光電信息采集實驗室建設(shè)需求

光電信息采集實驗室建設(shè)需求序號設(shè)備名稱規(guī)格型號、技術(shù)參數(shù)單位數(shù)量備注1顯微共聚焦光譜模塊（核心產(chǎn)品）5位物鏡塔輪，照明和光學成像模塊，內(nèi)置LED照明光源，光學成像系統(tǒng)，CMOS成像相機。模塊功能：和現(xiàn)有光譜儀連用，實現(xiàn)光致發(fā)光光譜和電致發(fā)光光譜測試。最多可支持4路激光激發(fā)，可實現(xiàn)顯微Raman/PL測試。采用顯微鏡平臺，提供足夠自由空間，適用于原位樣品臺，光譜儀和共焦光路系統(tǒng)采用光纖耦合連接，保證穩(wěn)定性。操作軟件包括實時熒光校正，降噪，去背景，平滑等。數(shù)據(jù)分析：峰位擬合，CLS峰位擬合，成像分析等?？山⒍嘤脩魴?quán)限，如管理員，專家，實驗員等，保證后臺操作不被輕易篡改。包含：1）5位物鏡塔輪，可以手動切換，切換不同物鏡時無需精細調(diào)焦，齊焦設(shè)計。2）照明和光學成像模塊，采用無限遠光學系統(tǒng),保證優(yōu)異成像質(zhì)量。3）LED照明光源，用于微區(qū)樣品明場成像。4）光學系統(tǒng)設(shè)計：齊焦設(shè)計。5）CMOS成像相機，400-1000nm響應(yīng)，用于明場照明找到光斑和樣品位置，成像時無拖尾。要求現(xiàn)場勘查設(shè)備，需配套horibaihr550光譜儀，對接要求實現(xiàn)200-1800nm光致發(fā)光和電致發(fā)光的成像，包括單點成像和mapping成像。能夠?qū)崿F(xiàn)對III-V化合半導(dǎo)體多結(jié)太陽電池（尤其是AlGaInP/GaInP/GaAs/InGaAs/InGaAs寬光譜電池）的光致和電致發(fā)光的精準測量。高低溫臺實現(xiàn)80k-500k。實現(xiàn)高低溫下的二維材料光電器件的拉曼掃描和mapping。套12物鏡組1）可見物鏡10X，NA=0.25，WD=10.6mm，套筒鏡焦距200mm,用于收集光致發(fā)光和電致發(fā)光光譜信息。2）可見長焦物鏡50X，NA=0.5，WD=10.6mm，套筒鏡焦距200mm，用于收集光致發(fā)光和電致發(fā)光光譜信息。3）紅外物鏡20XIR，NA=0.45，WD=8.3mm ,套筒鏡焦距200mm,用于收集光致發(fā)光和電致發(fā)光光譜信息。要求現(xiàn)場勘查設(shè)備，需配套horibaihr550光譜儀，對接要求實現(xiàn)200-1800nm光致發(fā)光和電致發(fā)光的成像，包括單點成像和mapping成像。能夠?qū)崿F(xiàn)對III-V化合半導(dǎo)體多結(jié)太陽電池（尤其是AlGaInP/GaInP/GaAs/InGaAs/InGaAs寬光譜電池）的光致和電致發(fā)光的精準測量。高低溫臺實現(xiàn)80k-500k。實現(xiàn)高低溫下的二維材料光電器件的拉曼掃描和mapping。套13激發(fā)光收集模塊1）532nm，光纖耦合輸出，功率≥50mW，含濾光片組件,用于激發(fā)樣品光致發(fā)光&拉曼光譜信息。2）980nm，出纖功率100mW，線寬2nm,光纖，濾光片套件。用于激發(fā)樣品光致發(fā)光光譜信息。含變溫臺，溫度范圍80K-500K觀察窗口至樣品距離≥4.5mm。用于實現(xiàn)變溫下的光譜測量。要求現(xiàn)場勘查設(shè)備，需配套horibaihr550光譜儀，對接要求實現(xiàn)200-1800nm光致發(fā)光和電致發(fā)光的成像，包括單點成像和mapping成像。能夠?qū)崿F(xiàn)對III-V化合半導(dǎo)體多結(jié)太陽電池（尤其是AlGaInP/GaInP/GaAs/InGaAs/InGaAs寬光譜電池）的光致和電致發(fā)光的精準測量。高低溫臺實現(xiàn)80k-500k。實現(xiàn)高低溫下的二維材料光電器件的拉曼掃描和mapping。臺14電動位移臺XY自動位移臺，行程:75mmX75mm，步進100nm,可以和現(xiàn)有軟件連用，實現(xiàn)Mapping測試功能?？梢赃x擇固定區(qū)域?qū)悠饭庾Vmapping掃描，可以定位0點位置要求現(xiàn)場勘查設(shè)備，需配套horibaihr550光譜儀，對接要求實現(xiàn)200-1800nm光致發(fā)光和電致發(fā)光的成像，包括單點成像和mapping成像。能夠?qū)崿F(xiàn)對III-V化合半導(dǎo)體多結(jié)太陽電池（尤其是AlGaInP/GaInP/GaAs/InGaAs/InGaAs寬光譜電池）的光致和電致發(fā)光的精準測量。高低溫臺實現(xiàn)80k-500k。實現(xiàn)高低溫下的二維材料光電器件的拉曼掃描和mapping。個15共聚焦光譜采集模塊共聚焦顯微光譜系統(tǒng)，支持4路激光激發(fā)，共聚焦光路收集系統(tǒng)，激光擴束及其共焦。包含透鏡組和光纖共聚焦孔，實現(xiàn)5um空間分辨率。要求現(xiàn)場勘查設(shè)備，需配套horibaihr550光譜儀，對接要求實現(xiàn)200-1800nm光致發(fā)光和電致發(fā)光的成像，包括單點成像和mapping成像。能夠?qū)崿F(xiàn)對III-V化合半導(dǎo)體多結(jié)太陽電池（尤其是AlGaInP/GaInP/GaAs/InGaAs/InGaAs寬光譜電池）的光致和電致發(fā)光的精準測量。高低溫臺實現(xiàn)80k-500k。實現(xiàn)高低溫下的二維材料光電器件的拉曼掃描和mapping。套16電致發(fā)光模塊可測量逐個650nm，870nm，1300nm電致發(fā)光光譜和mapping測試。用于樣品電致發(fā)光光譜測試。要求現(xiàn)場勘查設(shè)備，需配套horibaihr550光譜儀，對接要求實現(xiàn)200-1800nm光致發(fā)光和電致發(fā)光的成像，包括單點成像和mapping成像。能夠?qū)崿F(xiàn)對III-V化合半導(dǎo)體多結(jié)太陽電池（尤其是AlGaInP/GaInP/GaAs/InGaAs/InGaAs寬光譜電池）的光致和電致發(fā)光的精準測量。高低溫臺實現(xiàn)80k-500k。實現(xiàn)高低溫下的二維材料光電器件的拉曼掃描和mapping。套17源表1）正弦頻率范圍:100MHz殘余時鐘噪聲:-63dB，抖動:2.5ps。2）結(jié)合樣品夾具，實現(xiàn)樣品的電致發(fā)光光譜激發(fā)。要求現(xiàn)場勘查設(shè)備，需配套horibaihr550光譜儀，對接要求實現(xiàn)200-1800nm光致發(fā)光和電致發(fā)光的成像，包括單點成像和mapping成像。能夠?qū)崿F(xiàn)對III-V化合半導(dǎo)體多結(jié)太陽電池（尤其是AlGaInP/GaInP/GaAs/InGaAs/InGaAs寬光譜電池）的光致和電致發(fā)光的精準測量。高低溫臺實現(xiàn)80k-500k。實現(xiàn)高低溫下的二維材料光電器件的拉曼掃描和mapping。臺18光譜儀入口耦合器1）光纖耦合光譜儀入口，消色差透鏡組(準直鏡+聚焦鏡)。2）整體封裝，無漏光，用于收集微弱光譜信息。3）要求現(xiàn)場勘查設(shè)備，需配套horibaihr550光譜儀，對接要求實現(xiàn)200-1800nm光致發(fā)光和電致發(fā)光的成像，包括單點成像和mapping成像。能夠?qū)崿F(xiàn)對III-V化合半導(dǎo)體多結(jié)太陽電池（尤其是AlGaInP/GaInP/GaAs/InGaAs/InGaAs寬光譜電池）的光致和電致發(fā)光的精準測量。高低溫臺實現(xiàn)80k-500k。實現(xiàn)高低溫下的二維材料光電器件的拉曼掃描和mapping。個19精密砂輪劃片機劃片機主要技術(shù)指標（包含精密砂輪劃片機、螺桿空氣壓縮機、冷干機、儲氣罐、過濾器等）。1.劃片機主要參數(shù)指標：1.1主要指標1.1.1切割尺寸：MaxΦ6英寸。1.1.2開槽深度：0～14mm任意設(shè)定（滿足特殊工藝需求）。1.1.3開槽寬度：≤刀厚+10μm（切深小于1mm時）。1.2X軸（拖動工作臺左右移動）1.2.1驅(qū)動方式：伺服電機。1.2.2工作臺行程：240mm。1.2.3速度設(shè)定范圍：0.1～500mm/s。1.3Y軸（拖動主軸前后移動）1.3.1驅(qū)動方式：步進電機。1.3.2Y軸前后行程：165mm。1.3.3Y軸分辨率：0.0005mm。1.3.4步進精度：0.003mm/5mm。1.3.5累積誤差：0.005mm/165mm。1.4Z軸（拖動主軸上升下降）1.4.1驅(qū)動方式：步進電機。1.4.2主軸上下行程：40mm。1.4.3重復(fù)定位精度：0.001mm。1.5θ軸（拖動工作臺正反轉(zhuǎn)）1.5.1驅(qū)動方式：直驅(qū)電機。1.5.2回轉(zhuǎn)范圍：720°。1.5.3最小轉(zhuǎn)角：0.0002°。1.6主軸1.6.1主軸形式：空氣靜壓電主軸。1.6.2轉(zhuǎn)速：3000~50000rpm。1.6.3功率：1.5KW。1.7對位系統(tǒng)1.7.1組成：顯微鏡+工業(yè)相機。1.7.2光源：同軸光+環(huán)形。1.8基礎(chǔ)系統(tǒng)1.8.1操作系統(tǒng)：Windows。1.8.2操作界面：中文15寸觸屏。1.9機床參數(shù)及工作條件1.9.1工作臺平整度：±0.003mm/100mm。1.9.2電源：AC220V3KW。1.9.3壓縮空氣：壓力：0.55MPa。流量：0.3m3/min要求無水無油。1.9.4冷卻水：壓力：0.3MPa。流量：2L/min要求中性無雜質(zhì)。1.9.5整機體積：630*900*1680（不含信號塔高度）。1.9.6整機重量：500Kg。2.螺桿空壓機參數(shù)：2.1主要參數(shù)★2.1.1功率7.5kw/10HP。2.1.2額定壓力0.8Mpa。2.1.3排氣量1.2m3/min?！?.1.4機組噪音61±2dB（A）。2.2其他參數(shù)★2.2.1電機異步電機變頻控制，IE4級，防護級別IP65。2.2.2冷卻方式風冷2.2.3含塵量≤3μm。2.2.4含油量≤3ppm。2.2.5排氣溫度≤環(huán)境溫度＋10℃。2.2.6排氣口管徑3/4。2.2.7外形尺寸850x540x810mm。2.2.8重量172Kg。2.2.9附件三只過濾器，安裝輔材。3.冷干機參數(shù)3.1主要參數(shù)