ITO鍍膜交流報告

1/50STN生產(chǎn)處B班（QQ406433680）2009.08.08鍍膜交流2/50J/C作業(yè)時序及注意事項3/50■J/C時人員分工蘭玉高蘭玉高1、人員分工2、確認主操工藝參數(shù)輸入正確性3、確認產(chǎn)品規(guī)格書，將要求事項傳達給每個員工4、檢查每個人工作完成情況羅斌1、更換框架2、計算轉(zhuǎn)產(chǎn)時間，通知凈化間轉(zhuǎn)產(chǎn)時間及周期，控制投入量3、工藝參數(shù)設(shè)定及調(diào)整及良品投入數(shù)任其盛1、確認不良留樣與計數(shù)報表一致性2、及時輸入生產(chǎn)報表及鍍膜轉(zhuǎn)產(chǎn)3、跟蹤Dummy數(shù)據(jù)及時反饋主操4/50■J/C時人員分工蘭玉高朱建明彭軍太張躍1、更換框架2、準(zhǔn)備下機種所需的包材1、包裝產(chǎn)品及生產(chǎn)結(jié)束打包入庫2、準(zhǔn)備下機種所需的包材3、打印下機種所需的標(biāo)簽4、當(dāng)需要預(yù)熱下個機種框架時，預(yù)熱框架1、包裝產(chǎn)品及生產(chǎn)結(jié)束打包入庫2、將準(zhǔn)備好的包材移送到現(xiàn)場3、當(dāng)需要預(yù)熱下個機種框架時，預(yù)熱框架5/50■具體實施根據(jù)生產(chǎn)進展情況，必須提前做好準(zhǔn)備工作提前準(zhǔn)備好打印設(shè)備測試溶液提前升溫■J/C準(zhǔn)備6/50■J/C時間縮短作業(yè)流程項目內(nèi)容責(zé)任人更換框架1、提前計算好上個品種最后一個框架號良品羅斌2、提前10分鐘將預(yù)熱好的框架移送到現(xiàn)場彭軍太3、對最后一個良品后的框架立即進行更換羅斌彭軍太7/50■J/C時間縮短作業(yè)流程項目內(nèi)容責(zé)任人物性調(diào)整1、最后一個良品框架后面空5個框架通知凈化間裝載Dummy羅斌2、主操根據(jù)物性是一般規(guī)格，轉(zhuǎn)產(chǎn)時好控制不需要掛第2次Dummy，在第1個Dummy后面空4個框架直接掛良品，如果在靶材末期生產(chǎn)高電阻時要掛第2次Dummy，特殊機種要等Dummy數(shù)據(jù)結(jié)果出來后才能通知凈化間裝載良品羅斌3、最后一個框架良品在哪個區(qū)開始更改該區(qū)溫度,良品進入C9區(qū)更改DC、Ar、周期，羅斌4、第一個Dummy進入C9區(qū)間后，更改冷卻時間，以最快速度放出Dummy，通過產(chǎn)品顏色估計膜厚度情況，測量電阻根據(jù)經(jīng)驗作相應(yīng)調(diào)整羅斌5、Dummy品測量完電阻后送FQA測量透過率和膜厚度，結(jié)果出來立即反饋主操任其盛6、主操根據(jù)透過率和膜厚度再次作調(diào)整羅斌7、班長確認主操輸入的工藝參數(shù)以及Dummy數(shù)據(jù)結(jié)果，判斷良品需要作哪方面調(diào)整蘭玉高結(jié)論一般機種物性轉(zhuǎn)產(chǎn)時間是：

10個框架*周期靶材初、末期轉(zhuǎn)產(chǎn)高電阻時間是：

16個框架*周期8/50■J/C時注意事項序號J/C時注意事項責(zé)任人1J/C更換框架時，更換框架作業(yè)者要檢查確認好框架變形與否的正常狀態(tài)相應(yīng)作業(yè)者2認真確認產(chǎn)品規(guī)格書,特別是特記事項，要讓每個員工都知道蘭玉高3根據(jù)產(chǎn)品物性規(guī)格來判斷進行的Dummy次數(shù)，計算出轉(zhuǎn)產(chǎn)時間通知清洗和凈化間羅斌4提前計算好Dummy裝載的框架號羅斌5Dummy產(chǎn)品進入C5區(qū)間通知FQA加熱溶液羅斌9/50■J/C時注意事項序號J/C時注意事項責(zé)任人6Dummy產(chǎn)品出來后要通過產(chǎn)品顏色調(diào)整DC，根據(jù)電阻調(diào)整溫度，特別時注意上下電阻情況來調(diào)整理相應(yīng)加熱板溫度羅斌7高電阻產(chǎn)品如HIT80Ω產(chǎn)品至少要掛2個Dummy，確認電阻沒問題之后才能裝載良品羅斌8根據(jù)經(jīng)驗判斷不好生產(chǎn)的特殊機種要等FQA數(shù)據(jù)出來合格后才能生產(chǎn)羅斌9良品進入鍍膜室后經(jīng)常查看RGA數(shù)據(jù)波動情況羅斌、蘭玉高10良品進入Sio2區(qū)間后查看RF反射功率情況，要將反射功率控制在最低羅斌、蘭玉高11第一個框架良品進入C9區(qū)后要以最快的時間放出鍍膜室（更改冷卻時間）羅斌10/50說明：良品結(jié)束的下一框架鍍膜工序開始更換框架，根據(jù)調(diào)整溫度隔4-6個框架掛DUMMY關(guān)注：物性、安全、信息傳遞說明：當(dāng)?shù)谝淮蜠UMMY裝載后，間隔5個框架時裝載第二次DUMMY，如果第一次DUMMY正常及時裝載良品關(guān)注：物性、信息傳遞說明：先測量電阻及透光率，當(dāng)該項正常即通知裝載良品，接下來測量膜厚度關(guān)注：準(zhǔn)確性、信息傳遞說明：電阻及透光率值正常即裝載良品，不等待膜厚度數(shù)據(jù)出來再裝載關(guān)注：物性、信息傳遞A更換框架D等待時CFQA測量B物性調(diào)整■J/C時序匯總11/50時間[分鐘]510152025責(zé)任人更換框架凈化班長鍍膜班長當(dāng)凈化間最后一個框架裝載完，鍍膜立即開始更換框架物性調(diào)整凈化班長鍍膜班長

第五個新框架裝載DUMMY，間隔5個框架裝載良品FQA測量FQA人員電阻及透光率正常等待時間微調(diào)參數(shù)將數(shù)據(jù)在中心值鍍膜班長密切跟蹤DUMMY物性情況品種：S56NL7R-80歐姆基準(zhǔn)時間：8月18日[靶材壽命的變化會進行適當(dāng)調(diào)整]速度：2.5分鐘12.51057.5■J/C時物性時間分解12/50■J/C異常調(diào)整舉例說明進行2次Dummy，J/C共54分鐘背景：8月12生產(chǎn)S16NL7R-80HIT產(chǎn)品時，進行2次Dummy共用時54分鐘規(guī)格:82±10ITO膜厚度：320±70透過率：87.2%↑

第1次Dummy溫度：430/560/540DC：2.16第1次Dummy結(jié)果:電阻:85-92上限,上下電阻有超規(guī)B面比A面電阻高膜厚度:274-284有較多的上調(diào)空間,增加DC電阻不會太明顯下降透過率:88.0%-88.3%,有下調(diào)空間,但增加DC透過率會下降增加A面:DC:0.03KW增加B面:DC:0.05KW增加溫度:20度,C5區(qū)上下加熱板溫度由560/540-620/340第2次Dummy第2次Dummy結(jié)果:電阻:78-82上下電阻最高86良品按第2次Dummy條件進行生產(chǎn)13/50確認框架是否超出外框底槽■J/C時更換框架點檢內(nèi)容確認擋板變形、歪斜確認框架橫桿變形確認框架是否凸出外框14/50■J/C時更換框架點檢內(nèi)容黃燈和綠燈同時亮正常單一綠燈亮說明框架沒有擋住光眼15/50T/C作業(yè)時序及注意事項16/501、更換A7、A8靶材2、松C6-C10大門螺釘3、放A面靶材內(nèi)面水■T/C時人員分工職長/班長蘭玉高朱建明任其盛1、更換A5、A6靶材2、卸框架3、拆A面Ar氣管1、更換A3、A4靶材2、卸框架3、拆C7、C8區(qū)高真空閥1、人員分工2、更換A1、A2靶材3、松A面靶材螺釘4、拆C3、C4區(qū)高真空閥1、更換Sio2靶材2、準(zhǔn)備工具及消耗品3、拆C5、C6區(qū)高真空閥1、協(xié)助A面換靶材（抬靶材拿保護框）2、生產(chǎn)結(jié)束打包入庫張躍彭軍太陳泌洲B面A面17/501、協(xié)助B面換靶材（抬靶材拿保護框）2、將AB面靶材移送到現(xiàn)場3、松C6-C10大門螺釘■T/C時人員分工職長/班長唐宏林羅斌陳志1、更換B7、B8靶材2、將AB面靶材移送到現(xiàn)場3、松C1-C5大門螺釘4、松B面靶材螺釘1、更換B5、B6靶材2、關(guān)閉設(shè)備，充氣3、關(guān)閉冷卻水閥4、放B面冷卻水1、更換B3、B4靶材2、將AB面靶材移送到現(xiàn)場3、松C1-C5大門螺釘4、松B面靶材螺釘1、更換B1、B2靶材2、協(xié)調(diào)B面靶材更換作業(yè)3、拆B(yǎng)面Ar氣管1、清潔鍍膜室2、拆AB面電源線喻

安張來民李鑫源B面A面18/50■T/C時注意事項現(xiàn)象：■T/C時，靶材內(nèi)有積水，造成靶材不絕緣或絕緣不好對策：■徹底清掃陰極，兆歐表打在500V檔位，測量時只要有絕緣或比沒裝上靶材時絕緣好，就沒問題。靶材裝上幾顆螺釘測量時如果仍能有點絕緣那么繼續(xù)下步作業(yè)，反之只有拆陰極了■使用維修電吹風(fēng)機進行加熱處理，邊加熱邊進行絕緣測量，當(dāng)兆歐表逐步在想好的方向變化，證明是水份影響靶材內(nèi)有水絕緣不好注意：■此項作業(yè)前提是陰極不是異物造成不絕緣19/50■T/C時注意事項■設(shè)備在開啟狀態(tài)開始松螺釘，這樣會造成高真空閥突然自行關(guān)閉■真空閥關(guān)閉，開始松螺釘，這樣會造成少量螺釘松不動現(xiàn)象■真空閥關(guān)閉，C1、C10區(qū)仍保持抽真空狀態(tài)松螺釘，這樣效果最好20/50■T/C時注意事項現(xiàn)象：■鍍膜室底部滾輪較臟，有防護罩的滾輪清潔不方便對策：■清潔底部滾輪時，手動運行滾輪，轉(zhuǎn)速設(shè)在1000，使?jié)L輪運行，這樣清潔時方便，同時也清潔的較干凈滾輪在運行狀態(tài)下清潔21/50■T/C時操作技巧先放1#、3#、4#、6#、8#靶材作業(yè)再放2#、5#、7#靶材作業(yè)靶材更換時間縮短22/50■T/C時操作技巧現(xiàn)象：■螺釘隨意裝各螺孔，壞的螺孔不易及時發(fā)現(xiàn)造成靶材漏氣對策：■取靶材螺釘?shù)臅r候，在每個螺孔的位置做個記號，在裝螺釘時保持在原螺孔的地方裝螺釘，減少漏氣XX23/50■T/C時操作技巧現(xiàn)象：■T/C時，每個區(qū)間溫度降到250度以下方能開門對策：■為了加速降各區(qū)間溫度，節(jié)省時間，生產(chǎn)結(jié)束時，不要馬上鎖框架，最后1個良品后面空10個框架，再鎖框架，通過框架運行，帶走鍍膜室內(nèi)熱量，這樣可以節(jié)省降溫時間24/50■T/C時操作技巧現(xiàn)象：■T/C后，測完框架絕緣后，通常是凈化間手動推一個框架進C1區(qū)，這樣操作是為了框架能夠自動運行，但這樣凈化間手動推框架進C1比較麻煩，也浪費時間。對策：■框架測完絕緣后，不從凈化間推框架進C1，而是直接抽真空，框架自動運行時，點擊光眼自動初始化，C1區(qū)會自動進入一個框架25/50■T/C時操作技巧現(xiàn)象：■C1、C10區(qū)大門鏍釘易斷原因分析：■C1、C10區(qū)每次充氣時N2氣量可能不夠，與外界壓力沒有成正平衡對策：■C1、C10區(qū)大門四角部分別用個夾鉗固定緊，或多上4個螺釘26/50■T/C時操作技巧現(xiàn)象：■T/C后框架自動運行時，第1個框架到C10區(qū)時，7#小門不完全開，造成框架堵在C10區(qū)對策：■框架運行到C5區(qū)時，擋住C10區(qū)光眼，讓7#門提前開啟（半開狀態(tài)），這樣框架還沒到C10區(qū)，使這種現(xiàn)象提前發(fā)生。待7#門打開后，立即停止擋光眼，7#會自動關(guān)閉，這樣框架運行到C10區(qū)時能正常運行7#小門未完全開框架運行到C5區(qū)時，擋住C10區(qū)光眼，等7#門開才能停止擋光眼27/50靶材初、末期生產(chǎn)物性28/50■靶材初期生產(chǎn)注意事項項目注意事項靶材初期生產(chǎn)1、靶材初期如果第1個品種是1.1T玻璃20Ω產(chǎn)品，開加熱器時間至少要到7個小時才能出良品2、靶材壽命至少要到8KW才能進行Dummy測試，否測測試出來的物性不準(zhǔn)確3、靶材初期第1個品種生產(chǎn)時，第一個框架產(chǎn)品一般沒問題，RGA數(shù)據(jù)有上升趨勢電阻肯定有異常，半個小時以后整體電阻沒有上升趨勢，一般就穩(wěn)定了29/50■靶材末期生產(chǎn)注意事項項目注意事項靶材末期生產(chǎn)1、靶材末期生產(chǎn)高電阻產(chǎn)品，進行Dummy時最好不要只進行一次Dummy測試，（如HIT80Ω）等物性數(shù)據(jù)沒問題再通知掛良品，進行Dummy時主操應(yīng)了解框架上下產(chǎn)品透過率與產(chǎn)品中間的差別，并由此來判斷靶材是否擊穿2、靶材末期生產(chǎn)高電阻產(chǎn)品，進行Dummy時主操應(yīng)了解框架上下產(chǎn)品與中間產(chǎn)品透過率的差別，并由此來判斷靶材是否擊穿3、靶材末期生產(chǎn)高電阻產(chǎn)品進行Dummy時，可以不等耐熱性但一定要測試耐熱性（特殊機種除外）4、靶材末期生產(chǎn)高電阻產(chǎn)品電阻時，必須每30鐘對框架上產(chǎn)品進行電阻測量30/50

目前CS2鍍膜物性控制主要有以下個機種不好控制生產(chǎn)，物性不穩(wěn)定

1、S74NL1R-15VST產(chǎn)品，物性規(guī)格是：電阻：13±2ITO膜厚度：1250±100透過率：84%∽91%

難控點:角部電阻框架角部產(chǎn)品的角部(紅線)電阻上限生產(chǎn)時的建議:1、C5區(qū)溫度最好控制在480-500度，C5區(qū)上下加熱板溫度560-580度■特殊客戶注意事項31/50

2、S16NL1R-80T16NL1R-80HIT產(chǎn)品，物性規(guī)格是：電阻：80±12ITO膜厚度：320±70透過率：87.2%↑耐熱性:＜2.7倍

難控點:電阻框架上下部位(紅線)電阻上限框架上下產(chǎn)品中間部(藍線)電阻接下限“S”產(chǎn)品生產(chǎn)時的建議:1、C5區(qū)溫度最好控制在430-440度，C5區(qū)7#、8#加熱板溫度590/290度2、ITO靶材開6#、7#沒帶翅膀的保護框效果好些3、O2氣只能開0.5,如開1.0產(chǎn)品剛出角部會偏高“T”產(chǎn)品生產(chǎn)時的建議:1、C5區(qū)溫度最好控制在400-410度，C5區(qū)7#、8#加熱板溫度480/280度2、ITO靶材開6#、7#沒帶翅膀保護框效果好些3、O2氣開1.0,如開0.5生產(chǎn)半個多小時左右中間電阻會越來越低■特殊客戶注意事項32/50

3、S16NL7R-60ANS產(chǎn)品，物性規(guī)格是：電阻：45±8.5

ITO膜厚度：450±70透過率：84%∽89%耐熱性:≤2.2倍

難控點:耐熱性生產(chǎn)時的建議:1、溫度最好控制在400-410度2、ITO靶材開后3對3、ITO靶材壽命控制在200KWH以內(nèi)生產(chǎn)比較好■特殊客戶注意事項33/50■鍍膜應(yīng)了解框架不同點的物性例如彎曲度：

框架上的玻璃彎曲度是由下向上，數(shù)值越來越大建議：整理出多機種數(shù)據(jù)來說明上大下小34/50■鍍膜應(yīng)了解FQA設(shè)備性能右邊爐子比左邊爐子耐熱性差產(chǎn)品放在上層耐熱性比下層耐熱性差產(chǎn)品兩側(cè)放玻璃保護，耐熱性數(shù)據(jù)穩(wěn)定產(chǎn)品放在爐子中間耐熱性差兩側(cè)和頂部產(chǎn)品耐熱性比中間耐熱性差35/50■鍍膜應(yīng)了解FQA設(shè)備性能產(chǎn)品放在一塊磚上的耐熱性比放在兩塊磚上的差簡單道理：加熱一升水需要5分鐘時間，加熱2升水需要的時間就是10分鐘，所以放一枚玻璃進去在300度穩(wěn)定和放10枚玻璃進去所需要的時間是不一樣的耐熱性差36/50產(chǎn)品加入O2后為什么電阻會升高加入O2后，ITO薄膜濺射的過程中，會產(chǎn)生大量的氧負離子,氧負離子在電場的作用會轟擊到所沉積的ITO薄膜表面，使ITO薄膜的結(jié)晶結(jié)構(gòu)和晶體狀態(tài)造成結(jié)構(gòu)缺陷。濺射的電壓越大，氧負離子轟擊膜層表面的能量也越大，那么造成缺陷的幾率就越大，產(chǎn)生晶體結(jié)構(gòu)也越嚴(yán)重，從而導(dǎo)致了ITO薄膜沉積厚度下降，電阻升高■鍍膜應(yīng)了解知識37/50方塊電阻測量儀在長和寬相等的樣品上測量的玻璃鍍膜電阻。方塊電阻的大小與樣品尺寸無關(guān)，即任意大小正方形的玻璃電阻都是一樣的，不管邊長是1米還是0.1米，它們的電阻都是一樣

■鍍膜應(yīng)了解知識結(jié)論

在耐熱性規(guī)格不穩(wěn)定和難控制的時候，測試耐熱性要求QA嚴(yán)格按玻璃100*50mm進行切割(1：2的比例)38/50Pinnacle：使ITO靶材形成等離子體的功率生成裝置?？缮?-12?的功率

■鍍膜應(yīng)了解設(shè)備具體功能39/50Sparc-leV：對在Pinnacle里生成傳達到靶材之前的功率，起著濾波及控制的作用，可用頻率為20-100?■鍍膜應(yīng)了解設(shè)備具體功能40/50設(shè)備邀請事項41/50■邀請事項-加熱板變形現(xiàn)象：■A8靶材旁的加熱板變形嚴(yán)重，每次T/C關(guān)A8靶材時，AR管會碰到變形的加熱板，造成靶材安裝困難，導(dǎo)致漏