碳化硅外延片表面缺陷的測(cè)試 激光散射法_第1頁(yè)
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GB/T××××—××××放大倍數(shù)為：100倍triangle在ScN、QZrO、VIS-PL和NUV-PL通道呈現(xiàn)的形狀3、淺三角形（ShallowTriangle）缺陷圖譜Shallowtriangle在ScN、QZrO、VIS-PL和NUV-PL通道呈現(xiàn)的形狀4、胡蘿卜（Carrot）缺陷圖譜放大倍數(shù)為：200倍放大倍數(shù)為：100倍carrot在ScN、QZrO、VIS-PL和NUV-PL通道呈現(xiàn)的形狀5、梯形缺陷（ObtuseTriangle）：放大倍數(shù)為：20倍梯形缺陷在ScN、QZrO、VIS-PL和NUV-PL通道呈現(xiàn)的形狀6、表面臺(tái)階聚集（StepBunching）：放大倍數(shù)為：20倍臺(tái)階聚集在ScN、QZrO、VIS-PL和NUV-PL通道呈現(xiàn)的形狀

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