《真空系統(tǒng)講義》課件2

《真空系統(tǒng)講義》PPT課件

制作人：創(chuàng)作者時間：2024年X月目錄第1章真空系統(tǒng)介紹第2章真空泵的分類和工作原理第3章真空系統(tǒng)中的閥門和管道第4章真空系統(tǒng)中的真空計第5章真空系統(tǒng)中的泄漏檢測第6章真空系統(tǒng)的維護與保養(yǎng)第7章真空系統(tǒng)的應(yīng)用案例01第1章真空系統(tǒng)介紹

什么是真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)是由真空泵、真空儀表、閥門和管道等組成的系統(tǒng)，用于產(chǎn)生和維持高真空或超高真空環(huán)境。在科研、工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。真空系統(tǒng)的設(shè)計與運行對于實驗結(jié)果或生產(chǎn)過程至關(guān)重要。

真空系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域用于制備半導(dǎo)體材料和器件半導(dǎo)體制造用于制備光學(xué)元件和器件光學(xué)薄膜沉積用于冷卻和保存物品真空冷凍用于模擬太空環(huán)境航空航天重要性真空度越高，系統(tǒng)內(nèi)的氣體分子數(shù)量越少測量常用的真空度單位有帕斯卡（Pa）、毫巴（mbar）等影響因素溫度、壓強、材料等因素都會影響真空度的大小真空度的概念概念真空度是指單位體積內(nèi)氣體分子的數(shù)量最初的真空技術(shù)應(yīng)用單一真空泵時代0103真空系統(tǒng)自動化程度的提高自動控制技術(shù)的應(yīng)用02現(xiàn)代真空技術(shù)發(fā)展的階段多級聯(lián)合真空系統(tǒng)總結(jié)真空系統(tǒng)作為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的重要組成部分，其應(yīng)用已經(jīng)深入到了各個領(lǐng)域。隨著技術(shù)的不斷進步和發(fā)展，真空系統(tǒng)的功能也將得到進一步提升，為人類的生產(chǎn)和生活帶來更多便利。02第2章真空泵的分類和工作原理

機械泵的工作原理機械泵通過轉(zhuǎn)子運轉(zhuǎn)，利用螺旋式排氣的方式將氣體抽出真空室。這種泵適用于中低真空范圍，操作簡單，維護成本較低，但抽真空速度較慢。

分子泵的工作原理產(chǎn)生氣體分子碰撞高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子通過分子碰撞氣體抽出適用于高真空環(huán)境高真空度

高效能適用于大型真空系統(tǒng)快速抽氣效果明顯安全可靠穩(wěn)定性高使用壽命長

擴散泵的工作原理加熱油蒸氣產(chǎn)生氣體分子流利用分子流將氣體從低真空區(qū)輸送至高真空區(qū)實現(xiàn)真空度提高利用螺旋式排氣方式抽真空機械泵0103通過加熱油蒸氣產(chǎn)生氣體分子流，將氣體從低真空區(qū)輸送至高真空區(qū)擴散泵02通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子產(chǎn)生氣體分子碰撞來抽出氣體分子泵總結(jié)真空泵的分類包括機械泵、分子泵和擴散泵等不同類型，每種泵都有其獨特的工作原理和適用范圍。了解各種泵的特點對于選擇適合的泵提高系統(tǒng)性能至關(guān)重要。03第3章真空系統(tǒng)中的閥門和管道

閥門的分類在真空系統(tǒng)中，閥門按照作用方式可分為截止閥、節(jié)流閥、截流閥等。不同類型的閥門在系統(tǒng)中起著不同的控制和調(diào)節(jié)作用。閥門的作用閥門在真空系統(tǒng)中扮演著重要角色，它們主要用于控制氣體流動和實現(xiàn)密封，確保系統(tǒng)正常運行。選擇合適的閥門對系統(tǒng)的穩(wěn)定運行至關(guān)重要。

管道的選材選材需考慮材料的耐腐蝕性能，以確保管道長期穩(wěn)定運行。耐腐蝕性管道選材時要注重密封性，確保系統(tǒng)不會發(fā)生泄漏，保持真空狀態(tài)。密封性考慮管道的抗壓強度是確保系統(tǒng)安全運行的重要因素，尤其在高壓下更為關(guān)鍵。抗壓強度

管道的布局管道布局需考慮氣體的流動方向，合理設(shè)計管道布局有利于氣體流暢。氣體流動方向合理布局管道有助于減小漏氣的可能性，確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。減小漏氣有效布局管道可以減小氣體在管道中停留的時間，提高系統(tǒng)的運行效率。減小氣體停留

閥門可以精確控制氣體在系統(tǒng)中的流動速度和方向，實現(xiàn)流量調(diào)節(jié)?？刂茪怏w流動0103閥門的正常運行保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，是真空系統(tǒng)中不可或缺的組成部分。系統(tǒng)運行保障02閥門具有良好的密封性能，能夠有效阻止氣體泄漏，保持系統(tǒng)的穩(wěn)定真空狀態(tài)。密封功能節(jié)流閥用于調(diào)節(jié)流體的流量，控制流體速度和流程，常用于流量調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)。適用于需要精確控制流體流速的場合。截流閥用于切斷流體的流動，實現(xiàn)快速關(guān)閉和啟動，通常用于緊急情況的處理。具有快速啟閉的特點，適用于需要迅速控制流體流動的場合。

閥門的分類截止閥主要用于切斷流體的流動，常用于管路系統(tǒng)的啟閉裝置。具有較好的密封性能，能夠有效阻止氣體泄漏。04第四章真空系統(tǒng)中的真空計

準確測量氣體在真空系統(tǒng)中的壓力測量氣體壓力0103用于監(jiān)控真空系統(tǒng)運行狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)狀態(tài)02幫助判斷系統(tǒng)中氣體的真空情況判斷氣體真空度熱膨脹真空計適用于高溫環(huán)境精度高耐用性強毛細管壓力計結(jié)構(gòu)簡單價格較低精確度一般

常見真空計的分類離子化真空計適用范圍廣測量準確易于使用真空計的校準確保真空計的準確性定期校準遵循嚴格的校準標準流程校準標準可選擇實驗室進行專業(yè)校準實驗室校準

真空計的安裝和使用安裝真空計需注意位置選擇，要避免受到干擾或振動影響。密封性能也是關(guān)鍵，確保系統(tǒng)密封性能良好。在使用過程中應(yīng)保持讀數(shù)準確，定期檢查和維護真空計，保證其正常運行。

05第五章真空系統(tǒng)中的泄漏檢測

泄漏檢測的重要性泄漏檢測是確保真空系統(tǒng)正常運行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，避免氣體泄漏導(dǎo)致系統(tǒng)失效。在真空系統(tǒng)中，即使微小的泄漏都可能導(dǎo)致系統(tǒng)性能下降，因此及時進行泄漏檢測至關(guān)重要。

泄漏檢測方法利用壓力變化檢測泄漏干式檢測法利用液體檢測泄漏濕式檢測法使用氦氣追蹤泄漏點氦質(zhì)譜法

泄漏標記劑通過染色檢測泄漏點用于檢測不易發(fā)現(xiàn)的泄漏泄漏檢測儀自動檢測系統(tǒng)中的泄漏提高泄漏檢測效率

泄漏檢測儀器泄漏探測器用于探測泄漏點常見于工業(yè)領(lǐng)域確保系統(tǒng)穩(wěn)定性定期實施0103延長設(shè)備使用壽命維護真空系統(tǒng)02避免系統(tǒng)性能下降及時發(fā)現(xiàn)并修復(fù)泄漏結(jié)尾通過對泄漏檢測的重要性、方法和儀器以及實施方式的學(xué)習(xí)，希望能加深對真空系統(tǒng)中泄漏問題的理解，進而提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性和效率。06第6章真空系統(tǒng)的維護與保養(yǎng)

系統(tǒng)清潔定期清潔系統(tǒng)內(nèi)部及外部是保持真空系統(tǒng)穩(wěn)定運行的重要步驟。通過清潔可以減少灰塵和雜質(zhì)對設(shè)備的影響，確保系統(tǒng)在高效運行的同時延長設(shè)備的使用壽命。

潤滑維護對機械泵等潤滑部件進行定期檢查，確保潤滑效果正常定期檢查定期更換潤滑油或潤滑脂，以延長設(shè)備壽命定期更換良好的潤滑維護可以延長機械設(shè)備的使用壽命延長壽命

定期監(jiān)測系統(tǒng)真空度，確保系統(tǒng)正常運行定期監(jiān)測0103

02及時檢查真空系統(tǒng)是否存在漏氣問題，確保系統(tǒng)運行穩(wěn)定檢查漏氣潤滑計劃半年更換潤滑油每月檢查潤滑效果更換零部件按需更換密封件定期更換濾芯

定期維護計劃清潔計劃每周清潔系統(tǒng)外部每月清潔系統(tǒng)內(nèi)部總結(jié)維護真空系統(tǒng)是確保實驗室設(shè)備正常運行的關(guān)鍵步驟。定期清潔、潤滑維護和真空度監(jiān)測可以有效延長系統(tǒng)壽命，提高工作效率。制定合理的維護計劃是保證系統(tǒng)穩(wěn)定運行的重要保障。07第7章真空系統(tǒng)的應(yīng)用案例

半導(dǎo)體制造真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造中扮演著重要角色，保證半導(dǎo)體器件的制作過程處于高真空環(huán)境。這種高真空環(huán)境可以有效減少雜質(zhì)的污染，提高半導(dǎo)體器件的品質(zhì)和穩(wěn)定性。

真空冷凍保留營養(yǎng)成分食品保鮮保持食品口感口感保持延長食品保質(zhì)期延長保存期限

應(yīng)用于激光器制作制造光學(xué)器件0103實現(xiàn)多功能光學(xué)器件增加光學(xué)功能02減少反射損耗提高傳輸效率航空飛機系統(tǒng)氣密性測試供氧系統(tǒng)維護提高航空器飛行安全性航天器構(gòu)建真空測試驗證推進器性能優(yōu)化保障航空航天器長久使用