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文檔簡介
透射電鏡(光路圖)◆透射電鏡的電子光學◆透射電鏡的結(jié)構◆透射電鏡的電子衍射◆透射電鏡的顯微成像
§透射電鏡的電子光學◆透鏡---磁透鏡有極靴Bz沒有極靴短線圈透射電鏡中心
不同情況下的軸向磁感應強度分布ACOO’Z
電磁透鏡的聚焦原理示意圖
用磁場來使電子波聚焦成像?!舫上?--公式焦距總是正的,是一種變焦距或變倍率的匯聚透鏡?!舫上?--像差(球差)P1透鏡PP2球差
最小散焦圓斑光軸◆成像---像差(像散)消像散器像散
弱聚焦P1P光軸P2強聚焦最小散焦圓斑透鏡◆成像---像差(色差)色差
束流穩(wěn)定的電子束◆分辨率---景深和焦長景深:不影響分辨率條件下,電磁透鏡物平面允許的軸向偏差。焦長:不影響透鏡分辨率條件下,像平面可沿軸向平移距離?!焱干潆婄R的結(jié)構電子光學系統(tǒng)真空系統(tǒng)供電系統(tǒng)電子槍聚光鏡試樣物鏡中間象投影鏡觀察屏照相底板◆電子光學系統(tǒng)照明系統(tǒng)成像系統(tǒng)觀察記錄系統(tǒng)照明系統(tǒng)組成:電子槍、聚光鏡等.作用:提供一束高亮度、孔徑半角小、平行度好、束流穩(wěn)定的電子波
襯度光闌選區(qū)光闌聚光鏡光闌樣品臺物鏡中間鏡投影鏡消像散器偏轉(zhuǎn)線圈中間鏡投影鏡§透射電鏡的電子衍射電子衍射原理圖
物鏡背焦平面中間鏡物平面襯度光闌物鏡像平面選區(qū)光闌中間鏡中間鏡像平面*電子衍射基本公式
電子衍射操作是把例易陣點的圖像進行空間轉(zhuǎn)換并在正空間中記錄下來。用底片記錄下來的圖像稱為衍射花樣。平行入射束與試樣作用產(chǎn)生衍射束,同方向衍射束經(jīng)物鏡作用于物鏡后焦面會聚成衍射斑。透射束會聚成中心斑或稱透射斑。衍射花樣相當于倒易點陣被反射球所截的二維倒易面的放大投影。從幾何觀點看,倒易點陣是晶體點陣的另一種表達式,但從衍射觀點看,有些倒易點陣也是衍射點陣。2q試樣入射束愛瓦爾德球倒易點陣底板
電子衍射花樣形成示意圖§透射電鏡的顯微成像物鏡中間鏡投影鏡選區(qū)光闌物鏡像平面中間鏡物平面襯度光闌物鏡焦平面◆衍襯成像晶體試樣各部分滿足布拉格反射條件不同和結(jié)構振幅的差異。衍襯成像----明、暗場像明場像(BF)——上述采用物鏡光欄將衍射束擋掉,只讓透射束通過而得到圖象襯度的方法稱為明場成像,所得的圖象稱為明場像。暗場像——用物鏡光欄擋住透射束及其余衍射束,而只讓一束強衍射束通過光欄參與成像的方法,稱為暗場成像,所得圖象為暗場像。暗場成像有兩種方法:偏心暗場像(DF)與中心暗場像(CDF)。衍射成像原理(a)明場像(b)中心暗場衍射成像
衍襯成像----用途
(晶體缺陷分析)層錯孿晶位錯第二相粒子“應變場襯度”:
晶體內(nèi)存在第晶格畸變,存在畸變的晶體部分和不產(chǎn)生畸變的晶體部分之間出現(xiàn)襯度差別,這些情況引起襯度?!糍|(zhì)厚成像對于非晶薄膜而言原子序數(shù)越大、密度越大、
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