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文檔簡介
氪氖混氣產(chǎn)業(yè)工作總結(jié)
大力發(fā)展智能電網(wǎng)技術(shù),發(fā)展和挖掘系統(tǒng)調(diào)峰能力,大幅提升風(fēng)電消納能力。加快發(fā)展高塔長葉片、智能葉片、分散式和海上風(fēng)電專用技術(shù)等,重點(diǎn)發(fā)展5兆瓦級以上風(fēng)電機(jī)組、風(fēng)電場智能化開發(fā)與運(yùn)維、海上風(fēng)電場施工、風(fēng)熱利用等領(lǐng)域關(guān)鍵技術(shù)與設(shè)備。建設(shè)風(fēng)電技術(shù)測試與產(chǎn)業(yè)監(jiān)測公共服務(wù)平臺(tái)。到2020年,風(fēng)電裝機(jī)規(guī)模達(dá)到2.1億千瓦以上,實(shí)現(xiàn)風(fēng)電與煤電上網(wǎng)電價(jià)基本相當(dāng),風(fēng)電裝備技術(shù)創(chuàng)新能力達(dá)到國際先進(jìn)水平。電子特種氣體發(fā)展情況與未來發(fā)展趨勢(一)電子特種氣體行業(yè)在新技術(shù)方面發(fā)展情況與未來發(fā)展趨勢在5G,人工智能,物聯(lián)網(wǎng)等帶動(dòng)下,集成電路制造技術(shù)發(fā)展從摩爾定律到超越摩爾發(fā)展。邏輯芯片技術(shù)節(jié)點(diǎn)從傳統(tǒng)0.35um開始延伸到3nm特征尺寸,預(yù)計(jì)到2025年實(shí)現(xiàn)1.5nm技術(shù)突破;三維閃存芯片制造技術(shù)從32層發(fā)展到128層,預(yù)計(jì)到2025年突破到384層;動(dòng)態(tài)記憶體制造技術(shù),從19nm開始向15nm邁進(jìn),預(yù)計(jì)到2025年實(shí)現(xiàn)11nm技術(shù)突破。先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)突破性發(fā)展,要求包括電子特種氣體在內(nèi)的新材料技術(shù)發(fā)展作為支撐。高密度、低功耗的集成電路制造,對反應(yīng)溫度、純度、雜質(zhì)提出新的要求,對產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性和一致性提出更高的要求。未來,電子特種氣體需要針對性的加強(qiáng)提升合成技術(shù)、純化技術(shù)、分析技術(shù)、充裝技術(shù)和綠色環(huán)保技術(shù)。(二)電子特種氣體行業(yè)在新產(chǎn)業(yè)方面發(fā)展情況與未來趨勢2019年以來,集成電路在國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展中的地位越來越受到重視,在國內(nèi)外各種有利要素的驅(qū)動(dòng)下,我國集成電路制造企業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展軌道。以中芯國際、上海華虹、長江存儲(chǔ)、長鑫存儲(chǔ)等為代表的國內(nèi)集成電路制造企業(yè),產(chǎn)能布局持續(xù)優(yōu)化,制造產(chǎn)能持續(xù)提高。集成電路制造產(chǎn)能規(guī)模的提升,帶動(dòng)配套用材料產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。(三)電子特種氣體行業(yè)在新業(yè)態(tài)方面發(fā)展情況與未來趨勢先進(jìn)集成電路制造技術(shù)需要強(qiáng)大的企業(yè)平臺(tái)作支撐,需要持續(xù)不斷的研發(fā)投入,并在知識產(chǎn)權(quán)、人才儲(chǔ)備等領(lǐng)域長期布局,因此集成電路制造企業(yè)的產(chǎn)能越來越集中在頭部企業(yè),預(yù)計(jì)未來也將維持常態(tài)化發(fā)展。根據(jù)ICInsights數(shù)據(jù),全球54%集成電路制造產(chǎn)能集中在前5大制造企業(yè),70%的產(chǎn)能集中在前10大制造企業(yè)。產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)展的要求,越來越傾向于在產(chǎn)品、技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)等綜合化服務(wù)的材料供應(yīng)商。國內(nèi)電子特種氣體起步晚、規(guī)模較小、產(chǎn)品品種少,受制于技術(shù)、人才、知識產(chǎn)權(quán)、資金實(shí)力等多方面因素影響,發(fā)展存在一定瓶頸。但經(jīng)過十余年發(fā)展,在集成電路配套材料國產(chǎn)化率方面,進(jìn)步明顯。根據(jù)ICMtia數(shù)據(jù),2021年我國集成電路用材料國內(nèi)市場綜合占有率達(dá)26%。雖然當(dāng)前國產(chǎn)化率初見成效,但也給材料產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展預(yù)留了空間,進(jìn)一步提升我國電子材料全球影響力,仍然大有可為。(四)電子特種氣體行業(yè)在新模式方面發(fā)展情況與未來趨勢我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,電子特種氣體市場容量快速增長,國外大型氣體企業(yè)以獨(dú)資、合資、合作等方式設(shè)立企業(yè),從生產(chǎn)、倉儲(chǔ)、服務(wù)等領(lǐng)域在國內(nèi)布局。同時(shí),在國家政策支持以及我國下游市場拉動(dòng)下,國內(nèi)電子氣體企業(yè)依托本地化地緣優(yōu)勢,加大研發(fā),不斷突破國外技術(shù)壁壘,本地化生產(chǎn)質(zhì)量水平持續(xù)提高,逐步得到市場認(rèn)可。隨著先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的突破,工藝步驟的增加,市場對電子特種氣體在產(chǎn)品多元化服務(wù)、品質(zhì)可靠性保證、及時(shí)高效物流服務(wù)等方面都提出更高要求。同時(shí)需要電子特種氣體企業(yè)從物流、倉儲(chǔ)、技術(shù)支持、分析控制、綜合性價(jià)比等方面提升綜合服務(wù)能力。未來,我國電子氣體企業(yè)需要整合行業(yè)內(nèi)資源,持續(xù)研發(fā)投入,加大人才儲(chǔ)備,從規(guī)模、品牌、技術(shù)、產(chǎn)品、成本等多維度整合,夯實(shí)提升多維度競爭優(yōu)勢,提升市場化綜合服務(wù)能力,將多元化需求與一站式服務(wù)結(jié)合,突破國外壟斷的電子特種氣體市場,逐漸發(fā)展成具有國際競爭力的電子特種氣體綜合服務(wù)供應(yīng)商。強(qiáng)化軌道交通裝備領(lǐng)先地位推進(jìn)軌道交通裝備產(chǎn)業(yè)智能化、綠色化、輕量化、系列化、標(biāo)準(zhǔn)化、平臺(tái)化發(fā)展,加快新技術(shù)、新工藝、新材料的應(yīng)用,研制先進(jìn)可靠的系列產(chǎn)品,完善相關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系,構(gòu)建現(xiàn)代軌道交通裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系,打造覆蓋干線鐵路、城際鐵路、市域(郊)鐵路、城市軌道交通的全產(chǎn)業(yè)鏈布局。(一)打造具有國際競爭力的軌道交通裝備產(chǎn)業(yè)鏈形成中國標(biāo)準(zhǔn)新型高速動(dòng)車組、節(jié)能型永磁電機(jī)驅(qū)動(dòng)高速列車、30噸軸重重載電力機(jī)車和車輛、大型養(yǎng)路機(jī)械等產(chǎn)品系列,推進(jìn)時(shí)速500公里輪軌試驗(yàn)列車、時(shí)速600公里磁懸浮系統(tǒng)等新型列車研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,構(gòu)建完整產(chǎn)業(yè)鏈。加強(qiáng)產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)檢測認(rèn)證綜合能力建設(shè)。加快走出去步伐,提升國際競爭力。(二)推進(jìn)新型城市軌道交通裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化面向大城市復(fù)雜市域交通需求,推動(dòng)時(shí)速120—160公里、與城市軌道交通無縫銜接的市域(郊)鐵路裝備,適應(yīng)不同技術(shù)路線的跨座式單軌,自動(dòng)導(dǎo)軌快捷運(yùn)輸系統(tǒng)等研發(fā)與應(yīng)用,構(gòu)建時(shí)速200公里及以下中低速磁懸浮系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造、試驗(yàn)、檢測技術(shù)平臺(tái),建立完善產(chǎn)品認(rèn)證制度,建立新型城市軌道交通車輛技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范,領(lǐng)跑國際技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。(三)突破產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵零部件及綠色智能化集成技術(shù)進(jìn)一步研發(fā)列車牽引制動(dòng)系統(tǒng)、列車網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)、通信信號系統(tǒng)、電傳動(dòng)系統(tǒng)、智能化系統(tǒng)、車鉤緩沖系統(tǒng)、儲(chǔ)能與節(jié)能系統(tǒng)、高速輪對、高性能轉(zhuǎn)向架、齒輪箱、軸承、輕量化車體等關(guān)鍵系統(tǒng)和零部件,形成軌道交通裝備完整產(chǎn)業(yè)鏈。加強(qiáng)永磁電機(jī)驅(qū)動(dòng)、全自動(dòng)運(yùn)行、基于第四代移動(dòng)通信的無線綜合承載等技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。優(yōu)化完善高速鐵路列控系統(tǒng)和城際鐵路列控技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系。加快發(fā)展先進(jìn)環(huán)保產(chǎn)業(yè)大力推進(jìn)實(shí)施水、大氣、土壤污染防治行動(dòng)計(jì)劃,推動(dòng)區(qū)域與流域污染防治整體聯(lián)動(dòng),海陸統(tǒng)籌深入推進(jìn)主要污染物減排,促進(jìn)環(huán)保裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展,推動(dòng)主要污染物監(jiān)測防治技術(shù)裝備能力提升,加強(qiáng)先進(jìn)適用環(huán)保技術(shù)裝備推廣應(yīng)用和集成創(chuàng)新,積極推廣應(yīng)用先進(jìn)環(huán)保產(chǎn)品,促進(jìn)環(huán)境服務(wù)業(yè)發(fā)展,全面提升環(huán)保產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平。到2020年,先進(jìn)環(huán)保產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值規(guī)模力爭超過2萬億元。(一)加強(qiáng)先進(jìn)適用環(huán)保技術(shù)裝備推廣應(yīng)用和集成創(chuàng)新定期更新《國家鼓勵(lì)發(fā)展的重大環(huán)保技術(shù)裝備目錄》,強(qiáng)化供需對接,加強(qiáng)先進(jìn)適用環(huán)保裝備在冶金、化工、建材、食品等重點(diǎn)領(lǐng)域應(yīng)用。加快環(huán)保產(chǎn)業(yè)與新一代信息技術(shù)、先進(jìn)制造技術(shù)深度融合,強(qiáng)化先進(jìn)環(huán)保裝備制造能力,提高綜合集成水平。支持建立產(chǎn)學(xué)研用相結(jié)合的環(huán)保技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟,加快技術(shù)集成創(chuàng)新研究與應(yīng)用。(二)積極推廣應(yīng)用先進(jìn)環(huán)保產(chǎn)品大力推廣應(yīng)用離子交換樹脂、生物濾料及填料、高效活性炭、循環(huán)冷卻水處理藥劑、殺菌滅藻劑、水處理消毒劑、固體廢棄物處理固化劑和穩(wěn)定劑等環(huán)保材料和環(huán)保藥劑。擴(kuò)大采購環(huán)保產(chǎn)品范圍,不斷提高環(huán)保產(chǎn)品采購比例。實(shí)施環(huán)保產(chǎn)品領(lǐng)跑者制度,提升環(huán)保產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),積極推廣應(yīng)用先進(jìn)環(huán)保產(chǎn)品,組織實(shí)施先進(jìn)環(huán)保裝備技術(shù)進(jìn)步與模式創(chuàng)新示范工程。(三)提升環(huán)境綜合服務(wù)能力基于各行業(yè)污染物大數(shù)據(jù),推動(dòng)建立環(huán)保裝備與服務(wù)需求信息平臺(tái)、技術(shù)創(chuàng)新轉(zhuǎn)化交易平臺(tái)、環(huán)保裝備招投標(biāo)信息平臺(tái),提高環(huán)保服務(wù)信息化水平。推動(dòng)在環(huán)境監(jiān)測中應(yīng)用衛(wèi)星和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù),構(gòu)建污染排放、環(huán)境質(zhì)量基礎(chǔ)數(shù)據(jù)與監(jiān)控處置信息平臺(tái),提高環(huán)境監(jiān)管智能化水平,深入推進(jìn)環(huán)境服務(wù)業(yè)試點(diǎn)工作。發(fā)展環(huán)境修復(fù)服務(wù),推廣合同環(huán)境服務(wù),促進(jìn)環(huán)保服務(wù)整體解決方案推廣應(yīng)用。開展環(huán)境污染第三方治理試點(diǎn)和環(huán)境綜合治理托管服務(wù)試點(diǎn),在城鎮(zhèn)污水垃圾處理、工業(yè)園區(qū)污染集中處理等重點(diǎn)領(lǐng)域深入探索第三方治理模式。推進(jìn)產(chǎn)品綠色設(shè)計(jì)示范企業(yè)創(chuàng)建工作,支持企業(yè)開展綠色設(shè)計(jì)。促進(jìn)高端裝備與新材料產(chǎn)業(yè)突破發(fā)展,引領(lǐng)中國制造新跨越順應(yīng)制造業(yè)智能化、綠色化、服務(wù)化、國際化發(fā)展趨勢,圍繞中國制造2025戰(zhàn)略實(shí)施,加快突破關(guān)鍵技術(shù)與核心部件,推進(jìn)重大裝備與系統(tǒng)的工程應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)調(diào)發(fā)展,塑造中國制造新形象,帶動(dòng)制造業(yè)水平全面提升。力爭到2020年,高端裝備與新材料產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值規(guī)模超過12萬億元。(一)打造智能制造高端品牌著力提高智能制造核心裝備與部件的性能和質(zhì)量,打造智能制造體系,強(qiáng)化基礎(chǔ)支撐,積極開展示范應(yīng)用,形成若干國際知名品牌,推動(dòng)智能制造裝備邁上新臺(tái)階。(二)大力發(fā)展智能制造系統(tǒng)加快推動(dòng)新一代信息技術(shù)與制造技術(shù)的深度融合,開展集計(jì)算、通信與控制于一體的信息物理系統(tǒng)(CPS)頂層設(shè)計(jì),探索構(gòu)建貫穿生產(chǎn)制造全過程和產(chǎn)品全生命周期,具有信息深度自感知、智慧優(yōu)化自決策、精準(zhǔn)控制自執(zhí)行等特征的智能制造系統(tǒng),推動(dòng)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的機(jī)器人自動(dòng)化生產(chǎn)線、數(shù)字化車間、智能工廠建設(shè),提供重點(diǎn)行業(yè)整體解決方案,推進(jìn)傳統(tǒng)制造業(yè)智能化改造。建設(shè)測試驗(yàn)證平臺(tái),完善智能制造標(biāo)準(zhǔn)體系。(三)推動(dòng)智能制造關(guān)鍵技術(shù)裝備邁上新臺(tái)階構(gòu)建工業(yè)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)體系,全面突破高精度減速器、高性能控制器、精密測量等關(guān)鍵技術(shù)與核心零部件,重點(diǎn)發(fā)展高精度、高可靠性中高端工業(yè)機(jī)器人。加快高檔數(shù)控機(jī)床與智能加工中心研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,突破多軸、多通道、高精度高檔數(shù)控系統(tǒng)、伺服電機(jī)等主要功能部件及關(guān)鍵應(yīng)用軟件,開發(fā)和推廣應(yīng)用精密、高速、高效、柔性并具有網(wǎng)絡(luò)通信等功能的高檔數(shù)控機(jī)床、基礎(chǔ)制造裝備及集成制造系統(tǒng)。突破智能傳感與控制裝備、智能檢測與裝配裝備、智能物流與倉儲(chǔ)裝備、智能農(nóng)業(yè)機(jī)械裝備,開展首臺(tái)套裝備研究開發(fā)和推廣應(yīng)用,提高質(zhì)量與可靠性。(四)打造增材制造產(chǎn)業(yè)鏈突破鈦合金、高強(qiáng)合金鋼、高溫合金、耐高溫高強(qiáng)度工程塑料等增材制造專用材料。搭建增材制造工藝技術(shù)研發(fā)平臺(tái),提升工藝技術(shù)水平。研制推廣使用激光、電子束、離子束及其他能源驅(qū)動(dòng)的主流增材制造工藝裝備。加快研制高功率光纖激光器、掃描振鏡、動(dòng)態(tài)聚焦鏡及高性能電子槍等配套核心器件和嵌入式軟件系統(tǒng),提升軟硬件協(xié)同創(chuàng)新能力,建立增材制造標(biāo)準(zhǔn)體系。在航空航天、醫(yī)療器械、交通設(shè)備、文化創(chuàng)意、個(gè)性化制造等領(lǐng)域大力推動(dòng)增材制造技術(shù)應(yīng)用,加快發(fā)展增材制造服務(wù)業(yè)。提高新材料基礎(chǔ)支撐能力順應(yīng)新材料高性能化、多功能化、綠色化發(fā)展趨勢,推動(dòng)特色資源新材料可持續(xù)發(fā)展,加強(qiáng)前沿材料布局,以戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)和重大工程建設(shè)需求為導(dǎo)向,優(yōu)化新材料產(chǎn)業(yè)化及應(yīng)用環(huán)境,加強(qiáng)新材料標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè),提高新材料應(yīng)用水平,推進(jìn)新材料融入高端制造供應(yīng)鏈。到2020年,力爭使若干新材料品種進(jìn)入全球供應(yīng)鏈,重大關(guān)鍵材料自給率達(dá)到70%以上,初步實(shí)現(xiàn)我國從材料大國向材料強(qiáng)國的戰(zhàn)略性轉(zhuǎn)變。(一)推動(dòng)新材料產(chǎn)業(yè)提質(zhì)增效面向航空航天、軌道交通、電力電子、新能源汽車等產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求,擴(kuò)大高強(qiáng)輕合金、高性能纖維、特種合金、先進(jìn)無機(jī)非金屬材料、高品質(zhì)特殊鋼、新型顯示材料、動(dòng)力電池材料、綠色印刷材料等規(guī)?;瘧?yīng)用范圍,逐步進(jìn)入全球高端制造業(yè)采購體系。推動(dòng)優(yōu)勢新材料企業(yè)走出去,加強(qiáng)與國內(nèi)外知名高端制造企業(yè)的供應(yīng)鏈協(xié)作,開展研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)貿(mào)易、標(biāo)準(zhǔn)制定等全方位合作。提高新材料附加值,打造新材料品牌,增強(qiáng)國際競爭力。建立新材料技術(shù)成熟度評價(jià)體系,研究建立新材料首批次應(yīng)用保險(xiǎn)補(bǔ)償機(jī)制。組建新材料性能測試評價(jià)中心。細(xì)化完善新材料產(chǎn)品統(tǒng)計(jì)分類。(二)以應(yīng)用為牽引構(gòu)建新材料標(biāo)準(zhǔn)體系圍繞新一代信息技術(shù)、高端裝備制造、節(jié)能環(huán)保等產(chǎn)業(yè)需求,加強(qiáng)新材料產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)與下游行業(yè)設(shè)計(jì)規(guī)范的銜接配套,加快制定重點(diǎn)新材料標(biāo)準(zhǔn),推動(dòng)修訂老舊標(biāo)準(zhǔn),強(qiáng)化現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)推廣應(yīng)用,加強(qiáng)前沿新材料標(biāo)準(zhǔn)預(yù)先研究,提前布局一批核心標(biāo)準(zhǔn)。加快新材料標(biāo)準(zhǔn)體系國際化進(jìn)程,推動(dòng)國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)向國際標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)化。(三)促進(jìn)特色資源新材料可持續(xù)發(fā)展推動(dòng)稀土、鎢鉬、釩鈦、鋰、石墨等特色資源高質(zhì)化利用,加強(qiáng)專用工藝和技術(shù)研發(fā),推進(jìn)共伴生礦資源平衡利用,支持建立專業(yè)化的特色資源新材料回收利用基地、礦物功能材料制造基地。在特色資源新材料開采、冶煉分離、深加工各環(huán)節(jié),推廣應(yīng)用智能化、綠色化生產(chǎn)設(shè)備與工藝。發(fā)展海洋生物來源的醫(yī)學(xué)組織工程材料、生物環(huán)境材料等新材料。(四)前瞻布局前沿新材料研發(fā)突破石墨烯產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用技術(shù),拓展納米材料在光電子、新能源、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域應(yīng)用范圍,開發(fā)智能材料、仿生材料、超材料、低成本增材制造材料和新型超導(dǎo)材料,加大空天、深海、深地等極端環(huán)境所需材料研發(fā)力度,形成一批具有廣泛帶動(dòng)性的創(chuàng)新成果。創(chuàng)新生物能源發(fā)展模式著力發(fā)展新一代生物質(zhì)液體和氣體燃料,開發(fā)高性能生物質(zhì)能源轉(zhuǎn)化系統(tǒng)解決方案,拓展生物能源應(yīng)用空間,力爭在發(fā)電、供氣、供熱、燃油等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)全面規(guī)模化應(yīng)用,生物能源利用技術(shù)和核心裝備技術(shù)達(dá)到世界先進(jìn)水平,形成較成熟的商業(yè)化市場。(一)促進(jìn)生物質(zhì)能源清潔應(yīng)用重點(diǎn)推進(jìn)高壽命、低電耗生物質(zhì)燃料成型設(shè)備、生物質(zhì)供熱鍋爐、分布式生物質(zhì)熱電聯(lián)產(chǎn)等關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備研發(fā),促進(jìn)生物質(zhì)成型燃料替代燃煤集中供熱、生物質(zhì)熱電聯(lián)產(chǎn)。按照因地制宜、就近生產(chǎn)消納原則,示范建設(shè)集中式規(guī)?;锶?xì)鈶?yīng)用工程,突破大型生物質(zhì)集中供氣原料處理、高效沼氣厭氧發(fā)酵等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸。探索建立多元、協(xié)同、共贏的市場化發(fā)展模式,鼓勵(lì)多產(chǎn)品綜合利用,為生產(chǎn)生活提供清潔優(yōu)質(zhì)能源。(二)推進(jìn)先進(jìn)生物液體燃料產(chǎn)業(yè)化重點(diǎn)突破高效低成本的生物質(zhì)液體燃料原料處理和制備技術(shù)瓶頸,建設(shè)萬噸級生物質(zhì)制備液體燃料及多產(chǎn)品聯(lián)產(chǎn)綜合利用示范工程。完善原料供應(yīng)體系,有序發(fā)展生物柴油。推進(jìn)油藻生物柴油、生物航空燃料等前沿技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。六氟化鎢的市場規(guī)模、供需情況六氟化鎢主要應(yīng)用在集成電路制造領(lǐng)域,因其優(yōu)良的電性能,廣泛使用在化學(xué)氣相沉積工藝中,通過沉積和堆疊制成大規(guī)模集成電路中的導(dǎo)電膜和金屬配線材料。沉積氣體、刻蝕和清洗氣體是半導(dǎo)體制造中用量最大的兩類氣體,沉積和清洗也是聯(lián)系最為緊密的工藝步驟,六氟化鎢作為高性能的沉積材料,其供需變化趨勢與三氟化氮相似。隨著集成電路工藝的不斷迭代,特別是3DD層數(shù)的不斷增加,對六氟化鎢產(chǎn)品的需求也與日俱增。根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù),2020年六氟化鎢全球總需求約4,620噸,預(yù)計(jì)2025年全球需求增長至8,901噸左右,增長空間將近1倍,年均增速達(dá)到14%。根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù),2021年全球六氟化鎢需求為5,675噸,而全球供給達(dá)到6,497噸,總體供給大于需求;未來全球六氟化鎢需求快速增長,與供給的差額逐漸縮小。預(yù)計(jì)至2025年,全球六氟化鎢的需求量將超過供給。深入推進(jìn)資源循環(huán)利用樹立節(jié)約集約循環(huán)利用的資源觀,大力推動(dòng)共伴生礦和尾礦綜合利用、城市礦產(chǎn)開發(fā)、農(nóng)林廢棄物回收利用和新品種廢棄物回收利用,發(fā)展再制造產(chǎn)業(yè),完善資源循環(huán)利用基礎(chǔ)設(shè)施,提高政策保障水平,推動(dòng)資源循環(huán)利用產(chǎn)業(yè)發(fā)展壯大。到2020年,力爭當(dāng)年替代原生資源13億噸,資源循環(huán)利用產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值規(guī)模達(dá)到3萬億元。(一)大力推動(dòng)大宗固體廢棄物和尾礦綜合利用推動(dòng)冶金渣、化工渣、赤泥、磷石膏等產(chǎn)業(yè)廢棄物綜合利用,推廣一批先進(jìn)適用技術(shù)與裝備,加強(qiáng)對工業(yè)固體廢棄物中戰(zhàn)略性稀貴金屬的回收利用。研發(fā)尾礦深度加工和綜合利用技術(shù),促進(jìn)尾礦中伴生有價(jià)元素回收和高技術(shù)含量尾礦產(chǎn)品開發(fā),提高尾礦綜合利用經(jīng)濟(jì)性。研發(fā)復(fù)雜多金屬尾礦選冶聯(lián)合關(guān)鍵技術(shù)與裝備、清潔無害化綜合利用關(guān)鍵技術(shù),研發(fā)單套設(shè)備處理能力達(dá)到每年100—500萬噸的尾礦高效濃縮及充填料制備、輸送、充填成套工藝技術(shù)。開發(fā)低品位鈦渣優(yōu)化提質(zhì)技術(shù),提高釩鈦磁鐵礦資源綜合利用率。(二)促進(jìn)城市礦產(chǎn)開發(fā)和低值廢棄物利用提高廢棄電器電子產(chǎn)品、報(bào)廢汽車拆解利用技術(shù)裝備水平,促進(jìn)廢有色金屬、廢塑料加工利用集聚化規(guī)?;l(fā)展。加快建設(shè)城市餐廚廢棄物、建筑垃圾和廢舊紡織品等資源化、無害化處理系統(tǒng),協(xié)同發(fā)揮各類固體廢棄物處理設(shè)施作用,打造城市低值廢棄物協(xié)同處理基地。落實(shí)土地、財(cái)稅等相關(guān)優(yōu)惠政策。完善再生資源回收利用基礎(chǔ)設(shè)施,支持現(xiàn)有再生資源回收集散地升級改造。(三)加強(qiáng)農(nóng)林廢棄物回收利用基本實(shí)現(xiàn)畜禽糞便、殘膜、農(nóng)作物秸稈、林業(yè)三剩物等農(nóng)林廢棄物資源化利用。推廣秸稈腐熟還田技術(shù),支持秸稈代木、纖維原料、清潔制漿、生物質(zhì)能、商品有機(jī)肥等新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。鼓勵(lì)利用畜禽糞便、秸稈等多種農(nóng)林廢棄物,因地制宜實(shí)施農(nóng)村戶用沼氣和集中供沼氣工程。推廣應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)地膜,引導(dǎo)回收廢舊地膜和使用可降解地膜。鼓勵(lì)利用林業(yè)廢棄物建設(shè)熱、電、油、藥等生物質(zhì)聯(lián)產(chǎn)項(xiàng)目。積極開發(fā)農(nóng)林廢棄物超低排放焚燒技術(shù)。(四)積極開展新品種廢棄物循環(huán)利用開展新品種廢棄物回收利用體系示范,推動(dòng)廢棄太陽能電池、廢舊動(dòng)力蓄電池、廢碳纖維材料、廢節(jié)能燈等新型廢棄物回收利用,推廣稀貴金屬高效富集與清潔回收利用、電動(dòng)汽車動(dòng)力蓄電池梯級利用等。支持碳捕集、利用和封存技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用,發(fā)展碳循環(huán)產(chǎn)業(yè)。(五)大力推動(dòng)海水資源綜合利用加快海水淡化及利用技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,提高核心材料和關(guān)鍵裝備的可靠性、先進(jìn)性和配套能力。推動(dòng)建設(shè)集聚發(fā)展的海水淡化裝備制造基地。開展海水資源化利用示范工程建設(shè),推進(jìn)大型海水淡化工程總包與服務(wù)。開展海水淡化試點(diǎn)示范,鼓勵(lì)生產(chǎn)海水淡化桶裝水,推進(jìn)海水淡化水依法進(jìn)入市政供水管網(wǎng)。推進(jìn)海水冷卻技術(shù)在沿海高用水行業(yè)規(guī)?;瘧?yīng)用。加快從海水中提取鉀、溴、鎂等產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)高值化利用。(六)發(fā)展再制造產(chǎn)業(yè)加強(qiáng)機(jī)械產(chǎn)品再制造無損檢測、綠色高效清洗、自動(dòng)化表面與體積修復(fù)等技術(shù)攻關(guān)和裝備研發(fā),加快產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。組織實(shí)施再制造技術(shù)工藝應(yīng)用示范,推進(jìn)再制造納米電刷鍍技術(shù)裝備、電弧噴涂等成熟表面工程裝備示范應(yīng)用。開展發(fā)動(dòng)機(jī)、盾構(gòu)機(jī)等高值零部件再制造。建立再制造舊件溯源及產(chǎn)品追蹤信息系統(tǒng),促進(jìn)再制造產(chǎn)業(yè)規(guī)范發(fā)展。(七)健全資源循環(huán)利用產(chǎn)業(yè)體系推動(dòng)物聯(lián)網(wǎng)電子監(jiān)管技術(shù)在危險(xiǎn)廢棄物、電子廢棄物利用處置等領(lǐng)域應(yīng)用,支持再生資源企業(yè)建立線上線下融合的回收網(wǎng)絡(luò)。統(tǒng)籌國內(nèi)外再生資源利用,加強(qiáng)生活垃圾分類回收與再生資源回收的銜接。建設(shè)資源循環(huán)利用第三方服務(wù)體系,鼓勵(lì)通過合同管理方式,提供廢棄物管理、回收、再生加工、循環(huán)利用的整體解決方案。全面落實(shí)生產(chǎn)者責(zé)任延伸制度,鼓勵(lì)使用再生產(chǎn)品和原料。建立健全覆蓋固體廢棄物、危險(xiǎn)廢棄物、再生產(chǎn)品、污染物控制等方面的標(biāo)準(zhǔn)體系。電子特種氣體市場概況(一)電子特種氣體簡介電子氣體包括大宗電子氣體和電子特種氣體,是集成電路、顯示面板、半導(dǎo)體照明、光伏等行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性材料,是集成電路制造的第二大制造材料,僅次于硅片,占晶圓制造成本的13%。電子特種氣體主要應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié),主要分為三氟化氮等清洗氣體、六氟化鎢等金屬氣相沉積氣體等。(二)電子特種氣體下游應(yīng)用領(lǐng)域電子特種氣體下游
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