理學(xué)X熒光儀修理課件

理學(xué)X熒光儀維修

ZSXPrimusⅡ型

理學(xué)X熒光儀維修

ZSXPrimusⅡ型11、F-PC探測(cè)器PR氣體泄漏檢查2、真空泵漏油檢修、更換過(guò)濾器3、主機(jī)禁止拆卸部位4、機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)加注油脂1、F-PC探測(cè)器PR氣體泄漏檢查2F-PC探測(cè)器PR氣體泄漏檢查F-PC探測(cè)器氣體軟管后窗膜前窗膜芯線清洗接頭窗膜固定螺絲F-PC探測(cè)器PR氣體泄漏檢查F-PC探測(cè)器氣體軟管后窗膜前3

判斷F-PC系統(tǒng)是否漏氣

在真空狀態(tài)下，手動(dòng)調(diào)整PR氣體流量至10ml/min左右，再轉(zhuǎn)換為大氣狀態(tài)。一般情況下，PR氣體流量會(huì)增加1-5ml，如果增加太多，可能是F-PC探測(cè)器系統(tǒng)漏氣。

因前窗膜太薄，拆下后容易損壞，要先檢查其它部位是否漏氣，確認(rèn)其它部位正常后，再更換前窗膜。

檢查順序判斷F-PC系統(tǒng)是否漏氣在真空狀態(tài)下，手動(dòng)41.窗膜固定螺絲擰緊前窗膜和后窗膜8個(gè)固定螺絲后，如果氣體流量增加，可以判定窗膜密封橡膠老化引起漏氣。1.窗膜固定螺絲擰緊前窗膜和后窗膜8個(gè)固定螺絲后，如果氣體流52.檢查氣體軟管松開F-PC探測(cè)器PR氣體軟管2個(gè)螺母，用直徑3毫米PR氣體銅管或硬塑料管連接氣體管，待氣體流量穩(wěn)定后，如果氣體流量比原來(lái)變大，說(shuō)明氣體管路正常，F(xiàn)-PC探測(cè)器漏氣。2.檢查氣體軟管松開F-PC探測(cè)器PR氣體軟管263.檢查后窗膜

重新連接2根PR氣體軟管，使F-PC探測(cè)器后窗膜表面朝上，倒入少量酒精，如果有氣泡，說(shuō)明后窗膜漏氣（型號(hào)5774A2）。3.檢查后窗膜重新連接2根PR氣體軟管，使F-PC探74.檢查芯線清洗接頭芯線清洗接頭轉(zhuǎn)向側(cè)面，用肥皂泡沫檢查是否漏氣，如果漏氣需拆下2個(gè)規(guī)定螺絲，更換接頭O形環(huán)（型號(hào)A0020G）。4.檢查芯線清洗接頭芯線清洗接頭轉(zhuǎn)向側(cè)面，用肥皂泡85.更換前窗膜如果氣體管路、后窗膜、芯線清洗接頭密封良好，就可以更換前窗膜（舊型號(hào)5770W8、新型號(hào)3199B019）。5.更換前窗膜如果氣體管路、后窗膜、芯線清9

GLD-136A、GLD-201A真空泵真空泵檢修更換油封清洗O形環(huán)更換外過(guò)濾器清洗內(nèi)過(guò)濾器GLD-1310

漏油原因

真空泵最常見的故障是漏油，這是由于泵工作時(shí)溫度比較高，油封和主軸長(zhǎng)時(shí)間磨損，造成油封橡膠老化變硬、密封不良而漏油。漏油原因真空泵最常見的故障是漏油，這是由于泵工11拆下底座4個(gè)固定螺絲1.怎樣更換油封拆下底座4個(gè)固定螺絲1.怎樣更換油封12拆下電機(jī)后4個(gè)螺絲孔位置拆下電機(jī)后4個(gè)螺絲孔位置13

擰開主軸連接器1個(gè)定位螺絲擰開主軸連接器1個(gè)定位螺絲14拆下油封蓋3個(gè)固定螺絲使用拆下的螺絲再擰入這2個(gè)螺絲孔內(nèi)，頂出蓋子和油封。拆下油封蓋3個(gè)固定螺絲使用拆下的螺絲再擰入這2個(gè)螺絲孔15用螺絲刀取出油封日本油封型號(hào)（AH0772E）用螺絲刀取出油封16

怎樣選擇國(guó)產(chǎn)油封（型號(hào)18×40×10）由于生產(chǎn)廠家不同，相同型號(hào)的油封內(nèi)徑大小也不一樣，如果使用了內(nèi)徑大的油封，更換后還會(huì)漏油；可以用更換下來(lái)的油封套在指頭上試一下大小，更換內(nèi)徑小一點(diǎn)的油封。怎樣選擇國(guó)產(chǎn)油封（型號(hào)18×40×10）172.

清洗O形環(huán)、涂密封脂O形環(huán)表面涂密封脂2.清洗O形環(huán)、涂密封脂O形環(huán)表面涂密封脂183.清洗內(nèi)過(guò)濾器（每年一次）拆下過(guò)濾器2個(gè)固定螺絲取出過(guò)濾器，金屬紗網(wǎng)浸在汽油中用刷子清洗。3.清洗內(nèi)過(guò)濾器（每年一次）拆下過(guò)濾器2個(gè)固定螺絲取出194.清洗油位內(nèi)部窗面取下4個(gè)螺絲油窗內(nèi)部表面4.清洗油位內(nèi)部窗面取下4個(gè)螺絲油窗內(nèi)部表面204.更換外過(guò)濾器（每二年更換一次）

1、用力向下壓，按箭頭方向旋轉(zhuǎn)擰開頂蓋，更換過(guò)濾器芯。2、反方向旋轉(zhuǎn)更換整套過(guò)濾器。4.更換外過(guò)濾器（每二年更換一次）1、用力向下壓，按21

外過(guò)濾器芯外過(guò)濾器內(nèi)部外過(guò)濾器芯外過(guò)濾器內(nèi)部22禁止拆卸部位θ和2θ角度電機(jī)和光電傳感器ASC機(jī)械手抓樣升舉電機(jī)晶體電機(jī)和光電傳感器r軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光電傳感器樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔旋轉(zhuǎn)電機(jī)禁止拆卸部位θ和2θ角度電機(jī)和光電傳感器ASC機(jī)械手樣品室內(nèi)23

1、禁止拆卸θ和2θ角度電機(jī)和光電傳感器

因θ和2θ角度定位精密，拆下光電傳感器或電機(jī)軸定位螺絲，手動(dòng)很難恢復(fù)到原來(lái)的位置，引起主機(jī)不能初始化。

1、禁止拆卸θ和2θ角度電機(jī)和光電傳感器

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2、禁止拆卸晶體電機(jī)和光電傳感器

拆下晶體電機(jī)，會(huì)造成晶體架旋轉(zhuǎn)不到正常位置，引起X射線強(qiáng)度降低。

2、禁止拆卸晶體電機(jī)和光電傳感器

拆下25

3、禁止拆卸r軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光電傳感器

無(wú)論操作軟件是否有CCD功能，主機(jī)都有r軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如果拆下r軸電機(jī),樣品盒中心位置會(huì)發(fā)生偏移，分析樣品時(shí)會(huì)測(cè)量到樣品盒表面，造成Fe、Cr、Ni、Mn等元素結(jié)果偏高。

3、禁止拆卸r軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光電傳感器

無(wú)26

4、禁止拆卸ASC機(jī)械手抓樣電機(jī)

機(jī)械手單馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，拆下電機(jī)后很難調(diào)整到上升時(shí)抓緊樣品、下降時(shí)放開樣品的正常狀態(tài)。

4、禁止拆卸ASC機(jī)械手抓樣電機(jī)

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5、禁止拆卸樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔旋轉(zhuǎn)電機(jī)和光電傳感器

如果拆下樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔電機(jī)和主軸定位螺絲，會(huì)造成樣品托盤位置偏移、升降桿不能上升。

5、禁止拆卸樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔旋轉(zhuǎn)電機(jī)和光電傳感器

28機(jī)械系統(tǒng)加注油脂部位

樣品升舉ASC托盤θ和2θ角軸

ASC機(jī)械手光欄、濾片交換器樣品自旋機(jī)械系統(tǒng)加注油脂部位樣品升舉ASC托盤θ和2θ角軸ASC291.密封脂、潤(rùn)滑脂型號(hào)（每半年加注油脂1次）密封脂潤(rùn)滑脂1.密封脂、潤(rùn)滑脂型號(hào)（每半年加注油脂1次）密封脂潤(rùn)滑脂302.樣品升舉桿涂潤(rùn)滑脂VADEN2.樣品升舉桿涂潤(rùn)滑脂VADEN313.光欄、濾片交換器涂潤(rùn)滑脂VADEN3.光欄、濾片交換器涂潤(rùn)滑脂VADEN324.θ和2θ齒輪涂潤(rùn)滑脂VADEN4.θ和2θ齒輪涂潤(rùn)滑脂VADEN335.ASC托盤涂密封脂ISOFLEX5.ASC托盤涂密封脂ISOFLEX346.樣品自旋涂潤(rùn)滑脂VADEN6.樣品自旋涂潤(rùn)滑脂VADEN357.ASC機(jī)械手涂密封脂ISOFLEX7.ASC機(jī)械手涂密封脂ISOFLEX36理學(xué)X熒光儀維修

ZSXPrimusⅡ型

理學(xué)X熒光儀維修

ZSXPrimusⅡ型371、F-PC探測(cè)器PR氣體泄漏檢查2、真空泵漏油檢修、更換過(guò)濾器3、主機(jī)禁止拆卸部位4、機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)加注油脂1、F-PC探測(cè)器PR氣體泄漏檢查38F-PC探測(cè)器PR氣體泄漏檢查F-PC探測(cè)器氣體軟管后窗膜前窗膜芯線清洗接頭窗膜固定螺絲F-PC探測(cè)器PR氣體泄漏檢查F-PC探測(cè)器氣體軟管后窗膜前39

判斷F-PC系統(tǒng)是否漏氣

在真空狀態(tài)下，手動(dòng)調(diào)整PR氣體流量至10ml/min左右，再轉(zhuǎn)換為大氣狀態(tài)。一般情況下，PR氣體流量會(huì)增加1-5ml，如果增加太多，可能是F-PC探測(cè)器系統(tǒng)漏氣。

因前窗膜太薄，拆下后容易損壞，要先檢查其它部位是否漏氣，確認(rèn)其它部位正常后，再更換前窗膜。

檢查順序判斷F-PC系統(tǒng)是否漏氣在真空狀態(tài)下，手動(dòng)401.窗膜固定螺絲擰緊前窗膜和后窗膜8個(gè)固定螺絲后，如果氣體流量增加，可以判定窗膜密封橡膠老化引起漏氣。1.窗膜固定螺絲擰緊前窗膜和后窗膜8個(gè)固定螺絲后，如果氣體流412.檢查氣體軟管松開F-PC探測(cè)器PR氣體軟管2個(gè)螺母，用直徑3毫米PR氣體銅管或硬塑料管連接氣體管，待氣體流量穩(wěn)定后，如果氣體流量比原來(lái)變大，說(shuō)明氣體管路正常，F(xiàn)-PC探測(cè)器漏氣。2.檢查氣體軟管松開F-PC探測(cè)器PR氣體軟管2423.檢查后窗膜

重新連接2根PR氣體軟管，使F-PC探測(cè)器后窗膜表面朝上，倒入少量酒精，如果有氣泡，說(shuō)明后窗膜漏氣（型號(hào)5774A2）。3.檢查后窗膜重新連接2根PR氣體軟管，使F-PC探434.檢查芯線清洗接頭芯線清洗接頭轉(zhuǎn)向側(cè)面，用肥皂泡沫檢查是否漏氣，如果漏氣需拆下2個(gè)規(guī)定螺絲，更換接頭O形環(huán)（型號(hào)A0020G）。4.檢查芯線清洗接頭芯線清洗接頭轉(zhuǎn)向側(cè)面，用肥皂泡445.更換前窗膜如果氣體管路、后窗膜、芯線清洗接頭密封良好，就可以更換前窗膜（舊型號(hào)5770W8、新型號(hào)3199B019）。5.更換前窗膜如果氣體管路、后窗膜、芯線清45

GLD-136A、GLD-201A真空泵真空泵檢修更換油封清洗O形環(huán)更換外過(guò)濾器清洗內(nèi)過(guò)濾器GLD-1346

漏油原因

真空泵最常見的故障是漏油，這是由于泵工作時(shí)溫度比較高，油封和主軸長(zhǎng)時(shí)間磨損，造成油封橡膠老化變硬、密封不良而漏油。漏油原因真空泵最常見的故障是漏油，這是由于泵工47拆下底座4個(gè)固定螺絲1.怎樣更換油封拆下底座4個(gè)固定螺絲1.怎樣更換油封48拆下電機(jī)后4個(gè)螺絲孔位置拆下電機(jī)后4個(gè)螺絲孔位置49

擰開主軸連接器1個(gè)定位螺絲擰開主軸連接器1個(gè)定位螺絲50拆下油封蓋3個(gè)固定螺絲使用拆下的螺絲再擰入這2個(gè)螺絲孔內(nèi)，頂出蓋子和油封。拆下油封蓋3個(gè)固定螺絲使用拆下的螺絲再擰入這2個(gè)螺絲孔51用螺絲刀取出油封日本油封型號(hào)（AH0772E）用螺絲刀取出油封52

怎樣選擇國(guó)產(chǎn)油封（型號(hào)18×40×10）由于生產(chǎn)廠家不同，相同型號(hào)的油封內(nèi)徑大小也不一樣，如果使用了內(nèi)徑大的油封，更換后還會(huì)漏油；可以用更換下來(lái)的油封套在指頭上試一下大小，更換內(nèi)徑小一點(diǎn)的油封。怎樣選擇國(guó)產(chǎn)油封（型號(hào)18×40×10）532.

清洗O形環(huán)、涂密封脂O形環(huán)表面涂密封脂2.清洗O形環(huán)、涂密封脂O形環(huán)表面涂密封脂543.清洗內(nèi)過(guò)濾器（每年一次）拆下過(guò)濾器2個(gè)固定螺絲取出過(guò)濾器，金屬紗網(wǎng)浸在汽油中用刷子清洗。3.清洗內(nèi)過(guò)濾器（每年一次）拆下過(guò)濾器2個(gè)固定螺絲取出554.清洗油位內(nèi)部窗面取下4個(gè)螺絲油窗內(nèi)部表面4.清洗油位內(nèi)部窗面取下4個(gè)螺絲油窗內(nèi)部表面564.更換外過(guò)濾器（每二年更換一次）

1、用力向下壓，按箭頭方向旋轉(zhuǎn)擰開頂蓋，更換過(guò)濾器芯。2、反方向旋轉(zhuǎn)更換整套過(guò)濾器。4.更換外過(guò)濾器（每二年更換一次）1、用力向下壓，按57

外過(guò)濾器芯外過(guò)濾器內(nèi)部外過(guò)濾器芯外過(guò)濾器內(nèi)部58禁止拆卸部位θ和2θ角度電機(jī)和光電傳感器ASC機(jī)械手抓樣升舉電機(jī)晶體電機(jī)和光電傳感器r軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光電傳感器樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔旋轉(zhuǎn)電機(jī)禁止拆卸部位θ和2θ角度電機(jī)和光電傳感器ASC機(jī)械手樣品室內(nèi)59

1、禁止拆卸θ和2θ角度電機(jī)和光電傳感器

因θ和2θ角度定位精密，拆下光電傳感器或電機(jī)軸定位螺絲，手動(dòng)很難恢復(fù)到原來(lái)的位置，引起主機(jī)不能初始化。

1、禁止拆卸θ和2θ角度電機(jī)和光電傳感器

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2、禁止拆卸晶體電機(jī)和光電傳感器

拆下晶體電機(jī)，會(huì)造成晶體架旋轉(zhuǎn)不到正常位置，引起X射線強(qiáng)度降低。

2、禁止拆卸晶體電機(jī)和光電傳感器

拆下61

3、禁止拆卸r軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光電傳感器

無(wú)論操作軟件是否有CCD功能，主機(jī)都有r軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如果拆下r軸電機(jī),樣品盒中心位置會(huì)發(fā)生偏移，分析樣品時(shí)會(huì)測(cè)量到樣品盒表面，造成Fe、Cr、Ni、Mn等元素結(jié)果偏高。

3、禁止拆卸r軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光電傳感器

無(wú)62

4、禁止拆卸ASC機(jī)械手抓樣電機(jī)