module-初級凈化作業(yè)

凈化作業(yè)2016年4月液晶顯示制造工-初級工認證課程課程收益闡述潔凈基本知識演示潔凈服穿戴步驟遵守潔凈管理行為規(guī)范課程目錄一、污染源介紹二、潔凈間特性三、潔凈間管理四、ESD一、污染源介紹一些特殊的行業(yè)對作業(yè)環(huán)境的Particle

,溫度,濕度,震動,靜電,噪音,室內氣壓,

室內氣流,風速等要素要求維持在特定的標準值之內.

(例)制藥生產線,半導體,電子材料制造生產線,LCD制造生產線等.

1)Particle(微粒子)

環(huán)境,或介質攙雜顆粒物的總稱,一般顆粒物是直徑范圍在0.001?~1000?之間的固體,液體及粒子.

2)Class(等級)

一立方英尺空氣內,存在一定直徑

(0.3?以上)的微粒子的個數為標準,劃分的等級.

3)如何管理好潔凈間的Particle?a.控制潔凈間內的

Particleb.去除產生潔凈間內Particle的原因.c.清潔潔凈間內的Particle.污染源介紹TFT的生產過程就是和灰塵作斗爭的過程，灰塵(P/T即Particle)對TFT生產工藝影響很大污染程度比較表區(qū)域總塵粒數(個/升)400公里高空區(qū)520010公里高空區(qū)35000大洋上空210000農村(非污染)17700000城市(非污染)—城市(污染)—污染源介紹化妝品產生的灰塵數量(0.05μ以下大小)化妝品的種類備注口紅1,100,000,000個在濕氣重的地方，會有更多的灰塵從人體上落下。粉600,000,000個腮紅270,000,000個眼影87,000,000個睫毛膏3,000,000,000個微粒產生的數量污染源介紹1.潔凈間簡介2.潔凈室氣流方式3.人員對潔凈的影響4.潔凈室等級二、潔凈間特性1.潔凈室定義：凡是能將空氣懸浮粒子（或空氣微生物）計算濃度保持在一定范圍，且達到規(guī)定級別的可供人活動的空間(如手術室/制藥廠/半導體/電子材料制造廠/LCD制造廠等）；潔凈室簡介垂直單向流側回風底回風序號重要參數備注1潔凈度2溫度，濕度3照明4噪聲5靜電6微振-7正壓一般維持在25Pa左右氣流方式清潔度特征CLASS1凈化度較高垂直層流型溫度、濕度管理較為容易費用昂貴CLASS1,000CLASS1凈化度較高.水平層流型CLASS1,000CLASS1方法簡單亂流層適合于只要低清潔度的廠房溫度、濕度管理較困難CLASS100,000溫度、濕度管理較為容易費用昂貴潔凈間氣流方式2.潔凈度人員動作對潔凈度影響人員在活動過程中散發(fā)粒子量影響因素：具體動作&穿著的服裝散發(fā)粒子范圍：一般≥0.5μm的粒子幾十萬（活動狀態(tài))～千萬（劇烈活動）/分鐘人大約每天脫落613g粒子，一年約3.5kg。區(qū)分人員行動粒子大小在0.3μｍ以上粒子大小為0.5μｍ以上普通工作服無塵服普通工作服無塵服站著的時候54,30013,00033,9005,580坐著的時候44,80014,80030,2007,420臂部的上下運動445,00049,000298,00018,600緩行時424,00092,100280,00044,600步行538,000157,000292,00056,000跑步時UncountableUncountableUncountableUncountable3.潔凈等級潔凈室等級

依照潔凈度，對潔凈室進行分級；目前兩個標準：

FS209E：以英制單位(1CF即1立方英尺)來度量；計算≥0.5μm粒子數量

ISO14644：以公制單位(1m3即1立方米)來度量；計算≥0.1μm粒子數量分區(qū)ParticleSpecTempSpec(℃)HumiditySpec(%)Array/CF/Cell(≥0.3μm)10/100/100023±260±5Module(≥0.5μm)1000023±260±5BOE潔凈室等級1.潔凈設備2.潔凈服裝3.潔凈度監(jiān)控裝置三、潔凈間管理1.潔凈設備風淋室回廊式（樓梯）廂體式2.潔凈服裝無塵鞋潔凈服整體效果無塵帽Mask橡膠手套&靜電手套先穿什么？3.潔凈度監(jiān)控裝置ParticleCounter四、潔凈管理1.出入要求2.行為規(guī)范3.潔凈間Patrol1.潔凈室出入要求入出流程脫鞋脫掉工作服(一般服裝)戴尼龍手套戴口罩戴無塵帽穿連體衣穿無塵鞋戴PVC手套確認服裝洗手AirShower潔凈間出口摘掉尼龍手套脫連體衣脫無塵鞋摘掉口罩脫掉無塵帽脫掉PVC手套穿工作服穿鞋一次更衣室二次更衣室潔凈服穿戴順序①打開更衣室入口②在更衣室外脫鞋入內③脫掉便裝戴上手套④戴上口罩⑤戴上無塵帽⑥穿上無塵服⑦檢查無塵服脖子部位⑧穿無塵鞋⑨帶靜電手環(huán)⑩穿戴整齊后樣子出入室注意事項工作服及個人物品必須要掛在Hanger，禁止拍衣服、彈灰等可能引起污染的一切行為毛衣等易帶灰塵的衣服或不必要的物品禁止帶入潔凈服保管在二次更衣室，一般服裝保管在一次更衣室所有出入更衣室的人員必須穿戴指定的無塵服、無塵帽、無塵鞋絕對禁止穿戴別人的無塵服禁止穿戴破損的無塵服潔凈間內禁止使用化妝品帶入更衣室的所有物品必須先清理干凈后方可帶入潔凈室物品管理沒有經過規(guī)定凈化的材料、備品、測試儀等除潔凈紙外的紙類鉛筆、橡皮、鋼筆、墨水等文具類（只能帶潔凈筆）個人用品煙、火柴、打火機等食物、口香糖寶石、化妝品錢包、鑰匙、手表類、手機、衛(wèi)生紙、手帕手冊及其他個人隨身物品帶入非無塵紙不戴手套操作人員把

Mask拉下進行作業(yè)禁止帶入潔凈間內使用的物品不良示例：不良示例：3.潔凈間Patrol檢查項目Workmanship(潔凈間出入流程遵守與否)3正6S遵守標準處理步驟潔凈間Patrol時發(fā)現(xiàn)不符合事項，對當事人發(fā)行NCR發(fā)行三次以上的當事人禁止出入

潔凈間

標準遵守檢查是否按照生產/檢查中使用的指示文件（例：Spec，作業(yè)指導書等）規(guī)定的方法、步驟遵守的過程潔凈間Patrol巡線時隨時查看作業(yè)現(xiàn)場的3正6S、作業(yè)者Workmanship、標準遵守狀態(tài)等，使現(xiàn)場能采取積極措施的工程Monitoring的一種方法NCRNon-ConformityReport：發(fā)現(xiàn)違反標準事項時，仔細記錄各種事項后發(fā)布給采取措施者，為了管理對這些措施的履歷而使用的文件Workmanship指生產線出入者在潔凈間內為了進行清凈度管理、工程穩(wěn)定化和品質管理，必須遵守的基本行為守則四、ESD1.靜電的定義2.靜電的危害3.靜電的防護1.靜電的定義干燥冬天接觸毛制品時閃電梳頭發(fā)時頭發(fā)被吸附靜電(Electrostatic

StaticElectricity)通俗說，就是靜止不動的電荷它一般存在于物體的表面,是正負電荷在局部范圍內失去平衡的結果2.靜電的危害

吸附塵埃

靜電放電靜電感應2.靜電的危害電子元器件靜電損傷的實效類型1、突發(fā)性完全實效，ESD造成電子元器件鋁條燒斷、硅片局部融化、PN結邊緣損傷等，是硬性損傷，約占總數的10%.2、潛在性緩慢實效，靜電能量底，對元器件造成輕度損傷，難以預先檢測，只能在工作過程中發(fā)生，是軟損傷，約占90%。危害最大。3.靜電防護

靜電防護應從控制靜電的產生和控制靜電的消散兩方面進行：

控制靜電產生：主要是控制工藝過程和工藝過程中材料的選擇；

控制靜電的消散：主要是快速而安全地將靜電泄放和中和；兩者共同作用的結果就有可能使靜電電平不超過安全限度，達到靜電防護的目的靜電耗散與接地靜電中和靜電屏蔽與接地增濕防靜電工作區(qū)在每一個EPA入口，均有此標