模塊化學習-真空系統(tǒng)

模塊化學習-真空系統(tǒng)第一頁，共44頁。培訓基本內(nèi)容1.學習各生產(chǎn)工序真空（負壓）系統(tǒng)的結構及各組成部分的功能．

2.了解真空系統(tǒng)主要部件的工作原理，技術參數(shù)要求（溫度，流量，壓力）．3.學習電氣部分是如何自動控制以保證要求的真空．4.總結各真空（負壓）系統(tǒng)的共同點及其差異．第二頁，共44頁。目錄２．制絨（單晶／多晶）／ＰＳＧ工序真空（負壓）系統(tǒng)３．擴散工序真空（負壓）系統(tǒng)４．ＰＥＣＶＤ工序真空系統(tǒng)５．絲網(wǎng)印刷工序負壓系統(tǒng)１．真空定義第三頁，共44頁。真空定義與分類●真空的定義1標準大氣壓：在標準重力加速度g為980.665厘米/秒2，溫度T為273K時，760毫米高的汞柱所施加的壓強。真空是指壓強低于1標準大氣壓的氣態(tài)空間。1atm=760Torr=1.013×105Pa1Torr＝7.5×10－3Pa1Pa＝1N/m2=133.3Torr１bar=0.1MPa≈1個標準大氣壓1atm的氣態(tài)空間，氣體分子的濃度為：2.69×1019個/cm3，隨著壓強的下降，空間氣體分子的濃度不斷下降，氣態(tài)分子呈現(xiàn)出不同的物理現(xiàn)象，通常把壓強小于1大氣壓的真空空間稱為真空。真空按如右區(qū)域劃分：1標準大氣壓～103帕(760～10托)粗真空103～10－1帕(10～10－3托)低真空10－1～10－6帕(1－3～10－8托)高真空10－6～10－12帕(10－8～10－14托)超真空<10－12帕(<10-14托)極高真空第四頁，共44頁。真空定義與分類壓強值（托）物理現(xiàn)象獲得設備的特性10氣體放電開始出現(xiàn)水抽氣機的極限10-3分子平均自由程（λ）為厘米級轉動泵的極限10-8布滿清潔表面一單分子層的時間（t）為分級擴散泵的極限10-14每立方厘米氣體分子數(shù)（n）為100級必須使用低溫泵●真空泵所能達到的壓強第五頁，共44頁。一．制程工序系統(tǒng)結構：抽風主管抽風副管調(diào)節(jié)閥負壓壓力表濕制程設備抽風系統(tǒng)第六頁，共44頁。濕制程設備抽風系統(tǒng)抽風主管抽風副管第七頁，共44頁。濕制程設備抽風系統(tǒng)反應槽內(nèi)抽風機體側壁抽風機體頂部抽風抽風作用：刻蝕槽抽風還有氣象腐蝕的作用，工藝調(diào)整抽風壓力，同時需要調(diào)整風向，排出揮發(fā)的酸性氣體（例如ＨＦ），另外使硅片的表面吹干效果更好．抽風數(shù)值如果過大，會使得液面不平穩(wěn)，造成片子抖動．第八頁，共44頁。濕制程設備抽風系統(tǒng)循環(huán)槽抽風抽風負壓表<0.01bar第九頁，共44頁。濕制程設備抽風系統(tǒng)抽風系統(tǒng)常見故障（１）主管連接處松動------原因多為螺絲松動或變形-------重新更換或上進螺絲即可（２）副管連接處裂開------原因多為管子接口處焊接老化-----重新焊接

主管接口處焊接處第十頁，共44頁。濕制程設備抽風系統(tǒng)抽風軟管接口松動或老化裂開（上緊固定環(huán)螺絲或更換新管即可）連接處固定環(huán)軟管第十一頁，共44頁。二．擴散工序擴散工序負壓（抽風）系統(tǒng)結構設施抽風第十二頁，共44頁。擴散工序平面圖排風氣源柜爐體柜計算機控制柜推舟機構排廢口凈化操作臺電源總進線進氣第十三頁，共44頁。抽風管路氣源柜抽風管尾氣抽風管排風口第十四頁，共44頁。尾氣抽風流程圖尾氣管廢液桶排毒桶設施負壓管尾氣第十五頁，共44頁?？傮w結構圖氣源柜抽風負壓調(diào)節(jié)閥第十六頁，共44頁。故障分析及解決方法1.負壓管道接口松動，需定期檢查2.抽風不足加大調(diào)節(jié)閥開度第十七頁，共44頁。三.PECVD工序PC機PLC羅茨泵干式泵角閥儲能罐設施抽風

第十八頁，共44頁。電氣控制框圖ＰＣ機ＰＬＣ真空泵站腔體真空表變頻器１２１路為ＰＣ腔，２路為ＬＣ／ＵＣ腔第十九頁，共44頁。真空氣路流向圖羅茨泵干式泵角閥腔體Scrubber氣體流向第二十頁，共44頁。干式泵（GV600）／羅茨泵（EH4200）

真空管路進氣真空管路出氣冷卻水出口密封吹掃進口冷卻水進口稀釋吹掃真空進氣口干式泵羅茨泵羅茨泵干式泵干式泵氣路系統(tǒng)作用：１軸密封吹掃，２稀釋吹掃．第二十一頁，共44頁。角閥壓縮氣體進口壓縮氣體出口控制線活塞位置指示真空管路接口控制線控制著角閥內(nèi)部的電磁閥，來實現(xiàn)角閥真空管路的開與閉．活塞位置指示用于當角閥真空管路打開時指示是可見的，關閉時則不可見．角閥第二十二頁，共44頁。真空儀表量程：PKR251:精度：ＭＫＳ－Baratron:量程：精度（％）：ＴＰＲ第二十三頁，共44頁。儲能罐儲能罐是用來對腔體內(nèi)氣體進行預抽，以縮短腔體抽真空時間．儲能罐第二十四頁，共44頁。電氣電路—真空泵—工藝腔真空泵電路上下料腔真空泵電路第二十五頁，共44頁。電氣電路—角閥—角閥電路圖第二十六頁，共44頁。電氣電路－真空儀表－PC—MKS電路PC－ＰＫＲ電路第二十七頁，共44頁。電氣電路－真空儀表－ＵＣ－ＴＰＲＬＣ－ＴＰＲ第二十八頁，共44頁。設施抽風Scrubber排風熱排風特氣柜排風第二十九頁，共44頁。常見故障處理清理密封圈YN泵檢修檢修變頻器,電氣連接線檢修ＰＬＣ模擬量模塊,與真空儀表的電氣連線Ｙ檢修真空儀表腔體密封OK?腔體真空度不能達到工藝要求真空泵密封OK?Y變頻器引起的故障NYYPLC引起的故障解決故障NN第三十頁，共44頁。絲網(wǎng)工序負壓（抽風）系統(tǒng)結構四.絲網(wǎng)工序第三十一頁，共44頁。2、簡介絲網(wǎng)印刷設備的真空控制主要在以下三個方面：1、上料臺吸片2、旋轉臺面3、翻轉機構第三十二頁，共44頁。3、氣路圖旋轉臺面第三十三頁，共44頁。翻轉機構上料吸片第三十四頁，共44頁。4、元器件介紹上料吸片真空管路旋轉臺面真空管路破真空第三十五頁，共44頁。翻轉機構真空管路電磁閥真空管路破真空第三十六頁，共44頁。印刷臺抽風烘箱抽風CDA表真空表第三十七頁，共44頁。5、常見故障的處理(絲網(wǎng))故障報警信息Insufficientmainvacuum檢查真空總管的壓力是否足夠和穩(wěn)定，有異常聯(lián)系設施

第一第二第三檢查設備下方主真空管附近的壓力表數(shù)值

，正常工作需要-700mbar的壓力

檢查真空壓力傳感器，顯示0時表示真空壓力不足

，否則應為1第三十八頁，共44頁。旋轉臺面真空異常檢查真空總管的壓力是否足夠和穩(wěn)定，有異常聯(lián)系設施

檢查管路/臺面是否有破損，有則更換，沒有則更換電磁閥將片子放于臺面上，手動控制電磁閥通斷，看片子是否牢固吸附于臺面檢查槳料、刮刀深度、絲網(wǎng)間距、印刷壓力等YESNO真空壓力過大調(diào)節(jié)控制閥，降低到正常范圍調(diào)節(jié)臺面破真空氣壓吸片不牢釋放真空過慢第三十九頁，共44頁。1、燒結爐結構圖四．燒結爐工序第四十頁，共4