制絨清洗工藝文件

江西天能電力股份火文件凈名稱屆：忠15邁6多弱晶硅旅片絨倒面制長備工伍藝追文件款編號笑：樓版本企：T降NS城C-蜻01語:押編制壟部門塘：技海術(shù)部選生效鑰日期昏：魂頁數(shù)坑：烈1.遞標(biāo)題建15傘6m喚m*哪15管6m職m多希晶硅辱片絨族面制垂備和染清洗諸甩干迫工藝療。頃2葉.目刻的擱2勝.1釀清洗決多晶喬硅片嚴(yán)表面您油污稀和照損傷暫層訂、約氧化被層尸的矛去除借。色2財.2眾在熔多晶咽硅片伐表面騙制備燈一個冰反射糊率饑較低否的織握構(gòu)表鋪面。早3泊.糠適用煌范圍幼適用斜于盆無錫自市瑞裹能科垮技有彼限公凝司傷DU益ZQ購J-糞90默00千型盆多晶民硅呢制絨也清洗怒機及寬QS盟J-頂0平3籮型衰清洗廊甩干啊機。芽多晶模硅襲片蛾絨面成制備摟(硅武片型見號：梁15還6m舒m*高15臭6m倍m)會4倦.雞定義左多晶寄硅在園去清撐洗腐鈔蝕后菊，目羽視硅萍片表省面呈羅均勻老的灰導(dǎo)黑色磁，沒牛有明財顯的紅斑點叔，多話晶晶削界不幅明顯自。顯斑微鏡姓下，善絨面吧形貌剩均勻居，硅訪片表膜面無醒明顯倉臺階卸。娘5綠.傍職責(zé)柱5被.1劈所有回操作狂人員坦都必瀉須嚴(yán)趕格按猴照奸本妹文件守進(jìn)行懼操作柱；稻5噴.2升在操態(tài)作過菊程中通遇到株問題陳應(yīng)及抵時向獵相關(guān)鞭技術(shù)豆人員追反應(yīng)教，相制關(guān)薄技術(shù)輛員肝及時醒提供銅幫助軟。然6尸.曉內(nèi)容般6令.1愧插片五6杠.1憲.1防主要爪原材銅料：蔥合格濁的多監(jiān)晶硅區(qū)片醉6男.1握.驅(qū)2悲工裝糾、設(shè)喘備：役片架鬼（小點花藍(lán)奏）旁清洗然花籃鋪美工恭刀吊6救.1慚.促3齡工藝裹過程腰6數(shù).1烏.3啦.1補穿戴睜好工頸作服菠、工阿作帽資、口浴罩和妻一次鉗性手細(xì)套。層6商.1俱.3閘.2毀準(zhǔn)備忠好原片架刮、兔裝片雙記錄虎表以汗及工鐘序流郵程卡芳。挽6基.1婆.3握.3絨查看弄配料替單，娘確認(rèn)但原材凳料信有息以涂及數(shù)指量，勉并填季寫裝狼片記灣錄和嫂工序炸流程舌卡。沿6六.1濕.3喘.4悠檢查疫硅片皂包裝攻箱確鵲認(rèn)包堪裝無既撞擊要破損踢后打授開，堅取出趨硅片蹈包裝尸盒，書在裝屠片記高錄上劑記錄驢相關(guān)受信息授。腿6毀.1查.復(fù)3雞.5暗打開奸硅片草包裝赤盒，搜從中筆抽取傷一片疑，按消照檢奶驗標(biāo)蛙準(zhǔn)分膚別檢啊查其笨外觀喉。柳6化.1渣.辮3但.6屋取出錦包裝蒜盒內(nèi)兆的硅咬片，怠并攆輔成扇撓形輕壩輕插走入片陸架內(nèi)但?？s6服.1信.侮3嗎.7任將裝播好硅奔片的扭片架擾分批脅按順也序整沾齊擺退放在董臺面屢上，最并將密工序哥流程流卡記池錄準(zhǔn)脂確。戀6踏.1令.3覺.8證將片腿架放玻入清稈洗花勝籃中敘每個阻清洗桿花籃肚中放感置緩3濕×圖4個磚插片踩后坑的片毫架。陸準(zhǔn)備騎下一眾步腐姨蝕清冬洗。宣6茅.1割.3冬.8哭注意恒事項決1.蔥每個窮片架比最多射可以鵲插片倒25迅片。冤插片鋪過程軋中對門硅片鑄進(jìn)行文檢驗櫻，不協(xié)合格臂硅片旁挑出搞。符每裝布10易0片帖硅片嬌需要浙更換縮一次破手套盈，如奶裝片選過程覆中手衫套破主損需禾及時教更換古。瀉2.碼插片孫處打時開包簡裝箱面拿取言硅片殊時，惱遵循愈少量到多次尿的原罩則，每不允子許一急次拿毀過量過的硅閉片。俱3.頂插片癢時，漂手中榨拿的禽硅片池數(shù)量賣在5四0-悶10逢0片絲。慰4.樣確保腹沒有沖缺陷桂片流你出。鋸5.職確認(rèn)降在單笑個片毫槽內(nèi)貓沒有備雙片壇現(xiàn)象洋；各擴(kuò)項數(shù)藥據(jù)的寇準(zhǔn)確可性和暖完整蹄性。過濟(jì)裝片乖過程正中需猶及時層將碎捆片、包裂紋及片以凍及其肚它與太檢驗蠶標(biāo)準(zhǔn)譜不或相符設(shè)合的幸硅片竊挑出幣，并滿做好墾記錄宴。僵6童.2罪腐蝕乏清洗池6線.2默.1鋤開機究打開婦氮氣何閥門搏、姑壓縮州空氣機閥門活、葵純水賭閥門降，打客開總鐮電源愛→裳PL往C電饅源糧→母各分紀(jì)電源押6咐.2碼.2駐準(zhǔn)備乒工作甚6竟.2網(wǎng).2綿.1肯確認(rèn)竟各機旦械手節(jié)是否調(diào)在原稱點位轟置。比6乘.2濟(jì).2攪.2援確認(rèn)匹各槽夾清洗期狀態(tài)誘正常記，各鬧槽內(nèi)夢按工遭藝條士件正哥確配位液，強見謎《莫清洗盼配液仗作業(yè)煤指導(dǎo)喪書》壓。匆6順.2絹.恐2街.3尼確認(rèn)詠各槽蝕排水社閥關(guān)章閉，備無漏命液等飛，各荒槽內(nèi)勒注入面規(guī)定蠟的溶墨液勁。急6植.2礙.2脫.4致確認(rèn)娘各槽德控制老系統(tǒng)艦工作逝正常守，程慰序準(zhǔn)諒確，嘴參數(shù)檢設(shè)定態(tài)準(zhǔn)確湊。茫6揀.2讀.江2較.5漢點檢蝶各設(shè)送備動倡力參振數(shù)在剩規(guī)定偉范圍完內(nèi)燙。培6置.2封.言3令關(guān)機艷6已.2爺.2欲.1華關(guān)機汽前先刺把水腫及藥愿液完努全排擇出（復(fù)各槽惠逐個襲排液予，防姑止副何槽水飼溢流跟），信把機重械手針打回擦原點乘。智6沫.2塑.2處.2鳴關(guān)閉壯各分膏電源流→晶PL炕C電總源肌→次總電登源乓→盲氮氣雹、談壓縮努空氣墻、工純水憑閥。躍6.洞2.夕4析工藝菜過程搜酸腐丘蝕制熟絨：乒8預(yù)槽清犁洗機繞中的獵第1拋槽，西工作與溫度砌7份℃±達(dá)1評℃損，時縱間班12伐0刑±可10敗se霞c尚（時培間長辱短根哀據(jù)硅葛片減乓薄量青控制漆，憲15窄6怠硅片配減薄四量顏控制保在每動片基0.潛40撓～稻0.第55肉g竭。湯漂洗姥/噴炮淋：緩8槽和清洗頓機中猛的第跌2槽串，母水洗子槽李齊時間依2～鑒5想m求in覺。械KO訴H堿稠洗：潔8槽烈清洗慈機中股的第炸3槽摔，喘KO扮H百姑分濃甩度2銷.4濃%，陰時間廟6～荒12紫se飾c。吐漂洗擔(dān)：訴8槽捆清洗懂機中老的第燈4槽唯，呼水洗徒槽鬧壽時間抄2反～寺4允se店c辣。功HC嘗l淺酸洗若：壁8槽齒清洗英機中餡的第嚷5槽財，蓬HC村l膝＋H愉F工百分渣濃度沸5～偶10紅%，址時間已2慘～序4擊se拉c水。噴漂洗段：竄8槽辟清洗介機中旅的第浩6、脆7槽薯，嫂漂洗肢槽迎時晃間2筒～結(jié)4輩se借c盆。桌噴淋胞：推8槽毯清洗寬機中顫的第方8槽賞，瞧噴淋珠槽逝笛時間住1飄～漁3親se健c匪。脖6.材2.致5伐工藝澤說明岡6.殲2.謝5煉.1讀表面繩絨面神均勻編、無慌亮塊洽、無鈔白斑獅（干孤燥硅接片在尚日光鴨燈或桿聚光傭燈下糾檢查茫）。蓄6.持2.陣5暢.2現(xiàn)去除矮厚度豪要求液：死硅片靠腐蝕番去除欄厚度素范圍閑7.繪7～嗓9.坊4圣μ屯m，蘿以翁8～扔9.新1杯μ如m（析0.姓47紗～0洲.5靠3裙g/潮片贊）為暑宜套。沒豈6.電2.矛5帆.3變工藝屠條件低見灶附表拆2丈6.抽2.掃5寶.4她八拾槽清猜洗機就的1固、3揭、5泄槽需妖要經(jīng)形常補標(biāo)液，夾補液裕有豐消耗扁性補依液和雄液面釋高度矮不足團(tuán)補液哀兩種芳綱脖偉6.女清洗脫工序貸制絨餐質(zhì)量存異常虹處理暴見侵附表杯3洲粘忠捎7.鄙硅片孕去除超厚度叢及重費量與崇消耗片HN枕O3哥之間肢的關(guān)蝴系見租附表悅5安8.刮4.臉1匪超聲痛清洗肝工藝儉條件嶺見附秒表臣1限補液等前清議洗補閑液慶1仿蜂制裝絨補備液：冊1-盾1終消耗伏性補衫液：貼1-浴1-病1壞補液燙配方淹：趙硝酸始:氫秩氟酸嗎＝1孝:2悔.3兔5（棍體積脅比）須，即影10貍升硝燦酸加朗23睜.5和升氫禿氟酸欣1-頂1-充2泊制絨攀補液沈時間佩和量序：抄每做武30咳0具片址15俗6犬硅片飼后補攪液一侄次，督1.緒61逆L拾；耽或者心加入瘦硝酸鋸0.石48膀L筍和氫積氟酸謎1.返13贏L救。嫂液面選高度購不足你補液疑：衫液面秘不足宿時添嚷加原騙始制盈絨液抄，即柜硝酸格:氫要氟酸殺:聯(lián)水＝慚5:著1:剖3.索4沙（體斧積比興）城1-森3槳槽液咬壽命遣：啟1硬萬片戀（暫俯定）狐2距KO祥H掠補液郊：寨配方休：孫45雷%K另OH閘補液扯時間齡和量播：每兼做慶20折00面片補籮液一劃次，蛾每次慕加入頑0.卻2升嚷45徒%K決O絲H。往槽液紗壽命辟：山1頭萬片沿（暫失定）機3縮HC遣l敞補液響：便配方筐：寒37海%掘鹽酸背補液睛時間疫和量頸：每鄉(xiāng)做勝20衣00默片補搞液一復(fù)次，罷每次篇加入脖1升絕37準(zhǔn)%躁鹽酸醫(yī)。倒槽液青壽命島：尼1滋萬片惜（暫必定）見后清握洗補淋液販配方迫：稍49還%久氫氟瘦酸墊槽液詠壽命惰：恐1盟萬片患（暫剛定）嘴6陰.2直.風(fēng)5貿(mào)注意侮事項炭懇算1醉操作儲時，飛必須掩按酸篇、堿膚清洗默要求儀穿戴襖好相拋關(guān)的每個人弦防護(hù)母用品擱。習(xí)宿脈2定釀時干檢查堤各槽該內(nèi)的激實際塊溫度緊，槍溫度陸要婆在正臟確范評圍內(nèi)拳，否風(fēng)則匯雷報工尖序負(fù)帽責(zé)人血解決倚。箭葡功3謹(jǐn)每一道批抽店一片殺觀察織絨面區(qū)，發(fā)童現(xiàn)異瘋常情油況及習(xí)時解絨決，農(nóng)若解深決不搭了的脅及時汪反饋徹?；昃淦?抽藝取片篩子時悲，用載手在脈片架椒的H喪面將敵片子鹿從片蕩架的際底部閃托起密，用亭另一源只手黨夾住餡片子價兩邊巾緣將飄片子風(fēng)取出慮，盡聾量不望要用廚手指疾接觸廈片子踐的表配面。折權(quán)下5柱操作邀時必芽須安攔全使斑用化喉學(xué)試業(yè)劑及蛾安全妥使用濕清洗訴機。袍若皮貿(mào)膚沾標(biāo)到化潛學(xué)試稼劑則秒立刻川用大磨量水懼沖洗保，嚴(yán)鴉重的參要立雅即就猛醫(yī)。曉搖周6鉗按規(guī)勸定補繩充和倍更換科制絨川槽內(nèi)茶的藥耗液沫（嘆見附證表）蓄、同溢流祖槽內(nèi)蝴的溢刪流水裕，龜保證矮槽內(nèi)部無碎攪片、稻無啟沾鞏污（寸將槽習(xí)放滿駛水后企排空寨，循練環(huán)遷沖洗搬一奴到埋兩簽次）撐。沃減逝7在茅硅片茫準(zhǔn)備販進(jìn)行豎制絨球前，布制絨墓槽溫滋度必朗須在昌規(guī)定豆范圍暢內(nèi)。焦莖騎8駐初始母配制出的長制絨債液透或者惑停止溝生產(chǎn)累兩小證時以榜上的錢制絨蔽液需間要活廚化念才能腎繼續(xù)村進(jìn)行詠生產(chǎn)爸，活養(yǎng)化方屆法是第利用貨低等五級硅去片經(jīng)絡(luò)過一別個正孟常工或藝流辮程凳。焦牢誤9在扔接觸么硅片辰、片拔架、蘿花籃林等需怖要保播持干辯凈的運物品沒時需毛要帶喚好一僻次性坐手套右。梢7不.3捧甩干趟7牽.3死.1臟開機該7叫.3延.1穿.1月打開綿電源糠開關(guān)眠、及佛各控霞制開茶關(guān)；此7起.3僅.1太.2往打開診壓縮甩空氣醉、氮社氣、妻純水歉總閥底門和途分閥園門羊。白操作成過程裝見座《欣甩干雅作業(yè)海指導(dǎo)凳書》轉(zhuǎn)7籠.3扭.2滋關(guān)機儲7緞.3歷.2坑.1囑關(guān)閉右電源燭開關(guān)季、及關(guān)各控林制開斬關(guān)們，關(guān)間閉論壓縮分空氣幟、氮烤氣、籮純水舊總閥揉門和競分閥捏門屆。殊7挪.3棋.3寇注意享事項重佛綠1.赴當(dāng)出趁現(xiàn)故剖障時忌，應(yīng)匹立刻盛按下季“急慣?！眳舶粹o弄，在夜故障饑清除局后，施向右茫旋轉(zhuǎn)金“急鄙停蠢”抗按鈕旨，再裂重新年啟動從。軟雹永2.卷在蓋廉未拔完全火關(guān)閉蝦或打社開時天切勿男將手寄伸進(jìn)都機器坦內(nèi)。曲3.慣甩干勾后用扎來裝扒片架謊的周舒轉(zhuǎn)箱猴必須勤無碎搜片、亞無水榨，保帽持清威潔。嶄6注況意事櫻項堵糞1伯.清到洗腐婦蝕所微用藥棗品H臭NO萬3、俗HF紀(jì)、K翁OH靈、H理CL領(lǐng)，去縫離子支水。貨問長2.閃以損英傷層客去除劈干凈殼為準(zhǔn)掠，可奧適當(dāng)順增加冤去損沾傷槽覆濃度武或時編間或愉溫度竄。泉日府3.姐每隔奴三小妙時對丙制絨坊槽及綠溫水敏溢流姨槽各豪測溫咳一次束，搭記錄愛在清圈洗加多液記仰錄的談備注光欄里媽，柿4.遵如厚佛度泰超出州或低肌于工劫藝規(guī)探定范成圍，朗可適繡當(dāng)增凡加或接減少孔去損餐傷層也或者緩制絨來的時快間、威濃度炸等，激并及翠時調(diào)思整添閉加量心。不7.盼異常情處理睜1淹.如濃因過由度沾里污引撕起的阻色差外，豬返工材無效堆，鐘可由叨技術(shù)聾員簽刺字后惑往下乘流通糟。出妨屬2.攀對于捷一批青產(chǎn)品攏中有壽一兩每個片點架有輸異常走，如刮果是測一面業(yè)表面拍質(zhì)量室合格育的重沸新插批片后謊技術(shù)聲員簽?zāi)樧滞鶉W下流察；如卻果兩裳面都配有異泊常則細(xì)需蹲留下閥來與鴨下一咐批異狼常產(chǎn)桿品進(jìn)勵行并聽批，位將合贏格的辜產(chǎn)品閥往下蹄流通址，不值合格睛的由若技術(shù)鋒員安累排是快否流挪通或爹者返予工洽。提懼骨3.夸對于鮮需整漢批返舅工的動產(chǎn)品錦一律子在早逢班進(jìn)津行返竭工處奇理。肅4.準(zhǔn)片子撐甩干客出來賊后，免沒有戲送入名擴(kuò)散叛超過浩6小膚時，臂需在處HC朱l榜酸略洗槐槽再挨走一頑遍。料蹤封5.美甩干趁工藝愚條件床見附瀉表奴7廊8.灶工藝皂條件商8槽懼清洗型機的盆工藝激條件槽號用途時間(sec)溶液溫度（℃）目的1制絨110～130制絨液7～11去除損傷層，制備絨面2漂洗/噴淋200±20去離子水常溫去除腐蝕液3KOH堿洗10±22.4%KOH常溫去除多孔硅4漂洗180去離子水常溫去除堿液5HCl酸洗240～3005～10%HCl常溫去除金屬離子6漂洗180去離子水常溫去除酸液7漂洗180去離子水常溫去除酸液8噴淋80去離子水常溫去除酸液魄溶液汪配制儲表溶液名稱溶液組分67%HNO349%HF45%KOH35-38%HCl去離子水制絨液5份（體積）1份（體積）————3.4份（體積）KOH堿洗液————2.4%KOH百分濃度——余量HCl酸洗液——————5～10%百分濃度余量旺9.廣衛(wèi)生年要求典9.脊1制擊絨車侮間要壁保持繪清潔這，不嫂要把堵酸、遍堿滴寫到地愁面上既。妥9.略2宴盛過悉酸堿零液音的塑綠料桶被、杯竊要及酷時刷主洗，領(lǐng)不可茶無標(biāo)異識長虹時間并用桶印盛酸瞇堿液沒。繪9.踩3每薦班下立班前盤要對互制絨研機進(jìn)旦行衛(wèi)雹生打榜掃，束沖掉局設(shè)備匙上面圖的記酸隆堿，排清理宵槽體繁，無猜碎片計、雜包物。另9.叨4每偷月應(yīng)皇安排貫打掃笛設(shè)備綁和槽忌，徹濃底清喇掃，暫具體頂清洗渡項目潑見《幸清洗榴機定多期清絞洗項熟目及某規(guī)范頌》拿10堆.工遺裝夾天具設(shè)備、儀器工具、夾具名稱規(guī)格或代號名稱規(guī)格或代號8槽清洗機搬運車甩干機特制花籃片架周轉(zhuǎn)箱塑料量杯防酸手套防酸圍裙一次性手套乳膠手套定性濾紙電子稱特制125×125M891001500mL，2L，5LM570006M570013M570001M570003M570029M880017C材料名稱規(guī)格動力多晶硅片125×125mm、156×156mmHNO365-68%分析純HF49%分析純KOH45%分析純HCl37%分析純?nèi)ルx子水≥13MΩ=13OOOKΩ=1.3×在此處鍵入公式。10713MΩ=13OOOKΩ=1.3×107電源：220V-50Hz溫度：25±3℃純水(去離子水)氮氣壓縮空氣工藝衛(wèi)生等級預(yù)防措施清潔穿戴工作服、帽、口罩、手套防塵手套塑膠圍裙一次性手套長塑膠手套絨附表士1超溉聲清孔洗工授藝條喊件槽號1槽2槽3槽時間（分）333溫度（度）8565常溫天附表這３：姐配液恰、加紙液規(guī)估則方案名稱Ｘ１方案Ｘ２方案配液硝酸:氫氟酸:純水=3:1:3；槽液成分：HNO3400±10g／L，HF80±5g／L。硝酸:氫氟酸:純水=5:3:5；槽液成分：加液碗附表瞞４制森絨質(zhì)窗量異膽常處犯理問題解決對策亮塊白點片架邊緣絨面不到位直接制絨：損傷層去除不干凈表面不清潔絨面大小不均嚴(yán)重去除重量達(dá)不到要求星附表督5硅貓片去晃除厚沒度及現(xiàn)重量灘與消散耗H范NO扛3之挑間的凝關(guān)系125多晶去除厚度(μm)