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文檔簡介
3D顯微鏡操作說明主要作業(yè)流程圖開機前的確認打開顯微鏡主機-->打開電腦主機-->打開程序-->調整物鏡距離-->掃描圖像-->測量寬/高-->保存數(shù)據(jù)/圖像-->關機圖1圖2詳細作業(yè)流程開機如圖1,先打開顯微鏡主機開關,再打開電腦主機開關(順序不可顛倒);打開程序如圖3,打開圖中箭頭所指處的圖標Zeta3D-中文版,在彈出的對話框中點擊OK,彈出如圖4的登錄界面;
圖3圖4在圖5所示的登錄界面輸入賬號密碼,彈出如圖6所示的界面,點擊OK即可進入程序的主界面(圖7;圖5圖6圖7調整物鏡距離載入配置文件如圖7所示,點擊箭頭所指處的加載,彈出如圖8所示的窗口,選中Poly-SiFingerAF文件,然后點擊箭頭處的Open進行載入;圖8根據(jù)需要選擇合適的物鏡(5倍/10倍/20倍/50倍/100倍)移動并調整物鏡:點擊圖9箭頭所指處的下,彈出如圖10所示的界面,然后一直按住空格鍵,將物鏡移動至最低位置,然后根據(jù)情況按或按住或松開鍵盤上的翻頁按鍵PgUp(物鏡向上調整)/PgDn(物鏡向下調整),調整圖像至有部分區(qū)域清楚的時候即可;備注:調整物鏡時,目光要時刻注意物鏡不能觸碰到被測物品或載物臺面,一旦快接近被測物或載物臺表面,立刻松開空格鍵或者翻頁鍵來停止移動物鏡,否則有可能損傷物鏡;圖10
圖9掃描圖象:點擊圖11中間箭頭所指的設置標稱焦點,然后點擊下面的箭頭處的掃描進行掃描;備注:掃描時會出現(xiàn)圖12所示的提示語,此時不要進行任何操作以防程序假死無響應;若需要中途停止測量可直接按鍵盤最左上角的ESC鍵進行終止掃描;圖11圖12測量寬高:掃描結束后,彈出如圖13所示的測試結果,此時可進行寬度與高度的測量等操作;圖13寬度測量:如圖13所示,右擊圖中所示的測量寬度區(qū)域,彈出如圖14所示的菜單,依次選擇測量-->線,然后按住鼠標從一端移動到另一端并松開即可出現(xiàn)測量長度,具體結果如圖15所示:備注1:若要取圖13垂直方向的剖面圖,則在圖14菜單中選擇垂直即可,圖13測量高度區(qū)域的剖面圖圖形會相應改變;傾斜方向就相應選傾斜即可;備注2:若要:對多個剖面圖進行測量,則相應選擇圖14的新增一個剖面圖即可(此操作只對測量高度有效);備注3:剖面圖線是可以通過鼠標拖曳來移動的,也可以通過選擇重置剖面圖的命令來恢復原始測量結果界面;圖16圖15高度測量:如圖16所示根據(jù)圖中操作說明進行操作測量;圖16保存數(shù)據(jù)和圖像如圖17,按保存按鈕即可彈出圖18的保存對話框,輸入文件名,然后按Save即可保存;截圖使用鍵盤自帶的PrintScreen按鍵進行進圖,然后用系統(tǒng)自帶的畫圖軟件即可保存圖像;圖17圖18注意事項測試時要注意工藝衛(wèi)生,必須戴上無塵手套才可進行操作;本儀器只可用來測試干凈清潔的電池片和硅片,禁止將有腐蝕性或者潮濕的硅片/電池片放在測試平臺上;測試完畢后請將待
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