真空的獲得與測(cè)量

====Word====Word行業(yè)資料分享-可編輯版本-雙擊可刪====圖圖2"3藝電偶真空暗培樹闔匣示意固::Word行業(yè)資料分享一一可編輯版本一一雙擊可刪====::Word行業(yè)資料分享-可編輯版本-雙擊可刪====真空的獲得與測(cè)量目的要求了解真空獲得與測(cè)量的方法原理。2.熟悉高真空機(jī)組和復(fù)合真空計(jì)的結(jié)構(gòu)組成，掌握它們的性能及操作方法。了解抽氣過程中真空容器內(nèi)壓強(qiáng)隨抽氣時(shí)間的變化。學(xué)會(huì)用高頻火花探漏器檢漏，并進(jìn)行預(yù)真空的粗略估計(jì)。引言低于一個(gè)大氣壓的氣體存在狀態(tài)稱為真空狀態(tài),真空程度簡(jiǎn)稱真空度。某空間真空度愈高，意味著其間壓強(qiáng)愈低，氣體分子密度愈小。真空度以壓強(qiáng)為計(jì)量單位（Pa）。1Pa=9.86926x10-7atm，7.5x10-3mmHg根據(jù)不同壓強(qiáng)下氣體的不同性質(zhì)及使用方便，通常將真空范圍劃分為5段（如下表）。真空范圍粗真空真空范圍粗真空低真空P(Pa)1。5〉p>103103…p>10-1咼真空超咼真空極咼真空10-1>p>10-610-6>p>10-10p<10-10真空技術(shù)主要包括真空獲得、測(cè)量及檢漏。對(duì)于不同的真空范圍，分別采用不同的儀器設(shè)備。本實(shí)驗(yàn)用機(jī)械泵與擴(kuò)散泵串聯(lián)而成的高真空機(jī)組來獲得真空，由復(fù)合真空計(jì)測(cè)量被抽容器所能達(dá)到的真空度。高頻火花探漏器可用以判斷非金屬部件是否漏氣，并可粗略地估計(jì)定的真空范圍。原理及儀器設(shè)備壓強(qiáng)差是造成氣體在管道內(nèi)定向流動(dòng)的原因，而且氣體總是從高壓強(qiáng)端流向低壓強(qiáng)端。在真空系統(tǒng)中，真空泵的作用正是如此。它使被抽容器出口至泵進(jìn)氣口的連接管道兩端造成壓強(qiáng)差。使容器中的氣體分子不斷減少，從而獲得真空。（一）真空的獲得獲得真空要用真空泵。它是應(yīng)用機(jī)械的、物理的或化學(xué)的方法制成為能夠達(dá)到抽氣目的的設(shè)備或元件。按其工作條件及作用，真空泵可分為兩大類：（1）能直接在大氣壓下工作的真空泵稱為前級(jí)泵（如：水噴射泵、機(jī)械泵、低溫吸附泵等），用以產(chǎn)生預(yù)備真空；（2）需在一定的前置真空條件下才能開始工作，以繼續(xù)提高真空度的真空泵稱為次級(jí)泵（如：擴(kuò)散泵、分子泵、吸氣劑鈦泵、鈦離子泵、冷凝泵等）。max真空泵主要有以下三個(gè)性能參量：①出口耐壓P——出口所能承受的最大壓強(qiáng)。max抽氣速率Sp="/dt）|p——在一定壓強(qiáng)下單位時(shí)間從被抽容器中抽除的氣體體積。③極限真空P——在規(guī)定的工作條件下，在不連接抽氣負(fù)載時(shí)，長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)抽氣所能抵達(dá)的最低壓強(qiáng)。1.機(jī)械泵本實(shí)驗(yàn)用于獲得低真空的設(shè)備是油封旋片式機(jī)械泵，作為前級(jí)泵使用。其結(jié)構(gòu)如圖29-1

所示。徑向開有槽的圓柱形轉(zhuǎn)子（1）偏心地安置在圓筒形定子（2）空腔之內(nèi)，并與定子空腔內(nèi)壁切于過D點(diǎn)的母線；一對(duì)旋片（3）可滑動(dòng)地嵌入轉(zhuǎn)子槽中，由于彈簧（4）的伸張作用，使（3）緊貼在（2）的內(nèi)壁上；排氣口（5）上設(shè)置一單向閥門（6）,以防排出的氣體再度進(jìn)入泵腔。旋片將定子空腔分成三個(gè)部分：（A）吸氣空間，（B）封閉空間，及（C）排氣空間；當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，A室體積增大、壓強(qiáng)降低，于是，被抽容器內(nèi)的氣體由進(jìn)氣管流入泵腔；B室原已吸入的氣體被封閉在其內(nèi)；而C室則因體積減小、壓力增大而最終頂開排氣閥門，將氣體排出泵外。為了潤(rùn)滑并封閉摩擦面，排氣閥及其下部的泵體空腔用密封油密封，密封油置于油箱（7）內(nèi)。油面咼度由油標(biāo)（8）圖29T座片式機(jī)糊^結(jié)利示宜田指示。機(jī)械泵的密封油即機(jī)械泵油，它是一種礦物油，要求在泵的工作溫度下有較小的飽和蒸汽壓（20C時(shí)約為10-3Pa）及合適的粘度。另外，機(jī)械泵油還有對(duì)泵芯降溫的作用。機(jī)械泵的極限真空受到下述因素的影響：油的飽和蒸汽壓，被抽氣體在泵油中的溶解及解吸，D至排氣口之間的“死空間”，滑動(dòng)密封面的微漏及泵壁本身的放氣等，因而它被限制在5x10-2Pa。本實(shí)驗(yàn)所用機(jī)械泵抽速為4x10-3m3s-i或8x10-3m3s-i。機(jī)械泵的出口耐壓略大于大氣壓強(qiáng)，因而可以作為前級(jí)泵（輔泵）使用。使用機(jī)械泵時(shí)應(yīng)注意：應(yīng)經(jīng)常保持油位在油標(biāo)線附近，以保持其良好的密封性。開啟機(jī)械泵時(shí)，應(yīng)保證電源之三相均有良好的電接觸，應(yīng)使轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)方向與箭頭方向一致（順時(shí)針），不得反轉(zhuǎn)！保持泵內(nèi)清潔，防止異物落入。泵運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，操作者不得離開，一旦電源發(fā)生故障應(yīng)及時(shí)處理。機(jī)械泵停止工作時(shí)，必須保持其進(jìn)氣口與大氣相通，防止返油事故的發(fā)生!@29-2油擴(kuò)散泵結(jié)衿原理示意2.擴(kuò)散泵@29-2油擴(kuò)散泵結(jié)衿原理示意本實(shí)驗(yàn)用于獲得高真空的設(shè)備是金屬油擴(kuò)散泵，作為次級(jí)泵使用，其結(jié)構(gòu)如圖29-2所示。當(dāng)機(jī)械泵的極限真空度不能滿足要求時(shí)，通常串聯(lián)擴(kuò)散泵以獲得高度真空。它主要由泵體、泵芯、加熱器（電爐）（5）及前級(jí)擋板（7）組成。泵體包括泵筒（3）、泵底（油鍋）（4）、冷卻水套（1）及排氣管道。泵芯是擴(kuò)散泵的核心部分，包括各級(jí)蒸氣導(dǎo)管（2）、各級(jí)噴口（6、8-10）及擋油帽（11）。開啟擴(kuò)散泵（即對(duì)擴(kuò)散泵油加熱）之前，必須先由機(jī)械泵將其抽至P<5Pa的預(yù)備真空。當(dāng)擴(kuò)散泵油在預(yù)真空條件下被加熱至200°C左右時(shí)，油即沸騰，產(chǎn)生大量的油蒸汽。油蒸汽經(jīng)過導(dǎo)管在各級(jí)噴口處獲得200?300m-s-i的高速定向射流，沿箭頭所示方向噴出。

被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)，因蒸汽射流中被抽氣體的分壓幾乎為零，所以被抽氣體就會(huì)向 蒸汽射流中擴(kuò)散。又因油蒸汽的分子量為空氣分子的幾十倍，而其定向速度又可與氣體分子 的熱運(yùn)動(dòng)速度相比擬，所以，被抽氣體擴(kuò)散并與油蒸汽分子碰撞的結(jié)果，必將被高速蒸汽射 流所裹挾，一齊飛向泵壁。油分子在泵壁冷凝，沿泵壁流回油鍋循環(huán)使用；而氣體分子被釋 放出來并繼續(xù)向下一級(jí)擴(kuò)散；如此，氣體被逐級(jí)壓縮到排氣口處，最終被前置機(jī)械泵抽走。擴(kuò)散泵的出口耐壓在lOPa數(shù)量級(jí)，即需要一定的預(yù)備真空條件，因而被稱之為次級(jí)泵（主泵）。若超過此壓強(qiáng)極限，大量氣體分子將突破末級(jí)噴口所噴出蒸汽射流的阻擋層，甚至反向擴(kuò)散到泵的入口端，完全破壞其正常工作條件。另外，壓強(qiáng)過高，各級(jí)噴口的定向蒸汽射流均不能形成，而且泵油也會(huì)因氧氣的大量存在而迅速氧化變質(zhì)。所以，一般規(guī)定擴(kuò)散 泵的前置真空條件為5?7Pa,遠(yuǎn)低于其出口耐壓是完全合理的。 擴(kuò)散泵的抽氣速率因其入口直徑而異。由于高壓強(qiáng)下蒸汽射流的不穩(wěn)定，及低壓下氣體 的反向擴(kuò)散，所以，擴(kuò)散泵只能在1。-2Pa?10-4Pa范圍內(nèi)保持穩(wěn)定的抽速。本實(shí)驗(yàn)所用擴(kuò)散泵的抽速為0.8m3?s-i或1.5m3?s-i。 由于氣體分子及油分子反向擴(kuò)散的存在，使一般擴(kuò)散泵極限真空限制在1。-6Pa數(shù)量級(jí)（個(gè)別可達(dá)1。-8Pa數(shù)量級(jí)）。因?yàn)?，金屬?duì)泵油的熱裂解有催化作用，所以，金屬擴(kuò)散泵的 極限真空度不如玻璃擴(kuò)散泵，一般僅為5x10-5Pa。目前，廣泛采用274#及275#超高真空硅油，它們?cè)?0（時(shí)的飽和蒸汽壓很低，分別為10-7及10一8Pa數(shù)級(jí)量，這有利于提高擴(kuò)散泵的極限真空度。 使用擴(kuò)散泵時(shí)應(yīng)注意： 由流體連續(xù)性原理可知，其前置機(jī)械泵的抽速必須保證能夠及時(shí)排走擴(kuò)散泵所排出的氣體。若擴(kuò)散泵及機(jī)械泵入口壓強(qiáng)分別為〃及〃，抽速分別為s及s,則應(yīng)滿足DM DMpS=psoDDMM擴(kuò)散泵工作時(shí)，冷卻水必須暢通（流量約。.2?0.3m3.hr-i）,以確保泵壁的冷凝效果。 啟動(dòng)前，必須滿足擴(kuò)散泵的預(yù)真空條件：〃V7Pa。 擴(kuò)散泵的加熱功率應(yīng)適當(dāng)，否則，將影響其抽速及極限真空。本實(shí)驗(yàn)所用擴(kuò)散泵分別為1.5kW或2kW。 擴(kuò)散泵運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，如遇到漏氣、停電等，應(yīng)及時(shí)妥善處理，順序?yàn)椋宏P(guān)閉電離規(guī)管 燈絲，關(guān)斷高真空閥尸,切斷加熱電源，移開加熱電爐及強(qiáng)迫風(fēng)冷等。4 擴(kuò)散泵停止工作時(shí)，必須待油冷卻（＜60°C）約。.5hr?Ihr后方可關(guān)掉前級(jí)泵及冷卻水，但仍需保持一定的真空狀態(tài)。（二）真空的測(cè)量測(cè)量真空用真空計(jì)，它是測(cè)量真空系統(tǒng)中氣體壓強(qiáng)的儀器。真空計(jì)可分為絕對(duì)真空計(jì)（如：U形壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)等）和相對(duì)真 空計(jì)（如：電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)、電離真空計(jì)、放射真空計(jì)等） 兩類。相對(duì)真空計(jì)必須經(jīng)過校準(zhǔn)后方可使用。真空計(jì)的性能一般可用 測(cè)量范圍、靈敏度、壽命及響應(yīng)時(shí)間等指標(biāo)來衡量。本實(shí)驗(yàn)介紹一種常見的復(fù)合真空計(jì)。

1?復(fù)合真空計(jì) 復(fù)合真空計(jì)是由熱偶真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)組合而成。可測(cè)量103Pa?10-5Pa的真空度。（1） 熱電偶真空計(jì)熱電偶真空計(jì)由其探測(cè)規(guī)管及測(cè)量電路兩部分組成。如圖29-3所示。熱偶管由玻璃做外殼（5）,其內(nèi)一段“V”形加熱絲（2）通過很細(xì)的導(dǎo)熱絲（3）與一支“倒V”形熱電偶（4）的熱結(jié)點(diǎn)點(diǎn)焊在一起，由玻璃管徑（1）連接至真空系統(tǒng)。 熱電偶真空計(jì)測(cè)量真空的依據(jù)是：低壓強(qiáng)下，氣體的導(dǎo)熱系數(shù)與壓強(qiáng)成正比。若固定熱絲的加熱電流，則導(dǎo)熱絲（即熱結(jié)點(diǎn)）的溫度隨著規(guī)管內(nèi)真空度的提高而升高，熱電動(dòng)勢(shì)也隨之增大；因此，可以通過測(cè)量熱偶電動(dòng)勢(shì)來測(cè)定被測(cè)系統(tǒng)的真空度。因?yàn)樵谳^高壓強(qiáng)（〃>103Pa）下，氣體熱傳導(dǎo)與壓強(qiáng)無關(guān)；而在很低壓強(qiáng)（/?<10-iPa）下，由氣體導(dǎo) 走的熱量已經(jīng)很少，金屬引線及熱輻射導(dǎo)走的熱量遠(yuǎn)大于氣體的導(dǎo)熱；所以，熱電偶真空計(jì)的測(cè)量范圍被限制在1。3Pa?10-1Pa之間。由于在較低壓強(qiáng)下氣體導(dǎo)熱與壓強(qiáng)的關(guān)系是非線性的，所以，熱電偶真空計(jì)屬于非線性儀表。 欲在一定壓強(qiáng)下建立起一個(gè)穩(wěn)定的熱端溫度需要一定時(shí)間，因此，熱電偶真空計(jì)存在一定的熱滯后性，不易準(zhǔn)確測(cè)定迅速變化的壓強(qiáng)。（2） 熱陰極電離真空計(jì) 跆十4參囲嘏電鳶真空訂管電離真空計(jì)也由電離規(guī)管和測(cè)量電路兩部分組成，其結(jié)構(gòu)原理如圖29-4所示。電離規(guī)管實(shí)際上是一支三極管。燈絲“F”由電壓卩對(duì)其加熱至跆十4參囲嘏電鳶真空訂管 F左右，發(fā)射電子；電子在柵極“G”的（E=150-200V）正G電位的作用下被加速；由于螺旋形柵絲的間隙較大，使電子在其間來回穿梭，往返振蕩，最終被柵極捕獲，形成一定的平均電流/（發(fā)e射電流）。管內(nèi)氣體分子受到高速電子的碰撞而電離，生成的正離子在離子收集極“C”（氣=-30V）的負(fù)電位作用下，向收集極運(yùn) 動(dòng)并被捕獲，形成的正!I子流’通過/入平。、這一正離子流經(jīng)放大器放大后由卩A表測(cè)量。顯然，發(fā)射電流"）越大，管內(nèi)氣體分e子越多，離子流亦愈大，即：I=klp-其中，比例系數(shù)*稱為 +e規(guī)管靈敏度?？梢?，當(dāng)發(fā)射電流固定不變時(shí)，離子流與壓強(qiáng)成正比。熱陰極電離真空計(jì)就是根據(jù)這一關(guān)系測(cè)量真空度的。 當(dāng)氣體壓強(qiáng)較高時(shí)，電子與氣體分子碰撞頻繁，電離效率大為 降低，鴇絲發(fā)射電子的能力也大大降低，甚至使燈絲很快氧化燒斷；因此，其壓強(qiáng)測(cè)量上限被限制在10-1Pao另外，電子轟擊柵極產(chǎn)生的軟X射線照射到收集極上時(shí)，會(huì)產(chǎn)生光電子 發(fā)射。這個(gè)與氣體壓強(qiáng)無關(guān)的光電流本底約1。-9A；當(dāng)壓強(qiáng)低于10-5Pa時(shí)，光電流本底已不能忽略。因此，該規(guī)管的壓強(qiáng)測(cè)量下限又被限制在W-5Pao綜上，熱陰極電離真空計(jì)的測(cè)量范圍為：10-1-10-5Pao 本實(shí)驗(yàn)所用熱陰極電離真空計(jì)規(guī)管的靈敏度為0.2Pa-1,額定發(fā)射電流/=5mA。e復(fù)合真空計(jì)目前有多種型號(hào)，其使用方法請(qǐng)參考產(chǎn)品說明書。 注意事項(xiàng)（1） 熱電動(dòng)勢(shì)取決于熱端溫度與冷端溫度之差。熱偶冷端實(shí)為自由端，當(dāng)環(huán)境溫度 變化較大時(shí)，需對(duì)其額定電流重新校準(zhǔn)。方法如下：將熱偶管抽至高真空后，在“測(cè)量”擋::Word行業(yè)資料分享一一可編輯版本一一雙擊可刪====::Word行業(yè)資料分享一一可編輯版本一一雙擊可刪====將真空度指示調(diào)至10-iPa（對(duì)應(yīng)熱偶電動(dòng)勢(shì)為10mV）。然后撥至“加熱”擋，此時(shí)，電流表示值即為該熱偶規(guī)管的額定加熱電流。（2） 在熱偶規(guī)管內(nèi)，氣體導(dǎo)熱是它們與導(dǎo)熱絲碰撞的結(jié)果，與導(dǎo)熱絲的表面狀況有關(guān)系。因此，在實(shí)驗(yàn)中應(yīng)保持管內(nèi)清潔，一般情況下不在大氣壓下對(duì)熱絲加熱，及盡量減少油蒸汽污染等。（3） 熱偶規(guī)管是對(duì)電磁場(chǎng)的敏感元件，測(cè)量時(shí)應(yīng)避免外界電磁場(chǎng)的干擾。如：測(cè)量過程中不使高頻火花移近熱偶規(guī)管等。（4） 真空度低于10-iPa時(shí)，不得開啟電離規(guī)管燈絲開關(guān)！在用熱偶管測(cè)量低真空時(shí)，不得隨意撥弄電離計(jì)部分的其他任何旋鈕及開關(guān)！以防規(guī)管燈絲氧化燒斷。（5） 在不要求連續(xù)記錄真空度隨時(shí)間變化的場(chǎng)合，應(yīng)注意隨時(shí)關(guān)掉電離規(guī)管燈絲開關(guān)。尤其在真空度較低時(shí)更應(yīng)如此，這是因?yàn)闊艚z壽命：Tocl/po（三）.真空檢漏圖29-5高頻火花探漏器結(jié)枸原理示意圖圖29-5高頻火花探漏器結(jié)枸原理示意圖GHc-p型高頻火花探漏器結(jié)構(gòu)原理如圖29-5所示。按下電源開關(guān)k后，振動(dòng)線圈乙便產(chǎn)1生交變磁場(chǎng)，并吸放火花隙觸頭，使火花隙sc發(fā)生火花；由電容。及線圈乙組成的諧振回路選2頻，產(chǎn)生高頻電壓。再由高頻歩壓器的次級(jí)線圈乙3戸生咼頻咼壓；咼頻咼壓能使附近的空氣電昌，在放電簧DS尖端激起很強(qiáng)的紫色火花放電,火花束的強(qiáng)弱靠螺釘s以改變SC之間隙來調(diào)節(jié)。檢漏時(shí)，使放電簧靠近非金屬器壁1cm處，來回移動(dòng)尋找漏氣部位。若無漏氣，則火花束在器壁表面產(chǎn)生不規(guī)則的跳動(dòng)。若存在漏孔，則原來分散的火花變成很細(xì)的一束，且對(duì)準(zhǔn)漏孔往系統(tǒng)里鉆。乙醇、丙酮等也可以用來探查漏洞。當(dāng)涂抹它們的部位漏氣時(shí)，電離計(jì)指針即刻偏轉(zhuǎn)。當(dāng)系統(tǒng)真空度較低時(shí)，則可用高頻火花探漏器探查，發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)內(nèi)將出現(xiàn)此種蒸汽放電時(shí)的淡藍(lán)色輝光。由于高頻高壓能透過絕緣器壁，引起真空容器（或管道）內(nèi)低壓氣體的輝光放電,且放電顏色又因氣體種類及其壓強(qiáng)而發(fā)生變化（空氣在不同壓強(qiáng)下的發(fā)光顏色如下表所示）。壓強(qiáng)范圍（P）a發(fā)光顏色說明105?103不發(fā)光，但在管內(nèi)靠近玻璃壁的金屬零件上有光點(diǎn)壓強(qiáng)過高，不能產(chǎn)生氣體放電金屬表面因高頻感應(yīng)而放電103?5X102紫色條紋0,N在此壓強(qiáng)下的放電顏色?5?0.5…x102一片紫紅色（玫瑰色）50~5一片淡紅色5?0.5很淡的青白色H2O,，CO,CO2等的發(fā)光顏色0.5~0.1玻璃上有局部微光<10-1不發(fā)光，管內(nèi)金屬零件上亦無光點(diǎn)（玻璃壁可以有熒光）氣體分子密度小，放電甚微肉眼巳觀察不到因此，在只需粗略估計(jì)真空范圍的場(chǎng)合，高頻火花探漏器往往被當(dāng)作一種“真空測(cè)量工具”加以使用。因需通過放電顏色來判別，故此種方法僅適用于透明的絕緣器壁（如玻璃等）,或?qū)ＴO(shè)一盲管以備檢測(cè)。（四）.高真空機(jī)組簡(jiǎn)介由真空泵、真空計(jì)、真空閥門及冷阱等真空元件，通過真空連接管道，依照恰當(dāng)?shù)姆绞浇M合起來，能夠獲得一定真空度的裝置或設(shè)備，統(tǒng)稱真空系統(tǒng)。金屬真空系統(tǒng)又稱真空機(jī)組。真空閥門是用以打開或截?cái)嗄硽饬魍返拈_關(guān)元件。冷阱是以冷凝劑造成冷壁，以捕集有害氣體，提高真空度或保持真空室清潔的元件。 本實(shí)驗(yàn)米用Jk-9或Jk-200A兩種型號(hào)的高真空機(jī)組。二者僅抽氣速率不同，結(jié)構(gòu)組成及其他性能均相同，如圖29-6所示。其中，P、P分別為機(jī)械泵及擴(kuò)散泵；G、G為熱TOC\o"1-5"\h\z2 1 2圖29-6 真空機(jī)組偶規(guī)管；G用以監(jiān)視擴(kuò)散泵的預(yù)真空；G及電離規(guī)管G用以測(cè)量被抽容器V的真空度；1 2 3 2F為充氣閥；F為電磁三通閥，機(jī)械泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)自動(dòng)至（a）向，對(duì)系統(tǒng)抽氣；停止工作時(shí)又1 2自動(dòng)至（b）向，機(jī)械泵入口通大氣，以防止返油；F為拉桿式三通閥，推進(jìn)閥桿至（a）3向，可使機(jī)械泵與擴(kuò)散泵串通，拉出閥桿至（b）向，使機(jī)械泵直接串通被抽容器卩；F為4高真空閥，可使被抽容器與擴(kuò)散泵接通或隔離；V為儲(chǔ)氣桶，當(dāng)機(jī)械泵需要停歇時(shí)，擴(kuò)散泵1排出的氣體可以暫時(shí)儲(chǔ)存在其中；I及/等為真空連接管道。1 2操作步驟（1）一般情況下，機(jī)組應(yīng)長(zhǎng)期保持低真空，此時(shí)欲使機(jī)組運(yùn)轉(zhuǎn)，步驟如下：開機(jī)準(zhǔn)備：F關(guān)閉，F(xiàn)打開，卩處（a）位置（即閥桿推進(jìn)）；1 4 3接通機(jī)械泵電源，用熱偶計(jì)規(guī)管G測(cè)預(yù)真空；1p<5Pa時(shí)，接通冷卻水、擴(kuò)散泵電爐電源，記下時(shí)間；并改用G規(guī)管測(cè)量V之真2 2空度；約30分鐘后，即當(dāng)/?<10-iPa時(shí)，打開電離規(guī)管燈絲預(yù)熱，并測(cè)量真空度；若真空度不能在預(yù)期時(shí)間內(nèi)到達(dá)，應(yīng)以高頻火花探漏器或配合滴抹乙醇、丙醇等方法檢漏；====Word====Word行業(yè)資料分享-可編輯版本-雙擊可刪====::Word行業(yè)資料分享-可編輯版本-雙擊可刪==== p,5X10-3Pa時(shí)，對(duì)電離規(guī)管柵極去氣；直至抽到可以進(jìn)行真空工作所要求的真空度，或至機(jī)組的極限真空。*（2）當(dāng)擴(kuò)散泵連續(xù)工作，而被抽容器又需暴露大氣時(shí)，應(yīng)繼續(xù)如下步驟： 關(guān)閉電離規(guī)管燈絲開關(guān)及高真空閥F，改用G規(guī)管測(cè)真空，以監(jiān)視擴(kuò)散泵的出口壓4 1強(qiáng)；拉出F之閥桿，使處（b）位置，切斷機(jī)械泵電源； 3打開充氣閥F，對(duì)被抽容器充氣（不應(yīng)影響熱偶規(guī)管G之指示，如有影響，則說明F 1 1 3密封不嚴(yán)，此時(shí)不能進(jìn)行此項(xiàng)操作!），打開被抽容器進(jìn)行必要的操作； 操作完畢后，恢復(fù)其密封狀態(tài)，并關(guān)閉閥耳；接通機(jī)械泵電源，改以G管測(cè)預(yù)真空；2 p,5Pa后，將F之閥桿推進(jìn)，使處（a）位置，同時(shí)打開高真空閥F；4 約待2~3分鐘，p,10-1Pa后，以電離真空計(jì)測(cè)量高真空。 （3）工作結(jié)束時(shí)，停機(jī)步驟如下： 先關(guān)斷復(fù)合真空計(jì)電源，再關(guān)閉高真空閥F，最后切斷擴(kuò)散泵電爐電源；4待擴(kuò)散泵冷卻0.5?1hr后（表面至60°C以下），切斷機(jī)械泵電源，關(guān)掉冷卻水。停 機(jī)械泵時(shí)應(yīng)注意電磁閥F是否動(dòng)作（即自動(dòng)使機(jī)械泵進(jìn)口通大氣）！2四.實(shí)驗(yàn)內(nèi)容 本實(shí)驗(yàn)任務(wù)較重，內(nèi)容涉及面較廣，宜安排兩次完成。第一次：主要熟悉實(shí)驗(yàn)儀器，進(jìn)行低真空的獲得與測(cè)量；練習(xí)檢漏，及用火花探漏器估計(jì)真空度。具體如下：在教師指導(dǎo)下，拆開一臺(tái)機(jī)械泵和擴(kuò)散泵，通過拆卸、觀察與安裝，了解結(jié)構(gòu)及原 理，進(jìn)一步了解其使用注意事項(xiàng)。 對(duì)照?qǐng)D29-6及實(shí)物熟悉高真空機(jī)組，辨認(rèn)各真空元件，熟悉氣流通路，了解各元件的作用。 .在不開總電源開關(guān)的情況下，參照說明書熟悉復(fù)合真空計(jì)各開關(guān)、旋鈕的作用及使用方法。 .獲得并測(cè)量低真空，測(cè)出連接有負(fù)載（擴(kuò)散泵、儲(chǔ)氣桶等）時(shí)機(jī)械泵的極限真空度。 在充氣閥進(jìn)氣管上通過真空橡皮管連接一支存在漏孔的盲玻璃管，打開閥耳，練習(xí) 真空檢漏方法。 關(guān)閉閥耳，以高頻火花探漏器估計(jì)真空度，并與熱偶計(jì)所測(cè)結(jié)果比較。實(shí)驗(yàn)中應(yīng)注意：①不要打開電離規(guī)管燈絲開關(guān)?、陂_啟機(jī)械泵時(shí)應(yīng)注意電磁三通閥F是 2否吸合，即自動(dòng)由（b）位置轉(zhuǎn)至（a）位置。若不動(dòng)作，應(yīng)立即切斷電源，并及時(shí)找指導(dǎo) 教師排除。③實(shí)驗(yàn)結(jié)束時(shí)，應(yīng)使復(fù)合真空計(jì)與真空機(jī)組都恢復(fù)到原來狀態(tài)。④停機(jī)械泵時(shí)應(yīng) 注意電磁閥F