晶振片選擇與應(yīng)用課件

晶振片的選擇與使用晶片結(jié)構(gòu)2晶片尺寸3質(zhì)量可通過頻率精確測量質(zhì)量=密度X面積X厚度密度的準(zhǔn)確性是影響厚度計(jì)算誤差的原因之一密度條件：

鍍膜速度

材料結(jié)構(gòu)

合金比例

成膜溫度

應(yīng)力影響5溫度影響晶片的最佳工作溫度：25-60度最重要的是保證鍍膜過程中的溫度穩(wěn)定溫度變化大的鍍膜建議使用銀晶振片對應(yīng)力小的材料，低溫穩(wěn)定溫度對應(yīng)力大的材料建議高溫穩(wěn)定溫度1-2度6晶片的最佳工作溫度：25-60度7晶振片選擇6M／5M鍍金晶片6M雙面金晶片6M/5M鍍銀晶片6M/5M合金晶片

9鍍金晶振片特點(diǎn)金具有低接觸電阻，高化學(xué)溫定性，易于沉積。金性能適中適用于大多數(shù)鍍膜材料。但最適合于低應(yīng)力材料，如金，銀，銅等金電極不溶于強(qiáng)酸，所以可以用酸脫掉鍍上的材料，重復(fù)使用10鍍銀晶振片特點(diǎn)銀有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變對光學(xué)材料有很高的附著性和應(yīng)力釋放能力，適宜于鍍光學(xué)材料，使用壽命平均比金片長100%左右銀的溫度梯度很小，適宜于在溫度變化很大的鍍膜機(jī)上使用銀容易氧化，開包裝后建議1個(gè)月內(nèi)使用庫存時(shí)間建議小于3個(gè)月11雙面金晶振片具有普通金晶振片的特點(diǎn)。加強(qiáng)電極，提高了應(yīng)力適應(yīng)能力擴(kuò)展了電極尺寸，保證了電極的接觸，減少的因保養(yǎng)不良引起的應(yīng)用問題13晶振片使用要點(diǎn)1。。。。無塵31.盡量直接從包裝盒導(dǎo)入探頭內(nèi)，盡量不要用鑷子等轉(zhuǎn)接。2。如果必須用鑷子，要用非金屬的，要夾邊緣非工作區(qū)域3。堅(jiān)決不能直接用手安裝晶振片使用要點(diǎn)2。。。。溫度31.盡量保持溫度的穩(wěn)定需更換的備件17晶振片應(yīng)用問題1：新晶片是否需要清洗后再安裝31.所有Inficon的晶片都在10，000超凈間內(nèi)生產(chǎn)包裝，所以新開包的晶片不需清洗但下列情況需無水酒精清洗后烘干使用：1安裝過程中晶片掉在桌上或地上2手等接觸到晶片上3開包卻長時(shí)間放置后使用晶振片應(yīng)用問題2：新晶片沒使用壽命就是1-5%31.基片厚度及電極膜厚厚的原因造成。2.此類晶片在普通光學(xué)鍍膜中使用壽命不受影響，相反因抗應(yīng)力能力稍強(qiáng)，晶片更好用3.普通光學(xué)鍍膜的晶片平均使用壽命一般《20%晶振片應(yīng)用問題4：新晶片失效31.若重新安裝就恢復(fù)或抽空就恢復(fù)，說明探頭保養(yǎng)問題或零件需要更換2.測量探頭是否短路/斷路3。利用主機(jī)的自診斷功能---XIU測試可判斷是否主機(jī)或震蕩包出現(xiàn)故障4。晶片基準(zhǔn)頻率5M/6M晶振片應(yīng)用問題5：晶片壽命短3現(xiàn)象1：1.過早失效crystalfail，2.活性值（Activity）出現(xiàn)巨大跳躍（同時(shí)速率跳躍）可能原因：1。探頭保養(yǎng)問題2。配件更換3。晶片型號不適合4。工藝（選擇合適溫度速度）5。安裝（附圖）晶振片應(yīng)用問題5：晶片壽命短3成膜不均，應(yīng)力會使膜斷裂晶振片應(yīng)用問題6：晶片Activity活性值低3正常值500-650，低于400必須檢查原因1.接觸電阻過大2。晶片污染3。晶片質(zhì)量4