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真空泵市場(chǎng)分析真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品,產(chǎn)量很大,產(chǎn)值不高,但它的確是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不行少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵從高/超真空到粗/低真空,其產(chǎn)品大致可分14大類:
高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、集中泵。
中真空——干泵、雙級(jí)旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。
粗/低真空——單級(jí)旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵。
真空泵的市場(chǎng)依據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的快速進(jìn)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。
目前,全球真空泵市場(chǎng)的年銷售額約20億美元,年增長(zhǎng)率在7%左右。
我國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠家許多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右,僅相當(dāng)于美國(guó)Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對(duì)全球真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出,各類真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和進(jìn)展。我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),國(guó)產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗(yàn)證,有些泵還出口國(guó)外,得到國(guó)外用戶的認(rèn)可并受到好評(píng),應(yīng)當(dāng)說我國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍舊有著巨大的進(jìn)展空間。
1.液環(huán)泵
雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,但在我國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍舊有著很大的市場(chǎng)。在國(guó)外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%,僅次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國(guó)投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò),不斷擴(kuò)大在我國(guó)的市場(chǎng)份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品,所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì),縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。
2.滑閥泵
由于滑閥泵比較耐用、牢靠,國(guó)內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó)查找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),必需進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的牢靠性。
3.直聯(lián)旋片泵
隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量許多,加工裝配工作量很大,價(jià)格又很低,所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān),價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵廉價(jià),所以國(guó)產(chǎn)泵仍舊有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行牢靠,同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的力量。
4.羅茨泵
從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)狀況來看,國(guó)外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計(jì)才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。目前,國(guó)內(nèi)外幾乎全部大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵肯定要在占據(jù)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),這樣就必需進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量,提高泵內(nèi)的光滑度和清潔度。另外,還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的狀況下長(zhǎng)期運(yùn)行的牢靠性。
目前,國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿意不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn),所以應(yīng)當(dāng)在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。
5.分子泵
分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的很多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)討論事業(yè)快速進(jìn)展,分子泵應(yīng)當(dāng)是我國(guó)真空泵制造業(yè)進(jìn)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并討論開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿意不同場(chǎng)合的需要。
6.干泵
國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),其主要驅(qū)動(dòng)來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的快速進(jìn)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿意不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極
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