單晶硅項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告書(shū)

銀笛〔揚(yáng)州〕微電子年產(chǎn)300萬(wàn)單晶硅拋光片、60萬(wàn)硅外延片工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)〔簡(jiǎn)本〕銀笛〔揚(yáng)州〕微電子20239月名目1總論51.1任務(wù)由來(lái)51.2評(píng)價(jià)目的錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。1.3編制依據(jù)錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。1.4評(píng)價(jià)原則錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。1.5評(píng)價(jià)重點(diǎn)錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。1.6評(píng)價(jià)因子錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。1.7評(píng)價(jià)等級(jí)錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。1.8評(píng)價(jià)范圍錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。1.9評(píng)價(jià)工作技術(shù)路線錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。2 建設(shè)工程四周地區(qū)環(huán)境概況

錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。2.1自然環(huán)境概況錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。2.2社會(huì)環(huán)境狀況錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。2.3經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)總體規(guī)劃錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。2.4開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)境功能區(qū)劃錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。2.5評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。2.6建設(shè)工程環(huán)境保護(hù)目標(biāo)錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。3工程分析錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。3.1本工程概況73.2生產(chǎn)工藝流程及原輔料能源消耗103.3主要生產(chǎn)、公用及貯運(yùn)設(shè)備173.4公用工程183.5污染源分析錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。4污染防治措施25銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)6大氣污染防治措施評(píng)述水污染防治措施評(píng)述噪聲污染防治措施評(píng)述固體〔廢液〕污染防治措施評(píng)述非正常排放防范措施綠化排污口標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置環(huán)保投資及“三同時(shí)”清潔生產(chǎn)與循環(huán)經(jīng)濟(jì)分析產(chǎn)業(yè)政策相符性分析清潔生產(chǎn)循環(huán)經(jīng)濟(jì)環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評(píng)價(jià)大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)與評(píng)價(jià)地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)及評(píng)價(jià)環(huán)境影響推想及評(píng)價(jià)大氣環(huán)境影響推想及評(píng)價(jià)地表水環(huán)境影響分析聲環(huán)境影響分析固廢環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響分析與防治施工期環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響防治總量把握分析總量把握要求

2527303031313333353535363838384040404040錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。41錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。9.2總量把握原則9.2總量把握原則錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。9.3總量把握因子419.4總量把握指標(biāo)419.5總量平衡方案41環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià) 4310.1風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)等級(jí)確實(shí)定錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。10.2風(fēng)險(xiǎn)識(shí)別錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。10.3源項(xiàng)分析錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。10.4事故防范4310.5結(jié)論錯(cuò)誤！未定義書(shū)簽。工程廠址可行性分析 4511.1工程選址與規(guī)劃相容性4511工程選址與評(píng)價(jià)區(qū)域的環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀的相容性分析 45本工程實(shí)施后對(duì)四周環(huán)境的影響 46公眾參與建設(shè)工程環(huán)評(píng)公眾參與公示公眾意見(jiàn)問(wèn)卷調(diào)查環(huán)境經(jīng)濟(jì)損益分析經(jīng)濟(jì)效益分析社會(huì)效益分析環(huán)境效益分析環(huán)境治理與監(jiān)控打算環(huán)境治理環(huán)境監(jiān)控打算排污口標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置

結(jié)論與建議結(jié)論建議

總論任務(wù)由來(lái)加坡銀笛科技〔控股〕私人股份，經(jīng)過(guò)多年的攻關(guān)，攻克了功率場(chǎng)控器件用高CMOS技產(chǎn)品認(rèn)定中心的認(rèn)定。加坡銀笛科技〔控股〕私人股份已在上海金橋出口加工區(qū)投資建設(shè)了外延片的生產(chǎn)基地，由于現(xiàn)目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)嚴(yán)峻供不應(yīng)求，為了滿足國(guó)內(nèi)外半〔揚(yáng)州300萬(wàn)硅拋光片、604~126~8英寸的硅外延片。本工程的建設(shè)有利于加速集成電路芯片主要材料的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。境保護(hù)治理?xiàng)l例》的有關(guān)規(guī)定，應(yīng)當(dāng)在工程工程可行性爭(zhēng)論階段對(duì)該工程進(jìn)展環(huán)境影響評(píng)價(jià)。為此，銀笛〔揚(yáng)州〕2023年8月托付蘇州工業(yè)園區(qū)東方環(huán)境保護(hù)科學(xué)爭(zhēng)論所擔(dān)當(dāng)該工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)的編制工作。我單位承受托付后，即認(rèn)真爭(zhēng)論該工程的有關(guān)資料，并踏勘現(xiàn)場(chǎng)的社會(huì)、自然環(huán)境狀況，調(diào)查、收集有關(guān)工程現(xiàn)有狀況及擬建工程資料，通過(guò)對(duì)工程所在區(qū)域的環(huán)境特征和本工程的工程推想建成后對(duì)四周水氣聲環(huán)境的影響程度和范圍，并提出防治污染措施，減緩建設(shè)工程對(duì)四周環(huán)境的影響，為建成后的環(huán)境治理供給科學(xué)依據(jù)。主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)

2-1環(huán)境保護(hù)目標(biāo)環(huán)境要素環(huán)境要素大氣環(huán)境水環(huán)境環(huán)境保護(hù)對(duì)象蒲村〔待拆遷〕長(zhǎng)江儀征與儀化水源取水口揚(yáng)州水廠取水口方位南南距離〔m〕1002023規(guī)模100戶(hù)—環(huán)境功能二類(lèi)區(qū)東1202350萬(wàn)噸/天Ⅲ類(lèi)水體西8000聲環(huán)境聲環(huán)境廠界四周廠界3類(lèi)區(qū)3(a)

本工程概況本工程名稱(chēng)、建設(shè)地點(diǎn)、建設(shè)性質(zhì)、投資總額、環(huán)保投資工程名稱(chēng)：銀笛〔揚(yáng)州〕微電子年產(chǎn)300萬(wàn)單晶硅拋光片、60萬(wàn)硅外延片工程建設(shè)地點(diǎn)：江蘇省儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)區(qū)建設(shè)性質(zhì)：外商投資建8000576萬(wàn)元(b)本工程建設(shè)內(nèi)容銀笛〔揚(yáng)州〕微電子向儀征市高技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)提誕生產(chǎn)、辦公用房及生產(chǎn)設(shè)施的建設(shè)要求，儀征市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)按要求建筑廠房及相應(yīng)的設(shè)施，然后租賃給銀笛(揚(yáng)州)微電子有限公司使用。租用廠房面積約48680㎡，包括外延片生產(chǎn)廠房、拋光片生產(chǎn)廠房、綜合動(dòng)力站、化學(xué)品庫(kù)、辦公樓、門(mén)衛(wèi)等。設(shè)施主要包括供水系統(tǒng)、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、變配電系統(tǒng)、應(yīng)急電源、通信信息及生命安全系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、制冷及供熱系統(tǒng)、環(huán)保設(shè)施〔廢水處理站、廢氣處理設(shè)施、消防設(shè)施、勞動(dòng)保護(hù)安全設(shè)施以及室外工程等。3-13-2。序年運(yùn)行時(shí)數(shù)8520h序年運(yùn)行時(shí)數(shù)8520h工程名稱(chēng)產(chǎn)品名稱(chēng)號(hào) 設(shè)計(jì)力氣/〔車(chē)間或生產(chǎn)線〕 及規(guī)格1單晶硅拋光片4英寸6英寸8英寸40萬(wàn)片150萬(wàn)片80萬(wàn)片2硅外延片12英寸合計(jì)6英寸8英寸30萬(wàn)片300萬(wàn)片30萬(wàn)片30萬(wàn)片合計(jì)60萬(wàn)片3-2公用及關(guān)心工程類(lèi)別建設(shè)名稱(chēng)設(shè)計(jì)力氣備注承受防腐蝕環(huán)氧樹(shù)脂地面，主要存放硫酸、甲類(lèi)化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)200m2硝酸、雙氧水、鹽酸、氫氟酸、氨酸和氫氧化鈉溶液等倉(cāng)庫(kù)4000m2主要存放原料單晶硅棒、硅襯底材料和成類(lèi)別 建設(shè)名稱(chēng)

設(shè)計(jì)力氣 備注品給水排水供電公用工程循環(huán)冷卻系統(tǒng)

102.1萬(wàn)t/a65.93萬(wàn)t/a5452.8萬(wàn)度110t/h400t/h

存放各類(lèi)酸堿廢液和固體廢棄物326由專(zhuān)業(yè)公司建站制造，供給氫氣、氮?dú)獾萐iHCl3鋼瓶柜各2個(gè)，PH、BH各一個(gè)326儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)給水管網(wǎng)供給廠處理由開(kāi)發(fā)區(qū)的110KV變電所供給使用純水箱等組成的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。供汽綠化廢氣處理環(huán)保工程 廢水處理

10萬(wàn)噸，有開(kāi)發(fā)區(qū)的供氣管網(wǎng)供給。冷卻塔、加壓泵和冷凍機(jī)組成。側(cè)進(jìn)展種草植樹(shù)，綠化面積51979m2，綠化到達(dá)38.8%對(duì)工程中產(chǎn)生的各種廢氣承受技術(shù)可行、經(jīng)濟(jì)合理的治理措氣體清洗器處理，各種廢氣均達(dá)標(biāo)排放州污水處理廠處理，經(jīng)處理達(dá)標(biāo)后，統(tǒng)一排入長(zhǎng)江儀征段依據(jù)規(guī)定對(duì)產(chǎn)生的固體廢物進(jìn)展處置(c)地。

占地面積、廠區(qū)布置占地面積：本工程總占地面積133334m2，所占土地為儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)區(qū)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)用廠區(qū)布置：廠區(qū)包括生產(chǎn)用房、辦公樓、關(guān)心生活設(shè)施、甲類(lèi)化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)、倉(cāng)庫(kù)、成品倉(cāng)庫(kù)、氣體供給站、綜合動(dòng)力站及進(jìn)展預(yù)留用地等(d) 職工人數(shù)、工作制度220160人。355248520小時(shí)。銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)11生產(chǎn)工藝流程及原輔料能源消耗生產(chǎn)工藝流程一、單晶硅拋光片制作單晶硅棒固定水 切片

S1W1

水 純水洗分檔檢測(cè)

A：W11B：W12氮?dú)饪焖偻嘶?/p>

研磨劑 粗拋光

S13氧氣水磨片劑水

倒角分檔檢測(cè)研磨純水洗清洗

S2W2S3S4W3G1S5

水精磨劑水

純水洗精拋光純水洗RCA清洗檢測(cè)

W13S14W14W15~21S15~19G9~13B：堿液氮?dú)?/p>

RCA清洗磨片檢測(cè)腐蝕A/B

W4~10S6~10G2~6A：G7、8S11B：S12

水 純水洗檢測(cè)包裝出貨

W223-1單晶硅拋光片工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖生產(chǎn)工藝流程具體介紹如下：固定：將單晶硅棒固定在加工臺(tái)上。水和硅渣。300~500℃，硅片外表和氧氣發(fā)生反響，使硅片外表形成二氧化硅保護(hù)層。光阻層的平坦度。此過(guò)程中產(chǎn)生的硅粉承受水淋，產(chǎn)生廢水和硅渣。分檔檢測(cè)：為保證硅片的規(guī)格和質(zhì)量，對(duì)其進(jìn)展檢測(cè)。此處會(huì)產(chǎn)生廢品。度與平行度，到達(dá)一個(gè)拋光過(guò)程可以處理的規(guī)格。此過(guò)程產(chǎn)生廢磨片劑。生有機(jī)廢氣和廢有機(jī)溶劑。RCA清洗：通過(guò)多道清洗去除硅片外表的顆粒物質(zhì)和金屬離子。具體工藝流程如下：硫酸、雙氧水SPM清洗水純水洗氫氟酸DHF清洗水純水洗GSW4GSW5氨水、雙氧水水水水APM清洗純水洗熱水洗純水洗GSW6W7W8鹽酸、雙氧水水氟化氫水HPM清洗純水洗DHF清洗純水洗GSW9GSW103-2RCA清洗工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖2 2 4 2 SPMHSOHOSPM溶液，SPM溶液具有很強(qiáng)的氧化力氣CO和HOSPM2 2 4 2 DHF清洗：用確定濃度的氫氟酸去除硅片外表的自然氧化膜，而附著在自然氧化膜上的金屬也被溶解到清洗液中，同時(shí)DHF抑制了氧化膜的形成。此過(guò)程產(chǎn)生氟化氫和廢氫氟酸。4 2 2 2 APM清洗：APMNHOH溶液、HOHO氧化作用生成氧化膜〔約6nm呈親水性，該氧化膜又被NH4OH4 2 2 2 2 HPMHClHOHPM2 DHF清洗：去除上一道工序在硅外表產(chǎn)生的氧化膜。RCARCA清洗。腐蝕A/B學(xué)腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕，用混酸溶液去除損傷層，產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸；腐蝕B是堿性腐蝕，用氫氧化鈉溶液去除損傷層，產(chǎn)生廢堿液。本工程一局部硅片承受腐蝕A，一局部承受腐蝕B。分檔監(jiān)測(cè)：對(duì)硅片進(jìn)展損傷檢測(cè)，存在損傷的硅片重進(jìn)展腐蝕。粗拋光：使用一次研磨劑去除損傷層，一般去除量在10~20um。此處產(chǎn)生粗拋廢液。精拋光：使用精磨劑改善硅片外表的微粗糙程度，一般去除量1um以下，從而的到高平坦度硅片。產(chǎn)生精拋廢液。檢測(cè)：檢查硅片是否符合要求，如不符合則從進(jìn)展拋光或RCA清洗。檢測(cè)：查看硅片外表是否清潔，外表如不清潔則從刷洗，直至清潔。包裝：將單晶硅拋光片進(jìn)展包裝。二、硅外延片制作純水洗檢測(cè)純水洗檢測(cè)外延生長(zhǎng)水 W23HCl+N、H、2 2SiHCl、PH、3 3BH、N、石2 6 2

G14S20S21英、石墨硫酸、雙氧水SPM清洗G15S22水純水洗W24氨水堿清洗G16S23水純水洗測(cè)試檢驗(yàn)W25S24真空包裝3-3硅外延生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖外延爐石英管清洗外延爐石英管清洗水洗混酸S23純水 W263-4外延爐石英管清洗工序及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖生產(chǎn)工藝流程具體介紹如下：純水洗：簡(jiǎn)潔清洗，去除硅襯底材料外表的外表雜質(zhì)。外延生長(zhǎng)：外延爐經(jīng)氯化氫和氮?dú)獯祾咔逑春螅ㄈ隨iHCl3和H2，為了滿足硅片的電學(xué)性能，還要摻入50ppm的特種氣體PH3或B2H6，紅外加熱至1100~1200℃下，通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在硅襯底材料上生長(zhǎng)一層與襯底材料具有一樣晶格排列的單晶硅，形成單晶硅外延片。有99%的SiHCl、PH、BH參與反響。此工序產(chǎn)生的廢氣主要是氯化氫，還有一些沒(méi)有反響的PH、BH3 3 2 6 3 2 6SiHCl；外延爐的石墨基座和石英夾套需要定期更換，產(chǎn)生廢石英和廢石墨。具體反響如下：3SiHCl H 10012Si3HCl3 22PH 1001202P3H 3 2BH 1001202B3H 2 6 2SPM清洗：去除硅片外表的雜質(zhì)。此處產(chǎn)生硫酸霧和廢硫酸。堿洗：去除上一道工序在硅片外表形成的氧化膜。雜質(zhì)顆粒等是否符合相應(yīng)的指標(biāo)。此處會(huì)產(chǎn)生一些廢品。真空包裝：通過(guò)工藝真空系統(tǒng)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)展真空包裝。外延爐石英管清洗：在外延生長(zhǎng)中會(huì)在外延爐的石英管上沉積一些雜質(zhì)。主要原輔料及能源消耗主要原輔料、能源消耗見(jiàn)表3-3。3-3主要原輔料及能源消耗類(lèi)別類(lèi)別名稱(chēng)研磨劑重要組份、規(guī)格、指標(biāo)99.99%Si70%水SiO210%，無(wú)機(jī)堿水89%SiO210%年耗量存貯量來(lái)源及運(yùn)輸單晶硅棒2023t167t60t6t精磨劑40t4t單晶硅延片精磨劑10.2t1t≧45%ZrO≦33%2磨片劑SiO≦20%2101t9tFe2O≦0.5%于國(guó)內(nèi)購(gòu)輸為主。3溶劑2C6H5CH3TiO≦2%56%24%4t0.4t固形分20%HNO63%54L5LHSO98%3750L312L工藝真空85.8萬(wàn)m3壓縮空氣87萬(wàn)m3活性炭1.5t穎水自來(lái)水HO1022045t——水網(wǎng)電電5452.8萬(wàn)度——電網(wǎng)燃料燃?xì)庾匀粴?5.2萬(wàn)m3——?dú)饩W(wǎng)類(lèi)別名稱(chēng)類(lèi)別名稱(chēng)HF7.2%年耗量存貯量來(lái)源及運(yùn)輸混酸HNO341.2%280t1tCHCOOH318.1%氫氟酸鹽酸HF49%HCl35%HO2 2HO2 231%80t12t290t1t1t25t324NaOHNaOH氨水NaOH 48%NaOH 3%499.999%NHOH28%單晶硅拋光片SiHCl3HCl和硅外石英〔配件〕 SiO2延片石墨〔配件〕CPH3BH2 6H268t25t180t12t7.5t0.1t0.5t0.0002t0.0002t36萬(wàn)m36t2.1t3t6萬(wàn)片0.055t0.055t0.01t0.05t0.0002t0.0002tN299.99999%以上99.99999%90萬(wàn)m32工程主要的生產(chǎn)、公用、貯運(yùn)設(shè)備見(jiàn)表3-5。3-5主要設(shè)備清單類(lèi)型設(shè)備名稱(chēng)規(guī)格型號(hào)數(shù)量〔臺(tái)、套〕產(chǎn)地拋光機(jī)SILTEC99美國(guó)生產(chǎn)雙面拋光機(jī)SPEEDFAM10美國(guó)拋光機(jī)STRASBAUGH10美國(guó)類(lèi)型 設(shè)備名稱(chēng)規(guī)格型號(hào) 數(shù)量〔臺(tái)、套〕產(chǎn)地內(nèi)圓切片機(jī)QP－613IDSAWER 10美國(guó)磨片機(jī)OKAMOTO 12日本雙工位熱氧化爐OxidationFurnace 3美國(guó)全自動(dòng)硅片清洗機(jī)DNS 4美國(guó)清洗機(jī)VerteqCobra 2美國(guó)清洗機(jī)AKRION 2美國(guó)外延爐ASM-EPSilon2023 6美國(guó)外延爐Epipro5000 6DASEpitaxy美國(guó)尾氣處理器Scrubber2德國(guó)外延膜測(cè)厚儀ECO/RS2美國(guó)生產(chǎn)電阻測(cè)試儀RESMAP1782美國(guó)外表顆粒度檢測(cè)儀WITS-CR822美國(guó)干預(yù)顯微鏡MX502日本烘箱T67602德國(guó)硅片清洗系統(tǒng)BoldCleanBench2美國(guó)硅片甩干機(jī)SRD-870/8802美國(guó)特種氣體柜Uni-tech6美國(guó)電阻率測(cè)試儀SSM4902美國(guó)燃?xì)鉄崴仩t2.8MW2進(jìn)口公用純水設(shè)備160t/h1進(jìn)口循環(huán)冷卻水系統(tǒng)4000kW1國(guó)產(chǎn)公用工程供電110KV153600kwh。供水工程供水由開(kāi)發(fā)區(qū)的給水管網(wǎng)供給，開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)建有日供水力氣20萬(wàn)噸的自來(lái)水廠二座。供熱10萬(wàn)噸有開(kāi)發(fā)區(qū)的供熱管網(wǎng)供給。純水制備110t/2099.8t/，產(chǎn)生的濃水和反沖洗水642t/d作為清下水排放，其超純水制備工藝流程如下：加絮凝劑自來(lái)水自來(lái)水原水箱原水泵機(jī)械過(guò)濾器活性炭吸附熱交換器清洗裝置pH加阻垢劑Ⅱ級(jí)高壓泵Ⅰ級(jí)高壓泵5μ保安過(guò)濾水箱水泵循環(huán)冷卻系統(tǒng)冷卻器真空脫氣裝置中間水箱中間水泵氮封純水箱生產(chǎn)工藝用水超過(guò)濾器器拋光樹(shù)脂床純水泵3-5超純水制備工藝流程圖排水工程承受雨污分流、清污分流的排水體制。廢水包括生產(chǎn)廢水1808.3t/d、生活污水49t/d和清潔排水648t/d。生產(chǎn)廢水經(jīng)過(guò)有效預(yù)處理到達(dá)接收標(biāo)準(zhǔn)后與生活污水通過(guò)開(kāi)發(fā)區(qū)管網(wǎng)排入真州污水處理廠集中處理，達(dá)標(biāo)后排入長(zhǎng)江儀征段。清潔排水通過(guò)雨水管網(wǎng)排入四周河流。氫氣、氮?dú)獾墓┙o生產(chǎn)工藝中需要的氫氣、氮?dú)庥纱笞跉怏w供給商在本廠區(qū)建筑配套氣站，供給氫氣和氮?dú)?。氫氣制備原理：通過(guò)水電解便可得到一般氫氣，經(jīng)過(guò)催化除氧，吸附枯燥和過(guò)濾除塵后獲得高純氫氣；氮?dú)庵苽湓恚鹤儔何街频惺芴挤肿雍Y為吸附劑。確定的壓力下，碳分子篩對(duì)空氣中B減壓脫附，完成氧氮分別，得到所需純度的氮?dú)?。污染源?qiáng)及污染物排放量分析〔1〕大氣污染物產(chǎn)生及排放狀況工程在生產(chǎn)過(guò)程中排放的大氣污染物主要包括生產(chǎn)工藝廢氣：甲苯、異丙醇、HF、HCl、HSO、NOx、NH、SiHCl、PH、BH。2 4 3 3 3 2 6有組織排放廢氣工程在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的有組織排放廢氣的種類(lèi)與產(chǎn)生環(huán)節(jié)見(jiàn)表3-6。4#特種廢氣G144#特種廢氣G14、3FH、BH外延生長(zhǎng)32 6排氣筒廢氣類(lèi)別廢氣編號(hào)污染物名稱(chēng)產(chǎn)生環(huán)節(jié)1#有機(jī)廢氣G1甲苯、異丙醇清洗G2、G9、G15H2SO4RCA清洗2#酸性廢氣G13、G17HFRCAA英管清洗G5、G12HClRCA清洗G8、G18NOx腐蝕A、外延爐石英管清洗3#堿性廢氣G4、G11、G16NH3RCA清洗、堿清洗〔揚(yáng)州吸附，去除效率到達(dá)80%；酸性廢氣用堿液進(jìn)展噴淋吸取，去除率為≥90%；對(duì)堿性廢氣承受酸95%以上；對(duì)特種廢氣HCl、SiHCl、PH、BH廢氣承受濕式外3 3 2 6延氣體清洗器去除，SiHCl3、HCl、B2H6的去除效率≥99%。擬建工程大氣污染物三本帳狀況見(jiàn)表3-7。銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)252 43332 62 43332 6污染物產(chǎn)生量削減量排放量甲苯0.1020.0820.020異丙醇0.2390.1910.048HF6.1345.5210.613HCl17.73217.5060.226HSO0.8180.7360.082NOx11.58710.4281.159NH4.9844.7350.249SiHCl0.1200.1190.001PHBH2×10-62×10-62×10-81.98×10-61.98×10-62×10-8無(wú)組織排放廢氣3 3 2 擬建工程所用的氫氟酸承受0.5L的PVC瓶存儲(chǔ)；鹽酸、硝酸、硫酸、氫氧化鈉溶液承受0.5L3L3L4L的PVCHCl、SiHCl、PH和BH用鋼瓶柜存儲(chǔ)，鋼瓶柜自帶減壓裝置、閥門(mén)盤(pán)。工程的生產(chǎn)車(chē)間設(shè)計(jì)為密閉的車(chē)間，廢氣收集效率較高，到達(dá)99%。實(shí)際物料裝運(yùn)、使用、貯存和廢氣收集過(guò)程中廢3-83 3 2 123412345HFHClNOx污染源位置HSO各清洗區(qū)2 4NH3污染物產(chǎn)生量t/a面源面積m2面源高度m0.09601~90.008801~90.171201~90.012801~90.39601~9水污染物產(chǎn)生及排放狀況工程各類(lèi)廢水的來(lái)源、類(lèi)別及排放量詳見(jiàn)3-9。3-9廢水種類(lèi)及水量狀況序號(hào)類(lèi)別編號(hào)水量t/d1切片倒角廢水W1、W262研磨廢水W31073拋光廢水W13、W142144酸性廢水438.55堿性廢水W1253.56含氟廢水296.37含氨廢水5518一般廢水W22、W231129廢氣洗滌水W273010生活污水W314911清下水648依據(jù)儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)境影響評(píng)價(jià)與環(huán)境保護(hù)規(guī)劃，擬建工程所排生產(chǎn)廢水應(yīng)在廠內(nèi)處理達(dá)標(biāo)后統(tǒng)一排入長(zhǎng)江儀征段。3-10。3-10擬建工程水污物三本帳一覽表單位t/a種類(lèi)污染物名稱(chēng)產(chǎn)生量廠內(nèi)削減量廠內(nèi)排放量進(jìn)入環(huán)境的量COD92.3548.36283.99239.560SS130.19860.78569.41313.187廢水氟化物21.02314.6046.4196.419NH3-N12.2460.81111.4359.890TP0.0690.0000.0690.009清潔排水COD11.502011.50211.502噪聲污染產(chǎn)生及排放狀況本工程噪聲主要來(lái)源于各類(lèi)機(jī)械設(shè)備，如冷凍機(jī)、廢氣塔、空壓機(jī)、鍋爐風(fēng)機(jī)、真空泵等。3-11。序號(hào)設(shè)備名稱(chēng)1冷凍機(jī)序號(hào)設(shè)備名稱(chēng)1冷凍機(jī)所在車(chē)間工段dB〔A〕75~85界距離m49治理措施降噪效果2冷卻塔70~75綜合動(dòng)力站片車(chē)間片車(chē)間片車(chē)間70選用技術(shù)廠界噪聲達(dá)3廢氣塔85~9068、低噪聲到《工業(yè)企業(yè)設(shè)備；承受廠界噪聲標(biāo)4空調(diào)機(jī)組70~7561準(zhǔn)》降噪等措(GB12348-90)5水泵70~75綜合動(dòng)力站90施；廠區(qū)內(nèi)3類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)6空壓機(jī)80~85綜合動(dòng)力站49綠化的要求7鍋爐風(fēng)機(jī)80~85綜合動(dòng)力站908真空泵80~85綜合動(dòng)力站49對(duì)噪聲實(shí)行的主要防治措施為：選用技術(shù)先進(jìn)低噪聲的設(shè)備、對(duì)設(shè)備進(jìn)展隔聲減震、消聲吸聲等措施，使廠界噪聲到達(dá)《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-90)3類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的要求。固體廢物產(chǎn)生及排放狀況建設(shè)工程產(chǎn)生的固體廢物種類(lèi)主要包括硅片外表處理產(chǎn)生的廢有機(jī)溶劑、廢活性炭、外表處理廢物〔包括廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英以及生活垃圾等，具體產(chǎn)生與排放處置狀況見(jiàn)表3-17。工程中實(shí)行的固體廢物處理措施為：廢有機(jī)溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿和含氟污泥，屬于國(guó)家規(guī)定的危急廢物，托付具有相應(yīng)處理資質(zhì)的單位進(jìn)展處置；廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等可由有關(guān)單位回收利用；生活垃圾等依據(jù)環(huán)衛(wèi)部門(mén)的有關(guān)要求進(jìn)展處置。12名稱(chēng)廢有機(jī)溶劑12名稱(chēng)廢有機(jī)溶劑S5廢硫酸S6、S15、S20廢氫氟酸S7S10S16、HW42HW173.830液液處置方式3HW1796液?jiǎn)挝惶幚碛上鄳?yīng)的單位置求處理合計(jì)1956.5S19、S21、S244 廢鹽酸S9、S18、S21HW1720液5 廢混酸S11、S26HW17300液6 廢堿液S12HW17111液7 廢活性炭HW062固8 含氟污泥HW32620固9 廢氨水S8、S17、S20188固10 廢研磨劑141液11 廢拋光劑170液12 單晶硅渣71固13 廢石墨0.5固14 廢石英0.1固15 廢品125固16 生活垃圾78.1固44.1(a)

污染防治措施大氣污染防治措施評(píng)述大氣污染源依據(jù)工程分析，擬建工程的主要大氣污染源有：?jiǎn)尉Ч钂伖馄谱鳟a(chǎn)生的甲苯、異丙醇、HFHClNH3NOxNH3HClSiHCl3和微量的PH3、B2H6；外延爐的石英管清洗產(chǎn)生HF、NOx。大氣污染防治措施及可行性分析銀笛〔揚(yáng)州〕微電子依據(jù)同類(lèi)型企業(yè)廢氣治理措施的閱歷，對(duì)工程中的各種廢氣實(shí)行了技術(shù)可行、經(jīng)濟(jì)合理、可操作性較強(qiáng)的治理方案。廢氣處理主要工藝具體如下：有機(jī)廢氣清洗工序產(chǎn)生的有機(jī)廢氣甲苯、異丙醇通過(guò)集氣罩、風(fēng)管導(dǎo)入吸附設(shè)備，利用活性炭的表面吸附力去除甲苯、異丙醇，凈化后的廢氣通過(guò)排氣筒直接排入大氣。甲苯和異丙醇的去除率可80%4-1。集氣罩風(fēng)管集氣罩風(fēng)管吸附設(shè)備引風(fēng)機(jī)排放4-1有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)流程圖酸、堿廢氣酸性或堿性廢氣通過(guò)集氣罩收集，由抽風(fēng)機(jī)將其抽至填充式廢氣洗滌塔，用稀堿液或稀酸液進(jìn)展噴淋吸取處理，凈化后的廢氣通過(guò)排氣筒直接排入大氣，所產(chǎn)生的廢氣洗滌水進(jìn)入廢氣洗滌循環(huán)水池，該水池中的排污水進(jìn)入廢水處理系統(tǒng)進(jìn)展處理。酸、堿廢氣系統(tǒng)處理力氣分別為80000m3/h，15000m3/h。4-2。洗滌液廢氣 支風(fēng)管 主風(fēng)管 洗滌塔 引風(fēng)機(jī) 排放進(jìn)入廢水處理系統(tǒng) 廢氣洗滌循環(huán)水池4-2酸、堿廢氣處理系統(tǒng)流程圖洗滌塔承受氣液逆向吸取方式處理，即吸取液霧撒而下形成小水滴，氣體由塔底向上逆流而上，使氣體充分接觸。承受具疏松外表的填充濾料，較大的外表積，可使氣體、液體停留時(shí)間延長(zhǎng)，提高吸取效率。凈化后的廢氣通過(guò)排氣筒排入大氣。酸性廢氣HHClNO、硫酸霧90%，堿性廢氣〔NH3〕95%以上。特種廢氣對(duì)外延生產(chǎn)工序產(chǎn)生的特種廢氣HClSiHCl3

以及微量的PH3

和BH2 65段水噴淋和水洗方式對(duì)外延尾氣進(jìn)展充分的水洗和稀釋?zhuān)瑢⑵渲薪^大局部的HCl、SiHCl3

、BH 和微2 6量的PH 溶解于水，經(jīng)過(guò)水洗后的尾氣在設(shè)備中被大量的空氣稀釋?zhuān)?通過(guò)管道向室外高空排放；廢氣洗滌水進(jìn)入廢水處理設(shè)施處理。濕式外延清洗器設(shè)有手動(dòng)的旋轉(zhuǎn)刮板裝置，用于清理尾氣入氣口處的附著物粘附在入氣口的管壁造成堵塞；并承受氮?dú)饷芊庋b置，將入氣口清理裝置的尾氣與外界隔離，確保沒(méi)有尾氣泄漏；通過(guò)水流量表和調(diào)整閥，用于水流量調(diào)整，以滿足使用；承受不銹鋼做骨架，增加強(qiáng)度和仿腐蝕力氣；其他均承受透亮PVC材料，抗腐蝕和阻燃力氣強(qiáng)，同時(shí)還便于觀測(cè)內(nèi)部的工作狀況；設(shè)備構(gòu)造簡(jiǎn)潔、防爆、牢靠性高。特種廢氣HCl、SiHCl

BH

99%PH的1%。

3 2 6 3上述各種廢氣治理措施是半導(dǎo)體、IC企業(yè)普遍承受、閱歷較成熟的方案。只要加強(qiáng)治理、嚴(yán)格依據(jù)廢氣治理措施進(jìn)展運(yùn)營(yíng)，本工程中產(chǎn)生的廢氣污染物在滿足達(dá)標(biāo)排放的前提下，會(huì)盡可能的削減向四周環(huán)境的排放量，使其對(duì)大氣環(huán)境的影響得到合理的把握與減緩。水污染防治措施評(píng)述廢水處理工藝擬建工程廢水設(shè)施建設(shè)遵循雨污分流、清污分流、分質(zhì)處理的原則。依據(jù)工程中廢水來(lái)源、廢水水質(zhì)的不同，將廢水按種類(lèi)分為切片倒角廢水、研磨廢水、拋光廢水、酸性廢水、堿性廢水、含氟廢水、含氨廢水、一般清洗水、廢氣洗滌水、生活污水和清下水〔包括鍋爐排水、純水制備產(chǎn)生的濃水、空調(diào)系統(tǒng)排水〕。其中生產(chǎn)工藝廢水產(chǎn)生量為1778.3t/d，廢氣洗滌水為30t/d，生活污水49t/d。擬建工程所排總量為1857.3t/d，廢水中的主要污染因子為：COD、SS、氟化物、NH3-N、TP。依據(jù)建設(shè)工程的實(shí)際狀況，并結(jié)合開(kāi)發(fā)區(qū)的總體規(guī)劃與環(huán)境保護(hù)規(guī)劃，擬建工程對(duì)所產(chǎn)生的各種廢水實(shí)行的處理排放方案為：①含氟廢水含氟廢水來(lái)源于單晶硅拋光片的清洗工序、外延爐石英管的清洗。含氟廢水排至生產(chǎn)廢水處理站相應(yīng)的集水池。含氟廢水承受化學(xué)沉淀法進(jìn)展處理。廢水先進(jìn)入混凝反響槽，在凝反響槽內(nèi)投加HSO、PAC、PCM、Ca(OH)，然后進(jìn)入沉淀池進(jìn)展固液分別。廢水再進(jìn)入進(jìn)入廢水調(diào)2 4 2節(jié)池。沉淀池污泥經(jīng)污泥濃縮，用污泥泵送至污泥脫水機(jī)干化后運(yùn)至指定地點(diǎn)填埋。②酸堿廢水酸堿廢水主要來(lái)自于各清洗工序、廢氣洗滌水，此類(lèi)廢水排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)整池中。由于酸堿廢水中主要成分是無(wú)機(jī)酸、堿，故承受化學(xué)中和法處理。在反響槽中投加NaOH〔或Ca(OH)、HSO使廢水pH6-9。2 2 4③切片倒角廢水、研磨廢水、拋光廢水切片倒角用水噴淋硅粉產(chǎn)生的切片倒角廢水；研磨廢水主要來(lái)源于研磨清洗工序；拋光廢,然后排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)整池中，再用泵送入混凝反響槽進(jìn)展沉淀處理。④一般廢水一般廢水來(lái)自拋光片的最終一道清洗和外延片的第一道清洗水，此類(lèi)廢水較為清潔，直接排至混合廢水調(diào)整池中，與其他廢水一起處理。⑤生活污水依據(jù)開(kāi)發(fā)區(qū)的要求，建設(shè)后的生活污水經(jīng)化糞池簡(jiǎn)潔處理后，進(jìn)入真州污水處理廠集中處理。經(jīng)過(guò)廢水處理設(shè)施處理過(guò)的廢水到達(dá)真州污水處理廠的接收標(biāo)準(zhǔn)，與生活污水接入真州污水處理廠處理到達(dá)《城鎮(zhèn)污水處理廠排放標(biāo)準(zhǔn)〔JB18198-2023〕表1中一級(jí)B級(jí)標(biāo)準(zhǔn)后，統(tǒng)一銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)排入長(zhǎng)江儀征段，廢水排放標(biāo)準(zhǔn)見(jiàn)表4-1。4-1地表水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及廢水排放標(biāo)準(zhǔn)真州污水處理廠自建廢水站排放真州污水處理廠排放標(biāo)工程的接收標(biāo)準(zhǔn)mg/L標(biāo)準(zhǔn)值mg/L準(zhǔn)限值mg/LPH(無(wú)量綱)6—96-96-9COD500≤20060SS400≤20020TP8.0≤50.5NH3-N35≤3515氟化物20≤1010廢水處理設(shè)施總排出口設(shè)有氟化物、PH值的自動(dòng)監(jiān)控儀表，并設(shè)有常規(guī)化學(xué)器，定時(shí)檢測(cè)水中有害成分，監(jiān)控生產(chǎn)廢水處理效果。4-3。含氟廢水Ca(OH)、2

P1HF調(diào)整池

研磨廢水拋光廢水HSO 、

混凝反響槽2 4PACPAM酸性廢水堿性廢水一般廢水

沉淀槽28廢水調(diào)整池

沉淀池銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)32污泥處理回用處理系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)產(chǎn)生的污泥自流到污泥槽進(jìn)展污泥的濃縮脫水，脫水的對(duì)象是污泥中的空隙水，濃縮的目的是為了削減污泥體積。濃縮后的污泥由泵送入到廂式壓濾機(jī)，脫水的泥餅裝袋后托付處理。污泥濃縮池、貯泥罐、廂式壓濾機(jī)產(chǎn)生的濾液經(jīng)過(guò)濾液儲(chǔ)池收集后泵入綜合廢水調(diào)整池。真州污水處理廠概況真州污水處理廠一期工程設(shè)計(jì)規(guī)模為2.5萬(wàn)t/d,主要接納生活污水和工業(yè)廢水。真州污水處202310月建成投入試運(yùn)行。真州污水處理廠效勞范圍主要包括儀征主城區(qū)、汽車(chē)工業(yè)園、揚(yáng)州化學(xué)工業(yè)園〔管道路以東、儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)〔包括船舶工業(yè)園〕等范圍。真州污水處理廠廢水處理工藝承受改進(jìn)的A2/O工藝，污泥處理承受一體化帶式濃縮脫水4-4。真州污水處理廠尾水處理到達(dá)《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB18918-2023)中的一級(jí)B標(biāo)準(zhǔn)后排入長(zhǎng)江儀征段。進(jìn)進(jìn)水粗 水格 泵柵 房

細(xì) 沉格 砂柵 池回流 沉渣外運(yùn)剩余污泥

鼓風(fēng)機(jī)房曝氣池

二沉池污泥泵房

紫外線殺毒接 排觸 江消 泵毒

出水至長(zhǎng)江儀征段儲(chǔ)泥 濃縮脫水間 泥餅外運(yùn)4-4真州污水處理廠廢水處理工藝流程圖其工藝主要特點(diǎn)如下:①污染物去除效率高,運(yùn)行穩(wěn)定;②承受A2/O工藝,可將經(jīng)過(guò)一級(jí)物理處理后的污水、通過(guò)厭氧、缺氧、好氧的三個(gè)生物處理過(guò)程，將水中的BOD、COD、SS、氨氮、磷酸鹽同時(shí)去除；③污泥沉降性能好；④能較好的耐受沖擊負(fù)荷；⑤出水水質(zhì)穩(wěn)定。建設(shè)工程在污水收集范圍之內(nèi)。建設(shè)工程廢水排放量為1857.3t/d,僅為污水處理廠一期規(guī)模的14.3%，在其處理力氣之內(nèi)。本工程廢水經(jīng)廠區(qū)自建廢水處理設(shè)施處理后各項(xiàng)污染物濃度均低于接收標(biāo)準(zhǔn)限值。目前儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)的污水管網(wǎng)正在樂(lè)觀建設(shè)中，打算在建設(shè)工程投產(chǎn)前將全部完工并投入使用，本工程建設(shè)期為一年，與污水處理廠處理廢水及儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水管網(wǎng)建設(shè)能夠連接。因此從接收水量、接收標(biāo)準(zhǔn)、時(shí)間和管網(wǎng)布設(shè)等方面綜合考慮，本工程廢水排入真州污水處理廠是可行的。噪聲污染防治措施評(píng)述①選用低噪聲設(shè)備；②設(shè)置減振、隔振根底：對(duì)有振動(dòng)的設(shè)備設(shè)置減振臺(tái)、隔振根底以減少噪聲產(chǎn)生和傳遞；③隔聲、吸音處理：對(duì)空壓機(jī)組、冷凍機(jī)組產(chǎn)生高噪聲的設(shè)備，設(shè)置隔音門(mén)窗，墻面實(shí)行吸音板。以削減噪聲的對(duì)外傳播。此外，承受封閉式廠房、隔聲墻壁，隔聲墻壁、隔聲窗等措施隔離噪音，利用建筑物隔聲減輕污染；同時(shí)在廠區(qū)加強(qiáng)綠化也可降低噪聲對(duì)裝置區(qū)外的影響。經(jīng)上述治理后可有效的削減各類(lèi)噪聲源在廠區(qū)內(nèi)外的集中，降低噪聲對(duì)環(huán)境造成的污染，廠區(qū)四周環(huán)境噪聲根本能到達(dá)《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》中的Ⅲ類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。固體〔廢液〕污染防治措施評(píng)述建設(shè)工程產(chǎn)生的固體廢物種類(lèi)主要包括硅片外表處理產(chǎn)生的廢有機(jī)溶劑、廢活性炭、外表處理廢物〔廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、1961t/a。本工程依據(jù)各種固體廢物的產(chǎn)生來(lái)源、組成及性質(zhì)，比照《國(guó)家危急廢物名錄/方案如下：危急廢物:對(duì)屬于國(guó)家規(guī)定危急廢物之列的固體廢物，必需托付有資質(zhì)的處置單位進(jìn)行妥當(dāng)處理。其中廢有機(jī)溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿、含氟污泥屬于危急廢物，應(yīng)依據(jù)危急廢物處置的有關(guān)規(guī)定，托付具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)展無(wú)害化處理。一般固體廢物：廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等具有確定再利用價(jià)值的廢物，由相應(yīng)的廢品回收部門(mén)進(jìn)展收購(gòu)；對(duì)員工辦公與生活中產(chǎn)生的生活垃圾，在廠內(nèi)定點(diǎn)收集儲(chǔ)存，依據(jù)當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護(hù)和衛(wèi)生治理部門(mén)的要求統(tǒng)一處置。/處理率到達(dá)了100%，沒(méi)有直接外排。非正常排放防范措施對(duì)廢水處理裝置進(jìn)水水質(zhì)進(jìn)展常規(guī)監(jiān)測(cè)，準(zhǔn)時(shí)調(diào)整運(yùn)行參數(shù)，確保穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。加強(qiáng)安全治理，建立崗位責(zé)任制，避開(kāi)因治理不當(dāng)、操作失誤等，造成不達(dá)標(biāo)排放。對(duì)水泵、閥門(mén)等定期檢修維護(hù)，防止跑、冒、滴、漏。對(duì)各種化學(xué)藥品的儲(chǔ)存與使用，要嚴(yán)守治理制度與操作要求，嚴(yán)防泄露、著火等意外事故，消退安全隱患制定定時(shí)巡檢制度，對(duì)污水、廢氣處理設(shè)施非正常狀況準(zhǔn)時(shí)覺(jué)察、準(zhǔn)時(shí)處理，盡量削減污染物外排。綠化2 綠化在防治污染保護(hù)環(huán)境方面起著特別作用。綠色植物具有吸附塵埃、吸取CO、NO、SO2、凈化空氣、減弱噪聲、調(diào)整溫度濕度、改善小氣候的功能。因此，在加強(qiáng)“三廢”治理的同2 1：綠化原則2 2 在廠區(qū)綠化設(shè)計(jì)中，主要以喬、灌木以及草地相結(jié)合的自然式布局為主，其主要優(yōu)點(diǎn)為：利用多種植物在空間上的協(xié)作，可以充分吸取塵埃，吸取CO、NO、SO2 2 喬木、灌木、草地組合遵循以下幾放面的協(xié)調(diào)與統(tǒng)一：樹(shù)木的大小喬木與灌木均有大小之分，各種樹(shù)又表現(xiàn)不同的高矮尺度。喬、灌木的妥當(dāng)搭配，可使樹(shù)叢具有豐富的層次感。在配置中要綜合考慮整體中各樹(shù)木的平、立面關(guān)系，不同高度的樹(shù)木做到錯(cuò)落有致。常綠與落葉常綠樹(shù)可以穩(wěn)定地保持廠區(qū)四季綠貌。落葉樹(shù)一般季相特色比較明顯，尤其是花木和一些結(jié)合它們的高矮尺度合理組合。樹(shù)木的栽植樹(shù)木栽植有孤植、對(duì)植、列植、從植和群植、林植等多種。其中以列植、從植和群植方式為主，在具體應(yīng)用中依據(jù)具體狀況結(jié)合起來(lái)應(yīng)用。草地的配置廠區(qū)綠化中鋪植草坪是一項(xiàng)重要的、具有普遍意義的綠化工程。廠區(qū)中暴露的地面〔道路除外〕應(yīng)全部用草皮掩蓋。綠化方案廠區(qū)綠化承受集中與分散相結(jié)合的方式進(jìn)展。廠區(qū)空地較多，承受集中綠化方式，大片空地以裝飾性草坪為主。該類(lèi)草種的選擇，野牛草、羊胡子草等。在草坪中間孤植、對(duì)植、列植、從植一些高大的喬木，主要起點(diǎn)綴作用，可以承受開(kāi)花喬木并具有顯著顏色效果的樹(shù)種，如合歡、玉蘭、泡桐、木棉、巨紫荊等都是喬木觀花樹(shù)種；著色率較高的樹(shù)種有：紫薇、紅楓、紫葉李、楓香、三角楓、黃櫨、銀杏、柿樹(shù)、黃連木、烏桕、池杉、重陽(yáng)木、石楠、白蠟等。道路兩旁綠化以種植行道樹(shù)為主，考慮在道路兩側(cè)種植高大喬木。形成行列式的林香樟等為骨干，輔之以女貞、廣玉蘭等常綠喬木。中層可選用珊瑚、紫薇、月季等開(kāi)花灌木，地層草坪綠化。廠外主干道種植鉆天揚(yáng)、白樺、云杉。車(chē)間人行道兩側(cè)承受側(cè)柏、小葉黃楊等綠籬輔之以?shī)A竹桃、紫薇等灌木及草本花卉等植物。，種植四時(shí)花草，沿步行小道兩側(cè)設(shè)植綠籬，花卉在整個(gè)廠區(qū)中的應(yīng)用不如樹(shù)木和草坪那樣廣泛，規(guī)劃時(shí)又分為花壇、花境、花臺(tái)等幾種方式。一般用一、二年生草花和宿根性花卉，不同花卉應(yīng)彼此參差穿插，疏密相間，并留意景觀的層次要求。、廣玉蘭等常綠喬木為主，輔之以梧桐、紫荊、金絲桃等，低層以結(jié)縷等草皮綠化。綠化面積建設(shè)工程綠化面積約占總占地面積的38.8%。排污口標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置廢水排放口標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置本建工程廢水包括生活污水和生產(chǎn)廢水，生活污水排入污水廠，生產(chǎn)廢水經(jīng)自建污水處[蘇環(huán)控〔97〕122號(hào)]，建設(shè)工程廠區(qū)的排水體制必需實(shí)施“雨污分流”制，公司設(shè)一個(gè)廢水總排放口，一個(gè)雨水排放口。同時(shí)排污口必需進(jìn)展標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)，便于采樣、監(jiān)測(cè)，并設(shè)置排污口標(biāo)志。廢氣排氣筒〔煙囪〕標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置建設(shè)工程廢氣排放口必需進(jìn)展標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)，按要求裝好標(biāo)志牌，廢氣排氣筒高度應(yīng)符合國(guó)家大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定。固定噪聲污染源標(biāo)準(zhǔn)化標(biāo)志牌設(shè)置固定噪聲污染源對(duì)邊界影響最大處，應(yīng)設(shè)置噪聲監(jiān)測(cè)點(diǎn)，依據(jù)上述原則并兼顧廠界外形在邊界上設(shè)置噪聲監(jiān)測(cè)點(diǎn)同時(shí)設(shè)置標(biāo)志牌。固體廢物貯存〔處置〕場(chǎng)所標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置露天貯存工業(yè)固體廢物的，應(yīng)當(dāng)設(shè)置專(zhuān)用的貯存設(shè)施或堆放場(chǎng)地；并依據(jù)實(shí)際狀況實(shí)行苫布遮蓋或適時(shí)灑水等，以防二次揚(yáng)塵污染。固體廢物貯存〔處置〕場(chǎng)所應(yīng)在醒目處設(shè)置標(biāo)志牌。環(huán)保投資及“三同時(shí)”4-24-3。污染源環(huán)保設(shè)施名稱(chēng)污染源環(huán)保設(shè)施名稱(chēng)100效果廢水處理系統(tǒng)隔聲、承受低噪樹(shù)木、草坪等到達(dá)標(biāo)準(zhǔn)要求200達(dá)標(biāo)排放設(shè)備自帶主體工程同時(shí)建成100廠界達(dá)標(biāo)固體廢物綠化101504零排放綠化率為38.8%滿足有關(guān)要求與廢水處理設(shè)施同步設(shè)施同步排污口整治流量計(jì)、COD在線監(jiān)測(cè)儀、排污口標(biāo)志生產(chǎn)廢水管網(wǎng)4管網(wǎng)建設(shè)8576與廢水、廢氣等處理設(shè)施同步與廠區(qū)基建同步序號(hào) 名稱(chēng)

4-3“三同時(shí)”驗(yàn)收表驗(yàn)收內(nèi)容 處理效果生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)廢水處理站經(jīng)過(guò)有效預(yù)處

到達(dá)污水廠的接收治設(shè)施 標(biāo)準(zhǔn)處理。有機(jī)廢氣承受活性炭吸附，去除效率到達(dá)80%；酸、堿廢氣承受填充式洗滌塔進(jìn)展凈大氣污染化處理，去除率到達(dá)90%、95%；特性廢氣滿足有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。防治設(shè)施要求，排氣筒高度滿足要求。噪聲污染防治措施通過(guò)建筑物阻隔、綠化等減聲降噪。固體廢物治理措施

零排放

圾依據(jù)環(huán)衛(wèi)部門(mén)要求處置。在廠內(nèi)四周、道路兩側(cè)、生產(chǎn)廠房、宿舍等綠化面積51979四周種植樹(shù)木、鋪設(shè)草坪等。滿足相關(guān)治理部門(mén)

的要求，具有可操作中的軟、硬件要求。性清潔生產(chǎn)與循環(huán)經(jīng)濟(jì)分析產(chǎn)業(yè)政策相符性分析銀笛〔揚(yáng)州〕微電子是加坡銀笛科技〔控股〕私人股份在儀征市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)區(qū)投資8000萬(wàn)美金建立的，制作單晶硅拋光片和硅外延片，依據(jù)《國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類(lèi)》〔GB/T4757-2023，本工程屬于C4061電子元件及組件制造。〔2023年修訂〕中“鼓舞外商投資產(chǎn)業(yè)名目”制造業(yè)中其次十局部第10條“半導(dǎo)體、元器件專(zhuān)用材料開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)”與國(guó)家發(fā)改委、科技部、商務(wù)部《當(dāng)前優(yōu)先進(jìn)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點(diǎn)領(lǐng)域指南〔2023年度〕信息中的第18項(xiàng)“電子材料”中的相關(guān)內(nèi)容；符合省經(jīng)貿(mào)委2023年《江蘇省工商領(lǐng)域鼓舞投資的產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)品和技術(shù)導(dǎo)向名目》中制造業(yè)類(lèi)第十九項(xiàng)電子及通信設(shè)備制造業(yè)第3項(xiàng)和蘇發(fā)改投資發(fā)[2023]198號(hào)《江蘇省鼓舞投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)名目》中制造業(yè)類(lèi)第八項(xiàng)電子及通信設(shè)備制造業(yè)第4項(xiàng)的內(nèi)容；符2023年第40號(hào)《產(chǎn)業(yè)構(gòu)造調(diào)整指導(dǎo)名目〔2023年本〕鼓舞類(lèi)其次23條“型電子元器件制造”的內(nèi)容。綜上所述，本工程的建設(shè)符合國(guó)家的相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策。清潔生產(chǎn)清潔生產(chǎn)是對(duì)企業(yè)提出要求，從原料、生產(chǎn)、產(chǎn)品和效勞全過(guò)程，削減和節(jié)約原材料、能源，淘汰有毒材料；不斷實(shí)行改進(jìn)設(shè)計(jì)工藝、承受先進(jìn)的工藝技術(shù)與設(shè)備、改善治理、綜合利用等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率，削減或者避開(kāi)生產(chǎn)、效勞和產(chǎn)品使用過(guò)程中污染物的產(chǎn)生和排放，以減免或者消退對(duì)人類(lèi)安康和環(huán)境的危害。本工程為半導(dǎo)體單晶硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)，具有特種工藝，特種原材料和特種設(shè)備的特點(diǎn)，為此對(duì)工程的清潔生產(chǎn)進(jìn)展分析和提出存在的問(wèn)題。生產(chǎn)工藝與設(shè)備a、本工程為單晶硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)。單晶硅棒經(jīng)切、磨、拋、清洗而成，在進(jìn)展機(jī)械拋光的同時(shí)，用化學(xué)方法做外表處理，即消退應(yīng)力，又保證硅片外表平坦度，再經(jīng)過(guò)超純清洗技術(shù)去除硅片加工過(guò)程中產(chǎn)生的外表污染；硅外延片則以每臺(tái)外延爐為單元組成生產(chǎn)流程，硅襯外延片。生產(chǎn)工藝流程簡(jiǎn)潔，各生產(chǎn)制程配料合理，技術(shù)穩(wěn)定，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的前提下，做到了生產(chǎn)工藝的清潔性。b、特種氣體三氯硅烷、磷化氫、乙硼烷、氯化氫存于進(jìn)口鋼瓶柜，氫氣、氮?dú)?、高純氮由大宗氣體供給商在廠區(qū)內(nèi)建站制造，這些氣體通過(guò)氣體管道、安排閥供給，使用量相對(duì)較少，不與人體和環(huán)境接觸，具有泄漏警報(bào)裝置。c、關(guān)心材料主要是硫酸、鹽酸、硝酸、氫氟酸、混酸、雙氧水、氫氧化鈉溶液和氨水等清洗液，清洗方式承受浸漬清洗，清洗液均屢次重復(fù)使用，定期更換并分類(lèi)用專(zhuān)用容器存放，收集后托付有資質(zhì)的單位處理。d、工程選用的生產(chǎn)設(shè)備均為進(jìn)口設(shè)備，計(jì)算機(jī)程序把握，使用清潔能源，氧化爐和外延爐承受電加熱的方法，濕式外延氣體清洗器、酸堿廢氣洗滌塔的凈化效率較高，成套設(shè)備及使用均通過(guò)國(guó)際或歐洲相關(guān)機(jī)構(gòu)的認(rèn)證和培訓(xùn)，運(yùn)行安全牢靠。單位產(chǎn)品的物耗和排放工程生產(chǎn)單位產(chǎn)品的能耗、物耗和單位產(chǎn)物量見(jiàn)表5-1。5-1單位產(chǎn)品的能耗和產(chǎn)污序號(hào)工程單晶硅拋光片硅外延片1生產(chǎn)規(guī)模2原材料消耗0.67kg/片0.675kg/片3穎水耗0.246t/片0.196t/片4廢水0.181t/片0.145t/片清潔生產(chǎn)保障措施清潔生產(chǎn)是要求從原材料、生產(chǎn)工藝到產(chǎn)品效勞的全過(guò)程把握，徹底轉(zhuǎn)變單純的末端治理的污染防治模式，因此，必需建立完善牢靠的保障體系，把清潔生產(chǎn)治理放在首要位置，才能保障保證清潔生產(chǎn)的落實(shí)，因此建議銀笛〔揚(yáng)州〕微電子實(shí)行以下清潔生產(chǎn)保障措施：成立清潔生產(chǎn)治理機(jī)構(gòu)，建立獎(jiǎng)懲考核目標(biāo)責(zé)任制度。清潔生產(chǎn)治理機(jī)構(gòu)應(yīng)負(fù)責(zé)整個(gè)公司各個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)的清潔生產(chǎn)治理工作，制定清潔生產(chǎn)治理規(guī)程和獎(jiǎng)懲考核目標(biāo)，把把握使用化學(xué)物品、節(jié)能、降耗納入到生產(chǎn)治理目標(biāo)中。開(kāi)展清潔生產(chǎn)審計(jì)工作，由公司總經(jīng)理任審計(jì)小組組長(zhǎng)，為開(kāi)展清潔生產(chǎn)審計(jì)工作奠定良好根底。審計(jì)小組應(yīng)制定并實(shí)施削減能源，水和原材料使用，消退或削減產(chǎn)品和生產(chǎn)過(guò)程中有害物質(zhì)的使用，削減各種廢物排放量。加強(qiáng)業(yè)務(wù)培訓(xùn)和宣傳教育工作，使每個(gè)職工樹(shù)立節(jié)能意識(shí)，環(huán)保意識(shí)，保障清潔生產(chǎn)的目的順當(dāng)實(shí)施。循環(huán)經(jīng)濟(jì)循環(huán)經(jīng)濟(jì)主要遵循“減量化、再利用、資源化”三大原則，本工程以科技進(jìn)步為動(dòng)力，以清潔審查為載體，以提高資源能源的利用效率、削減廢物排放為主要目的，努力構(gòu)建全的循環(huán)經(jīng)濟(jì)進(jìn)展體系。本工程對(duì)生產(chǎn)中排放的廢氣實(shí)行分類(lèi)的收集方式，確保負(fù)壓操作，對(duì)酸、堿廢氣承受填充洗滌塔處理；特種廢氣承受專(zhuān)用的濕式外延氣體清洗器處理，在保證各污染物達(dá)標(biāo)排放的前提下，盡量降低向四周環(huán)境排放的污染物總量。在清洗方式上承受淋洗、噴洗的方法，酸、堿廢氣的噴淋液屢次重復(fù)利用，循環(huán)冷卻系統(tǒng)的水循環(huán)利用，大大節(jié)約穎水用量。本工程使用的硫酸、鹽酸、氫氟酸、硝酸、雙氧水、氨水和氫氧化鈉溶液等清洗液重復(fù)利用。工程產(chǎn)生的危急廢物全部托付處理，一般固廢最大限度的利用，各種固體廢物取向明確。源頭上削減污染物的產(chǎn)生，亦可削減后續(xù)污染治理費(fèi)用，符合循環(huán)經(jīng)濟(jì)的要求。綜上所述，建設(shè)工程符合清潔生產(chǎn)以及循環(huán)經(jīng)濟(jì)的要求。66.1(a)

環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評(píng)價(jià)大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)與評(píng)價(jià)大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀〔1〕監(jiān)測(cè)布點(diǎn)、監(jiān)測(cè)工程在以建設(shè)工程所在地為中心的評(píng)價(jià)范圍內(nèi)，按環(huán)境功能區(qū)與主導(dǎo)風(fēng)向相結(jié)合的布點(diǎn)原則，3個(gè)大氣監(jiān)測(cè)點(diǎn)，監(jiān)測(cè)點(diǎn)位、監(jiān)測(cè)工程及所屬功能區(qū)見(jiàn)表12-2。監(jiān)測(cè)點(diǎn)點(diǎn)位名稱(chēng)方位m監(jiān)測(cè)點(diǎn)點(diǎn)位名稱(chēng)方位m監(jiān)測(cè)工程所在環(huán)境功能二類(lèi)區(qū)SO、NO、PMHCl二類(lèi)區(qū)2210化物、NH、異丙醇、甲苯3二類(lèi)區(qū)編號(hào)G1建設(shè)工程所在地——G2蒲心村南100G3園區(qū)管委會(huì)西偏北1700〔2〕監(jiān)測(cè)結(jié)果通過(guò)監(jiān)測(cè)結(jié)果的統(tǒng)計(jì)分析，可得知各監(jiān)測(cè)點(diǎn)PM 、NO、SO、氟化物、氨、氯化氫小時(shí)濃10 2 2度值和日平均濃度值都沒(méi)有消滅超標(biāo)現(xiàn)象；硫酸霧、異丙醇、甲苯均未檢出，G3〔園區(qū)管委會(huì)〕監(jiān)測(cè)點(diǎn)的氟化物也未檢出。6.2 地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)及評(píng)價(jià)地表水環(huán)境質(zhì)量斷面和監(jiān)測(cè)點(diǎn)布設(shè)斷面監(jiān)測(cè)點(diǎn)布設(shè)為：長(zhǎng)江斷面為每斷面布設(shè)3個(gè)測(cè)點(diǎn)，分別離北岸50m、100m、250m。取0.5m。Ⅰ水體 ⅡⅢ水質(zhì)現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果

6-2地表水現(xiàn)狀調(diào)查斷面布設(shè)斷面位置真州污水處理廠排口上游500m真州污水處理廠排口下游1000m真州污水處理廠排口下游2023m長(zhǎng)江儀征段水質(zhì)尚可，長(zhǎng)江〔Ⅰ～Ⅲ斷面〕評(píng)價(jià)江段各斷面除SS外其余各監(jiān)測(cè)指標(biāo)：pH、COD、氨氮、氟化物標(biāo)準(zhǔn)指數(shù)P均小于1，均到達(dá)了《地表水環(huán)境質(zhì)量〔GB3838-2023〕Ⅲ類(lèi)ij水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)限值，能滿足地表水Ⅲ類(lèi)水體功能要求。環(huán)境噪聲現(xiàn)狀評(píng)價(jià)監(jiān)測(cè)布點(diǎn)83-1。監(jiān)測(cè)結(jié)果監(jiān)測(cè)結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)值比照評(píng)價(jià)說(shuō)明，目前四周聲環(huán)境質(zhì)量較好，各測(cè)點(diǎn)晝夜監(jiān)測(cè)值均達(dá)標(biāo)。環(huán)境影響推想及評(píng)價(jià)大氣環(huán)境影響推想2 有風(fēng)氣象條件下，正常工況和非正常工況下各污染物〔NO、NH2 對(duì)四周環(huán)境的影響很小。在各類(lèi)穩(wěn)定度下顆粒物、氯化氫、氨、氮氧化物、氟化物的最大落地濃度均小于標(biāo)準(zhǔn)限值。靜小風(fēng)氣象條件下，正常工況和非正常工況下各污染物〔煙塵、NO2、NH3、氟化物、氯化氫〕排放對(duì)四周環(huán)境的影響雖然大于有風(fēng)氣象條件，但各穩(wěn)定度下NO2、NH3、氟化物、氯化氫的最大落地濃度均小于標(biāo)準(zhǔn)限值，對(duì)四周環(huán)境影響較小。無(wú)組織排放的氟化氫、氯化氫、硫酸霧、氨氣、氮氧化物的廠界濃度達(dá)標(biāo)。無(wú)組織排放的100米。地表水環(huán)境影響推想在正常狀況下，不會(huì)對(duì)長(zhǎng)江儀征段水質(zhì)產(chǎn)生大的影響。事故排放：由于事故時(shí)廢水均進(jìn)入事故池，不會(huì)排入水體，因此不會(huì)對(duì)地表水環(huán)境產(chǎn)生不利影響。聲環(huán)境影響推想建設(shè)工程廠界各推想點(diǎn)的晝間、夜間噪聲推想值均可到達(dá)《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》中相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)的要求。因此待工程建成后，其四周噪聲能夠到達(dá)標(biāo)準(zhǔn)要求。響。

固廢環(huán)境影響分析建設(shè)工程產(chǎn)生的固廢〔液〕均得到妥當(dāng)處置，不向環(huán)境排放，因此不會(huì)對(duì)環(huán)境產(chǎn)生有害影總量把握分析總量把握因子依據(jù)《江蘇省排放污染物總量把握暫行規(guī)定》的要求，結(jié)合建設(shè)工程的具體特征，確定本工程的總量把握因子為：大氣污染總量把握因子：NOx、甲苯、異丙醇、硫酸霧、氯化氫、氟化氫、氨氣、三氯硅烷、磷化氫、乙硼烷；廢水總量把握因子：COD、SS、NH3-N、TP、氟化物；固體廢物總量把握因子：工業(yè)固體廢物。總量把握指標(biāo)依據(jù)工程分析核算結(jié)果，結(jié)合總量把握的根本原則和要求，該工程廢水污染物排放的總量10-1。種類(lèi)污染物產(chǎn)生量自身削減量廠內(nèi)排放量進(jìn)入環(huán)境量建議申請(qǐng)量廢氣3種類(lèi)污染物產(chǎn)生量自身削減量廠內(nèi)排放量進(jìn)入環(huán)境量建議申請(qǐng)量廢氣3332 6廢水3清潔排水甲苯0.1020.082——0.0200.020異丙醇0.2390.191——0.0480.048HF6.1345.521——0.6130.613HCl17.73217.506——0.2260.226HSO2 40.8180.736——0.0820.082NOx11.58710.428——1.1591.159NH4.9844.735——0.2490.249SiHClPHBH0.1202×10-62×10-60.1192×10-81.98×10-6——————0.0011.98×10-62×10-80.0011.98×10-62×10-8COD92.3548.36283.99239.56039.560SS130.19860.78569.41313.18713.187氟化物21.02314.6046.4196.4196.419NH-N12.2460.81111.4359.8909.890TP0.0690.0000.0690.0090.009COD11.5020——11.50211.502總量平衡方案本工程為建工程，污染物總量把握首先考慮落實(shí)個(gè)工程污染治理措施，實(shí)現(xiàn)污染物達(dá)標(biāo)排放，然后在技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理?xiàng)l件下，盡可能削減污染物對(duì)四周環(huán)境的排放量。工程排放的污染物總量應(yīng)向當(dāng)?shù)丨h(huán)保主管部門(mén)申請(qǐng)，有環(huán)保部門(mén)在區(qū)域內(nèi)進(jìn)展調(diào)劑，確保區(qū)域內(nèi)的污染物排放總量平衡。依據(jù)儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)的規(guī)劃狀況，COD、SS、NH3-N、TP納入真州污水處理廠排放總量之中，氟化物和大氣污染排放指標(biāo)向當(dāng)?shù)丨h(huán)保部門(mén)申請(qǐng)，在區(qū)域內(nèi)平衡調(diào)劑。銀笛〔揚(yáng)州〕微電子將承受環(huán)保部門(mén)的污染物排放總量的安排與監(jiān)控。銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)銀笛〔揚(yáng)州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報(bào)告書(shū)43環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)結(jié)論本工程使用的特種廢氣PH3、B2H6、HCl其有用量很少，存儲(chǔ)量也很少，承受特總氣體柜存儲(chǔ)；對(duì)于氫氟酸、硫酸、鹽酸、硝酸、混酸、氨水和氫氧化鈉溶液承受合理的存儲(chǔ)方式存放于化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)中。依據(jù)相關(guān)導(dǎo)則判定，本工程不夠成重大危急源，進(jìn)展二級(jí)評(píng)價(jià)。本工程的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型可能是火災(zāi)、爆炸、泄露，此類(lèi)事故發(fā)生的風(fēng)險(xiǎn)值遠(yuǎn)小于化工企業(yè)風(fēng)險(xiǎn)統(tǒng)計(jì)值，因此本工程的風(fēng)險(xiǎn)是可承受的。事故防范事故防范措施合理布置總平面和工藝布局，主體建筑劃分為辦公區(qū)、拋光生產(chǎn)區(qū)、外延生產(chǎn)區(qū)、綜合動(dòng)力站、倉(cāng)庫(kù)和關(guān)心生活設(shè)施。廠區(qū)設(shè)置環(huán)行通道，建筑物間距滿足規(guī)劃要求，保持充分緩沖空間和人物隔離距離。易爆區(qū)域的防范對(duì)具有爆炸危急的區(qū)域〔氣體交接區(qū)、為期處理間等〕設(shè)有防暴與泄爆面積和安全的250化學(xué)藥品的防范集中使用化學(xué)液的拋光片、外延片清洗間需設(shè)緊急噴淋洗眼器及安全沖淋裝置。使用品運(yùn)輸、儲(chǔ)存、使用制度和操作規(guī)程的規(guī)定，配備現(xiàn)場(chǎng)急救設(shè)備、藥品，從事生產(chǎn)人員均培訓(xùn)持證上崗。特種