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具有一定能量的電子，當(dāng)其照射固體樣品時(shí)，將與樣品內(nèi)原子核和核外電子發(fā)生彈性和非彈性散射過(guò)程，激發(fā)固體樣品產(chǎn)生多種物理信號(hào)。3.2電子與物質(zhì)間的相互作用特征X射線

背散射電子是入射電子進(jìn)入試樣，受到表層原子（0.1～1μm深度范圍內(nèi)）的彈性散射和非彈性散射后從試樣表面逸出的電子。

背散射電子約等于入射電子的能量E0。1背散射電子a:一次大角度背散射電子b:多次小角度背散射電子

C:終止于試樣中的電子（吸收電子）

通常將背散射電子的數(shù)目()與入射電子束中的電子數(shù)目(N)的比值定義為背散射系數(shù)(η:eita)：

Tomlin(1963)提出下述η與原子序數(shù)Z的關(guān)系式：由此可見(jiàn)，檢測(cè)背散射電子能得到有關(guān)試樣平均原子序數(shù)等的信息。

背散射電子的產(chǎn)額隨著原子序數(shù)的增加而增加。

入射電子與原子的核外電子碰撞，將核外電子激發(fā)到真空能級(jí)或脫離原子核成為二次電子。

二次電子的能量比較低，一般小于50eV。

2二次電子二次電子的發(fā)射系數(shù)δ與入射電子的角度θ的關(guān)系：

電子入射方向法線方向電子入射方向θ為入射電子與樣品表面法線之間的夾角因此：1電子束傾斜入射會(huì)使二次電子發(fā)射產(chǎn)額增大。2由于電子束與各微觀面的相對(duì)角度不同，掃描成像時(shí)各個(gè)面的亮度就不同，從而得到層次很豐富的樣品表面外貌圖像。吸收電子是隨著與樣品中原子核或核外電子發(fā)生非彈性散射次數(shù)的增多，其能量和活動(dòng)能力不斷降低以致最后被樣品所吸收的入射電子。

特點(diǎn)：

吸收電子數(shù)與試樣的厚度、密度及原子序數(shù)成正比。3吸收電子

4透射電子

入射束的電子透過(guò)樣品而得到的電子。

透射電子顯微鏡(TEM)是利用透射電子成像的。

它僅僅取決于樣品微區(qū)的成分、厚度、晶體結(jié)構(gòu)及位向等。

5特征X射線

特征X射線是原子的內(nèi)層電子受到激發(fā)之后，在能級(jí)躍遷過(guò)程中直接釋放的具有特征能量和波長(zhǎng)的一種電磁波輻射。外層電子躍遷到內(nèi)層電子空位的同時(shí)，將多余的能量傳給另一外層電子，使其脫離原子系統(tǒng)，成為二次電子。這種二次電子稱為俄歇電子。產(chǎn)生俄歇電子的過(guò)程是雙電子躍遷過(guò)程。

6俄歇電子電子與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的信息二次電子背散射電子掃描電子顯微鏡

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