AlGaNGaN異質(zhì)結(jié)器件的肖特基接觸研究的綜述報(bào)告

AlGaNGaN異質(zhì)結(jié)器件的肖特基接觸研究的綜述報(bào)告背景介紹：隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件也逐漸成為了研究的熱點(diǎn)。AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件具有Thermal穩(wěn)定性好、高承壓能力、高速開關(guān)特性、高壽命及高分辨率等特點(diǎn)。其中，肖特基接觸是影響器件性能和可靠性的一個(gè)重要因素。因此，研究AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件的肖特基接觸是十分必要的。研究進(jìn)展：AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件的肖特基接觸研究涉及到多個(gè)方面，包括肖特基金屬選擇、表面處理、肖特基接觸判別及器件表征等。（1）肖特基金屬選擇：肖特基金屬選擇是影響肖特基接觸電學(xué)性質(zhì)和參數(shù)的關(guān)鍵因素。Tanaka等人使用Pt/Ti/Au等金屬作為肖特基金屬，發(fā)現(xiàn)Pt/Ti/Au肖特基接觸具有高的正向電阻和漏電流，而Au/Ni/Cr/Au肖特基接觸具有更低的正向電阻和漏電流。Yan等人發(fā)現(xiàn)Ni/Au/Ni肖特基接觸也具有優(yōu)良的電學(xué)性能和溫度穩(wěn)定性。因此，選擇適合的肖特基金屬對(duì)于優(yōu)化AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件的特性具有重大意義。（2）表面處理：在AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件的肖特基接觸中，物理表面處理可以影響生成肖特基接觸的物理和電學(xué)特性。在干法大氣等離子體（DEAP）表面處理下，Tana等人發(fā)現(xiàn)Pt/Ti/Au肖特基接觸具有最佳的正向電流-電壓（I-V）特性和良好的重復(fù)性，而Wetammonia表面處理可使Au/TiB2/Ni肖特基接觸的正向電流-電壓特性優(yōu)化。因此，適當(dāng)?shù)奈锢肀砻嫣幚砜梢源蟠蟾纳菩ぬ鼗佑|的性能。（3）肖特基接觸判別：研究者通常使用肖特基接觸電流-電壓（I-V）特性、接觸電阻、逆向漏電流和容積反向比等參數(shù)來判斷AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件的肖特基接觸是否良好。偏置電壓對(duì)于正向電流-電壓特性和逆向漏電流的影響也需要考慮。比如，在-5V偏置下，Rajeswaran等人發(fā)現(xiàn)Zr/Ag/Au肖特基接觸具有最佳的I-V特性和逆向漏電流。因此，適當(dāng)?shù)钠珘簩?duì)于肖特基接觸判別也是極為重要的。（4）器件表征：AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件的肖特基接觸還需要通過器件表征來驗(yàn)證肖特基接觸的性質(zhì)和特性。Molnár等人使用反向漏電流-溫度特性研究肖特基接觸對(duì)溫度變化的敏感性。Takwan等人則使用恒流源和化合物半導(dǎo)體分析儀（CA）檢查了周期性壓電場(chǎng)對(duì)肖特基接觸漏電流的影響。結(jié)論：AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)器件的肖特基接觸是影響器件性能和可靠性的一個(gè)重要因素。在肖特基金屬選擇、表面處理、肖特基接觸判別及器件表征等方面的研究中，研究者發(fā)現(xiàn)采用Ni/Au/Ni肖特基金屬和DEAP表面處理產(chǎn)生的Pt/Ti/Au肖特基接觸具有良好的電學(xué)特性和穩(wěn)定性。并且，適當(dāng)?shù)钠珘汉推骷碚骺梢赃M(jìn)一步證明肖特基接觸的性質(zhì)和特性。未來，我們需要更深