標準解讀

《GB/T 15909-2017 電子工業(yè)用氣體 硅烷》相比于《GB/T 15909-2009 電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)》,主要在以下幾個方面進行了調整和更新:

  1. 范圍與適用性:2017版標準可能對硅烷的應用領域或適用條件進行了細化或擴展,以適應電子工業(yè)發(fā)展的新需求。

  2. 規(guī)范性引用文件:更新了引用的國家標準和國際標準清單,確保標準內容與當前的技術發(fā)展水平和安全環(huán)保要求保持一致。

  3. 術語和定義:可能新增或修訂了部分專業(yè)術語的定義,以便更準確地描述硅烷的質量特性和檢測方法。

  4. 技術要求:對硅烷的純度、雜質含量、物理性質等關鍵指標進行了重新評估和設定,可能提高了某些參數(shù)的要求,以滿足電子元件制造對材料質量的更高標準。

  5. 試驗方法:改進或引入了新的檢測技術和分析方法,提高了測試精度和效率,確保測試結果的可靠性和可重復性。

  6. 檢驗規(guī)則:對產(chǎn)品的抽樣、檢驗流程及合格判定準則進行了優(yōu)化,可能增強了對產(chǎn)品質量控制的嚴格性。

  7. 標志、標簽、包裝、運輸和儲存:這部分內容可能根據(jù)最新的安全規(guī)范和物流要求進行了調整,增加了對環(huán)境保護和操作安全性的指導。

  8. 資料性附錄:可能加入了新的參考信息、數(shù)據(jù)表格或案例研究,為使用者提供更多實用指南和幫助。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2017-05-31 頒布
  • 2017-12-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T15909—2017

代替

GB/T15909—2009

電子工業(yè)用氣體硅烷

Gasforelectronicindustry—Silane

2017-05-31發(fā)布2017-12-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T15909—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替電子工業(yè)用氣體硅烷與相比除編輯性

GB/T15909—2009《》。GB/T15909—2009,

修改外主要技術變化如下

:

修改了標準名稱刪除了標準名稱中硅烷的分子式

———,(SiH4);

修改了范圍增加了適用的制備方法修改了適用范圍見第章年版的第章

———:,(1,20091);

修改了規(guī)范性引用文件刪除增加

———:GB/T8984.3、GB/T11640,GB/T11446.1、GB15258、

見第章年版的第章

GB/T16804、GB/T26571、GB/T28726(2,20092);

修改了技術要求修改硅烷純度為-2體積分數(shù)見第章年版的第章

———:99.9999×10()(3,20093);

刪除了電性能規(guī)格見年版的

———(20093.3);

修改了硅烷純度的計算見年版的

———(4.2,20094.2);

修改了氫氧氬氮甲烷烴一氧化碳二氧化碳乙硅烷含量的測定方法見年

———、+、、、、、、(4.4,2009

版的

4.4、4.6、4.7、4.9);

刪除了測定氯化物總量測定方法見年版的

———(20094.5);

增加了氯硅烷含量的測定方法見

———(4.4);

修改了水含量測定方法的儀器檢測限見年版的

———(4.5,20094.8);

增加了金屬及其他元素含量的測定方法見

———(4.6);

修改了標志包裝貯運及安全見第章年版的第章

———、、(5,20095)。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出

(SAC/TC203)。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口

(SAC/TC203/SC1)。

本標準起草單位西南化工研究設計院有限公司浙江賽林硅業(yè)有限公司廣東華特氣體股份有限

:、、

公司中昊光明化工研究設計院有限公司高麥儀器公司天津長蘆華信化工股份有限公司大連大特氣

、、、、

體有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司上海計量測試研究院化工氣體質檢中心江蘇中能硅業(yè)

、、、、

科技發(fā)展有限公司浙江中寧硅業(yè)有限公司南京亞格泰新能源材料有限公司浙江大學安徽省滁州市

、、、、

硅谷特種氣體有限公司

本標準主要起草人余京松楊智敏傅鑄紅杜漢盛孫福楠牛艷東李長富周朋云曲慶方華

:、、、、、、、、、、

陳鷹常俠劉曉霞周延江高平洲徐昕

、、、、、。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T15909—1995、GB/T15909—2009。

GB/T15909—2017

電子工業(yè)用氣體硅烷

1范圍

本標準規(guī)定了硅烷氣體的技術要求試驗方法標志包裝貯運及安全的內容

、、、、。

本標準適用于硅化鎂法氫化鋁鈉還原四氟化硅法氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業(yè)用硅烷它

、、。

主要用于制作高純多晶硅二氧化硅的低溫化學氣相淀積氮化硅化學氣相淀積多晶硅隔離層多晶硅

、、、、

歐姆接觸層和異質或同質硅外延生長原料以及離子注入源和激光介質等還可用于制作太陽能電池光

,、

導纖維和光電傳感器等

分子式

:SiH4。

相對分子質量按年國際相對原子質量

:32.117(2011)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB/T5099

氣體濕度的測定第部分電解法

GB/T5832.11:

氣瓶顏色標志

GB/T7144

電子級水

GB/T11446.1

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804

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