半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第40部分：MEMS慣性沖擊開(kāi)關(guān)閾值測(cè)試方法 征求意見(jiàn)稿

GB/T42709.40—XXXX/IEC62047-401半導(dǎo)體器件微電子機(jī)械器件第40部分MEMS慣性沖擊開(kāi)關(guān)閾值測(cè)試方法現(xiàn)閉合、斷開(kāi)功能的器件。也稱(chēng)為閾值開(kāi)關(guān)、加速度開(kāi)關(guān)或者在規(guī)定大小的加速度作用下，從斷開(kāi)狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)殚]合狀態(tài)且在加速度消失后恢復(fù)到斷開(kāi)狀態(tài)的GB/T42709.40—XXXX/IEC62047-4024基本特性4.1推薦工作條件下面測(cè)試條件宜在詳細(xì)規(guī)范中規(guī)定，除非相b)相對(duì)濕度：20%RH~80%4.2性能參數(shù)a1Rb1GB/T42709.40—XXXX/IEC62047-4035.1開(kāi)關(guān)類(lèi)型采用數(shù)字多用表的電阻檔測(cè)量開(kāi)關(guān)兩引出端之間的5.2靜態(tài)閾值測(cè)試系統(tǒng)包含四個(gè)部分：離心試驗(yàn)機(jī)、待測(cè)開(kāi)關(guān)、通斷測(cè)試電路和狀態(tài)指示器，如圖2所示。狀態(tài)5.2.1.2測(cè)試步驟2）施加激勵(lì)電壓，通斷測(cè)試電路復(fù)位，使開(kāi)關(guān)的狀態(tài)指示器指示狀態(tài)為斷開(kāi)。3）根據(jù)產(chǎn)品的靜態(tài)閾值設(shè)計(jì)值，離心試驗(yàn)機(jī)發(fā)生與靜態(tài)閾值設(shè)計(jì)值相同的加速度值A(chǔ)11。a)若狀態(tài)指示器指示開(kāi)關(guān)為閉合狀態(tài)，則按照產(chǎn)品精度的幅度將A11減小至A12，觀察并記錄狀態(tài)速度值分別為開(kāi)關(guān)靜態(tài)閾值最大值a1和最小值a2，如b)若狀態(tài)指示器指示開(kāi)關(guān)為斷開(kāi)狀態(tài)，則按照產(chǎn)品精度的幅度將A11增加至A21，觀察并記錄指示速度值分別為開(kāi)關(guān)靜態(tài)閾值最小值a2和最大值a1，如表2所示，此A11×A11√A12×A21√A13×A31√A14×A41√A15√A51×GB/T42709.40—XXXX/IEC62047-404如圖3所示。加速度大小通過(guò)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)加速位置上，使開(kāi)關(guān)和標(biāo)準(zhǔn)加速度計(jì)的敏感方向與離心加速度方向保持存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)可以在采集系統(tǒng)的軟件上形成兩條R――接觸電阻，Ω;GB/T42709.40—XXXX/IEC62047-4055.3動(dòng)態(tài)閾值測(cè)試系統(tǒng)包含7個(gè)部分：沖擊試驗(yàn)臺(tái)、標(biāo)準(zhǔn)加速度計(jì)、開(kāi)關(guān)、電荷放大器、通斷測(cè)試電路、直流穩(wěn)GB/T42709.40—XXXX/IEC62047-406將B11減小至B12，觀察并記錄數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)獲得的測(cè)試電路負(fù)載電阻電壓。依次減小沖擊加速度，直b)若數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)獲得的測(cè)試電路負(fù)載電阻電壓為0，則按照產(chǎn)品精度的幅度將B11