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第四章電感式傳感器1第四章電感式傳感器1概述電感式傳感器(Inductancesensor)是一種機(jī)電轉(zhuǎn)換裝置。是利用電磁感應(yīng)原理將被測(cè)電量轉(zhuǎn)換成線圈自感量或互感量的變化,進(jìn)而由測(cè)量電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量。可用來(lái)測(cè)量位移、壓力、流量、振動(dòng)等非電量信號(hào)按傳感器結(jié)構(gòu)可分為:自感式、互感式、電渦流式。2概述電感式傳感器(Inductancesensor)是一種特點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠;靈敏度高,能分辨0.01μm的位移變化;測(cè)量精度高、零點(diǎn)穩(wěn)定、輸出功率較大;可實(shí)現(xiàn)信息的遠(yuǎn)距離傳輸、記錄、顯示和控制,在工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)中被廣泛采用;主要缺點(diǎn)有:靈敏度、線性度和測(cè)量范圍相互制約;傳感器自身頻率響應(yīng)低,不適用于快速動(dòng)態(tài)測(cè)量。3特點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠;3非接觸式位移傳感器測(cè)厚傳感器電感粗糙度儀電感計(jì)數(shù)器振動(dòng)傳感器差動(dòng)傳感器4非接觸式位移傳感器測(cè)厚傳感器電感粗糙度儀電感計(jì)數(shù)器振動(dòng)傳感器§4-1自感式傳感器4.1.1工作原理

結(jié)構(gòu):由線圈、鐵芯、銜鐵三部分組成。鐵芯和銜鐵之間有氣隙,氣隙厚度為lδ;傳感器運(yùn)動(dòng)部分與銜鐵相連,銜鐵移動(dòng)時(shí)lδ發(fā)生變化,引起磁路的磁阻Rm變化,使電芯線圈的電感值L變化;只要改變氣隙厚度或氣隙截面積就可以改變電感。5§4-1自感式傳感器4.1.1工作原理520.5lδ13(a)氣隙式(b)變截面式620.5lδ13(a)氣隙式(b)變截面式6線圈的電感可用下式表示:式中,N為線圈匝數(shù);Rm為磁路總磁阻(鐵芯、銜鐵磁阻和空氣隙磁阻)(H-1)。對(duì)于變間隙式電感傳感器,如果忽略磁路鐵損,則磁路總磁阻為

l1:鐵芯磁路總長(zhǎng);l2:銜鐵的磁路長(zhǎng);S:氣隙磁通截面積;S1:鐵芯橫截面積;S2:銜鐵橫截面積;μ1:鐵芯磁導(dǎo)率;μ2:銜鐵磁導(dǎo)率;μ0:真空磁導(dǎo)率,μ0=4π×10-7H/m;lδ:空氣隙總長(zhǎng)。7線圈的電感可用下式表示:式中,N為線圈匝數(shù);Rm為磁路總一般情況下,導(dǎo)磁體的磁阻與空氣隙磁阻相比是很小的,因此線圈的電感值可近似地表示為可見(jiàn),自感L是氣隙截面積和長(zhǎng)度的函數(shù),即

L=f(S,lδ)如果S保持不變,則L為lδ的單值函數(shù),構(gòu)成變隙式自感傳感器;若保持lδ不變,使S隨位移變化,則構(gòu)成變截面式自感傳感器。8一般情況下,導(dǎo)磁體的磁阻與空氣隙磁阻相比是很小的,因此線圈的L=f(lδ)為非線性關(guān)系。當(dāng)lδ=0時(shí),L為∞,考慮導(dǎo)磁體的磁阻,當(dāng)lδ=0時(shí),并不等于∞,而具有一定的數(shù)值,在lδ較小時(shí)其特性曲線如圖中虛線所示。如上下移動(dòng)銜鐵使面積S改變,從而改變L值時(shí),則L=f(S)的特性曲線為一直線。

L=f(S)L=f(lδ)lδLS9L=f(lδ)為非線性關(guān)系。當(dāng)lδ=0時(shí),L4.1.2自感線圈的等效電路 假設(shè)自感線圈為一理想純電感,但實(shí)際傳感器中包括:線圈的銅損電阻(Rc)、鐵芯的渦流損耗電阻(Re)和線圈的寄生電容(C)。因此,自感傳感器的等效電路如下圖。CLRcRe104.1.2自感線圈的等效電路 假設(shè)自感線圈為一理想純電感4.1.3測(cè)量電路1、交流電橋交流電橋是自感傳感器的主要測(cè)量電路,為了提高靈敏度,改善線性度,自感線圈一般接成差動(dòng)形式,如圖。Z1、Z2為工作臂,即線圈阻抗,R1、R2為電橋的平衡臂。電橋平衡條件:設(shè)Z1=Z2=Z=RS+jωL;R1=R2=R;

RS1=RS2=RS;L1=L2=LE為橋路電源,ZL是負(fù)載阻抗。工作時(shí),Z1=Z+ΔZ和Z2=Z-ΔZZLR1R2Z2Z1L1L2RS1RS2USCE交流電橋原理圖114.1.3測(cè)量電路1、交流電橋ZLR1R2Z2Z1L1L當(dāng)ZL→∞時(shí)其輸出電壓幅值輸出阻抗12當(dāng)ZL→∞時(shí)其輸出電壓幅值輸出阻抗12為自感線圈的品質(zhì)因數(shù)。13為自感線圈的品質(zhì)因數(shù)。13結(jié)論1.橋路輸出電壓Usc包含與電源E同相和正交兩個(gè)分量。在實(shí)際測(cè)量中,只希望有同相分量,如能使或Q值比較大,均能達(dá)到此目的。但在實(shí)際工作時(shí),△RS/RS一般很小,所以要求線圈有高的品質(zhì)因數(shù)。當(dāng)Q值很高時(shí),2.當(dāng)Q值很低時(shí),自感線圈的電感遠(yuǎn)小于電阻,電感線圈相當(dāng)于純電阻(ΔZ=Rs),交流電橋即為電阻電橋。例如,應(yīng)變測(cè)量?jī)x就是如此,此時(shí)輸出電壓。該電橋結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,其電阻R1、R2可用兩個(gè)電阻和一個(gè)電位器組成,調(diào)零方便。14結(jié)論142、變壓器電橋它的平衡臂為變壓器的兩個(gè)二次側(cè)繞組,當(dāng)負(fù)載阻抗無(wú)窮大時(shí),流入工作臂的電流為輸出電壓初始Z1=Z2=Z=RS+jωL,故平衡時(shí),USC=0。雙臂工作時(shí),設(shè)Z1=Z–ΔZ,Z2=Z+ΔZ,相當(dāng)于差動(dòng)式自感傳感器的銜鐵向一側(cè)移動(dòng),則152、變壓器電橋輸出電壓初始Z1=Z2=Z=RS+jωL,故平Z1Z2USCE/2E/2EI變壓器電橋原理圖同理反方向移動(dòng)時(shí)16Z1Z2USCE/2E/2EI變壓器電橋原理圖同理反方向移動(dòng)可見(jiàn),銜鐵向不同方向移動(dòng)時(shí),產(chǎn)生的輸出電壓Usc大小相等、方向相反,即相位互差180o,可反映銜鐵移動(dòng)的方向。但是,為了判別交流信號(hào)的相位,需接入專門(mén)的相敏檢波電路。變壓器電橋的輸出電壓幅值17可見(jiàn),銜鐵向不同方向移動(dòng)時(shí),產(chǎn)生的輸出電壓Usc大小相等、方優(yōu)點(diǎn):這種電橋與電阻平衡電橋相比,元件少,輸出阻抗小,橋路開(kāi)路時(shí)電路呈線性;缺點(diǎn):變壓器副邊不接地,易引起來(lái)自原邊的靜電感應(yīng)電壓,使高增益放大器不能工作。

輸出阻抗為(略去變壓器副邊的阻杭,它遠(yuǎn)小于電感的阻抗)18優(yōu)點(diǎn):這種電橋與電阻平衡電橋相比,元件少,輸出阻抗小,橋路開(kāi)下圖是一個(gè)采用了帶相敏整流的交流電橋。差動(dòng)電感式傳感器的兩個(gè)線圈作為交流電橋相鄰的兩個(gè)工作臂,指示儀表是中心為零刻度的直流電壓表或數(shù)字電壓表。帶相敏整流電路19下圖是一個(gè)采用了帶相敏整流的交流電橋。差動(dòng)電感式傳感器的兩個(gè)設(shè)差動(dòng)電感傳感器的線圈阻抗分別為Z1和Z2。當(dāng)銜鐵處于中間位置時(shí),Z1=Z2=Z,電橋處于平衡狀態(tài),C點(diǎn)電位等于D點(diǎn)地位,電表指示為零。當(dāng)銜鐵上移,上部線圈阻抗增大,Z1=Z+△Z,則下部線圈阻抗減少,Z2=Z-△Z。如果輸入交流電壓為正半周,則A點(diǎn)電位為正,B點(diǎn)電位為負(fù),二極管V1、V4導(dǎo)通,V2、V3截止。在A-E-C-B支路中,C點(diǎn)電位由于Z1增大而比平衡時(shí)的C點(diǎn)電位降低;而在A-F-D-B支路中,D點(diǎn)電位由于Z2的降低而比平衡時(shí)D點(diǎn)的電位增高,所以D點(diǎn)電位高于C點(diǎn)電位,直流電壓表正向偏轉(zhuǎn)。20設(shè)差動(dòng)電感傳感器的線圈阻抗分別為Z1和Z2。當(dāng)銜鐵處于中間如果輸入交流電壓為負(fù)半周,A點(diǎn)電位為負(fù),B點(diǎn)電位為正,二極管V2、V3導(dǎo)通,V1、V4截止,則在A-F-C-B支中中,C點(diǎn)電位由于Z2減少而比平衡時(shí)降低(平衡時(shí),輸入電壓若為負(fù)半周,即B點(diǎn)電位為正,A點(diǎn)電位為負(fù),C點(diǎn)相對(duì)于B點(diǎn)為負(fù)電位,Z2減少時(shí),C點(diǎn)電位更負(fù));而在A-E-D-B支路中,D點(diǎn)電位由于Z1的增加而比平衡時(shí)的電位增高,所以仍然是D點(diǎn)電位高于C點(diǎn)電位,電壓表正向偏轉(zhuǎn)。同樣可以得出結(jié)果:當(dāng)銜鐵下移時(shí),電壓表總是反向偏轉(zhuǎn),輸出為負(fù)??梢?jiàn)采用帶相敏整流的交流電橋,輸出信號(hào)既能反映位移大小又能反映位移的方向。21如果輸入交流電壓為負(fù)半周,A點(diǎn)電位為負(fù),B點(diǎn)電位為正,二極管二、差動(dòng)變壓器 把被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互感量變化的傳感器稱為互感式傳感器。這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成的,并且次級(jí)繞組都用差動(dòng)形式連接,故稱差動(dòng)變壓器式傳感器。 差動(dòng)變壓器結(jié)構(gòu)形式較多,有變隙式、變面積式和螺線管式等,但其工作原理基本一樣。非電量測(cè)量中,應(yīng)用最多的是螺線管式差動(dòng)變壓器,它可以測(cè)量1~100mm范圍內(nèi)的機(jī)械位移,并具有測(cè)量精度高,靈敏度高,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,性能可靠等優(yōu)點(diǎn)22二、差動(dòng)變壓器 把被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互(一)結(jié)構(gòu)原理與等效電路差動(dòng)變壓器的工作原理類似變壓器的作用原理。這種類型的傳感器主要包括有銜鐵、一次繞組和二次繞組等。一、二次繞組間的耦合能隨銜鐵的移動(dòng)而變化,即繞組間的互感隨被測(cè)位移改變而變化。由于在使用時(shí)采用兩個(gè)二次繞組反向串接,以差動(dòng)方式輸出,所以把這種傳感器稱為差動(dòng)變壓器式電感傳感器,通常簡(jiǎn)稱差動(dòng)變壓器。右圖為差動(dòng)變壓器的結(jié)構(gòu)示意圖。23(一)結(jié)構(gòu)原理與等效電路23螺管形差動(dòng)變壓器根據(jù)初、次級(jí)排列不同有二節(jié)式、三節(jié)式、四節(jié)式和五節(jié)式等形式。三節(jié)式的零點(diǎn)電位較小,二節(jié)式比三節(jié)式靈敏度高、線性范圍大,四節(jié)式和五節(jié)式改善了傳感器線性度。24螺管形差動(dòng)變壓器根據(jù)初、次級(jí)排列不同有二節(jié)式差動(dòng)變壓器線圈各種排列形式藍(lán)色線為初級(jí)線圈;紅色線為次級(jí)線圈;綠色線為銜鐵25差動(dòng)變壓器線圈各種排列形式25~~~

e1——初級(jí)線圈激勵(lì)電壓L1,R1——初級(jí)線圈電感和電阻M1,M1——分別為初級(jí)與次級(jí)線圈1,2間的互感L21,L22——兩個(gè)次級(jí)線圈的電感R21,R22——兩個(gè)次級(jí)線圈的電阻e2R21R22e21e22e1R1M1M2L21L22L1I1在理想情況下(忽略線圈寄生電容及銜鐵損耗),差動(dòng)變壓器的等效電路如右圖。初級(jí)線圈的復(fù)數(shù)電流值為ω—激勵(lì)電壓的角頻率;

e1—激勵(lì)電壓的復(fù)數(shù)值;26~~~e1——初級(jí)線圈激勵(lì)電壓e2R21R22e21e22Rm1及Rm2分別為磁通通過(guò)初級(jí)線圈及兩個(gè)次級(jí)線圈的磁阻,N1為初級(jí)線圈匝數(shù)。由于Il的存在,在次級(jí)線圈中產(chǎn)生磁通27Rm1及Rm2分別為磁通通過(guò)初級(jí)線圈及兩個(gè)次級(jí)線圈的磁阻,NN2為次級(jí)線圈匝數(shù)。因此空載輸出電壓在次級(jí)線圈中感應(yīng)出電壓e21和e22,其值分別為其幅數(shù)輸出阻抗或其中28N2為次級(jí)線圈匝數(shù)。在次級(jí)線圈中感應(yīng)出電壓e21和e22,其2929(二)

誤差因素分析1、激勵(lì)電壓幅值與頻率的影響激勵(lì)電源電壓幅值的波動(dòng),會(huì)使線圈激勵(lì)磁場(chǎng)的磁通發(fā)生變化,直接影響輸出電勢(shì)。而頻率的波動(dòng),只要適當(dāng)?shù)剡x擇頻率,其影響不大。2、溫度變化的影響周圍環(huán)境溫度的變化,引起線圈及導(dǎo)磁體磁導(dǎo)率的變化,從而使線圈磁場(chǎng)發(fā)生變化產(chǎn)生溫度漂移。當(dāng)線圈品質(zhì)因數(shù)較低時(shí),影響更為嚴(yán)重,因此,采用恒流源激勵(lì)比恒壓源激勵(lì)有利。適當(dāng)提高線圈品質(zhì)因數(shù)并采用差動(dòng)電橋可以減少溫度的影響。30(二)

誤差因素分析1、激勵(lì)電壓幅值與頻率的影響303、零點(diǎn)殘余電壓當(dāng)差動(dòng)變壓器的銜鐵處于中間位置時(shí),理想條件下其輸出電壓為零。但實(shí)際上,當(dāng)使用橋式電路時(shí),在零點(diǎn)仍有一個(gè)微小的電壓值(從零點(diǎn)幾mV到數(shù)十mV)存在,稱為零點(diǎn)殘余電壓。如圖是擴(kuò)大了的零點(diǎn)殘余電壓的輸出特性。零點(diǎn)殘余電壓的存在造成零點(diǎn)附近的不靈敏區(qū);零點(diǎn)殘余電壓輸入放大器內(nèi)會(huì)使放大器末級(jí)趨向飽和,影響電路正常工作等。0e2x-xe20313、零點(diǎn)殘余電壓0e2x-xe2031圖中e1為差動(dòng)變壓器初級(jí)的激勵(lì)電壓,e20包含基波同相成分、基波正交成分,二次及三次諧波和幅值較小的電磁干擾等。

ee1e20e2012345(a)殘余電壓的波形(b)波形分析tt1基波正交分量2基波同相分量3二次諧波4三次諧波5電磁干擾32圖中e1為差動(dòng)變壓器初級(jí)的激勵(lì)電壓,e20包含基波同零點(diǎn)殘余電壓產(chǎn)生原因:①基波分量。由于差動(dòng)變壓器兩個(gè)次級(jí)繞組不可能完全一致,因此它的等效電路參數(shù)(互感M、自感L及損耗電阻R)不可能相同,從而使兩個(gè)次級(jí)繞組的感應(yīng)電勢(shì)數(shù)值不等。又因初級(jí)線圈中銅損電阻及導(dǎo)磁材料的鐵損和材質(zhì)的不均勻,線圈匝間電容的存在等因素,使激勵(lì)電流與所產(chǎn)生的磁通相位不同。33零點(diǎn)殘余電壓產(chǎn)生原因:33②高次諧波。高次諧波分量主要由導(dǎo)磁材料磁化曲線的非線性引起。由于磁滯損耗和鐵磁飽和的影響,使得激勵(lì)電流與磁通波形不一致產(chǎn)生了非正弦(主要是三次諧波)磁通,從而在次級(jí)繞組感應(yīng)出非正弦電勢(shì)。另外,激勵(lì)電流波形失真,因其內(nèi)含高次諧波分量,這樣也將導(dǎo)致零點(diǎn)殘余電壓中有高次諧波成分。

34②高次諧波。34消除零點(diǎn)殘余電壓方法:1.從設(shè)計(jì)和工藝上保證結(jié)構(gòu)對(duì)稱性為保證線圈和磁路的對(duì)稱性,首先,要求提高加工精度,線圈選配成對(duì),采用磁路可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。其次,應(yīng)選高磁導(dǎo)率、低矯頑力、低剩磁感應(yīng)的導(dǎo)磁材料。并應(yīng)經(jīng)過(guò)熱處理,消除殘余應(yīng)力,以提高磁性能的均勻性和穩(wěn)定性。由高次諧波產(chǎn)生的因素可知,磁路工作點(diǎn)應(yīng)選在磁化曲線的線性段。35消除零點(diǎn)殘余電壓方法:352.選用合適的測(cè)量線路采用相敏檢波電路不僅可鑒別銜鐵移動(dòng)方向,而且把銜鐵在中間位置時(shí),因高次諧波引起的零點(diǎn)殘余電壓消除掉。如圖,采用相敏檢波后銜鐵反行程時(shí)的特性曲線由1變到2,從而消除了零點(diǎn)殘余電壓。e2+x-x210相敏檢波后的輸出特性362.選用合適的測(cè)量線路e2+x-x210相敏檢波后的輸出特性3.采用補(bǔ)償線路①由于兩個(gè)次級(jí)線圈感應(yīng)電壓相位不同,并聯(lián)電容可改變其一的相位,也可將電容C改為電阻,如圖(a)。由于R的分流作用將使流入傳感器線圈的電流發(fā)生變化,從而改變磁化曲線的工作點(diǎn),減小高次諧波所產(chǎn)生的殘余電壓。圖(b)中串聯(lián)電阻R可以調(diào)整次級(jí)線圈的電阻分量?!玡1e2CR~e1e2CR(a)(b)調(diào)相位式殘余電壓補(bǔ)償電路373.采用補(bǔ)償線路~e1e2CR~e1e2CR(a)(b)調(diào)相②并聯(lián)電位器W用于電氣調(diào)零,改變兩次級(jí)線圈輸出電壓的相位,如下圖所示。電容C(0.02μF)可防止調(diào)整電位器時(shí)使零點(diǎn)移動(dòng)。電位器調(diào)零點(diǎn)殘余電壓補(bǔ)償電路~e1e2CR1R2W38②并聯(lián)電位器W用于電氣調(diào)零,改變兩次級(jí)線圈輸出電壓的相位,如R或L補(bǔ)償電路L0W(b)~e1e2~e1e2R0W(a)③接入R0(幾百kΩ)或補(bǔ)償線圈L0(幾百匝)。繞在差動(dòng)變壓器的初級(jí)線圈上以減小負(fù)載電壓,避免負(fù)載不是純電阻而引起較大的零點(diǎn)殘余電壓。電路如圖。

39R或L補(bǔ)償電路L0W(b)~e1e2~e1e2R0W(a)③(三)測(cè)量電路差動(dòng)變壓器的輸出電壓為交流,它與銜鐵位移成正比。用交流電壓表測(cè)量其輸出值只能反映銜鐵位移的大小,不能反映移動(dòng)的方向,因此常采用差動(dòng)整流電路和相敏檢波電路進(jìn)行測(cè)量。1、差動(dòng)整流電路根據(jù)半導(dǎo)體二級(jí)管單向?qū)ㄔ磉M(jìn)行解調(diào)的。如傳感器的一個(gè)次級(jí)線圈的輸出瞬時(shí)電壓極性,在f點(diǎn)為“+”,e點(diǎn)為“–”,則電流路徑是fgdche(參看圖a)。反之,如f點(diǎn)為“–”,e點(diǎn)為“+”,則電流路徑是ehdcgf。可見(jiàn),無(wú)論次級(jí)線圈的輸出瞬時(shí)電壓極性如何,通過(guò)電阻R的電流總是從d到c。同理可分析另一個(gè)次級(jí)線圈的輸出情況。輸出的電壓波形見(jiàn)圖(b),其值為USC=eab+ecd。

40(三)測(cè)量電路40全波整流電路和波形圖~e1RRcabhgfdeUSC銜鐵在零位以下eabttteabttteabtecdtUSCtecdUSCUSCecd銜鐵在零位以上銜鐵在零位(b)(a)在f點(diǎn)為“+”,則電流路徑是fgdche(參看圖a)。反之,如f點(diǎn)為“–”,則電流路徑是ehdcgf。41全波整流電路和波形圖~e1RRcabhgfdeUSC銜鐵在e(四)應(yīng)用測(cè)量振動(dòng)、厚度、應(yīng)變、壓力、加速度等各種物理量。1.差動(dòng)變壓器式加速度傳感器用于測(cè)定振動(dòng)物體的頻率和振幅時(shí)其激磁頻率必須是振動(dòng)頻率的十倍以上,才能得到精確的測(cè)量結(jié)果??蓽y(cè)量的振幅為(0.1~5)mm,振動(dòng)頻率為(0~150)Hz。

穩(wěn)壓電源振蕩器檢波器濾波器(b)(a)~220V加速度a方向a輸出1211彈性支承2差動(dòng)變壓器42(四)應(yīng)用穩(wěn)壓電源振蕩器檢波器濾波器(b)(a)~220V加2.微壓力變送器將差動(dòng)變壓器和彈性敏感元件(膜片、膜盒和彈簧管等)相結(jié)合,可以組成各種形

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