E84握手經(jīng)過(guò)流程(中文版)

*-E84 PI/O INTERFACE概要解説書(shū)中文版配布先-COPY計(jì)-SUM承認(rèn)-APP調(diào)査-CHK作成-DRAWN神鋼電機(jī)株式會(huì)社SHINKOELECTRICCO.,LTD.JAPAN感謝閱讀*-変更來(lái)歴Rev 日付 內(nèi)容 承認(rèn) 作成0 00.11.2 初版 藤原SSG 佐野TranslatedbyDonLee/ASTW/TrainingCenter精品文檔放心下載2007/01/20*-目次1背景?目的..............................................................................42E84とE23之不同點(diǎn)........................................................................43限制....................................................................................44機(jī)器構(gòu)成................................................................................45用語(yǔ)說(shuō)明................................................................................56控制信號(hào)之種類(lèi)..........................................................................67InterlockTimeout..........................................................................88通信程序................................................................................98.1裝載移載............................................................................98.2卸載移載...........................................................................119異常檢測(cè)...............................................................................129.1移載動(dòng)作開(kāi)始前之異常...............................................................129.2移載動(dòng)作中之異常...................................................................139.3異常移載動(dòng)作後之異常...............................................................149.4GO信號(hào)?OFF變化....................................................................149.5異常之復(fù)舊.........................................................................1510注意事項(xiàng)...............................................................................1511Connector及各信號(hào)之分配.................................................................1612電路圖?SensorUnit尺寸..................................................................17*-1 背景?目的半導(dǎo)體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之?dāng)U大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導(dǎo)入以AGV/OHT為代表之自動(dòng)搬送系統(tǒng)（AMHS）的趨勢(shì)。AMHS中、製造裝置與OHV（臺(tái)車(chē)）藉由使用PhotoI/O之通信、來(lái)取得Load/Unload之同步。此PhotoI/O通信係藉由SEMI規(guī)格來(lái)定義、製造裝置及OHV需進(jìn)行遵守此規(guī)格的通信控制。謝謝閱讀SEMI規(guī)格中、雖定義E23作為上述PhotoI/O通信規(guī)格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強(qiáng)化之E84、謝謝閱讀E84規(guī)格有成為主流的趨勢(shì)。本書(shū)係記述E84規(guī)格之概要。又，本書(shū)之對(duì)象係定為進(jìn)行與AMHS裝置及半導(dǎo)體製造裝置間之介面相關(guān)的設(shè)計(jì)/管理。謝謝閱讀2 E84とE23之不同點(diǎn)追加/變更於E84之項(xiàng)目如下。? 連續(xù)HandoffSequence? 同時(shí)HandoffSequence?追加HO_AVBL信號(hào)、ES信號(hào)? Timer之規(guī)定? 改訂Connectorpin之分配限制本書(shū)僅記述導(dǎo)入於OHT系統(tǒng)之E84規(guī)格。因此、以下項(xiàng)目與該系統(tǒng)不相關(guān)故予以割?lèi)?ài)。? 連續(xù)Handoff/同時(shí)HandoffSequence感謝閱讀? 使用於連續(xù)Handoff之Timer機(jī)器構(gòu)成4.1顯示本規(guī)格之E84I/OInterface的適用例。精品文檔放心下載4.1E84I/O介面例主機(jī)※E84中並無(wú)規(guī)定Device種類(lèi)?AMHS控制裝置※I/O裝置安裝位置OHVE84I/O介面 半導(dǎo)體製造裝置（側(cè)面）載體AGV/RGVLoadPort※I/O裝置*-用語(yǔ)説明5.1顯示本書(shū)使用之用語(yǔ)。表5.1 用語(yǔ)説明用語(yǔ)Active裝置Passive裝置AMHS裝置(=AutomatedMaterialHandlingSystem)AutoAccessMode謝謝閱讀ManualAccessMode載體HandoffHandoff干涉區(qū)域Handoff?Interlock異常無(wú)法Handoff利用狀態(tài)LoadportLoadUnload

解説具備移載機(jī)構(gòu)之裝置。［遵循SEMIE23規(guī)格］感謝閱讀（OHT系統(tǒng)中、OHV屬於Active裝置。）感謝閱讀藉由Active裝置來(lái)進(jìn)行移載之裝置。[遵循SEMIE23規(guī)格]Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。感謝閱讀本書(shū)中、Passive裝置係與『裝置』同義。具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置。精品文檔放心下載RGV:RailGuidedVehicles/AGV:AutomatedGuidedVehicles/OHT:OverheadHoistTransportsなど。謝謝閱讀AMHS裝置以自動(dòng)方式進(jìn)行Handoff之模式。感謝閱讀Operator以手動(dòng)方式進(jìn)行Handoff之模式。謝謝閱讀卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來(lái)收藏晶圓之箱子。精品文檔放心下載[遵循SEMIE1.9規(guī)格]表示藉由Active裝置對(duì)Passive裝置進(jìn)行裝載及卸載之移載動(dòng)作。謝謝閱讀本書(shū)中、係與『裝載/卸載移載』同義。Handoff中Active裝置之載體有可能與Passive裝置之載體衝突的空間。精品文檔放心下載Handoff中Passive裝置檢測(cè)到異常之狀態(tài)。Active裝置之載體與Passive裝置之載體、有可能在Handoff干涉區(qū)域衝突衝突。謝謝閱讀Passive裝置無(wú)法進(jìn)行Handoff之狀態(tài)。精品文檔放心下載加工裝置/Stocker等之InterfacePort。[遵循SEMIE15規(guī)格]謝謝閱讀從Active裝置往Passive裝置之卸載移載。精品文檔放心下載從Passive裝置往Active裝置之裝載移載。精品文檔放心下載*-控制信號(hào)之種類(lèi)使用於E84通信之各信號(hào)的種類(lèi)如表6.1所示。精品文檔放心下載關(guān)於通信方向：A=Active裝置、P=Passive裝置。感謝閱讀信號(hào)名稱(chēng)CS_0(=CarrierStage0)CS_1(=CarrierStage1)VALID(=Indicatesthatthesignaltransitionisactiveandselected.)精品文檔放心下載可以通信L_REQ(=LoadRequest)要求裝載U_REQ(=UnloadRequest)要求卸載TR_REQ(=TransferRequest)要求Handoff謝謝閱讀READY(=ReadyforTransfer)準(zhǔn)備Handoff精品文檔放心下載

表6.1 信號(hào)之名稱(chēng)及功用通信方向 信號(hào)之說(shuō)明指定使用於載體Handoff之Loadport。謝謝閱讀A?P ON：使用於載體Handoff。OFF：不使用。指定使用於載體Handoff之Loadport。感謝閱讀ON：使用於載體Handoff。A?P OFF：不使用?！鵒HT系統(tǒng)中、由於各Loadport設(shè)置有PhotoI/O（1PhotoI/O／1LoadPort）、因此不使用本信號(hào)。精品文檔放心下載表示Active裝置?Passive裝置間之通信為有效。精品文檔放心下載ON：通信為有效。OFF：通信為無(wú)效。A?PActive裝置在使本信號(hào)ON之前、需以CS_0信號(hào)或CS_1信號(hào)（或兩者）來(lái)指定移載對(duì)象之Loadport。謝謝閱讀※OHT系統(tǒng)中、僅使用CS_0表示Loadport被指定為載體之裝載（Active裝置之卸載）。感謝閱讀ON：Loadport被指定為載體之裝載OFF：Loadport未被指定為載體之裝載。P?A由Active裝置以CS_0信號(hào)指定Loadport、當(dāng)VALID=ON時(shí)、Passive裝置使本信號(hào)ON。當(dāng)Passive裝置確認(rèn)到載體被放置到正確位置之後、即將本信號(hào)OFF。感謝閱讀表示Loadport被指定為載體之卸載（Active裝置之裝載）。精品文檔放心下載ON：Loadport被指定為載體之卸載OFF：Loadport未被指定為載體之卸載。P?A由Active裝置以CS_0信號(hào)指定Loadport、當(dāng)VALID=ON時(shí)、Passive裝置即將本信號(hào)ON。Passive裝置在載體被完全取走後、即將本信號(hào)OFF。謝謝閱讀對(duì)Passive裝置要求Handoff。ON：已提出Handoff要求。A?POFF：未已提出Handoff要求。當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、本信號(hào)亦OFF。表示Passive裝置、已從Active裝置收到TR_REQ信號(hào)。精品文檔放心下載ON：Passive裝置已做好Handoff之準(zhǔn)備。精品文檔放心下載OFF：Passive裝置尚未做好Handoff之準(zhǔn)備。謝謝閱讀P?A當(dāng)確認(rèn)到Active裝置之TR_REQ=ON後、Passive裝置即將本信號(hào)ON。當(dāng)確認(rèn)到Handoff結(jié)束且Active裝置之COMPT=ON後、Passive感謝閱讀裝置即將本信號(hào)OFF。*-BUSY(=BusyforTransfer)精品文檔放心下載Handoff進(jìn)行中COMPT(=CompleteTransfer)精品文檔放心下載Handoff結(jié)束CONT(=ContinuousHandoff)精品文檔放心下載連續(xù)HandoffHO_AVBL(=HandoffAvailable)可HandoffES(=EmergencyStop)緊急停止

A?PA?PA?PP?AP?A

表示Active裝置、正進(jìn)行Handoff中。精品文檔放心下載ON：正進(jìn)行Handoff中。OFF：非進(jìn)行Handoff中。Passive裝置在READY=ON狀態(tài)、可開(kāi)始進(jìn)行Handoff時(shí)、Active裝置將使本信號(hào)ON。Handoff中Passive裝置不可進(jìn)行任何物理性動(dòng)作。當(dāng)Passive裝置將L_REQ（或U_REQ）信號(hào)OFF、結(jié)束Handoff時(shí)、Active裝置即將本信號(hào)OFF。謝謝閱讀（此時(shí)、把持裝置需退出至干涉區(qū)域之外）表示Active裝置已結(jié)束Handoff操作。感謝閱讀ON：已結(jié)束Handoff。OFF：尚未結(jié)束Handoff。當(dāng)結(jié)束Handoff操作時(shí)（Active裝置將BUSY信號(hào)OFF）、Active裝置即將本信號(hào)ON。Passive裝置在確認(rèn)到READY=OFF後、Active裝置即將本信號(hào)OFF。精品文檔放心下載表示有連續(xù)Handoff。ON：表示連續(xù)Handoff持續(xù)中。OFF：無(wú)連續(xù)Handoff。當(dāng)有連續(xù)Handoff時(shí)、根據(jù)最初移載時(shí)Passive裝置之BUSY=ONActive裝置即將本信號(hào)ON、根據(jù)最後移載時(shí)Passive裝置之BUSY=ON、Active裝置即將本信號(hào)OFF?！鵒HT系統(tǒng)中、現(xiàn)在不使用本信號(hào)。精品文檔放心下載表示Passive裝置裝置可進(jìn)行Handoff。精品文檔放心下載又亦有表示Passive裝置存在某種異常之情形。精品文檔放心下載ON：可配合Handoff。OFF：存在某種異常無(wú)法配合Handoff。本信號(hào)係在開(kāi)始進(jìn)行Handoff操作前、向Active裝置表示Passive裝置之狀態(tài)。當(dāng)Passive裝置正常時(shí)、本信號(hào)為ON。當(dāng)Passive裝置檢測(cè)到CS_0信號(hào)所指定之Loadport存在某種異常時(shí)、藉由Active裝置將VALID信號(hào)ON或TR_REQ信號(hào)ON、Passive裝置即將本信號(hào)OFF。又當(dāng)檢測(cè)到該P(yáng)assive裝置之其他Loadport有異常時(shí)、本信號(hào)亦可能OFF。謝謝閱讀所謂異常係指?無(wú)正確地進(jìn)行載體檢測(cè)。?Passive裝置一直停留於ManualMode。精品文檔放心下載?Passive裝置無(wú)法配合Handoff之狀態(tài)。謝謝閱讀係要求緊急停止Active裝置之動(dòng)作。ON：正常操作OFF：要求緊急停止當(dāng)Passive裝置判斷為危險(xiǎn)狀況時(shí)、為立即停止Handoff而將本信號(hào)OFF。謝謝閱讀所謂危險(xiǎn)狀況係指?恐傷及資源或製造物時(shí)。?對(duì)作業(yè)工程會(huì)造成傷害之情形。?發(fā)生Handoff?Interlock異常之情形。謝謝閱讀?當(dāng)按下Passive裝置側(cè)之ES(或EMO)按鈕時(shí)。謝謝閱讀通常、Active裝置在VALIDON～OFF之間監(jiān)測(cè)本信號(hào)。精品文檔放心下載*-7InterlockTimeoutActive裝置側(cè)之Timer（TA=TimerofActiveequipment）及Passive裝置側(cè)之Timer（TP=TimerofPassiveequipment）如表7.1及表7.2所示。謝謝閱讀各Timer、係以檢測(cè)裝載/卸載時(shí)Interlock之異常為目的。感謝閱讀表7.1 Active裝置所監(jiān)視之TimerTimer監(jiān)視Timer之期間TA1VALIDON―L_REQONVALIDON―U_REQONTA2TR_REQON―READYONTA3COMPTON―READYOFF

範(fàn)圍（秒）1-9991-9991-999

預(yù)設(shè)值（秒）222表7.2 Passive裝置所監(jiān)視之Timer謝謝閱讀Timer監(jiān)視Timer之期間TP1L_REQON―TR_REQONU_REQON―TR_REQONTP2READYON―BUSYONBUSYON―CARRIERDETECTTP3（卸載移載開(kāi)始?至檢測(cè)到載體為止）BUSYON―CARRIERREMOVE（裝載移載開(kāi)始?至取走載體為止）TP4L_REQOFF―BUSYOFFU_REQOFF―BUSYOFFTP5READYOFF―VALIDOFF

範(fàn)圍（秒）1-9991-9991-9991-9991-999

預(yù)設(shè)值（秒）2260602*-通信程序8.1裝載移載裝載移載時(shí)PhotoI/O之TimingChart如圖8.1所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內(nèi)容如表8.1所示。精品文檔放心下載圖8.1裝載移載時(shí)之TimingChart信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0①VALID②?TR_REQActive裝置?④⑨?Passive裝置BUSYCOMPTREADYL_REQ

⑥ ⑧⑩ ?⑤ ?U_REQPassive裝置?Active裝置HO_AVBLESTimerActive裝置TimerPassive裝置Timer動(dòng)作內(nèi)容Active裝置到達(dá)通信開(kāi)始Step信號(hào)名信號(hào)方向①CS_0ONA?P②VALIDONA?P③U_REQONP?A④TR_REQONA?P⑤READYONP?A⑥BUSYONA?P⑦U_REQOFFP?A⑧BUSYOFFA?P⑨TR_REQOFFA?P⑩COMPTONA?P?READYOFFP?A?COMPTOFFA?P?VALIDOFFA?P?CS_0OFFA?P

③ ⑦TA1TA2TA3TP1TP2TP3TP4TP5裝載移載開(kāi)始載體離開(kāi)Port結(jié)束移載結(jié)束通信8.1裝載移載時(shí)之通信內(nèi)容動(dòng)作說(shuō)明Active裝置到達(dá)要進(jìn)行裝載移載之Passive裝置時(shí)、即使用CS_0信號(hào)來(lái)指定移載對(duì)象之Loadport。感謝閱讀表示可與以CS_0信號(hào)所指定之Loadport進(jìn)行通信。精品文檔放心下載在完成從Passive裝置之Loadport使FOUP卸載（Active裝置進(jìn)行裝載移載）之準(zhǔn)備時(shí)、即將U_REQ信號(hào)ON。謝謝閱讀Active裝置對(duì)Passive裝置側(cè)要求開(kāi)始移載。謝謝閱讀Passive裝置側(cè)對(duì)Active裝置表示已完成移載之準(zhǔn)備。感謝閱讀開(kāi)始移載。當(dāng)從Loadport上FOUP被完全取走時(shí)、Passive裝置側(cè)即將U_REQ信號(hào)OFF。謝謝閱讀當(dāng)結(jié)束移載操作且脫離與Passive裝置側(cè)干涉之區(qū)域時(shí)、即將BUSY信號(hào)OFF。謝謝閱讀當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、即將本信號(hào)OFF。精品文檔放心下載通知Passive裝置已結(jié)束裝載移載。當(dāng)確認(rèn)到COMPT信號(hào)ON後、即將本信號(hào)OFF。感謝閱讀當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。精品文檔放心下載當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。謝謝閱讀此時(shí)、即結(jié)束Active裝置?Passive裝置之通信。感謝閱讀當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。謝謝閱讀*-8.2卸載移載卸載移載時(shí)PhotoI/O之TimingChart如圖8.2所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內(nèi)容如表8.2所示。精品文檔放心下載信號(hào)名 信號(hào)方向CS_0①VALIDTR_REQActive裝置?Passive裝置BUSYCOMPTREADYL_REQU_REQPassive裝置?Active裝置HO_AVBLESTimerActive裝置TimerPassive裝置Timer動(dòng)作內(nèi)容Active裝置到達(dá)開(kāi)始通信Step信號(hào)名信號(hào)方向①CS_0ONA?P②VALIDONA?P③L_REQONP?A④TR_REQONA?P⑤READYONP?A⑥BUSYONA?P⑦L_REQOFFP?A⑧BUSYOFFA?P⑨TR_REQOFFA?P⑩COMPTONA?P?READYOFFP?A?COMPTOFFA?P?VALIDOFFA?P?CS_0OFFA?P

圖8.2 卸載移載時(shí)之TimingChartTiming②?④⑨?⑥⑧⑩?⑤?③⑦TA1TA2TA3TP1TP2TP3TP4TP5開(kāi)始卸載移載載體正確地移至Port結(jié)束移載結(jié)束通信上表8.2 卸載移載時(shí)之通信內(nèi)容動(dòng)作說(shuō)明當(dāng)Active裝置到達(dá)要進(jìn)行卸載移載之Passive裝置時(shí)、即使用CS_0信號(hào)來(lái)指定移載對(duì)象之Loadport。感謝閱讀表示可與以CS_0信號(hào)所指定之Loadport進(jìn)行通信。謝謝閱讀自完成將FOUP從Passive裝置之Loadport裝載（Active裝置進(jìn)行卸載移載）之準(zhǔn)備時(shí)、即將L_REQ信號(hào)ON。謝謝閱讀Active裝置對(duì)Passive裝置側(cè)要求開(kāi)始移載。精品文檔放心下載Passive裝置對(duì)Active裝置表示已完成移載準(zhǔn)備。感謝閱讀開(kāi)始移載。當(dāng)FOUP正確地裝載於Loadport上時(shí)、Passive裝置側(cè)即將L_REQ信號(hào)OFF。謝謝閱讀在結(jié)束移載操作且脫離與Passive裝置側(cè)之干涉區(qū)域時(shí)、即將BUSY信號(hào)OFF。謝謝閱讀當(dāng)BUSY信號(hào)OFF時(shí)、即將本信號(hào)OFF。謝謝閱讀通知Passive裝置側(cè)已結(jié)束卸載移載。當(dāng)確認(rèn)到COMPT信號(hào)ON後、即將本信號(hào)OFF。謝謝閱讀當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。感謝閱讀當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。感謝閱讀此時(shí)、即結(jié)束Active裝置?Passive裝置之通信。感謝閱讀當(dāng)確認(rèn)到READY信號(hào)OFF後、即將本信號(hào)OFF。感謝閱讀異常檢測(cè)以下舉例說(shuō)明OHT系統(tǒng)在Handoff中發(fā)生異常之模式。謝謝閱讀9.1移載動(dòng)作開(kāi)始前之異常OHV雖已到達(dá)對(duì)象Port、但不開(kāi)始進(jìn)行移載而立即通過(guò)。謝謝閱讀因：裝置尚未完成移載準(zhǔn)備（ManualMode等）或在異常狀態(tài)。謝謝閱讀*-信號(hào)變化：一直處?kù)禜O_AVBL=OFF或ES=OFF之狀態(tài)（亦可能兩者皆O(shè)FF）。謝謝閱讀信號(hào)名 信號(hào)方向 TimingCS_0OHV?裝置VALIDREADYHO_AVBL 裝置?OHVES動(dòng)作內(nèi)容 OHV到達(dá) 由於HO_AVBL為OFF謝謝閱讀開(kāi)始通信 故結(jié)束通信追記：若該Loadport未經(jīng)Teaching亦會(huì)有同樣現(xiàn)象、而未執(zhí)行E84I/F即結(jié)束搬送。謝謝閱讀已到達(dá)對(duì)象Port、雖短暫待機(jī)但未開(kāi)始進(jìn)行移載即通過(guò)。謝謝閱讀因：裝置尚未完成移載準(zhǔn)備等?；蛟赗EADY=ON前HO_AVBL=OFF。謝謝閱讀信號(hào)變化：TA1或TA2發(fā)生Timeout後、使OHV側(cè)之信號(hào)全部OFF。（以下之TimingChart中、為在TA2Timeout時(shí)。）精品文檔放心下載信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYL_REQU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1動(dòng)作內(nèi)容OHV到達(dá)等待READYON結(jié)束通信開(kāi)始通信TA2Timeout*-9.2移載動(dòng)作中之異常在Gripper升降中或開(kāi)閉中OHV變成異常狀態(tài)、而中止移載動(dòng)作。謝謝閱讀OHV檢測(cè)到異常。因：在OHV發(fā)生了某種異常（偏離Teaching位置/搖晃檢知/在荷ON?OFF變化等）。感謝閱讀信號(hào)變化：使OHV側(cè)之信號(hào)全部OFF之後、使HO_AVBL=OFF或ES=OFF。感謝閱讀（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號(hào)名 信號(hào)方向 TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1TP2動(dòng)作內(nèi)容OHV到達(dá)開(kāi)始裝載移載發(fā)生異常（OHV）緊急停止開(kāi)始通信裝置檢測(cè)到異常。因：裝置因某種異常而要求緊急停止（按下EMO/在荷Sensor不一致等）。精品文檔放心下載信號(hào)變化：HO_AVBL=OFF或ES=OFF。謝謝閱讀（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號(hào)名 信號(hào)方向 TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1TP2動(dòng)作內(nèi)容OHV到達(dá)發(fā)生異常（裝置）異常結(jié)束通信開(kāi)始緊急停止2）結(jié)束卸載後、Gripper打不開(kāi)。原因：Loadport之在荷狀態(tài)與動(dòng)作狀態(tài)不一致。感謝閱讀（卸載移載雖已結(jié)束但L_REQ並未OFF。）*-信號(hào)變化：TP3發(fā)生Timeout後、OHV亦一直等待L_REQ=ON?OFF。信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYL_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1TP2TP3動(dòng)作內(nèi)容OHV到達(dá)卸載移載開(kāi)始FOUP已正確放置等待L_REQOFF通信開(kāi)始在Port上TP3Timeout9.3移載動(dòng)作後之異常結(jié)束裝載/卸載移載後、短暫停留後重新開(kāi)始移動(dòng)。因：裝置側(cè)未確認(rèn)到OHV之移載結(jié)束通知?；虼_認(rèn)過(guò)遲。感謝閱讀（COMPT=ON之後、超過(guò)指定時(shí)間亦未READY=OFF。）感謝閱讀信號(hào)名

信號(hào)變化：發(fā)生TA3信號(hào)方向

Timeout後、OHV重新開(kāi)始移動(dòng)。（發(fā)生輕度異常。）感謝閱讀TimingCS_0VALIDTR_REQ

OHV?裝置BUSYCOMPTREADYU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2TA3裝置TimerTP1TP2TP3TP4動(dòng)作內(nèi)容OHV到達(dá)裝載移載開(kāi)始FOUP已不在Port等待READYOFF異常結(jié)束通信開(kāi)始上TA3Timeout*-9.4GO信號(hào)?OFF變化突然異常結(jié)束。原因：Device破損、Sensor光遮斷、外部光之干涉等。謝謝閱讀信號(hào)變化：GO信號(hào)產(chǎn)生ON?OFF變化、通信中之所有信號(hào)皆被Reset。謝謝閱讀其後即不再進(jìn)行通信。信號(hào)名信號(hào)方向TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1TP2動(dòng)作內(nèi)容OHV到達(dá)GO信號(hào)OFF通信開(kāi)始信號(hào)RestGO信號(hào)…係用來(lái)確認(rèn)光信號(hào)被正確地被接收的信號(hào)。光信號(hào)受信時(shí)ON光路遮斷時(shí)(非受信時(shí))OFF9.5異常之復(fù)舊以下說(shuō)明OHT系統(tǒng)之復(fù)舊方法。收集OHV之EventLog以探尋異常原因。（最好從發(fā)生現(xiàn)狀及Log來(lái)判斷。）感謝閱讀找出異常模式後再進(jìn)行復(fù)舊作業(yè)。OHV之復(fù)舊如以下所示。謝謝閱讀自ST停止後到等待READY=ON期間裝置若將HO_AVBL=OFF時(shí)、OHV即結(jié)束E84程序並自動(dòng)進(jìn)行復(fù)舊後精品文檔放心下載再開(kāi)始移動(dòng)。TA3Timeout發(fā)生後亦進(jìn)行同樣之處理。（移載中若OFF時(shí)、即進(jìn)行與bと相同之處理。）感謝閱讀當(dāng)移載動(dòng)作中裝置將ES=OFF時(shí)、OHV即立刻停止並顯示異常Code後、即等待人工復(fù)舊作業(yè)。（將OHVRet並進(jìn)行再入線。）感謝閱讀若以上述操作仍無(wú)法復(fù)舊時(shí)、由於有可能是Hard/Soft之問(wèn)題因此須進(jìn)行OHV及周邊機(jī)器之調(diào)查。感謝閱讀裝置之異常復(fù)舊方法、由於依各裝置系統(tǒng)其Process時(shí)間、缺陷模式以及復(fù)舊程序均不同、因此本書(shū)不加以規(guī)精品文檔放心下載定。注意事項(xiàng)為維持雙向通信、須注意以下各點(diǎn)。使OHV側(cè)?裝置側(cè)之兩Device的投光部經(jīng)常相對(duì)向。精品文檔放心下載②確保光路避免外部光產(chǎn)生干涉。*-Connector及各信號(hào)之分配Passive裝置側(cè)Connector之型式、係遵循ISO4902採(cǎi)用DB-25Socket（母）型式。感謝閱讀1）電氣信號(hào)之規(guī)格Active/PassiveON狀態(tài)OFF狀態(tài)電流電壓電流電壓輸入Max