QCC短路圈會成果報告

1、QCC短路圈會圈會成員： 圈長：賴國城 輔導員：黃貴煥 圈員：陳俊廷、龔靖城 陳溢群、陳建銘 方麒銘1工作進度度六月: 收集集不良樣樣本，層層別不良良原因。七月: 對策策實施、數(shù)據(jù)確確認、對對策修正正。八月: 全品品目水平平展開。九月: 對策策數(shù)據(jù)確確認與修修正。2對策品目目選定依據(jù)每月月計劃投投入LOT數(shù)及及LOT不良率，我們們選定兩兩個對策策品目: FD0475FS05123不良現(xiàn)況況依據(jù)取樣樣1142PCS觀觀察分析析，層別別出目前前FD0475與FS0512主要要有下列列不良現(xiàn)現(xiàn)況:1.銅面面上有異異物沾附附(膜屑屑)，導導致銅材材未被氯氯化銅攻攻擊2.蝕刻刻不淨3.其他他因素4銅面上

2、異異物沾附附(膜屑屑):70.3%5蝕刻不淨淨:19.1%(FS0512) 6其他因素素:10.6%7膜屑反沾沾8問題層別別我們將顯顯像後的的製品烘烘乾，用用顯微鏡鏡觀察發(fā)發(fā)現(xiàn)，有有大量膜膜屑沾附附。9觀察顯像像後水洗洗槽的濾濾網(wǎng)，發(fā)發(fā)現(xiàn)大量量膜屑被被帶出。10我們?nèi)訕?月份份週保前前後各5 LOTs做做比對資料來源 : ERP週保前日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS05539505-00565073.50%9505-00566132.00%9505-00567031.50%9505-00568031.50%9505-00569343.50%5月14日FS05939505-0272

3、2070.29%9505-02723030.13%9505-027240100.42%9505-02725830.46%9505-02726040.17%5月21日FS05539505-07155031.50%9505-07156132.00%9505-07157222.00%9505-07158021.00%9505-07159121.50%平均LOT不良率 :1.43%11單位 : Pcs週保後日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS02829505-01335030.03%9505-01336060.06%9505-01337000.00%9505-01338120.03%9505-

4、01339030.03%5月14日FS06969505-04280020.10%9505-04281000.00%9505-04282020.10%9505-05265040.20%9505-05266020.10%5月21日FS06339504-15837000.00%9504-15838000.00%9504-15839000.00%9504-15840010.01%9504-15841000.00%平均LOT不良率 :0.04%12故我們假假設造成成短路LOT不良良率差異異的原因為為:1.濾濾袋更換換，提高高過濾效效果。2.藥藥水更新新，提高高顯像能能力。3.滾滾輪清潔潔、降低低反沾機機

5、率。13要因分析析 :膜膜屑反沾沾人濾網(wǎng)清洗未落實，濾袋更換未落實。機過濾效果不佳，滾輪排列設計不佳。料濾袋、濾網(wǎng)網(wǎng)目過大，法藥水老化，自動定量效果不佳。14對策:1.變更更滾輪排排列，減減少實心心滾輪使使用2.增加加顯像藥藥液、濾濾心濾袋袋更換頻頻度3.建浴浴室建浴浴程序標標準化4.調(diào)整整自動添添加系統(tǒng)統(tǒng)，維持持藥水穩(wěn)穩(wěn)定15變更滾輪輪排列變更前變更後將原有放放置於顯顯像槽與與水洗槽槽間之實實心滾輪輪，變更更為輪片片式滾輪輪，減少少滾輪與與製品接接觸面積積，降低低異物反反沾之機機率。將將水質(zhì)PH值控制於7.5以上，防防止弱酸酸水質(zhì)與與帶出的的顯影液液再反應應。16資料來源 : ERP單位 :

6、 Pcs對策前對策後製番批號 短路銅殘LOT不良率製番批號 短路銅殘LOT不良率9505-099471400.88%9506-00795100.63%9505-099483302.06%9506-00803130.81%9505-09949991.13%9506-0079880.50%9505-099501030.81%9506-00804110.69%9505-099542601.63%9506-0079690.56%9505-099532311.50%9506-00801140.88%9505-099581000.63%9506-03239100.63%9505-09961400.25%9

7、506-03240110.69%9505-099621500.94%9506-03241130.81%9505-099632081.75%9506-0324670.44%9505-099651701.06%9506-03251130.81%9505-0996712111.44%9506-0325370.44%LOT不良率平均 :1.17%LOT不良率平均 :0.66%總投入 : 19200 pcs總投入 : 19200 pcs我們測試試了12 LOTS，並與測測試前做做比對。17變更濾網(wǎng)網(wǎng)網(wǎng)目我們將顯顯像後水水洗槽原原本使用用25網(wǎng)網(wǎng)目的濾濾罐更換換為48網(wǎng)目，藉以提提高過濾濾效果。18濾網(wǎng)變

8、更更後，仍仍有大量量膜屑帶帶出分析藥水水老化與與溶膜量量19顯像藥液液:DOWN槽後，追蹤其其葯液變變化發(fā)現(xiàn)現(xiàn)，自動動添加系系統(tǒng)無法法維持穩(wěn)穩(wěn)定的作作業(yè)濃度度。取樣時間2006/8/11 13:002006/8/11 18:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.420.96%10.810.84%雙面顯影槽10.530.89%10.850.87%取樣時間2006/8/12 07:302006/8/12 13:10PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.880.87%10.850.87%雙面顯影槽10.680.83%週保養(yǎng)取樣時間2006/8/15 08:202006/8/1

9、5 12:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.990.96%110.97%雙面顯影槽10.970.99%10.980.92%取樣時間2006/8/16 08:502006/8/16 15:20PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽11.040.98%11.120.91%雙面顯影槽11.031.00%11.090.89%20根據(jù)DRYFILM供應商商華立的的建議:25um厚度的的DRY FLIM藥藥水實際際溶膜量量(S)要 0.4m2/ L20um厚度的的DRY FLIM藥藥水實際際溶膜量量(S)要 0.5m2/ L依廠內(nèi)生生產(chǎn)品目目去做估估算:0.25m* 0.3m*30%

10、(被溶蝕蝕率)*100(張數(shù)) =2.25m2/ lot1000 (槽槽體積積 )*0.5=500m21000 (槽槽體積積 )*0.4=400m2500/2.25 =222 lots 20um厚DRYFILM(單面板)400/2.25 =177 lots 25um厚DRYFILM(雙面板)再導入每每班產(chǎn)出出量:單面板:70 lots/班班222/70=3.17班(約1.5天)雙面板:40 lots/班班177/40=4.43班(約2.5天)21我們依據(jù)據(jù)華立提提供的滴滴定方法法，量測測單面板板機臺顯顯影槽DOWN槽前、後實際際溶膜量量。DOWN槽前一日(12:00)取樣滴定S = 0.377

11、89DOWN槽後(09:00)取樣滴定S = 0.13966DOWN槽後一日(10:00)取樣滴定S = 0.31217DOWN槽後一日(16:00)取樣滴定S = 0.39432單面蝕刻刻機(S 0.5)22增加DOWN槽槽頻度、濾袋更更換頻度度。1.先開開立暫定定條件，增加DOWN槽頻度度，提高高藥水溶溶膜能力力。2.增加加濾袋更更換頻度度，增加加顯像槽槽過濾能能力。23設定補充秒數(shù)設定間隔秒數(shù)實際補充秒數(shù)實際間隔秒數(shù)CYCLE TIME實際補充量預估每日補充量中繼次數(shù)1030106070625ml771.43 L123420302060801250ml1350 L1080 3030306

12、0901980ml1900.8 L9601010104050625ml1080 L17281020105060625ml900 L14401030106070625ml771.43 L1234單面蝕刻刻機顯象象中繼槽槽作動測測試24設定補充秒數(shù)設定間隔秒數(shù)實際補充秒數(shù)實際間隔秒數(shù)CYCLE TIME實際補充量預估每日補充量中繼次數(shù)1030106070475ml586.29 L12342030206080980ml1058.40 L1080 30303060901450ml1566 L9601010104050475ml820.8 L17281020105060475ml640 L1440103

13、0106070475ml586.29 L1234雙面蝕刻刻機顯象象中繼槽槽作動測測試25建浴室:在自動動添加的的測試中中發(fā)現(xiàn)建浴室顯顯像藥水水的調(diào)配配程序未被標準準化，影響測測試的準準確性。26在調(diào)整自自動添加加量的過過程，我我們導入入了PH值作為為顯像藥藥水老化化與否的的判定依依據(jù)。條件一、自動添添加設定定10秒秒，間隔隔10秒秒單面機臺臺 :每每次補補充量625ml，平均PH值為為10.57雙面機臺臺 :每每次補補充量475ml，平均PH值為為10.49條件二、自動添添加設定定30秒秒，間隔隔30秒秒單面機臺臺 :每每次補補充量1980ml，平均均PH值值為11.12雙面機臺臺 :每每次補

14、補充量1450ml，平均均PH值值為11.09藥水商給給的建議議是在PH11以上，而參考考旗勝的的管制點點是設在在PH10.5以上27FD0475 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6月7月8月銅殘1.43820.41120.26980.10110短路0.36441.21180.79960.17290銅殘+短路(Q版)000.09960.5390.6294LOT不良率(合計)1.80261.6231.1690.8130.6294改善效益益:28FS0512 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6月7月8月銅殘0.040460.20790.05361.69640.0047短路4

15、.68919.14693.95324.59880.4638銅殘+短路(Q版)000.506402.2325LOT不良率(合計)4.729569.35484.51326.29522.70129八月導入入全品目目後:TARGET : 0.37資料來源 : ERP擷取自10月24日止月份4月5月6月7月8月9月10月銅殘0.150.210.10.070.0100短路0.490.670.420.18000銅殘+短路(新制)000.070.390.750.720.59LOT不良率(合計)0.640.880.590.640.760.720.5930蝕刻不淨淨31要因分析析 :蝕蝕刻不不淨人蝕刻速度過快未在

16、作業(yè)前做測速動作品目切換未接PET作間隔，直接調(diào)整速度機平行度平行度未校正，導致製品均勻性不佳擺動機構(gòu)異常，噴嘴藥液噴灑無法涵蓋製品噴嘴、噴管阻塞或破裂料來料異常銅厚不均法線寬間距DRY FILMDRY FILM與乾膜厚度搭配不佳設計補正值32平行度校校正導入入 :將平行度度校正步步驟標準準化，並並由製技技人員測測試完成成後，再再以教育育訓練模模式將技術移交交現(xiàn)場推推行。平行度校校正前平行度校校正後33FS0512平平行度與與BP點點確認數(shù)據(jù)量測測方向蝕刻前進進方向34位置顯像後線寬顯像後線距蝕刻後線寬蝕刻後線距上-10.0830.0430.0550.069上-20.0840.0420.0600.066上-30.0840.0410.0610.068上-40.0780.0460.0610.067上-50.0830.0450.0560.068上-60.0810.0390.0510.075上-70.0900