ESD基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)教材OFILM2013課件

1ESDBasicKnowledgeTrainingESD防護(hù)基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)歐菲光科技股份有限公司1ESDBasicKnowledgeTraining歐

隨著IT業(yè)的突飛猛進(jìn),特別是電子信息化和微電子迅速發(fā)展.元件線路越來(lái)越精細(xì),功耗越來(lái)越低.精細(xì)和低功耗的微結(jié)構(gòu)對(duì)ESD承受力越來(lái)越差,對(duì)工藝控制提出新的要求.前言12060805060304020201隨著IT業(yè)的突飛猛進(jìn),特別是電子信息化和微電子迅速發(fā)第一章靜電的定義和產(chǎn)生途徑?第三章EPA區(qū)域基本要求。第四章個(gè)人防靜電裝備檢測(cè)方法。第五章異常處理和報(bào)告流程。第二章ESD定義和ESD的危害。課程大綱：第一章靜電的定義和產(chǎn)生途徑?第三章EPA區(qū)域基本要求4靜電的定義能長(zhǎng)時(shí)間停留在某一對(duì)象上相對(duì)靜止的電荷特點(diǎn)：

單極性-正電荷或負(fù)電荷

分布不均勻。通常邊角靜電更大

4靜電的定義能長(zhǎng)時(shí)間停留在某一對(duì)象上相對(duì)靜止的電荷特點(diǎn)：55靜電產(chǎn)生的第一種途徑:摩擦帶電+4-4Net=0+3-3Net=0+4-3Net=+1+3-4Net=-1⑴摩擦帶電產(chǎn)生原理:接觸摩擦接觸分離55靜電產(chǎn)生的第一種途徑:摩擦帶電+4+3+4+3⑴摩擦帶電6靜電產(chǎn)生的第二種途徑:接觸帶電⑴接觸帶電過(guò)程⑵接觸帶電特點(diǎn):-帶電絕緣體僅能小面積釋放電荷

-帶電導(dǎo)體能釋放大量的電荷給另一個(gè)導(dǎo)體帶電絕緣體未接地導(dǎo)體6靜電產(chǎn)生的第二種途徑:接觸帶電⑴接觸帶電過(guò)程⑵接觸帶電特點(diǎn)7靜電產(chǎn)生的第三種途徑:感應(yīng)帶電-發(fā)生于帶電體接近導(dǎo)體時(shí):-帶電的物體(如絕緣物體或CRT顯示器)吸引導(dǎo)體中的電子

-導(dǎo)體內(nèi)的局部電荷分布不均勻7靜電產(chǎn)生的第三種途徑:感應(yīng)帶電-發(fā)生于帶電體接近導(dǎo)體時(shí):8ESD定義ESD(ElectrostaticDischarge-靜電放電),它指的是靜電電荷在兩個(gè)不同電勢(shì)物體上快速轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象.靜電電荷快速轉(zhuǎn)移到另一對(duì)象上.8ESD定義ESD(Electrostatic9靜電放電三種模型:⑴人體放電模型-HBM⑵機(jī)器模型-MM⑶帶電器件模型-CDM說(shuō)明：類似于人體指尖對(duì)器件放電，放電路徑從人體到敏感器件．說(shuō)明：模擬設(shè)備金屬部分帶電后對(duì)敏感器件放電，由于放電電阻要比人體模型小許多，因此破壞性更大．說(shuō)明：由于器件本身帶電，在接觸低電勢(shì)時(shí)，器件內(nèi)電荷快速轉(zhuǎn)移到接觸面．0.067:1.75:0.99靜電放電三種模型:⑴人體放電模型-HBM⑵機(jī)器模型-MM⑶1060~75%EOS/ESD其他30~50%EOS/ESD8~33%ESDalone損失是巨大的！歐洲調(diào)查數(shù)據(jù)其他其他美國(guó)ESD協(xié)會(huì)調(diào)查數(shù)據(jù)日本調(diào)查數(shù)據(jù)ESD對(duì)電子業(yè)造成的損失1060~75%EOS/ESD其他30~50%E11ESD損傷類型:1.完全損壞:元器件功能完全失效,介質(zhì)層被擊穿.引腳電阻呈現(xiàn)短路或開(kāi)路,電磁質(zhì)性能反轉(zhuǎn).2.局部損壞(也稱潛在損傷):電性能參數(shù)弱化,介質(zhì)層局部被破壞.元件多數(shù)在老化工序或用戶使用一段時(shí)間后失效.11ESD損傷類型:1.完全損壞:元器件功能完全失效,介質(zhì)層12局部損壞的風(fēng)險(xiǎn)會(huì)逐級(jí)放大價(jià)值$5元器件在IC廠發(fā)生ESD局部損壞，由于元器件只是局部ESD損傷,在后續(xù)工序檢測(cè)中不易發(fā)現(xiàn)，被組裝到一臺(tái)設(shè)備中導(dǎo)致故障損失可能是$500012局部損壞的風(fēng)險(xiǎn)會(huì)逐級(jí)放大價(jià)值$5元器件在IC廠發(fā)生ESD13導(dǎo)入ESD防護(hù)的效益:3.滿足客戶要求,提高市場(chǎng)分額。1.提高產(chǎn)品的質(zhì)量,降低不良率.2.保證產(chǎn)品的可靠性.13導(dǎo)入ESD防護(hù)的效益:3.滿足客戶要求,提高市場(chǎng)分額。114EPA區(qū)域基本要求IQCInspectManufactureProcessESDS

WarehouseOQCInspect在靜電敏感元器件的檢查,存儲(chǔ)和制造過(guò)程設(shè)置靜電防護(hù)區(qū)域（EPA）并進(jìn)行標(biāo)示識(shí)別.14EPA區(qū)域基本要求IQCManufactureESDS15EPA區(qū)域應(yīng)在入口地方或EPA區(qū)域明顯地方張貼懸掛ESD警示標(biāo)示和ESD防護(hù)區(qū)域標(biāo)示15EPA區(qū)域應(yīng)在入口地方或EPA區(qū)域明顯地方張貼懸掛ESD161.人員進(jìn)入EPA區(qū)域前，應(yīng)在入口處檢測(cè)手腕帶或鞋人體綜合電阻，檢測(cè)合格后再進(jìn)入。161.人員進(jìn)入EPA區(qū)域前，應(yīng)在入口處檢測(cè)手腕帶或鞋人體綜172.上班前點(diǎn)檢工作區(qū)域的接地連接，坐著作業(yè)前需使用手腕帶與接地系統(tǒng)連接。172.上班前點(diǎn)檢工作區(qū)域的接地連接，坐著作業(yè)前需使用手腕帶183.配備離子風(fēng)機(jī)工位應(yīng)檢查離子風(fēng)機(jī)正常開(kāi)啟，并對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品或作業(yè)區(qū)域。183.配備離子風(fēng)機(jī)工位應(yīng)檢查離子風(fēng)機(jī)正常開(kāi)啟，并對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品或194.所有不必要的絕緣物品如飲料杯，食品包裝袋及個(gè)人物品應(yīng)該從EPA工作臺(tái)清除。194.所有不必要的絕緣物品如飲料杯，食品包裝袋及個(gè)人物品應(yīng)205.必要的輔料，物品劃定一個(gè)區(qū)域定位存放，與靜電敏感器件保持30cm以上距離。記錄表放置區(qū)輔料放置區(qū)作業(yè)區(qū)205.必要的輔料，物品劃定一個(gè)區(qū)域定位存放，與靜電敏感器件216.EPA工具，治具等絕緣塑料外殼應(yīng)定期使用靜電噴涂液噴涂，做消靜電處理。216.EPA工具，治具等絕緣塑料外殼應(yīng)定期使用靜電噴涂液噴227.靜電敏感器件應(yīng)避免雜亂堆放或直接放在金屬臺(tái)面或紙板上，應(yīng)使用防靜電托盤定量定位存放。227.靜電敏感器件應(yīng)避免雜亂堆放或直接放在金屬臺(tái)面或紙板上238.靜電敏感器件沒(méi)有防靜電材料覆蓋或屏蔽包裝的，需在EPA區(qū)域內(nèi)作業(yè)或存放，在非EPA作業(yè)區(qū)域禁止隨意取拿。238.靜電敏感器件沒(méi)有防靜電材料覆蓋或屏蔽包裝的，需在EP249.工序負(fù)責(zé)人按要求定時(shí)點(diǎn)檢環(huán)境溫濕度并記錄，繪制溫濕度走勢(shì)圖，異常及時(shí)通知相關(guān)人員調(diào)整。249.工序負(fù)責(zé)人按要求定時(shí)點(diǎn)檢環(huán)境溫濕度并記錄，繪制溫濕度2510.工作人員進(jìn)入EPA區(qū)域前需接受ESD防護(hù)知識(shí)培訓(xùn)，沒(méi)有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)需進(jìn)入EPA的人員，要求由受培訓(xùn)過(guò)的人員陪同。2510.工作人員進(jìn)入EPA區(qū)域前需接受ESD防護(hù)知識(shí)培訓(xùn)，26個(gè)人防靜電裝備檢測(cè)方法Step1:穿防靜電鞋，佩戴手腕帶Step2:人站在腳印踏板上，手腕帶插入測(cè)試儀器插孔Step3:手按測(cè)試按鈕金屬板，觀察左側(cè)三個(gè)指示燈亮綠燈即測(cè)試“Pass”26個(gè)人防靜電裝備檢測(cè)方法Step1:穿防靜電鞋，佩戴手腕27人員靜電防護(hù)裝置佩戴測(cè)試進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域靜電防護(hù)區(qū)域設(shè)施定期檢查ESD得到控制改善處理PassNGPassNG異常處理和報(bào)告流程不符合要求的請(qǐng)及時(shí)糾正或匯報(bào)上級(jí)處理27人員靜電防護(hù)裝置佩戴測(cè)試進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域靜電防護(hù)區(qū)域ES28ThankYou!Q&A28ThankYou!演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！30ESDBasicKnowledgeTrainingESD防護(hù)基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)歐菲光科技股份有限公司1ESDBasicKnowledgeTraining歐

隨著IT業(yè)的突飛猛進(jìn),特別是電子信息化和微電子迅速發(fā)展.元件線路越來(lái)越精細(xì),功耗越來(lái)越低.精細(xì)和低功耗的微結(jié)構(gòu)對(duì)ESD承受力越來(lái)越差,對(duì)工藝控制提出新的要求.前言12060805060304020201隨著IT業(yè)的突飛猛進(jìn),特別是電子信息化和微電子迅速發(fā)第一章靜電的定義和產(chǎn)生途徑?第三章EPA區(qū)域基本要求。第四章個(gè)人防靜電裝備檢測(cè)方法。第五章異常處理和報(bào)告流程。第二章ESD定義和ESD的危害。課程大綱：第一章靜電的定義和產(chǎn)生途徑?第三章EPA區(qū)域基本要求33靜電的定義能長(zhǎng)時(shí)間停留在某一對(duì)象上相對(duì)靜止的電荷特點(diǎn)：

單極性-正電荷或負(fù)電荷

分布不均勻。通常邊角靜電更大

4靜電的定義能長(zhǎng)時(shí)間停留在某一對(duì)象上相對(duì)靜止的電荷特點(diǎn)：3434靜電產(chǎn)生的第一種途徑:摩擦帶電+4-4Net=0+3-3Net=0+4-3Net=+1+3-4Net=-1⑴摩擦帶電產(chǎn)生原理:接觸摩擦接觸分離55靜電產(chǎn)生的第一種途徑:摩擦帶電+4+3+4+3⑴摩擦帶電35靜電產(chǎn)生的第二種途徑:接觸帶電⑴接觸帶電過(guò)程⑵接觸帶電特點(diǎn):-帶電絕緣體僅能小面積釋放電荷

-帶電導(dǎo)體能釋放大量的電荷給另一個(gè)導(dǎo)體帶電絕緣體未接地導(dǎo)體6靜電產(chǎn)生的第二種途徑:接觸帶電⑴接觸帶電過(guò)程⑵接觸帶電特點(diǎn)36靜電產(chǎn)生的第三種途徑:感應(yīng)帶電-發(fā)生于帶電體接近導(dǎo)體時(shí):-帶電的物體(如絕緣物體或CRT顯示器)吸引導(dǎo)體中的電子

-導(dǎo)體內(nèi)的局部電荷分布不均勻7靜電產(chǎn)生的第三種途徑:感應(yīng)帶電-發(fā)生于帶電體接近導(dǎo)體時(shí):37ESD定義ESD(ElectrostaticDischarge-靜電放電),它指的是靜電電荷在兩個(gè)不同電勢(shì)物體上快速轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象.靜電電荷快速轉(zhuǎn)移到另一對(duì)象上.8ESD定義ESD(Electrostatic38靜電放電三種模型:⑴人體放電模型-HBM⑵機(jī)器模型-MM⑶帶電器件模型-CDM說(shuō)明：類似于人體指尖對(duì)器件放電，放電路徑從人體到敏感器件．說(shuō)明：模擬設(shè)備金屬部分帶電后對(duì)敏感器件放電，由于放電電阻要比人體模型小許多，因此破壞性更大．說(shuō)明：由于器件本身帶電，在接觸低電勢(shì)時(shí)，器件內(nèi)電荷快速轉(zhuǎn)移到接觸面．0.067:1.75:0.99靜電放電三種模型:⑴人體放電模型-HBM⑵機(jī)器模型-MM⑶3960~75%EOS/ESD其他30~50%EOS/ESD8~33%ESDalone損失是巨大的！歐洲調(diào)查數(shù)據(jù)其他其他美國(guó)ESD協(xié)會(huì)調(diào)查數(shù)據(jù)日本調(diào)查數(shù)據(jù)ESD對(duì)電子業(yè)造成的損失1060~75%EOS/ESD其他30~50%E40ESD損傷類型:1.完全損壞:元器件功能完全失效,介質(zhì)層被擊穿.引腳電阻呈現(xiàn)短路或開(kāi)路,電磁質(zhì)性能反轉(zhuǎn).2.局部損壞(也稱潛在損傷):電性能參數(shù)弱化,介質(zhì)層局部被破壞.元件多數(shù)在老化工序或用戶使用一段時(shí)間后失效.11ESD損傷類型:1.完全損壞:元器件功能完全失效,介質(zhì)層41局部損壞的風(fēng)險(xiǎn)會(huì)逐級(jí)放大價(jià)值$5元器件在IC廠發(fā)生ESD局部損壞，由于元器件只是局部ESD損傷,在后續(xù)工序檢測(cè)中不易發(fā)現(xiàn)，被組裝到一臺(tái)設(shè)備中導(dǎo)致故障損失可能是$500012局部損壞的風(fēng)險(xiǎn)會(huì)逐級(jí)放大價(jià)值$5元器件在IC廠發(fā)生ESD42導(dǎo)入ESD防護(hù)的效益:3.滿足客戶要求,提高市場(chǎng)分額。1.提高產(chǎn)品的質(zhì)量,降低不良率.2.保證產(chǎn)品的可靠性.13導(dǎo)入ESD防護(hù)的效益:3.滿足客戶要求,提高市場(chǎng)分額。143EPA區(qū)域基本要求IQCInspectManufactureProcessESDS

WarehouseOQCInspect在靜電敏感元器件的檢查,存儲(chǔ)和制造過(guò)程設(shè)置靜電防護(hù)區(qū)域（EPA）并進(jìn)行標(biāo)示識(shí)別.14EPA區(qū)域基本要求IQCManufactureESDS44EPA區(qū)域應(yīng)在入口地方或EPA區(qū)域明顯地方張貼懸掛ESD警示標(biāo)示和ESD防護(hù)區(qū)域標(biāo)示15EPA區(qū)域應(yīng)在入口地方或EPA區(qū)域明顯地方張貼懸掛ESD451.人員進(jìn)入EPA區(qū)域前，應(yīng)在入口處檢測(cè)手腕帶或鞋人體綜合電阻，檢測(cè)合格后再進(jìn)入。161.人員進(jìn)入EPA區(qū)域前，應(yīng)在入口處檢測(cè)手腕帶或鞋人體綜462.上班前點(diǎn)檢工作區(qū)域的接地連接，坐著作業(yè)前需使用手腕帶與接地系統(tǒng)連接。172.上班前點(diǎn)檢工作區(qū)域的接地連接，坐著作業(yè)前需使用手腕帶473.配備離子風(fēng)機(jī)工位應(yīng)檢查離子風(fēng)機(jī)正常開(kāi)啟，并對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品或作業(yè)區(qū)域。183.配備離子風(fēng)機(jī)工位應(yīng)檢查離子風(fēng)機(jī)正常開(kāi)啟，并對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品或484.所有不必要的絕緣物品如飲料杯，食品包裝袋及個(gè)人物品應(yīng)該從EPA工作臺(tái)清除。194.所有不必要的絕緣物品如飲料杯，食品包裝袋及個(gè)人物品應(yīng)495.必要的輔料，物品劃定一個(gè)區(qū)域定位存放，與靜電敏感器件保持30cm以上距離。記錄表放置區(qū)輔料放置區(qū)作業(yè)區(qū)205.必要的輔料，物品劃定一個(gè)區(qū)域定位存放，與靜電敏感器件506.EPA工具，治具等絕緣塑料外殼應(yīng)定期使用靜電噴涂液噴涂，做消靜電處理。216.EPA工具，治具等絕緣塑料外殼應(yīng)定期使用靜電噴涂液噴517.靜電敏感器件應(yīng)避免雜亂堆放或直接放在金屬臺(tái)面或紙板上，應(yīng)使用防靜電托盤定量