(qǐng)什麼承攬商施工切結(jié)書 (一樓入口有貼 )施工廠商可以簽或不簽?zāi)莻€(gè)承攬商施工切結(jié)書，如果不簽的話，他們?cè)谘e面出了事情，你要負(fù)責(zé)，如果簽了的話，出事情他們要負(fù)責(zé)，但是首先應(yīng)該要跟廠商告知，裡面什麼地方是危險(xiǎn)的，什麼地方是安全的 ，當(dāng)廠商要離去的時(shí)候，請(qǐng)檢查他們是否有對(duì)實(shí)驗(yàn)室造成污染。如果要放機(jī)臺(tái)的話，還要填區(qū)域申請(qǐng)表 ，要用線路或是管路的話，還要填 施工申請(qǐng)表 。什麼樣的人可以申請(qǐng)實(shí)驗(yàn)學(xué)習(xí)程序 (文件審查 ) 1.首先你得有修過半導(dǎo)體相關(guān)的課或有 NDL 相關(guān)訓(xùn)練之結(jié)業(yè)證書， 2.並到 NDL 填寫申請(qǐng)表並且考過工安或?qū)W校的工安 (一年

3、內(nèi) )，3.之後拿申請(qǐng)表去給沈先生核準(zhǔn)簽名， 4. 再到固態(tài)電子大樓的 2 樓辦公室何惟梅小姐繳交 300 元（考一次繳一次）及相片一張， 5.最後回到考官進(jìn)行考核。2.個(gè)人物品置物櫃位置：1F/2F 無塵室大門口邊。1F 的個(gè)人物品置物櫃在第一道門內(nèi)的旁邊，有分來賓和奈米實(shí)驗(yàn)室，我們應(yīng)放在來賓物品置物櫃內(nèi)。 2F 的個(gè)人物品置物櫃放在第一道門外的旁邊，無來賓和奈米實(shí)驗(yàn)室分別。大門邊會(huì)有緊急聯(lián)絡(luò)電話及逃生路線圖，電話附近會(huì)有張貼管理員、駐警隊(duì)等等的電話號(hào)碼，緊急狀況下忘記號(hào)碼便可迅速取得；並且要熟知逃生路線。3.注意、禁止事項(xiàng)：出入無塵室請(qǐng)於出入口簽進(jìn)、簽出。隨手關(guān)門，隨時(shí)確認(rèn)門是否關(guān)上，包含

4、無塵室大門、中心大門。無人使用之無塵室 ( 研究室、廁所 ) 以及夜間 ( 假日 ) 最後一位離開無塵室之同學(xué)，請(qǐng)務(wù)必隨手關(guān)燈，以節(jié)省電費(fèi)。簽進(jìn)是為了當(dāng)發(fā)生火災(zāi)或任何災(zāi)害時(shí)，可以馬上知道裡面的人是誰，而不1修訂日期 :104 年 10 月 20 日用去電腦看磁卡記錄 (災(zāi)害發(fā)生時(shí)，停電的機(jī)會(huì)很大)。無塵室內(nèi)為 正壓系統(tǒng) ，意思是無塵室內(nèi)壓力較高，當(dāng)門開時(shí)，無塵室內(nèi)有氣流往外吹，如此可防止外面的灰塵進(jìn)入無塵室。進(jìn)出無塵室需穿著長(zhǎng)褲、襪子，於更衣間置換室內(nèi)外鞋，並將個(gè)人背包置放於置物櫃，貴重物品請(qǐng)隨身攜帶。禁止攜入會(huì)會(huì)污染潔淨(jìng)度之物品，如紙箱、手提袋 等。哪些人不能進(jìn)去無塵室： 1.剛運(yùn)動(dòng)完的 2

5、.化妝的 3.抽煙的（ 20 分鐘內(nèi)）4.穿短褲或沒穿襪子 5.帶著包包的人等等4.更衣室規(guī)則：室外 /室內(nèi)鞋之放置不可以搞混， 1F 的室內(nèi)拖在裡面，不是在置物櫃那間，是無塵衣那間，兩者皆不可穿到和式地板上。室外 /室內(nèi)鞋之放置不可以搞混，兩者皆不可穿到和式地板上。請(qǐng)依照無塵衣號(hào)碼懸掛衣服，並將第一個(gè)鈕扣扣上，以防止滑落，不可將個(gè)人衣物 (如冬天的外套 )懸掛在掛無塵衣的地方。5.安全事項(xiàng)：1F、2F 緊急路線逃生圖、緊急沖眼室位置圖以及急救箱位置圖:無塵室有幾個(gè)逃生出口：一樓2 個(gè)、二樓 4 個(gè)。實(shí)驗(yàn)室垃圾桶種類因?qū)嶒?yàn)需求不同，可畫分為 :一般垃圾桶，置於各個(gè)實(shí)驗(yàn)室；有機(jī)廢棄物垃圾桶 ，黃

6、光區(qū) (2F)；酸鹼廢棄物垃圾桶 ，則置於 CMP(晶片切割機(jī) )實(shí)驗(yàn)區(qū) (1F)以及 Wet Bench 區(qū)(2F)。使用有機(jī)或無機(jī)酸鹼化學(xué)藥品時(shí)需配戴呼吸面罩並搭配正確之濾毒罐，濾毒罐使用總累積有效時(shí)數(shù) 8 小時(shí)，超過即吸附飽和，不可再使用，若還在有效時(shí)數(shù)之濾毒罐應(yīng)使用夾鏈袋封存，並於袋外標(biāo)示已使用時(shí)數(shù)。特殊藥品使用以及添購特殊氣體鋼瓶，請(qǐng)先照會(huì)管理員，並須附上物質(zhì)安全資料表；氣體鋼瓶需以鐵鍊固定在牆壁上。緊急應(yīng)變用品置放於 1F 大廳的走廊上 (橘色透明櫥窗櫃 )，緊急時(shí)可自行打開使用。緊急事故連絡(luò)電話： 50086 (博愛校區(qū)駐警隊(duì) )1. 沈先生電話： 55654、行動(dòng) 0939-0

7、00793。2.一樓的 wet bench有個(gè) HF 回收槽，傾倒 HF 時(shí)須注意開關(guān)是否打開 (平行於管路 )，哪時(shí)不能再到 HF 下去 ?打開 wet bench下面的門，如果裡面 HF 回收液的桶子滿了 ，就不可以再倒。3.一樓的 wet bench 只可以使用什麼溶液 ? 酸性溶液 (去再確認(rèn)一次 )有酸性槽，但無酸鹼藥品存放櫃； 沒有有機(jī)槽，但有有機(jī)存放櫃4.一樓只提供什麼氣體：氮?dú)夂?CDA( 管路 )二樓只提供什麼氣體：氮?dú)狻?CDA ( 管路 ) 、Ar 和 CO 2 (鋼瓶 ) 。2修訂日期 :104 年 10 月 20 日5.一樓的排氣管有3 個(gè)分別是什麼作用？由上到下：

8、一般排氣 酸性排氣 有機(jī)排氣一樓重點(diǎn)提醒 :新無塵衣與舊無塵衣的確切位置。進(jìn)吹氣室時(shí)，雙手舉高並旋轉(zhuǎn)。若要在酸櫃使用HF，可去 2F 拿取有機(jī)儲(chǔ)存櫃是公用的，可自由拿取。(2F 蝕刻區(qū) )Hood 基本認(rèn)知和使用方式 :2F wet bench主要有四個(gè)，酸鹼和有機(jī)槽分別各有 2 個(gè)，使用酸鹼藥品時(shí)需在酸鹼 wet bench，使用有機(jī)藥品時(shí)需在有機(jī) wet bench，需瞭解 wet bench 的燈光開關(guān)、氣鎗使用、純水使用、抽氣裝置，使用後需保持清潔，並隨時(shí)將 Hood 的門拉下。1.wet bench 燈的開關(guān)在上面右邊那個(gè)開關(guān)。左邊開關(guān)為 鼓風(fēng)槽的，不可打開 。2.如何知道 wet

9、bench有無抽氣用無塵紙?jiān)囍?。3.為何酸鹼和有機(jī)不能在同一槽內(nèi)倒 有機(jī)大多為易燃物 ，而酸鹼的反應(yīng)又常為高溫， 兩者在一起有機(jī)會(huì)產(chǎn)生爆炸 。有機(jī)和酸鹼存放櫃中藥品放置位置：取用藥品前須知藥品擺放位置，其藥品櫃中的擺放如下所示，以及廢液傾倒方法為有機(jī)廢液請(qǐng)倒入 213 室 wetbench最右邊及 216 室有機(jī)廢液注入口中 (有含金屬物必須用濾紙過濾雜質(zhì) )，酸鹼廢液請(qǐng)倒入酸鹼槽中 (需冷卻並至少小於50C)，含氯等有機(jī)廢液 請(qǐng)倒入特別的含氯廢液桶中 (自行回收 )，含 HF 酸鹼廢液請(qǐng)倒入特別的廢液桶中。 (再下面酸鹼類有回收瓶 )有機(jī)類酸鹼類私人小罐裝有機(jī)溶劑氫氧化氨雙氧水其他酸鹼固體

10、異丙醇丙酮顯影液硝酸 硫酸 鹽酸 氫氟酸 磷酸 醋酸私人大罐裝有機(jī)溶劑其他酸鹼溶劑CR-7TBOE3修訂日期 :104 年 10 月 20 日有機(jī)溶液回收暫存區(qū)氫氟酸回收CR-7T 回收 BOE 回收1.有機(jī)類儲(chǔ)存櫃中的顯影劑是:FHD-5 (要知道放這 )玻璃器具位置放置和使用注意事項(xiàng)：玻璃器具擺放位置如下，使用完後歸位並將器具到置使其乾燥。玻璃器材分類為 紅標(biāo)籤酸鹼類，黑標(biāo)籤有機(jī)類，藍(lán)標(biāo)籤水溶液或共用雜類。 (有寫 all)上面都有黃色標(biāo)籤表示為博愛奈米中心結(jié)晶皿其他器具結(jié)晶皿其他器具 (鐵氟龍器具 )大小燒杯各種量筒2F 空間配置：需瞭解逃生路線，以及 葡萄酸鈣和急救箱和沖眼器位置 。

11、(請(qǐng)參看空間配置與逃生路線圖 )1.倒液體的順序： 水 弱酸弱鹼 強(qiáng)酸強(qiáng)鹼 過氧化氫。(2F 黃光 /量測(cè)區(qū) )1.黃光室出入口：進(jìn)出黃光室時(shí)，出入口處的兩扇門不可同時(shí)開啟。除了出入口的門，另兩處的門平時(shí)不可開啟，除非有大型機(jī)臺(tái)必須進(jìn)出黃光室。2.化學(xué)藥品的取用、回收與歸位：光阻：中心僅提供 FH6400，存放於黃光室的冰箱 ，使用時(shí)請(qǐng)先盛入 100cc 之小塑膠瓶再行使用，用畢放回冰箱。顯影液：中心僅提供 FHD-5 ，存放於有機(jī)存放櫃，用畢要?dú)w位。顯影液廢液倒入有機(jī)溶液回收槽。ACE：存放於有機(jī)存放櫃，用畢要?dú)w位。廢液倒入有機(jī)溶液回收槽。IPA：同上。4修訂日期 :104 年 10 月 2

12、0 日3.準(zhǔn)許放置於顯影bench之物品：1. 結(jié)晶皿 2. 量筒 3. ACE 4. IPA，其餘容器 /器具都不可堆放於 bench 內(nèi)，以免佔(zhàn)用操作空間。4.手套、口罩存放地點(diǎn)：a.存放於 sputter旁的桌子右手邊的抽屜內(nèi)。 b. spinner 旁邊抽屜內(nèi)。c.葡萄酸鈣下方的抽屜內(nèi)。1.空瓶要放那 ?2F 緊急淋浴設(shè)備附近2.廢棄玻璃要放哪 ?2F 緊急淋浴設(shè)備附近 (綠色走道 )二樓重點(diǎn)提示 :無塵衣穿著規(guī)定依所屬實(shí)驗(yàn)室及公用。依照衣服上的號(hào)碼掛到架子上相同的編號(hào)，掛在衣架時(shí)扣上第一個(gè)鈕釦以防止滑落。拖鞋在門口進(jìn)來右半邊。有名字的為私人使用，不可拿取。垃圾桶的位置、個(gè)數(shù) (4)急

13、救箱的位置、個(gè)數(shù) (2)鼓風(fēng)機(jī)不能開 ，因?yàn)槌闅庀到y(tǒng)很弱 ，鼓風(fēng)開了會(huì)使上方流下來的氣流太大，而 Bench 內(nèi)來不及抽氣，氣體外洩，造成污染及危險(xiǎn)。Hot plate 左邊旋鈕控制溫度，右邊旋鈕控制燒杯內(nèi)液體旋轉(zhuǎn)速率。用完要放置在酸鹼 wet bench下方的櫃子裡。黃光區(qū)光阻要從 冰箱拿取，熟習(xí)旋轉(zhuǎn)塗布、烘烤、曝光、顯影的步驟。有關(guān)毒性化學(xué)物質(zhì)之使用：若要在博愛校區(qū)奈米中心使用列管實(shí)驗(yàn)場(chǎng)所毒性化學(xué)物質(zhì)者，請(qǐng)至劉先生處填寫 毒性化學(xué)物質(zhì)紀(jì)錄申報(bào)表 ，並告知毒性化學(xué)物質(zhì)存放位置。毒性化學(xué)物質(zhì)紀(jì)錄申報(bào)表需每三個(gè)月繳交一次。如果碰到一般酸鹼先沖水，沖 20 分鐘，邊沖要邊把衣服脫掉或是剪開，可先塗抹燙傷藥膏，嚴(yán)重者送醫(yī)院。碰到 HF，也是先沖水 20 分鐘（若救護(hù)車來了仍然先沖完20 分鐘再上救護(hù)車），5修訂日期 :104 年 10 月