微導(dǎo)納米 -國內(nèi)ALD設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)受益N型TOPCon電池?cái)U(kuò)產(chǎn)

請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容1證券研究報(bào)告|2023年02月28日微導(dǎo)納米微導(dǎo)納米(688147.SH)無評(píng)級(jí)令公司研究·公司快評(píng)令電力設(shè)備·光伏設(shè)備令投資評(píng)級(jí)：無評(píng)級(jí)證券分析師：王蔚angweiqi2@執(zhí)證編碼：S0980520080003證券分析師：李恒ihengyuan@執(zhí)證編碼：S0980520080009證券分析師：王昕angxinyu6@執(zhí)證編碼：S0980522090002證券分析師：陳抒henshuyang@執(zhí)證編碼：S0980523010001近日，公司公告與通威股份下屬子公司簽訂重大銷售合同，擬向通威太陽能(彭山)有限公司銷售全自動(dòng)國信電新觀點(diǎn)：1)公司是國內(nèi)ALD技術(shù)設(shè)備龍頭企業(yè)，依托自身在ALD技術(shù)方面的領(lǐng)先性，不斷開拓下游市場(chǎng)，目前已實(shí)現(xiàn)在光伏電池領(lǐng)域的規(guī)模化推廣，并開始進(jìn)入半導(dǎo)體領(lǐng)域。在幾種鍍膜技術(shù)中，ALD在超薄薄膜制備、復(fù)雜結(jié)構(gòu)表面鍍膜、以及批量鍍膜均勻性等方面具備明顯優(yōu)勢(shì)，而各個(gè)前沿領(lǐng)域?qū)﹀兡ぜ夹g(shù)的精密性、復(fù)雜性、均勻性要求都會(huì)有不同程度的提高，ALD技術(shù)的優(yōu)勢(shì)有望進(jìn)一步凸顯。2)光伏領(lǐng)域：經(jīng)過2022年部分先驅(qū)組件商的探索嘗試，N型TOPCon技術(shù)的經(jīng)濟(jì)性已得到充分驗(yàn)證，2023年將是全行業(yè)TOPCon加速擴(kuò)產(chǎn)的一年。目前N型TOPCon正面氧化鋁鈍化膜基本全部采用ALD技術(shù)，微導(dǎo)納米在該環(huán)節(jié)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)明顯。同時(shí)，公司積極拓寬產(chǎn)品線，向TOPCon其他工藝環(huán)節(jié)延伸，開發(fā)PECVD、PEALD以及擴(kuò)散退火設(shè)備，提高對(duì)單GWTOPCon產(chǎn)線覆蓋的價(jià)值量，充分受益TOPCon擴(kuò)產(chǎn)大潮。對(duì)于其他新型電池技術(shù)，公司有XBC和鈣鈦礦的在手訂單，異質(zhì)結(jié)設(shè)備暫無訂單和產(chǎn)品銷售。3)半導(dǎo)體領(lǐng)域，此前行業(yè)內(nèi)使用的ALD設(shè)備基本上來自于海外，國內(nèi)僅少數(shù)企業(yè)有少量的銷售，國產(chǎn)替代的空間巨大。公司作為ALD設(shè)備龍頭，2021年已經(jīng)有1臺(tái)設(shè)備確認(rèn)收入，未來半導(dǎo)體ALD設(shè)備的在手訂單和產(chǎn)品銷售有望持續(xù)提升，為公司ALD技術(shù)開拓更多的下游應(yīng)用市場(chǎng)。綜上，綜上，我們預(yù)計(jì)公司2022-2024年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入6.8/14.2/18.8億元，同比增長(zhǎng)58%/109%/32%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)0.60/1.57/2.52億元，同比增長(zhǎng)29%/164%/60%，當(dāng)前股價(jià)對(duì)應(yīng)PE分別為255/97/60倍。令公司概況公司成立于2015年12月，是一家面向全球的高端設(shè)備制造商。公司以原子層沉積(ALD)技術(shù)為核心，專注于先進(jìn)微米級(jí)、納米級(jí)薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與應(yīng)用。公司業(yè)務(wù)涵蓋集成電路、光伏、LED、MEMS等半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域，以及新能源和柔性電子領(lǐng)域；主要產(chǎn)品為應(yīng)用于邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、硅基微顯示和3D封裝等半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體ALD設(shè)備和技術(shù)，以及應(yīng)用于柔性電子、新一代高效太陽能電池的薄膜設(shè)2月23日在科創(chuàng)板掛牌上市。請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容2證券研究報(bào)告圖1：微導(dǎo)納米發(fā)展歷程公司為家族控股的民營(yíng)企業(yè)，股權(quán)結(jié)構(gòu)集中。公司實(shí)際控制人為王燕清先生，并與其妻倪亞蘭和其子王磊，三人通過萬海盈投資、聚海盈管理、德厚盈投資間接控制公司67.34%的股份，同時(shí)王磊擔(dān)任公司董事長(zhǎng)、倪亞蘭擔(dān)任公司董事。王燕清先生出生于1966年，畢業(yè)于常州無線電工業(yè)學(xué)校模具設(shè)計(jì)與制造專業(yè)、清華大學(xué)經(jīng)管學(xué)院，1986年至1999年期間任職無錫縣無線電二廠設(shè)備助理工程師，2002年創(chuàng)立先導(dǎo)智能，至今任職先導(dǎo)智能的董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理，對(duì)機(jī)械、設(shè)備、電子領(lǐng)域有深刻的理解認(rèn)知和豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，是江蘇省總商會(huì)副會(huì)長(zhǎng)、中國工商業(yè)聯(lián)合會(huì)第三次全國代表大會(huì)代表。圖2：微導(dǎo)納米股權(quán)結(jié)構(gòu)信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理令主營(yíng)業(yè)務(wù)及商業(yè)模式公司屬于晶體硅太陽能光伏設(shè)備制造業(yè)，主要從事先進(jìn)微、納米級(jí)薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，向下游客戶(光伏電池制造商等)提供光伏薄膜沉積設(shè)備、半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備和配套產(chǎn)品及服務(wù)。其中光伏設(shè)備是公司最主要業(yè)務(wù)，2019/2020/2021/2022Q1-3的營(yíng)業(yè)收入占比分別為94%/96%/64%/94%。請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容3證券研究報(bào)告表1：公司各板塊營(yíng)業(yè)收入(億元)及毛利率營(yíng)業(yè)收入營(yíng)業(yè)收入2019毛利率營(yíng)業(yè)收入2020毛利率營(yíng)業(yè)收入2021毛利率營(yíng)業(yè)收入2022Q1-3毛利率光伏設(shè)備2.0252.4%2.9950.8%2.7534.5%3.61-半導(dǎo)體設(shè)備0.00-0.00-0.2552.2%0.10-配套產(chǎn)品及服務(wù)0.1471.7%0.1369.1%1.2772.5%0.14-合計(jì)2.1654.0%3.1351.9%4.2845.8%3.8537.1%資料來源：公司公告，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理公司設(shè)備業(yè)務(wù)主要采取以銷定產(chǎn)、定制化設(shè)計(jì)、定制化生產(chǎn)的商業(yè)模式。銷售端采取直銷模式，通過直接接洽和投標(biāo)的方式獲取客戶訂單。生產(chǎn)端和采購端以每個(gè)設(shè)備訂單的需求為基礎(chǔ)，進(jìn)行定制化的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、原料采購和組裝生產(chǎn)。專用設(shè)備屬于技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，為滿足下游客戶對(duì)于設(shè)備的定制化需求，提供領(lǐng)先于行業(yè)技術(shù)水準(zhǔn)的生產(chǎn)設(shè)備，需要強(qiáng)大的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化能力支撐。因此，持續(xù)的研發(fā)投入和技術(shù)創(chuàng)新，是公司保持產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力和獲取訂單能力的關(guān)鍵。公司主要采取自主研發(fā)模式，根據(jù)研發(fā)階段和內(nèi)容將研發(fā)人員分為機(jī)械設(shè)計(jì)、電氣和軟件開發(fā)、工藝開發(fā)三類，為公司綜合競(jìng)爭(zhēng)力提供持續(xù)支持。圖3：公司商業(yè)模式示意圖信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容4證券研究報(bào)告令行業(yè)分析：光伏電池技術(shù)變革促進(jìn)擴(kuò)產(chǎn)需求，新型技術(shù)工藝中鍍膜設(shè)備價(jià)值占比提升隨著各國家及地區(qū)節(jié)能減排政策日益趨嚴(yán)，疊加地緣政治引發(fā)的能源危機(jī)，光伏行業(yè)快速發(fā)展，我們預(yù)計(jì)2022-2025年，全球光伏新增裝機(jī)分別為230/335/438/547GW，同比增速35.3%/45.7%/30.7%/24.9%，對(duì)應(yīng)全球組件需求約為288/419/548/684GW。圖4：2020-2025年全球光伏新增裝機(jī)容量(GW)、SolarPowerEurope，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理及預(yù)測(cè)中國光伏制造產(chǎn)業(yè)經(jīng)過十余年的發(fā)展，已經(jīng)在全球形成了絕對(duì)領(lǐng)先的競(jìng)爭(zhēng)力，硅料、硅片、電池、組件各個(gè)環(huán)節(jié)的產(chǎn)量均在全球占據(jù)非常高的比重。以電池片為例，2010年國內(nèi)電池產(chǎn)量占全球比重約40%，而2021年已經(jīng)提升至88.4%。光伏電池產(chǎn)能向國內(nèi)企業(yè)集中，與光伏電池設(shè)備的國產(chǎn)化是相輔相成的。圖5：國內(nèi)光伏電池片產(chǎn)量占全球比重逐年提升會(huì)，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理當(dāng)前市場(chǎng)主流產(chǎn)品類型為PERC電池，隨著PERC技術(shù)日趨發(fā)展成熟，其轉(zhuǎn)換效率提升空間越來越小，行業(yè)內(nèi)越來越多的企業(yè)投資新型電池產(chǎn)能。以TOPCon、HJT和IBC為代表的N型單晶電池技術(shù)轉(zhuǎn)換效率有很大的提升空間，未來將逐步取代PERC電池技術(shù)成為市場(chǎng)主流。請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容5證券研究報(bào)告表2：2021-2030年各種電池技術(shù)平均轉(zhuǎn)換效率變化趨勢(shì)分類ERCERC19.50%21.00%21.00%22.40%19.50%21.10%21.10%22.60%19.70%21.30%21.30%22.80%- 21.50%23.00%- 21.70%23.30%- 21.90%23.60%TOPCon單晶電池23.10%23.10%24.00%23.30%23.30%24.30%23.50%23.50%24.60%23.70%23.70%24.90%23.90%23.90%25.20%24.10%24.10%25.60%T24.20%24.20%24.10%24.60%24.60%24.50%25.00%25.00%24.80%25.30%25.30%25.30%25.60%25.60%25.70%26.00%26.00%26.20%會(huì)，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理2023年為N型電池，尤其是TOPCon電池產(chǎn)能高速擴(kuò)張的年份。我們預(yù)期2023年光伏電池行業(yè)新增產(chǎn)能為209GW，均為新型高效電池技術(shù)。其中TOPCon產(chǎn)能125.5GW(另有由PERC改造的產(chǎn)能20GW)，異質(zhì)結(jié)和XBC分別新增產(chǎn)能41.6GW。我們測(cè)算光伏電池設(shè)備市場(chǎng)空間2023-2025年分別為487/607/630億元，同比分別為155%/25%/4%。表3：光伏電池設(shè)備市場(chǎng)空間測(cè)算202020212022E2023E2024E2025E全球新增光伏裝機(jī)量(GW)3070235340451580假設(shè)容配比.21.251.25全球光伏電池組件需求量(GW)43204282408564725電池片行業(yè)產(chǎn)能利用率(產(chǎn)量/年底產(chǎn)能)57%48%55%55%55%55%年底電池片行業(yè)產(chǎn)能規(guī)模(GW)24942451374210251318新新增產(chǎn)能(GW)PERC397489209258263新增產(chǎn)能中PERC產(chǎn)能占比(%)96%93%5%0%0%0%新增PERC產(chǎn)能(GW)37.00.00.0PERCGW投資額(億).5.5.5PERCPERC設(shè)備市場(chǎng)(億)TOPCon83.230.00.0新增產(chǎn)能中TOPCon產(chǎn)能占比(%)2%5%70%60%50%40%新增TOPCon產(chǎn)能(GW)0.88.762.5145.5154.2135.2其中：新建TOPCon產(chǎn)能(GW)0.88.762.5125.5129.2105.2由PERC改造的產(chǎn)能(GW)0.00.00.020.025.030.0當(dāng)年TOPCon設(shè)備單GW投資額(億)PERC造成TOPCon單GW投資額(億)1.1.00.5TOPCon設(shè)備市場(chǎng)(億)2.119.1112.4227.3221.7172.8HJT新增電池中HJT產(chǎn)能占比(%)2%2%0%20%30%40%新增HJT產(chǎn)能(GW)41.877.5105.2HJTGW4.54.03.0HJTHJT設(shè)備市場(chǎng)(億)XBC3.513.931.2138.0240.3315.5新增電池中XBC產(chǎn)能占比(%)--5%20%20%20%新增XBC產(chǎn)能(GW)--13.441.851.752.6XBCGW--XBCXBC設(shè)備市場(chǎng)(億)合計(jì)--40.2121.3144.7142.0電池片設(shè)備總市場(chǎng)(億)8934791487607630yoy291.3%-45.1%155.4%24.7%3.9%會(huì)、各公司公告，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理和預(yù)測(cè)典型的光伏電池生產(chǎn)設(shè)備包括清洗制絨設(shè)備、擴(kuò)散爐、刻蝕設(shè)備、鍍膜設(shè)備、激光開槽設(shè)備、絲網(wǎng)印刷機(jī)等。其中薄膜沉積設(shè)備在PERC技術(shù)工藝中主要用于鈍化和減反膜的制備，對(duì)于新型高效電池來說，目前產(chǎn)業(yè)化前景最為明確的TOPCon電池和HJT電池對(duì)于薄膜沉積的需求更高。TOPCon電池生產(chǎn)線可以由PERC電池生產(chǎn)線升級(jí)改造實(shí)現(xiàn)，除原薄膜沉積需求外，還增加了隧穿層和摻雜多晶硅層(POLY)鍍膜需求。請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容6證券研究報(bào)告圖6：PERC、TOPCon電池工藝流程及對(duì)應(yīng)設(shè)備，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理新型電池技術(shù)中薄膜沉積工藝價(jià)值量提升。根據(jù)微導(dǎo)納米招股說明書，部分上市公司電池產(chǎn)能投資額數(shù)據(jù)及薄膜設(shè)備占比情況如下表所示。新型電池技術(shù)(包括TOPCon電池和IBC電池等)工廠設(shè)備投資總額中，薄膜沉積等設(shè)別的占比為36.4%-39.1%，而PERC產(chǎn)能投資額中，該占比為24.7%-26.7%。隨著電池技術(shù)的不斷深入，薄膜工藝的重要性和薄膜設(shè)備的價(jià)值量顯著提升。表4：部分上市公司電池工廠項(xiàng)目投資額及薄膜沉積設(shè)備占比上市公司時(shí)間項(xiàng)目電池類型及規(guī)模設(shè)備投資總額(億元)薄膜沉積等設(shè)備投資占比中來股份2021.5年產(chǎn)16GW高效單晶電池智能工廠項(xiàng)目(一期)ConGW20.2536.43%愛旭股份2021.4珠海年產(chǎn)6.5GW新世代高效晶硅太陽能電池建設(shè)項(xiàng)目36.1537.34%愛旭股份2021.4義烏年產(chǎn)10GW新世代高效太陽能電池項(xiàng)目第一階段2GW建設(shè)項(xiàng)目11.3336.63%天合光能2020.12宿遷(三期)年產(chǎn)8GW高效太陽能電池項(xiàng)目ConGW31.4139.12%天合光能2020.12鹽城年產(chǎn)16GW高效太陽能電池項(xiàng)目54.2124.71%天合光能2020.12年產(chǎn)10GW高效太陽能電池項(xiàng)目(宿遷W16.9926.73%通威太陽能2020.8年產(chǎn)7.5GW高效晶硅太陽能電池智能工廠項(xiàng)目(眉山二期)W17.7826.17%通威太陽能2020.8年產(chǎn)7.5GW高效晶硅太陽能電池智能互聯(lián)工廠項(xiàng)目(金堂一期)W18.7224.85%說明書、各公司公告，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理按照工藝原理的不同,薄膜沉積設(shè)備可分為PVD、CVD和ALD三類技術(shù)路線：1、物理氣相沉積(PVD)技術(shù)是指在真空條件下采用物理方法將材料源(固體或液體)表面氣化成氣態(tài)原子或分子，或部分電離成離子，并通過低壓氣體(或等離子體)過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)。PVD鍍膜技術(shù)主要分為三類：真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜。請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容7證券研究報(bào)告2、化學(xué)氣相沉積(CVD)是通過化學(xué)反應(yīng)的方式，利用加熱、等離子或光輻射等各種能源，在反應(yīng)器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)，是一種通過氣體混合的化學(xué)反應(yīng)在基體表面沉積薄膜的工藝，可應(yīng)用于絕緣薄膜、硬掩模層以及金屬膜層的沉積。3、原子層沉積(ALD)技術(shù)是一種特殊的真空薄膜沉積方法，具有較高的技術(shù)壁壘。通過ALD鍍膜設(shè)備可以將物質(zhì)以單原子層的形式一層一層沉積在基底表面，每鍍膜一次/層為一個(gè)原子層，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)超薄膜層的制備。表5：不同薄膜沉積設(shè)備技術(shù)優(yōu)劣勢(shì)比較項(xiàng)目VDCVD術(shù)ALD技術(shù)優(yōu)勢(shì)與劣勢(shì)1、沉積速率較快；2、薄膜厚度較厚，對(duì)于納米級(jí)的膜厚精度控制差；3、鍍膜具有單一方向性；4、厚度均勻性差；5、階梯覆蓋率差；1、沉積速率一般(微米/分鐘)；2、中等的薄膜厚度(依賴于反應(yīng)循環(huán)次數(shù))；3、鍍膜具有單一方向性；4、階梯覆蓋率一般。1、沉積速率較慢(納米/分鐘)；2、原子層級(jí)的薄膜厚度；3、大面積薄膜厚度均勻性好；4、階梯覆蓋率較好；5、薄膜致密無針孔。主要應(yīng)用領(lǐng)域1、HJT光伏電池透明電極；2、柔性電子金屬化、觸碰面板透明電極；3、半導(dǎo)體金屬化。1、PERC電池背面鈍化層、PERC電池減反層；2、TOPCon電池接觸鈍化層、減反層；3、HJT電池接觸鈍化層；4、柔性電子介質(zhì)層、柔性電子封裝層；5、半導(dǎo)體介質(zhì)層(低介電常數(shù))、半導(dǎo)體封裝層。1、PERC電池背面鈍化層；2、TOPCon電池隧穿層、接觸鈍化層、減反層；3、柔性電子介質(zhì)層、柔性電子封裝層；4、半導(dǎo)體高k介質(zhì)層、金屬柵極、金屬互聯(lián)阻擋層、多重曝光技術(shù)書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理ALD技術(shù)的具體工藝流程，是通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)室并在沉積基底上發(fā)生表面飽和化學(xué)反應(yīng)形成薄膜。以沉積Al2O3薄膜的反應(yīng)為例，使用三甲基鋁(TMA)為金屬鋁源、水蒸氣為氧源，每一個(gè)單位循環(huán)分為四步，多次循環(huán)生成所需的薄膜，如下圖所示。由于ALD技術(shù)表面化學(xué)反應(yīng)具有自限性，因此擁有多項(xiàng)獨(dú)特的薄膜沉積特性：1、三維共形性，廣泛適用于不同形狀的基底；2、大面積成膜的均勻性，且致密、無針孔；3、可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的薄膜厚度控制。基于上述特性，ALD技術(shù)廣泛適用于不同場(chǎng)景下的薄膜沉積，在光伏、半導(dǎo)體、柔性電子等新型顯示、MEMS、催化及光學(xué)器件等諸多高精尖領(lǐng)域均擁有良好的產(chǎn)業(yè)化前景。圖7：原子層沉積(ALD)技術(shù)原理示意圖書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容8證券研究報(bào)告令公司業(yè)務(wù)分析公司是一家面向全球的光伏、半導(dǎo)體設(shè)備制造商，2021年公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入4.28億元，同比增加37%；2022年前三季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入3.85億元，同比增加67%。公司主營(yíng)業(yè)務(wù)包括光伏設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備、設(shè)93.6%/95.7%/64.3%。2021年度，公司專用設(shè)備收入占比下降，主要系配套產(chǎn)品及服務(wù)中的設(shè)備改造業(yè)務(wù)增幅較大所致。圖8：公司近幾年?duì)I業(yè)收入及增長(zhǎng)率資料來源：公司公告，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理圖9：公司2021年各主營(yíng)業(yè)務(wù)收入(億元)及占比資料來源：公司公告，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理公司專用設(shè)備產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝流程主要包括部件組裝、模塊組裝、系統(tǒng)集成、設(shè)備功能檢測(cè)、廠內(nèi)工藝調(diào)試、拆機(jī)包裝出貨等步驟，生產(chǎn)人員根據(jù)《電氣裝配圖》《裝配工程圖》等圖紙，將產(chǎn)品各模塊與整機(jī)圖紙進(jìn)行裝配。公司設(shè)備的部件組裝環(huán)節(jié)主要包括反應(yīng)腔體、源輸送模組、傳送模組和電氣模塊。具體的工藝流程如下：圖10：公司專用設(shè)備產(chǎn)品工藝流程圖書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理光伏專用設(shè)備業(yè)務(wù)：ALD技術(shù)在光伏領(lǐng)域的主要推動(dòng)者，充分受益TOPCon產(chǎn)能擴(kuò)張公司主要產(chǎn)品是光伏電池鍍膜設(shè)備，產(chǎn)品涉及ALD、PECVD、PEALD等技術(shù)路線，其中ALD是公司核心產(chǎn)品，微導(dǎo)納米率先將ALD技術(shù)規(guī)模化應(yīng)用于光伏領(lǐng)域，是ALD的主要推動(dòng)者。目前行業(yè)內(nèi)TOPCon產(chǎn)線中，正面氧化鋁鈍化層絕大部分使用ALD設(shè)備進(jìn)行制備。此外，公司積極開拓PECVD、PEALD產(chǎn)品線，擴(kuò)大提供的設(shè)備品類和覆蓋的工藝環(huán)節(jié)。公司光伏設(shè)備主要產(chǎn)品如下表所示：請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容9證券研究報(bào)告表6：公司光伏電池設(shè)備產(chǎn)品工藝類型和應(yīng)用領(lǐng)域產(chǎn)品系列產(chǎn)品圖示設(shè)備類型鍍膜工藝目前應(yīng)用領(lǐng)域ALDALDAl2O3工藝1、PERC電池背面鈍化層2、TOPCon電池正面鈍化層夸父PECVD祝融PEALD羲和低壓擴(kuò)散PECVDPECVDPEALD、PECVDPEALD、PECVDPEALD、PECVD爐管設(shè)備SiNX工藝SiNX工藝Al2O3和SiNX二合一工藝Al2O3和SiNX二合一工藝隧穿層和摻雜多晶硅層二合一工藝非晶硅晶化及摻雜、擴(kuò)散PERC電池減反層TOPCon電池背面減反層PERC電池背面鈍化層、減反層TOPCon電池正面鈍化層、減反層TOPCon電池隧穿層、摻雜多晶硅層TOPCon電池?cái)U(kuò)散、退火書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理和占比有所降低，主要原因是光伏電池行業(yè)在2020-2021年處于由PERC向新型高效電池技術(shù)轉(zhuǎn)變的過渡期，下游廠商擴(kuò)產(chǎn)和采購節(jié)奏出現(xiàn)短期調(diào)整，同時(shí)公司在此期間推出PECVD設(shè)備、PEALD二合一平臺(tái)設(shè)備等新產(chǎn)品，導(dǎo)致當(dāng)期訂單和銷售結(jié)構(gòu)有所變化。圖11：公司不同光伏設(shè)備產(chǎn)品銷量(臺(tái))資料來源：公司公告，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理圖12：公司不同光伏設(shè)備產(chǎn)品單價(jià)(萬元/臺(tái))資料來源：公司公告，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理公司專用設(shè)備銷售成本按性質(zhì)分為直接材料、人工成本和制造費(fèi)用，其中直接材料占比較高，近三年一期的占比在83%-90%之間。表7：公司專用設(shè)備(含光伏和半導(dǎo)體)銷售成本拆分(萬元)項(xiàng)目金額比例金額比例金額比例金額比例直接材料8294.2986.20%12608.785.72%16434.4983.48%8923.7989.44%人工成本682.087.09%985.946.70%1555.397.90%596.475.98%制造費(fèi)用646.016.71%1114.547.58%1697.18.62%456.744.58%書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理.15請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容10證券研究報(bào)告億元。公司專用設(shè)備在手訂單中ALD設(shè)備占比為85.66%，隨著ALD設(shè)備訂單交付占比的提升，公司綜合毛利率有望回升。表8：公司專用設(shè)備毛利率情況板塊產(chǎn)品2019年2020年2021年2022年1-6月毛利率收入占比毛利率收入占比毛利率收入占比毛利率收入占比光伏領(lǐng)域ALDPECVD設(shè)備PEALD二合一設(shè)備小計(jì)52.35%---100%---50.83%---100%---46.83%18.79%19.59%32.86%45.32%23.71%23%91.61%53.54%10.76%16.93%32.35%44.18%20.25%32.36%96.78%ALD----52.20%8.39%--半導(dǎo)體領(lǐng)域真空傳輸系統(tǒng)------35.43%3.22%小計(jì)----52.20%8.39%35.43%3.22%專用設(shè)備合計(jì)52.35%100%50.83%100%34.48%100%32.45%100%書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理2019-2021年及2022上半年，公司前五名客戶銷售收入占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入比重分別為62%/96%/84%/93%。公司第一大客戶均為通威股份，2019-2021年占營(yíng)收比重分別為21%/63%/28%。三年內(nèi)進(jìn)入公司前五大客戶的頭部電池廠商有通威、隆基、晶澳、天合等，所采購的設(shè)備均為ALD設(shè)備及備品備件。表9：公司前五大客戶情況序號(hào)2019客戶名稱客戶名稱營(yíng)收占比2020客戶名稱營(yíng)收占比2021客戶名稱客戶名稱營(yíng)收占比2022H1客戶名稱營(yíng)收占比1通威股份20.50%通威股份62.94%通威股份27.98%江蘇龍恒、徐州中27.98%輝、江蘇華恒50.07%2江蘇順風(fēng)江蘇順風(fēng)12.66%晶澳科技13.47%江蘇龍恒、徐州中輝、江蘇華恒26.93%阿阿特斯26.80%3陽光中科10.31%天合光能8.97%隆基綠能14.27%江蘇順風(fēng)7.81%4徐州谷陽、無錫日托9.31%橫店東磁6.29%陽光中科9.10%愛旭股愛旭股份4.35%5江蘇華恒、徐州中輝8.50%江蘇潞能3.99%5.89%比亞迪3.93%合合計(jì)61.28%95.66%84.17%92.96%，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理技術(shù)研發(fā)是公司發(fā)展的主要驅(qū)動(dòng)力。公司研發(fā)費(fèi)用占營(yíng)業(yè)收入比重和研發(fā)人員數(shù)量占比逐年提升，2019-2021年研發(fā)費(fèi)用率分別為14.4%/17.2%/22.7%，研發(fā)人員占比分別為30.4%/32.9%/36.8%。圖13：公司研發(fā)費(fèi)用(億元)及占營(yíng)業(yè)收入比重圖14：公司各期期末研發(fā)人員數(shù)量(人)及占比資料來源：公司招股說明書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理資料來源：公司招股說明書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容11證券研究報(bào)告半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)：國產(chǎn)替代空間廣闊，ALD技術(shù)蓄勢(shì)待發(fā)2013年以來，全球半導(dǎo)體行業(yè)景氣度提升，半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)也相應(yīng)地呈現(xiàn)增長(zhǎng)趨勢(shì)，根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，全內(nèi)半導(dǎo)體銷售額CAGR為31.1%，遠(yuǎn)超全球水平。中國是全球最大半導(dǎo)體終端產(chǎn)品消費(fèi)市場(chǎng)，隨著國際產(chǎn)能不斷向中國轉(zhuǎn)移，半導(dǎo)體企業(yè)紛紛在中國投資建廠，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的規(guī)模不斷擴(kuò)大，設(shè)備需求將不斷增長(zhǎng)。持續(xù)的產(chǎn)能轉(zhuǎn)移不僅帶動(dòng)了國內(nèi)半導(dǎo)體整體產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平的提高，為半導(dǎo)體專用設(shè)備制造業(yè)提供了巨大的市場(chǎng)空間，也促進(jìn)了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專業(yè)人才的培養(yǎng)及配套行業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)環(huán)境的良性發(fā)展為中國半導(dǎo)體專用設(shè)備制造業(yè)產(chǎn)業(yè)的擴(kuò)張和升級(jí)提供了機(jī)遇。圖15：全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額及增速(億美元)資料來源：公司招股說明書、SEMI，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理圖16：國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額及增速(億美元)資料來源：公司招股說明書、SEMI，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理半導(dǎo)體設(shè)備主要包括前道工藝設(shè)備和后道工藝設(shè)備，前道工藝設(shè)備為晶圓制造設(shè)備，后道工藝設(shè)備包括封裝設(shè)備和測(cè)試設(shè)備。其中晶圓前道工藝設(shè)備整體占比超過80%，是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)最核心的組成部分。而從前道工藝晶圓廠的設(shè)備投資構(gòu)成來看，刻蝕設(shè)備、光刻設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備是最重要的三類設(shè)備。其中，薄膜沉積設(shè)備投資額占晶圓制造設(shè)備投資總額的21%。根據(jù)MaximizeMarketResearch統(tǒng)計(jì)，全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模從2017年的215億美元擴(kuò)大至2020年的172億美元，預(yù)計(jì)2025年可增加至340億美元。圖17：晶圓廠各環(huán)節(jié)設(shè)備投資價(jià)值占比資料來源：公司招股說明書、智研咨詢，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理圖18：全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場(chǎng)空間(億美元)資料來源：公司招股說明書、MaximizeMarketResearch，國信證公司已形成“鳳凰、麒麟、龍”3大類型覆蓋多種工藝環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，滿足下游客戶工藝需求。不同工藝環(huán)節(jié)對(duì)于ALD設(shè)備的性能指標(biāo)要求差異較大。高介電常數(shù)(High-k)柵氧薄膜工藝是半請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容12證券研究報(bào)告導(dǎo)體先進(jìn)制程中難度較大的工藝之一，公司P系列設(shè)備產(chǎn)品在該環(huán)節(jié)已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。在市場(chǎng)開拓方面，公司半導(dǎo)體設(shè)備仍處于前期階段，2020年和2021年，公司半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)量和銷量均為1臺(tái)，2022年上表10：公司半導(dǎo)體專用設(shè)備產(chǎn)品簡(jiǎn)介產(chǎn)品系列產(chǎn)品圖示產(chǎn)品說明產(chǎn)業(yè)化階段鳳凰(P)系列原子層沉積鍍膜系統(tǒng)主要用于單片型12寸及8寸晶圓生產(chǎn)中氧化物、氮化物及金屬鍍膜工藝產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用鳳凰(P-Lite)輕型原子層沉積鍍膜系統(tǒng)麒麟(QL)系列原子層沉積鍍膜系統(tǒng)龍(Dragon)系列真空傳輸系統(tǒng)主要用于單片型8寸、6寸及以下的第三代化合物半導(dǎo)體、量子器件等氧化物、氮化物及金屬鍍膜工藝用于批量型12寸及8寸晶圓生產(chǎn)中氧化物、氮化物及金屬鍍膜工藝，單腔體每批次可容納最多25片12寸用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程的晶圓真空傳輸系統(tǒng)，該平臺(tái)系統(tǒng)可有效避免晶圓表面微塵，可實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能下的穩(wěn)定性產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用書，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容13證券研究報(bào)告令財(cái)務(wù)分析公司近年?duì)I業(yè)收入保持高速增長(zhǎng)，2020/2021/2022營(yíng)收同比增速分別為44.8%/36.9%/60.0%，2019-2022年歸母凈利潤(rùn)基本穩(wěn)定。公司核心產(chǎn)品ALD產(chǎn)銷量較大，毛利率較高，近兩年公司拓展新產(chǎn)品，使得整體毛利率和凈利率有所下降。圖19：公司營(yíng)業(yè)收入和歸母凈利潤(rùn)(億元)資料來源：公司公告、Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理圖20：公司毛利率和凈利率資料來源：公司公告、Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理2019-2021年，公司期間費(fèi)用率總和分別為25.7%/33.7%/37.1%。期間銷售費(fèi)用率和研發(fā)費(fèi)用率水平有所提升，主要因?yàn)楣境掷m(xù)加大新技術(shù)的研發(fā)和新產(chǎn)品的市場(chǎng)開拓所致，階段性的高投入有助于強(qiáng)化公司未來成長(zhǎng)性；管理費(fèi)用率相對(duì)穩(wěn)定；財(cái)務(wù)費(fèi)用率有所下降。圖21：公司期間費(fèi)用率資料來源：公司公告、Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理億，資產(chǎn)負(fù)債率先降后升，2022年9月底為59%。公司負(fù)債大部分為流動(dòng)負(fù)債，且以合同負(fù)債，應(yīng)付賬款等無息負(fù)債為主，2022年9月底有息負(fù)債占總負(fù)債的比例僅14%。證券研究報(bào)告圖22：公司總資產(chǎn)、凈資產(chǎn)及資產(chǎn)負(fù)債率(億元)圖23：公司總負(fù)債、有息負(fù)債及有息負(fù)債占比(億元)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容14資料來源：公司公告、Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理資料來源：公司公告、Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理公司運(yùn)營(yíng)指標(biāo)穩(wěn)中向好。公司2019-2021年應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率分別為5.36/5.97/7.31，周轉(zhuǎn)速度逐年加快。2019-2021應(yīng)付賬款周轉(zhuǎn)率分別為1.85/1.48/1.65，周轉(zhuǎn)速度下降。存貨周轉(zhuǎn)率和總資產(chǎn)周轉(zhuǎn)率絕對(duì)水平較低，并基本保持穩(wěn)定。圖24：公司各項(xiàng)周轉(zhuǎn)率資料來源：公司公告、Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所整理請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容15證券研究報(bào)告令盈利預(yù)測(cè)我們對(duì)公司主營(yíng)業(yè)務(wù)核心預(yù)測(cè)如下：1、光伏專用設(shè)備公司光伏鍍膜設(shè)備以往主要應(yīng)用于PERC產(chǎn)線，2023年開始將轉(zhuǎn)向以TOPCon產(chǎn)線為主，有望充分受益于TOPCon產(chǎn)能的大規(guī)模投放。我們預(yù)計(jì)2023-2025年光伏電池設(shè)備新投放產(chǎn)能為209/258/263GW，其中topcon占比分別為70%/60%/50%。同時(shí)，公司積極豐富光伏設(shè)備產(chǎn)品線，在PERC時(shí)代公司設(shè)備更多限于氧化鋁薄膜沉積這一個(gè)環(huán)節(jié)，近兩年公司將產(chǎn)品線擴(kuò)展至氮化硅薄膜沉積、擴(kuò)散退火以及TOPCon的隧穿層、POLY層制備環(huán)節(jié)，單GW產(chǎn)品價(jià)值明顯提升。未來光伏電池行業(yè)技術(shù)路線演繹存在一定不確定性，但薄膜在電池結(jié)構(gòu)中的重要性將逐漸提升，公司也積極布局其他技術(shù)路線，保障未來成長(zhǎng)性。我們預(yù)計(jì)22-24年公司光伏專用設(shè)備業(yè)務(wù)板塊營(yíng)業(yè)收入為5.6/11.9/15.2億元，同比提升105%/110%/29%，毛利率分別為40.7%/41.2%/39.9%。2、半導(dǎo)體專用設(shè)備公司半導(dǎo)體設(shè)備板塊過往實(shí)現(xiàn)銷售較少，目前處于產(chǎn)品研發(fā)、市場(chǎng)推廣階段。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司是國內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型High-k原子層沉積設(shè)備應(yīng)用于28nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備公司，技術(shù)實(shí)力雄厚，并逐步受到下游客戶的認(rèn)可，未來有較好的成長(zhǎng)空間。我們預(yù)計(jì)22-24年公司半導(dǎo)體專用設(shè)備板塊營(yíng)業(yè)收入為0.5/1.0/1.8億元，同比增速分別為100%/100%/80%，毛利率分別為50%/50%/50%。3、配套產(chǎn)品及服務(wù)公司配套產(chǎn)品和服務(wù)業(yè)務(wù)依托于專用設(shè)備銷售，為存量客戶提供設(shè)備改造服務(wù)和備品備件的銷售，業(yè)務(wù)規(guī)模與銷售設(shè)備規(guī)模相關(guān)，我們假設(shè)配套產(chǎn)品及服務(wù)收入占當(dāng)年度設(shè)備銷售收入的10%。該業(yè)務(wù)板塊的毛利率較高，原因在于：1)設(shè)備改造業(yè)務(wù)以較低的成本提升客戶設(shè)備資產(chǎn)的使用價(jià)值，因此附加值較高；2)備品備件業(yè)務(wù)是專用設(shè)備配件，屬于定制化產(chǎn)品，公司擁有更好的議價(jià)能力。我們預(yù)計(jì)22-24年，公司配套產(chǎn)品及服務(wù)的營(yíng)業(yè)收入為0.6/1.3/1.7億元，同比增速分別為-52%/109%/33%，毛利率分別為70%/65%/65%。表11：公司各業(yè)務(wù)收入預(yù)測(cè)20212022E2023E2024E2025E光伏設(shè)備收入(百萬元)27535638118571523015403增速-8.0%104.8%110.3%28.5%1.1%毛利(百萬元)90.5229.5488.5608.4605.8增速-405%1537%1128%245%-04%毛利率32.9%40.7%41.2%39.9%39.3%半導(dǎo)體設(shè)備收入(百萬元)25.250.4100.8181.4326.6增速100.0%100.0%80.0%80.0%毛利(百萬元)1322525049071633增速91.6%100.0%80.0%80.0%毛利率52.2%50.0%50.0%50.0%50.0%配套產(chǎn)品及服務(wù)收入(百萬元)127.061.4128.6170.4186.7增速8544%-516%1094%325%95%毛利(百萬元)92.343.083.6110.8112.0增速817.8%-53.4%94.5%32.5%1.1%毛利率72.7%70.0%65.0%65.0%60.0%合計(jì)主營(yíng)業(yè)務(wù)收入(百萬元)42756757141511874920536增速36.8%58.1%109.4%32.5%9.5%毛利(百萬元)195.9297.7622.5809.9881.1增速20.9%51.9%109.1%30.1%8.8%毛利率45.8%44.1%44.0%43.2%42.9%Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所預(yù)測(cè)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容16證券研究報(bào)告在上述主營(yíng)業(yè)務(wù)收入和毛利預(yù)測(cè)的基礎(chǔ)上，我們對(duì)公司期間費(fèi)用、稅率、股利分配比率等預(yù)測(cè)如下：表12：公司盈利預(yù)測(cè)核心假設(shè)20212022E2023E2024E2025E營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)率36.8%58.1%109.4%32.5%9.5%營(yíng)業(yè)成本/營(yíng)業(yè)收營(yíng)業(yè)成本/營(yíng)業(yè)收入54.2%55.9%56.0%56.8%57.1%銷售費(fèi)用/銷售收入7.8%8.0%8.0%7.0%6.0%管管理費(fèi)用/營(yíng)業(yè)收入6.0%6.0%5.5%5.0%5.0%研發(fā)費(fèi)用/銷售收入22.7%20.0%18.0%16.0%15.0%營(yíng)業(yè)稅及附加/營(yíng)業(yè)收入0.5%0.5%0.5%0.5%0.5%所得稅稅率-13.6%6.0%6.0%6.0%8.0%股股利分配比率0.0%5.0%5.0%5.0%10.0%Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所預(yù)測(cè)綜上，我們預(yù)計(jì)公司2022-2024年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入6.8/14.2/18.8億元，同比增長(zhǎng)58%/109%/32%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)0.60/1.57/2.52億元，同比增長(zhǎng)29%/164%/60%，EPS分別為0.13/0.35/0.55元，當(dāng)前股價(jià)對(duì)表13：公司盈利預(yù)測(cè)及市場(chǎng)重要數(shù)據(jù)20212022E2023E2024E2025E營(yíng)業(yè)收入(百萬元)4286761,4161,8772,056+/-%)36.9%58.1%109.4%32.5%9.5%凈利潤(rùn)(百萬元)466057252300+/-%)-19.1%29.1%163.8%60.4%19.2%每股收益(元)50.550.66EBITEBITMargin8.7%9.6%11.9%14.7%16.4%凈資產(chǎn)收益率(ROE)6.0%6.5%15.4%20.7%18.4%市市盈率(PE)329.4255.196.760.350.6EV/EBITDA357.1232.894.759.347.7市市凈率(PB)11.39.3Wind，國信證券經(jīng)濟(jì)研究所預(yù)測(cè)令相對(duì)估值：公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為光伏設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備，我們選取光伏設(shè)備領(lǐng)域的捷佳偉創(chuàng)、奧特維，以及半導(dǎo)體設(shè)備板塊的中微公司，拓荊科技為可比公司，四家科比公司2023年動(dòng)態(tài)市盈率均值為45倍，而微導(dǎo)納米2023年動(dòng)態(tài)PE為97倍，高于可比公司。我們認(rèn)為，公司PE較高的主要原因之一，是ALD作為納米級(jí)鍍膜技術(shù)，存在一定的技術(shù)壁壘，且除了在光伏N型電池領(lǐng)域的應(yīng)用以外，未來在半導(dǎo)體、柔性電子以及其它高端精密行業(yè)的滲透率也存在市場(chǎng)開拓的空間。下表中的拓荊科技業(yè)務(wù)也覆蓋ALD，其PE在可比公司里是最高的。微導(dǎo)納米率先將ALD技術(shù)引入光伏領(lǐng)域，打開應(yīng)用空間，其ALD營(yíng)收貢獻(xiàn)更大。表14：可比公司估值表公司代碼公司名稱最新股價(jià)(元)(23.02.28)2022EEPS2023E2024E2022EPE2023E2024E300724捷佳偉創(chuàng)129.102.873.924.9644.932.926.0688516奧特維1195.904.376.458.4044.830.423.3688012中微公司105.301.902.363.0155.444.634.9688072拓荊科技-U256.90256.902.923.535.2288.072.849.2均值58.345.233.4688147微導(dǎo)納米333.420.130.350.55255.196.760.3Wind濟(jì)研究所預(yù)測(cè)。其中可比公司EPS來自Wind一致預(yù)期請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容17證券研究報(bào)告令風(fēng)險(xiǎn)提示盈利預(yù)測(cè)的風(fēng)險(xiǎn)1)光伏電池技術(shù)路線更迭的風(fēng)險(xiǎn)；2)公司訂單獲取情況不達(dá)預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)；3)ALD技術(shù)在各下游市場(chǎng)中占有率不達(dá)預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)；經(jīng)營(yíng)風(fēng)險(xiǎn)1)ALD技術(shù)領(lǐng)域競(jìng)爭(zhēng)加劇的風(fēng)險(xiǎn)；2)新產(chǎn)品驗(yàn)證不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)；其它風(fēng)險(xiǎn)國際貿(mào)易形勢(shì)變化的風(fēng)險(xiǎn)。請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明及其項(xiàng)下所有內(nèi)容18短期借款及交易性金融資短期借款及交易性金融資產(chǎn)減值及公允價(jià)值變證券研究報(bào)告財(cái)務(wù)預(yù)測(cè)與估值資產(chǎn)負(fù)債表(百萬元)202020212022E2023E2024E現(xiàn)金及現(xiàn)金等價(jià)物493120228100100應(yīng)收款項(xiàng)12215291191253存貨凈額34340365913821857其他流動(dòng)資產(chǎn)53303227238213流動(dòng)資產(chǎn)合計(jì)10491276147221982725固定資產(chǎn)243639105215無形資產(chǎn)及其他88877其他長(zhǎng)期資產(chǎn)2336478594長(zhǎng)期股權(quán)投資0000011051357156623953041負(fù)債4082100250350應(yīng)付款項(xiàng)222197226474636其他流動(dòng)負(fù)債314371128129流動(dòng)負(fù)債合計(jì)44944659412641662長(zhǎng)期借款及應(yīng)付債券00000其他長(zhǎng)期負(fù)債27293437長(zhǎng)期負(fù)債合計(jì)27293437負(fù)債合計(jì)45947362312981699少數(shù)股東權(quán)益00000股東權(quán)益64688394310971341負(fù)債和股東權(quán)益總計(jì)11051357156623953041關(guān)鍵財(cái)務(wù)與估值指標(biāo)202020212022E2023E2024E每股收益30.350.55每股紅利0.000.000.010.020.03每股凈資產(chǎn)1.421.942.082.412.95ROIC12%6%6%13%17%ROE13%6%7%15%21%毛利率52%46%44%44%43%EBITMargin18%9%10%12%15%EBITDAMargin19%10%10%12%15%收入增長(zhǎng)45%37%58%109%32%凈利潤(rùn)增長(zhǎng)率5%-19%29%164%60%資產(chǎn)負(fù)債率42%35%40%54%56%息率0.0%0.0%0.0%0.1%0.1%P/E266.4329.4255.196.760.3P/B23.511.3EV/EBITDA266.1357.1232.894.759.3資料來源：Wind、國信證券經(jīng)濟(jì)研究所預(yù)測(cè)利潤(rùn)表