多晶硅單晶硅企業(yè)1800立方氬氣回收工藝技術(shù)方案簡述

整套機組包括：壓縮系統(tǒng)、預(yù)冷系統(tǒng)、加氫除氧系統(tǒng)、分子篩純化系統(tǒng)、分餾塔冷箱系統(tǒng)、儀電控系統(tǒng)等。為保障產(chǎn)品氬氣供應(yīng)及提高精餾裝置制冷效率，系統(tǒng)配置液氬后備及輸入裝置，在前端氬氣意外中斷時通過液氬用1500m3雙膜氣柜收集來自車間界區(qū)的原料粗氬氣，原料粗氬氣進入原料氣壓縮機進行壓縮，壓縮后氣體進入緩沖罐，引入脫碳模塊、脫氧模尾氣收集和壓縮流程示意圖2.催化反應(yīng)空氣，在高溫下與碳氫化合物反應(yīng)，生成二氧化碳和水，與一氧化碳反應(yīng)，生成二氧化碳。本系統(tǒng)由反應(yīng)爐，冷卻器和分子篩組成。為了去除原料氬氣中的碳氫化合物及一氧化碳組分，需要在反應(yīng)爐前通入空氣，在催化劑 (0-346脫氧劑)作用下使碳氫化合物、一氧化碳含量下降至1ppm以下。反應(yīng)后的氣體經(jīng)過冷卻后，進入分子篩，去除二氧化碳和水。加氫除氧系統(tǒng)由反應(yīng)爐和冷卻器組成。為了去除原料氬氣中的氧氣組分，需要在反應(yīng)爐前通入氫氣，在催化劑作用下使氧氣含量下降至1ppm。該反應(yīng)過程放熱，采用后冷卻器使原料氣降溫。催化反應(yīng)過程所需的氧氣，全部由空壓機壓縮空氣提供。所需要的氫氣由水電解裝置提供。氫氣用量60Nm3/h,空氣用量為1Nm3/h。催化反應(yīng)后的氬氣進入分子篩前先進入預(yù)冷系統(tǒng)冷卻，系統(tǒng)由氟利昂蒸發(fā)器、制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、水分離器、控制系統(tǒng)組成，回收氬氣經(jīng)預(yù)冷機組冷卻到5～8℃,經(jīng)水分離器分離掉游離水。分子篩純化系統(tǒng)由分子篩吸附器、電加熱器、切換閥門、控制系統(tǒng)組成。分子篩純化系統(tǒng)的吸附器由兩只分子篩吸附器組成，吸附氬氣的水分、CO?和一些碳氫化合物。為確保氬氣純度，本項目設(shè)置一套在線分析儀，并在除碳模塊設(shè)置3個放空管，除氧模塊設(shè)置2個放空管，當在線分析儀檢測氬氣純度不符合要求時，會自動報警，放空管自動放空。催化反應(yīng)流程圖催化反應(yīng)流程示意圖3.低溫精餾凈化后的粗氬氣進入主換熱器，被返流的氬氣冷卻至深冷溫度，進入分餾塔塔底的再沸器參與換熱，進一步冷卻到液體，經(jīng)節(jié)流后送入精餾塔中上部參與精餾。在塔底獲得液氬，廢氣從塔頂排出。塔底液氬經(jīng)節(jié)流后與外部補充的液氬匯合送入冷凝蒸發(fā)器，冷凝蒸發(fā)器蒸發(fā)出來的氬氣進入主換熱器復(fù)熱至常溫，出冷箱后直接輸送給用戶。為確保氬氣純度，本項目設(shè)置一套在線