標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 14601-1993 是一項(xiàng)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),全稱為《電子工業(yè)用氣體 高純氨》。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)領(lǐng)域所使用的高純度氨氣的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求,旨在確保高純氨氣的質(zhì)量滿足電子工業(yè)的特定需求。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽:

  1. 范圍:明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)生產(chǎn)中作為工藝氣體使用的高純氨。規(guī)定了其適用的純度等級(jí)和技術(shù)指標(biāo),適用于產(chǎn)品的生產(chǎn)、檢驗(yàn)及驗(yàn)收過(guò)程。

  2. 規(guī)范性引用文件:列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)所直接引用或參考的其他標(biāo)準(zhǔn)和文件清單,這些文件對(duì)于完全理解并執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容是必要的。

  3. 術(shù)語(yǔ)和定義:對(duì)標(biāo)準(zhǔn)中涉及的專業(yè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了解釋,確保讀者對(duì)關(guān)鍵概念有統(tǒng)一的理解。

  4. 要求

    • 純度要求:詳細(xì)規(guī)定了高純氨氣中主要雜質(zhì)(如水、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳等)的最大允許含量,以ppm(百萬(wàn)分之一)為單位。
    • 物理化學(xué)性質(zhì):包括外觀、密度、沸點(diǎn)、熔點(diǎn)等指標(biāo),確保產(chǎn)品符合電子工業(yè)應(yīng)用的基本物理特性要求。
    • 包裝容器:對(duì)用于盛裝高純氨的容器材質(zhì)、清潔度、密封性等提出了具體要求,以防止外界污染。
  5. 試驗(yàn)方法:描述了如何通過(guò)化學(xué)分析、氣相色譜等方法測(cè)定高純氨中的各種雜質(zhì)含量,以及檢驗(yàn)其物理性質(zhì)的方法,確保檢驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

  6. 檢驗(yàn)規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)項(xiàng)目、抽樣方法、判定規(guī)則等,包括例行檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)的具體要求。

  7. 標(biāo)志、標(biāo)簽、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存

    • 標(biāo)志與標(biāo)簽:要求在包裝上清晰標(biāo)注產(chǎn)品名稱、規(guī)格、批號(hào)、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)廠家等信息。
    • 包裝:強(qiáng)調(diào)了包裝材料應(yīng)能有效保護(hù)產(chǎn)品不受污染和損壞,并符合安全要求。
    • 運(yùn)輸:提供了運(yùn)輸過(guò)程中應(yīng)遵守的安全措施和注意事項(xiàng),以防止泄露和保證安全。
    • 儲(chǔ)存:說(shuō)明了適宜的儲(chǔ)存條件,如溫度、濕度、避光等,以保持產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。

實(shí)施意義:

該標(biāo)準(zhǔn)的制定和實(shí)施,為電子工業(yè)用高純氨氣的生產(chǎn)和質(zhì)量控制提供了統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)依據(jù),有助于提升電子元件和半導(dǎo)體器件的制造質(zhì)量,保障電子產(chǎn)品的性能和可靠性,同時(shí)促進(jìn)了相關(guān)行業(yè)的規(guī)范化發(fā)展。


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  • 1993-08-26 頒布
  • 1994-07-01 實(shí)施
?正版授權(quán)
GB/T 14601-1993電子工業(yè)用氣體高純氨_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

UDC661G86中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CB/T14601-93電子工業(yè)用氣體高純氨Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia1993-08-26發(fā)布1994-07-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CB/T14601-93電子工業(yè)用氣體高純氨Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia主題內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體高純氮的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法,檢驗(yàn)規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、廣存及安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于瓶裝高純氮。該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體工業(yè),氮化硅的化學(xué)氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。分子式:NH:相對(duì)分子質(zhì)量:17.031(按1989年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)S引用標(biāo)準(zhǔn)GB1900危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB5099鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶GB5831氣體中徽量氧的測(cè)定比色法氣體中微量氧的測(cè)定GB6285電化學(xué)法GB7144氣瓶顏色標(biāo)志GB7445氫氣GB8980高純氮GB8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測(cè)定氣相色譜法GB10625高純氮中微量氮的測(cè)定電子遷移氣相色譜法GB14606氣體中總烴的測(cè)定火焰離子化檢瀏法3技術(shù)要求電子工業(yè)用氣體高純氨的質(zhì)量應(yīng)符合下表的技術(shù)要求。氨的純度,10-99.999氧含量,10-4氮含量,10-一氧化碳含量,10-經(jīng)(C~C,)含量,10-水含量,10-總雜質(zhì)含量10-?。杭兌燃昂烤泽w積分?jǐn)?shù)表

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