《電子材料廠項目規(guī)范》

1.總則

1.0.1為在電子材料廠建設(shè)中保障人身健康和生命財產(chǎn)安全、工程質(zhì)量安

全、生態(tài)環(huán)境安全，公共權(quán)益和公共利益，滿足經(jīng)濟社會管理基本需要，

依據(jù)有關(guān)法律、法規(guī)，制定本規(guī)范。

1.0.2新建、改建、擴建的電子材料廠項目的規(guī)劃、建造、運行等全過程

必須遵守本規(guī)范。

1.0.3本規(guī)范適用于電子專用材料制造領(lǐng)域中半導(dǎo)體材料廠、平板顯示用

玻璃基板廠、偏光片廠、光纖光纜廠、覆銅板及銅箔材料廠、陶瓷及磁性

材料廠。

1.0.4本規(guī)范是電子材料廠項目的規(guī)劃、建造、運行管理等過程中技術(shù)和

管理的基本要求。當項目采用的技術(shù)措施與本規(guī)范的規(guī)定不一致時，必須

采取合規(guī)性判定。

1.0.5電子材料廠的新建、改建、擴建，除應(yīng)遵守本規(guī)范外，向應(yīng)遵守國

家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)范的規(guī)定。

2.基本規(guī)定

2.0.1電子材料廠的建設(shè)應(yīng)符合國家產(chǎn)業(yè)政策和相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃及布局

要求，符合項目建設(shè)地土地利用總體規(guī)劃、城市總體規(guī)劃、環(huán)境功能區(qū)劃

和環(huán)境保護規(guī)劃要求。

2.0.2電子材料廠建設(shè)項目的環(huán)保設(shè)施、消防設(shè)施、勞動安全衛(wèi)生設(shè)施應(yīng)

與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時投入使用。

2.0.3總平面布置方案，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)規(guī)模、工藝流程、交通運輸、環(huán)境保

護、防火、安全、衛(wèi)生、節(jié)能、施工、分期發(fā)展等要求，結(jié)合場地的自然

條件及周邊環(huán)境，合理確定。并應(yīng)合理組織人流和物流，合理布置運輸線

路。

2.0.4電子材料廠嚴禁選用國家或地方明令禁止的淘汰工藝及設(shè)備。

2.0.5電子材料廠的火災(zāi)危險性類別應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)過程中使用的

原材料以及產(chǎn)品及其副產(chǎn)品的火災(zāi)危險性以及生產(chǎn)時的實際環(huán)境條件等情

況確定。

2.0.6同一座廠房或廠房的任一防火分區(qū)內(nèi)有不同火災(zāi)危險性生產(chǎn)時，廠

房或防火分區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)火災(zāi)危險性類別應(yīng)按火災(zāi)危險性較大的部分確定；

當火災(zāi)危險性較大的生產(chǎn)部分占本層或本防火分區(qū)建筑面積的比例小于

5%,且發(fā)生火災(zāi)事故時不足以蔓延至其他部位或火災(zāi)危險性較大的生產(chǎn)部

分采取了有效的防火措施，可按火災(zāi)危險性較小的部分確定。

2.0.7廠房的層數(shù)和每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積應(yīng)符合表2.0.7的

規(guī)定。

表2.0.7廠房的層數(shù)和每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積

生產(chǎn)的|廠房的耐火|最多允許|每個防火分區(qū)的最大允許最大建筑面積一

火災(zāi)危等級層數(shù)

單層多層局層地下或半地下廠房（包

險性類

廠房廠房廠房括地下或半地下室）

別

一級4000

甲單層一一一

二級3000

一級不限500040002000一

乙

二級6400030001500一

一級不限不限60003000500

二級不限800040002000500

三級230002000—一

一、二級不限不限不限40001000

丁三級340002000一一

四級11000——一

一、二級不限不限不限60001000

戊三級350003000一一

四級11500一一一

2.0.8倉庫的層數(shù)和面積應(yīng)符合表2.0.8的規(guī)定。

表2.0.8倉庫的層數(shù)和面積

每座倉庫的最大允許占地面積和每個防火分區(qū)的最

最大允許建筑面.積（m2）

多

地下或

倉庫的允

儲存物品的火半地下

許

單

耐火等層

災(zāi)危險性類別倉庫（包

層

倉

級庫多層倉庫高層倉庫

數(shù)括地下

或半地

下室）

火

每座防每座防火每座防火防火

㈤區(qū)

倉庫倉庫分區(qū)倉庫分區(qū)分區(qū)

3、4項一級

118060

甲1、2、5、*、—>

1750250一—-——

6項級

、—A

32000500900300

1、3、4項級

1500250———

三級

乙

、?

528007001500500

2、5、6項級一——

1900300

三級

、5400010002800700—150

丙1項

級11200400—

三級

、--不

；600015004800120040001000300

2項級

21007001200400

三級

、?《不限

3000不限150048001200500

級限

；300010001500500

T三級

12100700

四級

、—?不

不限不限不限2000600015001000

級限

戊；300010002100700

三級

2100700

四級

2.0.9廠房內(nèi)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)時，每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積按

本規(guī)范2.0.7規(guī)定增加1.0倍。當丁、戊類的地上廠房內(nèi)設(shè)置自動滅火系

統(tǒng)時，每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積不限。廠房內(nèi)局部設(shè)置自動滅火

系統(tǒng)時，其防火分區(qū)的增加面積按局部面積的L0倍計算。

倉庫內(nèi)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)時，每座倉庫的最大允許占地面積和每個防火分

區(qū)的最大允許建筑面積按本規(guī)范2.0.8規(guī)定增加1.0倍。

2.0.10廠房內(nèi)任一點至最近安全出口的直線距離不應(yīng)大于表2.0?10的規(guī)

定。

表2.0.10廠房內(nèi)任一點至最近安全出口的直線距離（m）

地下或半地下

生產(chǎn)的火災(zāi)廠房（包括地

耐火等級單層廠房多層廠房高層廠房

危險性類別下或半地下

室）

甲一、二級3025-—

乙一、二級755030一

一、二級80604030

丙

三級6040——

一、二級不限不限5045

T三級6050-一

四級50一-一

戊一、二級不限不限7560

三級10075—一

四級60

2.0.11生產(chǎn)廠房內(nèi)潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度大于0.02人//,潔凈生產(chǎn)區(qū)與技術(shù)

支持區(qū)位于不同的防火分區(qū)時，不應(yīng)共用安全出口。

2.0.12避難走道的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1避難走道樓板的耐火極限不應(yīng)低于1.50h；兩側(cè)防火墻的耐火極限不

應(yīng)低于3.Oho

2避難走道直通地面的出口不應(yīng)小于2個，并應(yīng)設(shè)置在不同方向；當

避難走道僅與一個防火分區(qū)相通且該防火分區(qū)至少有1個直通室外的安全

出口時，可設(shè)置1個直通地面的出口。

3任一防火分區(qū)通向避難走道的門至該避難走道最近安全出口距離不

應(yīng)大于60m；

4避難走道的凈寬度不應(yīng)小于任一防火分區(qū)通向該避難走道的設(shè)計疏

散總凈寬度；

5避難走道內(nèi)部的裝修材料的燃燒性能為A級；

6防火分區(qū)至避難走道入口應(yīng)設(shè)置防煙前室，前室的使用面積不應(yīng)小

于6.0武，開向前室的門應(yīng)采用甲級防火門，前室開向避難走道的門應(yīng)采用

乙級防火門；

7避難走道內(nèi)應(yīng)設(shè)置消火栓、消防應(yīng)急照明、應(yīng)急廣播和消防專線電

話。

2.0.13使用和儲存有毒有害氣體的作業(yè)場所，必須設(shè)置泄漏自動報警裝置

和與其聯(lián)鎖的事故通風(fēng)裝置及應(yīng)急處理裝置。

2.0.14符合下列條件之一時，應(yīng)設(shè)置氣體處理設(shè)施和排氣筒：

1含有有毒有害物質(zhì)污染源的局部排風(fēng)系統(tǒng);

2含有劇毒物質(zhì)污染源的事故排風(fēng)系統(tǒng)。

2.0.15含有易燃易爆氣體或粉塵、酸性、堿性、劇毒的工藝排風(fēng)管道不應(yīng)

安裝防火閥。工藝排風(fēng)管道穿越有耐火時限要求的建筑構(gòu)件處，緊鄰建筑

防火構(gòu)件的風(fēng)管管道應(yīng)采用與建筑構(gòu)件耐火時限相同的防火構(gòu)造進行封閉

或保護，每側(cè)保護長度應(yīng)為風(fēng)管直徑的兩倍且不小于2皿。

2.0.16生產(chǎn)廢水分類應(yīng)根據(jù)廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量，結(jié)合廢水排放

要求和廢水處理工藝綜合確定。

2.0.17對連續(xù)生產(chǎn)且停產(chǎn)會造成較大損失的工廠，其廢水處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置

事故水池，事故水池的容積應(yīng)按照不小于最大單個廢水系統(tǒng)處理量的6h的

排放量確定。

2.0.18酸、堿、有機溶劑化學(xué)品的儲存罐區(qū)以及使用點附近應(yīng)設(shè)置沖身洗

眼器。

2.0.19事故排風(fēng)及有毒有害排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)機必須設(shè)置應(yīng)急電源。

2.0.20腐蝕性介質(zhì)、有毒介質(zhì)管道架空敷設(shè)時，應(yīng)避免法蘭、螺紋等易泄

漏部位置于人行通道或設(shè)備上方，管道嚴禁敷設(shè)在配電盤、控制盤等電氣

設(shè)備上方。

2.0.21電子材料廠應(yīng)根據(jù)原輔材料、半成品、成品及廢棄物的物理、化學(xué)

性質(zhì)和存儲環(huán)境的要求分類設(shè)置存儲空間。

2.0.22危險廢物應(yīng)設(shè)置專用區(qū)域貯存，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1危險廢液貯存區(qū)域應(yīng)設(shè)置于相對獨立的場所；

2危險廢液應(yīng)采用罐體收集，貯存區(qū)域應(yīng)設(shè)有防滲漏設(shè)施；

3危險廢液貯存區(qū)域應(yīng)設(shè)有漏液收集和其他應(yīng)急處置設(shè)施；

4危險固體廢物的貯存區(qū)應(yīng)采取防止揚塵、雨水淋溶物料而造成污染

物流失污染的措施。

2.0.23應(yīng)對生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的振動、高溫、高壓、深冷、腐蝕、油浸等因

素造成的不利影響采取相應(yīng)的防范、防治措施。

2.0.24對可能產(chǎn)生職業(yè)病危害的工作場所、設(shè)備、產(chǎn)品、物料堆場（或堆

放地），應(yīng)設(shè)置警示標識。

2.0.25生產(chǎn)中使用危險物品的電子材料廠，應(yīng)當制定相應(yīng)的安全管理制度

和應(yīng)急措施。

2.0.26當生產(chǎn)和生產(chǎn)設(shè)備的安裝同時進行時，二次配管配線應(yīng)符合下列規(guī)

定：

1安裝施工中進行焊接等產(chǎn)煙明火作業(yè)時不應(yīng)對生產(chǎn)造成影響。

2生產(chǎn)區(qū)與安裝區(qū)之間應(yīng)采取臨時隔離措施。

3垂直作業(yè)時，應(yīng)采取安全隔離措施，并應(yīng)設(shè)置危險警示標志。

2.0.27生產(chǎn)設(shè)備調(diào)試與試運行應(yīng)符合下列要求：

1工藝設(shè)備安裝合格；

2與工藝設(shè)備接通的各種動力配管配線完成，各種連接應(yīng)完成安全性

檢查；

3各種動力參數(shù)應(yīng)與工藝設(shè)備使用要求一致。

2.0.28工廠在運行維護中建立的管理體系應(yīng)包含安全、環(huán)保、職業(yè)健康。

2.0.29工廠運營維護的措施應(yīng)要求明確完整并定期檢查執(zhí)行結(jié)果。

2.0.30生產(chǎn)過程中使用有毒有害氣體和化學(xué)品的系統(tǒng)在拆除和廢棄時應(yīng)對

容器、閥門以及管道中殘留的氣體和化學(xué)品進行無害化處理。

3.半導(dǎo)體材料廠

3.1一般規(guī)定

3.1.1半導(dǎo)體材料廠建設(shè)應(yīng)符合經(jīng)濟規(guī)模要求。8英寸硅單晶拋光片

的產(chǎn)能年產(chǎn)能應(yīng)不低于120萬片，12英寸硅單晶拋光片的產(chǎn)能年產(chǎn)

能應(yīng)不低于80萬片；6英寸碳化硅拋光片的產(chǎn)能年產(chǎn)能應(yīng)不低于10

萬片，6英寸神化錢拋光片的產(chǎn)能年產(chǎn)能應(yīng)不低于50萬片。

3.1.2半導(dǎo)體材料廠的外延間其火災(zāi)危險性類別應(yīng)為丙類,拉單晶間

的火災(zāi)危險性類別應(yīng)為丁類，切片間、磨片間、拋光間的火災(zāi)危險性

類別應(yīng)為戊類。

3.1.3化合物半導(dǎo)體材料生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險性類別應(yīng)為丙類。

3.2生產(chǎn)設(shè)施

3.2.1單晶設(shè)備和拋光設(shè)備應(yīng)采取防微振措施。

3.2.2化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房核心生產(chǎn)區(qū)應(yīng)按照生產(chǎn)工藝劃分為源

料制備區(qū)、單晶生長區(qū)、晶片加工清洗區(qū)、質(zhì)量檢測區(qū)。

3.2.3化合物半導(dǎo)體晶片加工清洗區(qū)包括滾圓、定向、切割、退火、

研磨、倒角、機械拋光、化學(xué)機械拋光、清洗等工序C晶片加工清洗

各工序應(yīng)按照最大限度地減少晶片傳送距離的要求進行布局。

3.3生產(chǎn)輔助設(shè)施

3.3.1單晶爐冷卻水系統(tǒng)必須連續(xù)穩(wěn)定運行。

3.3.2儲存和使用劇毒物品的庫房、工作間，維護結(jié)構(gòu)應(yīng)采用不吸附

毒物的材料，并應(yīng)便于清洗和收集。分發(fā)有毒物質(zhì)處應(yīng)設(shè)置洗滌池和

通風(fēng)柜。

333碎化像單晶清洗、切割和滾圓工序產(chǎn)生的含神廢液必須集中處

理。

4.平板顯示用玻璃基板廠

4.1一般規(guī)定

4.1.1平板顯示用玻璃基板廠建設(shè)應(yīng)符合經(jīng)濟規(guī)模要求。以玻璃基

板尺寸劃分，最大成品尺寸在1500mm><1850mm及以下的玻璃基板廠

年產(chǎn)能應(yīng)不低于200萬平方米,大于該尺寸的玻璃基板廠年產(chǎn)能應(yīng)不

低于600萬平方米。

4.1.2玻璃基板生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險性應(yīng)為丁類，僅包含裁切及研

磨等后加工工序的生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險性應(yīng)為戊類。

4.2生產(chǎn)設(shè)施

4.2.1玻璃基板廠熔爐區(qū)應(yīng)設(shè)置玻璃液意外泄漏收集和冷卻裝置。

4.2.2玻璃基板廠熔爐應(yīng)配備烤窯升溫裝置及相應(yīng)的烤窯升溫作業(yè)

操作規(guī)程。

4.2.3玻璃基板廠熔爐應(yīng)配備冷修時的泄料裝置及相應(yīng)的泄料作業(yè)

操作規(guī)程。

4.2.4玻璃基板廠熔爐應(yīng)具備保溫、隔熱及冷卻措施，有人員點檢作

業(yè)的高溫區(qū)域應(yīng)采取降溫措施。

4.2.5玻璃基板廠后加工工序的面研磨設(shè)備應(yīng)采取減震、隔震措施。

4.2.6熔爐等含有貴金屬的生產(chǎn)設(shè)施在冷修或拆除作業(yè)前應(yīng)制定專

項施工組織方案，對貴金屬進行管控。

4.3生產(chǎn)輔助設(shè)施

4.3.1玻璃基板廠的熔爐冷卻水系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)穩(wěn)定運行。

4.3.2玻璃基板廠與熔爐無關(guān)的水管嚴禁穿越熔爐上方。

5.偏光片廠

5.1一般規(guī)定

5.1.1偏光片廠建設(shè)應(yīng)符合經(jīng)濟規(guī)模要求。幅寬在1500mm以下的

工廠年產(chǎn)能應(yīng)不低于600萬平方米,幅寬大于該尺寸的工廠年產(chǎn)能應(yīng)

不低于1000萬平方米。

5.1.2偏光片生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險性類別應(yīng)為丙類。其中涂布液混

合間應(yīng)采取防火防爆分隔措施與其它區(qū)域隔開,其建筑面積應(yīng)不超過

本層生產(chǎn)區(qū)建筑面積的5%0

5.2生產(chǎn)設(shè)施

5.2.1偏光片涂布作業(yè)裝置應(yīng)具備排風(fēng)功能,其排風(fēng)能力應(yīng)確保排

風(fēng)管道內(nèi)甲乙類有機溶劑的濃度低于其爆炸下限的5%；該排風(fēng)機應(yīng)

與涂布供液系統(tǒng)連鎖，一旦排風(fēng)機出現(xiàn)故障應(yīng)立即停止涂布液供應(yīng)。

5.2.2偏光片烘干設(shè)備應(yīng)保持連續(xù)、穩(wěn)定的負壓運行狀態(tài)，其工藝

排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)與涂布系統(tǒng)連鎖，一旦排風(fēng)系統(tǒng)出現(xiàn)故障涂布系統(tǒng)應(yīng)立即

停止涂布作業(yè)。

5.3輔助設(shè)施

5.3.1偏光片涂布液混合間應(yīng)采取通風(fēng)措施，該房間內(nèi)空氣不應(yīng)循

環(huán)使用。

5.3.2偏光片涂布裝置所在房間應(yīng)采取通風(fēng)措施，該房間內(nèi)空氣不

應(yīng)循環(huán)使用。

6.光纖光纜廠

6.1一般規(guī)定

6.1.1光纖光纜廠的建設(shè)應(yīng)符合經(jīng)濟規(guī)模要求。通信光纖廠的年產(chǎn)能

不應(yīng)低于1000萬芯公里，光纜廠的產(chǎn)能年產(chǎn)能不應(yīng)低于100萬芯公

里。

6.1.2光纖生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險性類別應(yīng)為丁類,其防火分區(qū)設(shè)定應(yīng)

符合下列規(guī)定：

I防火分區(qū)應(yīng)按工藝布置設(shè)定，防火分區(qū)面積不限。

2計算防火分區(qū)面積時，拉絲間按單層面積計算。

3工作平臺應(yīng)與拉絲間疏散樓梯相通。

6.1.3光纖生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)、消火栓系統(tǒng)和火災(zāi)報

警系統(tǒng)。

6.1.4光纜生產(chǎn)的火災(zāi)危險性類別應(yīng)為戊類。

6.2生產(chǎn)設(shè)施

6.2.1光纖工廠拉絲間高度大于24m時,應(yīng)增設(shè)從拉絲間工作平臺直

通廠房較矮部分屋面的室外疏散通路。

6.2.2光纖著色、光纖并帶、光纖成束間及光纜護套擠制車間等產(chǎn)生

廢氣的工序應(yīng)設(shè)強排風(fēng)設(shè)施。

6.2.3光纖二次套塑及光纜護套生產(chǎn)線的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)穩(wěn)

定運行。

6.3生產(chǎn)輔助設(shè)施

6.3.1海底光纜貯存池及爬梯應(yīng)設(shè)防護設(shè)施。

6.3.2光纜生產(chǎn)廠室外地面應(yīng)采用水泥混凝土地面,不應(yīng)采用普通瀝

青地面。

7.覆銅板及銅箔材料廠

7.1一般規(guī)定

7.1.1覆銅板及銅箔材料廠的建設(shè)應(yīng)符合經(jīng)濟規(guī)模要求。其中玻纖布

基覆銅板年產(chǎn)能不應(yīng)低于1000萬平方米；鋰電銅箔年產(chǎn)能不應(yīng)低于

5000噸；電子銅箔年產(chǎn)能不應(yīng)低于2500噸。

7.1.2覆銅板生產(chǎn)的制膠和涂布工段的火災(zāi)危險性類別應(yīng)為甲類,其

余為丙類。

7.2生產(chǎn)設(shè)施

7.2.1導(dǎo)熱油間設(shè)置在廠房內(nèi)時，應(yīng)靠廠房外墻布置。

7.2.2布置在廠房內(nèi)的導(dǎo)熱油間的內(nèi)墻應(yīng)采用實體墻；圍護構(gòu)件的耐

火極限不應(yīng)低于二級；房間門應(yīng)采用甲級防火門，并應(yīng)設(shè)置導(dǎo)熱油泄

漏收集措施。

7.2.3電解銅箔廠房電解表面處理工藝區(qū)域應(yīng)采取防腐蝕措施。

7.3生產(chǎn)輔助設(shè)施

7.3.1覆銅板廠的有機廢氣采用焚燒處理時應(yīng)采用蓄熱式焚燒爐。

8.陶瓷及磁性材料廠

8.0.1磁性材料廠的火災(zāi)危險性類別為丁類;陶瓷材料廠的燒成間的

火災(zāi)危險性類別為甲類，其余為丁類。

8.0.2共燒陶瓷的燒成區(qū)應(yīng)在單層廠房靠外墻布置或在多層廠房的

頂層布置，并保證有符合規(guī)范的泄爆面積。

8.0.3磁性材料廠配料區(qū)及熱壓成型生產(chǎn)工段操作人員應(yīng)做好粉塵

保護措施。

8.0.4熱壓成型工段、燒結(jié)生產(chǎn)工段應(yīng)設(shè)置全室通風(fēng)措施。

8.0.5磁性材料廠研磨廢水應(yīng)集中收集，沉淀物應(yīng)回收再利用。

8.0.6燒結(jié)爐的冷卻水應(yīng)連續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)。

起草說明

一、起草說明

根據(jù)國務(wù)院《深化標準化工作改革方案》（國發(fā)[2015]13號）

要求，2016年住房城鄉(xiāng)建設(shè)部印發(fā)了《關(guān)于深化工程建設(shè)標準化工

作改革的意見》（建標[2016]166號），并在此基礎(chǔ)上，全面啟動了

構(gòu)建強制性標準體系、研編工程規(guī)范工作。在研編工作成果的基礎(chǔ)上,

規(guī)范起草組形成了征求意見稿。

二、起草單位、起草人員和審查人員

（一）起草單位

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司、工業(yè)和

信息化部電子工業(yè)標準化研究院、中國電子工程設(shè)計院有限公司、奧意

建筑工程設(shè)計有限公司、上海電子工程設(shè)計研究院有限公司、天津中環(huán)半導(dǎo)

體股份有限公司、武漢烽火銳拓科技有限公司、中國電子科技集團公司第

二研究所、中國電子科技集團公司第八研究所、中國電子科技集團公

司第四十六研究所、中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司。

（二）起草人員

王書霞、江元升、楊光明、師勇、肖勁戈、陸琦、李海祥、王英

民、晁宇晴、楊可貴、閆詩源、陳繼峰、洪明、李翔、伍淑堅、周春

峰、王奇勛

(三)審查人員

三、術(shù)語

1半導(dǎo)體材料(SemiconductorMaterial)

半導(dǎo)體材料是一類導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體和絕緣體之間的無機材料。具有

半導(dǎo)體性能(導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間，電阻率約在ImQon?

1G。?cm范圍內(nèi))、可用來制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料。

2平板顯示用玻璃基板(GlassforFPD)

是平板顯示(FlatPaneldisplay,FPD)產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料之一。

平板顯示用玻璃基板是一種表面極其平整的薄玻璃片。生產(chǎn)方法有3

種：浮法、溢流下拉法，狹縫下拉法。

3偏光片(Polarizer)

偏光片是多層膜結(jié)構(gòu)的膜材料，主要是將非偏振光轉(zhuǎn)化為偏振光，另

一方面是根據(jù)不同態(tài)的偏振光通過偏光片會產(chǎn)生不同的透過率。

4光纖(Opticalfiber)

光纖是光導(dǎo)纖維的簡寫，是一種由玻璃或塑料制成的纖維，可作為光

傳導(dǎo)工具。傳輸原理是“光的全反射”。

5光纜(OpticalFiberCable)

光纜是為了滿足光學(xué)、機械或環(huán)境的性能規(guī)范而制造的，它是利用置

于包覆護套中的一根或多根光纖作為傳輸媒質(zhì)并可以單獨或成組使

用的通信線纜組件。

6覆銅板(CCL)

覆銅板是下游PCB的核心原材料，CCL是將電子玻纖布或其它增強

材料浸以樹脂，一面或雙面覆以銅箔并經(jīng)熱壓而制成的一種板狀材

料，其主要原材料為銅箔、玻璃纖維布、樹脂等。

7銅箔(Copper)

銅箔是一種陰質(zhì)性電解材料，沉淀于電路板基底層上的一層薄的、連

續(xù)的金屬箔，它作為PCB的導(dǎo)電體。它容易粘合于絕緣層，接受印

刷保護層，腐蝕后形成電路圖樣。

8陶瓷材料(CeramicMaterial)

陶瓷材料是指用天然或合成化合物經(jīng)過成形和高溫燒結(jié)制成的一類

無機非金屬材料。它具有高熔點、高硬度、高耐磨性、耐氧化等優(yōu)點。

可用作結(jié)構(gòu)材料、刀具材料，由于陶瓷還具有某些特殊的性能，又可

作為功能材料。

9磁性材料(MagneticMaterial)

磁性材料具有磁有序的強磁性物質(zhì)，廣義還包括可應(yīng)用其磁性和磁效

應(yīng)的弱磁性及反鐵磁性物質(zhì)。磁性材料按性質(zhì)分為金屬和非金屬兩

類，前者主要有電工鋼、銀基合金和稀土合金等，后者主要是鐵氧體

材料。按使用又分為軟磁材料、永磁材料和功能磁性材料。

四、條文說明

為便于政府有關(guān)管理部門和建設(shè)、設(shè)計、施工、科研等單位有關(guān)

人員在使用本規(guī)范時能正確理解和執(zhí)行條文規(guī)定，規(guī)范研編組按照

條、款順序編寫本規(guī)范的條文說明。但本條文說明不具備與規(guī)范正文

同等的法律效力，僅供使用者作為理解和把握規(guī)范規(guī)定的參考。

1.總則

1.0.1本條說明本規(guī)范編制的目的。本規(guī)范涵蓋電子材料廠或生產(chǎn)線

的建設(shè)工程。主要研究并提出各類電子材料廠的規(guī)劃選址、規(guī)模構(gòu)成、

總體布局、功能性能等目標要求，環(huán)保、消防、節(jié)能、安全、職業(yè)病

防護等方面的要求，以及設(shè)計、施工、設(shè)備安裝、工程驗收、技術(shù)升

級、擴產(chǎn)改造等方面需要強制執(zhí)行的技術(shù)措施等，以保障人民生命財

產(chǎn)安全、人身健康、工程質(zhì)量安全、生態(tài)環(huán)境安全，促進能源節(jié)約利

用、滿足國家經(jīng)濟建設(shè)和社會管理基本需要。

1.0.2本條規(guī)定了《電子材料廠項目規(guī)范》適用的范圍，工程規(guī)范是

政府及其部門依法治理、依法履職的技術(shù)依據(jù)，也是工程項目相關(guān)方

必須遵守的強制性技術(shù)規(guī)定。

1.0.3參照《國民經(jīng)濟行業(yè)分類》進一步明確規(guī)范的使用對象，從具

體產(chǎn)品角度說明本規(guī)范的適用范圍。

1.0.4本規(guī)范是國家工程建設(shè)控制性底線要求，具有法規(guī)強制效力，

必須嚴格遵守。在此基礎(chǔ)上，國務(wù)院有關(guān)行政管理部門、各地省級行

政管理部門可根據(jù)實際情況，補充、細化和提高本規(guī)范相關(guān)規(guī)定和要

求。為適應(yīng)工程項目建設(shè)特殊情況和科技新成果的應(yīng)用需要，對本規(guī)

范規(guī)定的功能性能要求，暫未明確對應(yīng)技術(shù)措施或采用本規(guī)范規(guī)定之

外的技術(shù)措施，且無相應(yīng)標準的，必須由建設(shè)、勘察、設(shè)計、施工、

監(jiān)理等責任單位及有關(guān)專家依據(jù)研究成果、驗證數(shù)據(jù)和國內(nèi)外實踐經(jīng)

驗等，對所采用的技術(shù)措施進行充分論證評估，證明能夠達到安全可

靠、節(jié)能環(huán)保，并對論證評估結(jié)果負責。論證評估結(jié)果實施前，建設(shè)

單位應(yīng)報工程項目所在地行業(yè)行政主管部門備案。

執(zhí)行本規(guī)范必須同時加強工程質(zhì)量安全管理，嚴格規(guī)范的實施監(jiān)督。

當本規(guī)范規(guī)定與國家法律、行政法規(guī)或更嚴格的強制性標準規(guī)定不一

致時，應(yīng)執(zhí)行國家標準、行政法規(guī)和更嚴格的強制性標準的規(guī)定。

1.0.5工程規(guī)范是全社會必須遵守的強制性技術(shù)規(guī)定，是工程建設(shè)的

基本指南和底線要求。電子材料項目建設(shè)必須嚴格遵循本規(guī)范要求，

同時為滿足工程全專業(yè)全建設(shè)周期的質(zhì)量、安全等需求，項目建設(shè)還

應(yīng)遵守國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)范的規(guī)定。

2.基本規(guī)定

2.0.1本條說明廠址選擇的基本要求。項目的選址必須符合產(chǎn)業(yè)及發(fā)

展規(guī)劃。

2.0.2對環(huán)境保護和職業(yè)安全衛(wèi)生的要求是本規(guī)范編制的主要目的，

工廠建設(shè)必須同步滿足環(huán)保及職業(yè)安全衛(wèi)生方面的配套設(shè)施的設(shè)計、

施工和驗收。

2.0.3說明總平面布置的基本要求?？偲矫娌贾脮r應(yīng)考慮環(huán)境、節(jié)能

等多方面要求。

2.0.4本條對電子材料生產(chǎn)廠工藝和設(shè)備設(shè)計作出規(guī)定。經(jīng)濟適用與

技術(shù)先進是對立統(tǒng)一的，為避免重復(fù)或者低水平建設(shè)，要求選擇成熟

先進的工藝技術(shù)和設(shè)備。

2.0.5根據(jù)電子材料廠多年設(shè)計、建設(shè)和生產(chǎn)經(jīng)驗，生產(chǎn)的火災(zāi)危險

性分類受眾多因素的影響，要判斷整個生產(chǎn)過程中每個環(huán)節(jié)是否有引

起火災(zāi)的可能性，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)過程中使用的原材料以及產(chǎn)

品及其副產(chǎn)品的火災(zāi)危險性以及生產(chǎn)時的實際環(huán)境條件等情況確定。

2.0.6本條規(guī)定了同一座廠房或廠房中同一個防火分區(qū)內(nèi)存在不同

火災(zāi)危險性的生產(chǎn)時，該建筑或區(qū)域火災(zāi)危險性的確定原則。

(1)在一座廠房中或一個防火分區(qū)內(nèi)存在甲、乙類等多種火災(zāi)危

險性生產(chǎn)時，如果甲類生產(chǎn)著火后，可燃物質(zhì)足以構(gòu)成爆炸或燃燒危

險，則該建筑物中的生產(chǎn)類別應(yīng)按甲類劃分；如果該廠房面積很大，

其中甲類生產(chǎn)所占用的面積比例小，并采取了相應(yīng)的工藝保護和防火

防爆分隔措施將甲類生產(chǎn)部位與其他區(qū)域完全隔開，即使發(fā)生火災(zāi)也

不會蔓延到其他區(qū)域時，該廠房可按火災(zāi)危險性較小者確定。

另外，有的生產(chǎn)過程中雖然使用或產(chǎn)生易燃、可燃物質(zhì)，但是數(shù)

量少，當氣體全部逸出或可燃液體全部氣化也不會在同一時間內(nèi)使廠

房內(nèi)任何部位的混合氣體處于爆炸極限范圍內(nèi)，或即使局部存在爆炸

危險、可燃物全部燃燒也不可能使建筑物著火而造成災(zāi)害。

（2）一般情況下可不按物質(zhì)危險特性確定生產(chǎn)火災(zāi)危險性類別

的最大允許量，參見表晨

表1可不按物質(zhì)危險特性確定生產(chǎn)火災(zāi)危險性類別的最大允許量

火災(zāi)危最大允消二量

險性類火災(zāi)危險性的特性物質(zhì)名稱舉例與房間容積的

總量

別比值

汽油、丙酮、乙

1閃點小于28℃的液體0.004L/m3100L

酸

25m3

爆炸下限小于10%的乙快、氫、甲烷、IL/m3

2（標準狀

氣體乙烯、硫化氫（標準狀態(tài)）

態(tài)）

硝化棉、硝化纖

常溫下能自行分解導(dǎo)

維膠片、噴漆棉、

致迅速自燃爆炸的物0.003kg/m310kg

火膠棉、賽璐珞

3質(zhì)

棉

在空氣中氧化即導(dǎo)致

黃磷0.006kg/m320kg

迅速自燃的物質(zhì)

甲類

常溫下受到水和空氣

中水蒸氣的作用能產(chǎn)

4金屬鉀、鈉、鋰0.002kg/m35kg

生可燃氣體并能燃燒

或爆炸的物質(zhì)

遇酸、受熱、撞擊、

摩擦、催化以及遇有

硝酸呱、高氯酸

機物或硫黃等易燃的0.006kg/m20kg

錢

5無機物能引起爆炸的

強氧化劑

遇酸、受熱、撞擊、氯酸鉀、氯酸鈉、

0.015kg/m350kg

摩擦、催化以及遇有過氧化鈉

火災(zāi)危最大允的二量

險性類火災(zāi)危險性的特性物質(zhì)名稱舉例與房間容積的

總量

別比值

機物或硫黃等極易分

解引起燃燒的強氧化

劑

與氧化劑、有機物接

6觸時能引起燃燒或爆赤磷、五硫化磷0.015kg/m350kg

炸的物質(zhì)

受到水或空氣中水蒸

氣的作用能產(chǎn)生爆炸

7電石0.075kg/m3100kg

下限小于10%的氣體

的固體物質(zhì)

閃點大于等于28c至

1煤油、松節(jié)油0.02L/m3200L

60℃的液體

50m‘

爆炸下限大于等于51,/ni3

2氨（標準狀

10%的氣體（標準狀態(tài)）

態(tài)）

50m3

5L/m3

助燃氣體氧、氟（標準狀

（標準狀態(tài)）

乙類態(tài)）

3

硝酸、硝酸銅、

不屬于甲類的氧化劑鋁酸、發(fā)煙硫酸、0.025kg/m380kg

銘酸鉀

賽璐珞板、硝化

不屬于甲類的化學(xué)易纖維色片、鎂粉、0.015kg/m350kg

4

燃危險固體鋁粉

硫黃、生松香0.075kg/m3100kg

表1列出了部分生產(chǎn)中常見的甲、乙類火災(zāi)危險性物品的最大允

許量。本表僅供使用本條文時參考。現(xiàn)將其計算方法和數(shù)值確定的原

則及應(yīng)用本表應(yīng)注意的事項說明如下：

1）廠房或?qū)嶒炇覂?nèi)單位容積的最大允許量。

單位容積的最大允許量是實驗室或非甲、乙類廠房內(nèi)使用甲、乙

類火災(zāi)危險性物品的兩個控制指標之一。實驗室或非甲、乙類廠房內(nèi)

使用甲、乙類火災(zāi)危險性物品的總量同其室內(nèi)容積之比應(yīng)小于此值。

下面按氣、液、固態(tài)甲、乙類危險物品分別說明該數(shù)值的確定。

①氣態(tài)甲、乙類火災(zāi)危險性物品。

一般，可燃氣體濃度探測報警裝置的報警控制值采用該可燃氣體

爆炸下限的25%。因此，當室內(nèi)使用的可燃氣體同空氣所形成的混合

性氣體不大于爆炸下限的5%時，可不按甲、乙類火災(zāi)危險性劃分。

本條采用5%這個數(shù)值還考慮到，在一個面積或容積較大的場所內(nèi)，

可能存在可燃氣體擴散不均勻，會形成局部高濃度而引發(fā)爆炸的危

險。

由于實際生產(chǎn)中使用或產(chǎn)生的甲、乙類可燃氣體的種類較多，在

本表中不可能一一列出。對于爆炸下限小于10%的甲類可燃氣體，空

間內(nèi)單位容積的最大允許量采用幾種甲類可燃氣體計算結(jié)果的平均

值（如乙煥的計算結(jié)果是0.75L/m3,甲烷的計算結(jié)果為2.5L/m3）,

3

取1L/mo對于爆炸下限大于或等于10%的乙類可燃氣體，空間內(nèi)單

位容積的最大允許量取5L/m%

②液態(tài)甲、乙類火災(zāi)危險性物品。

在室內(nèi)少量使用易燃、易爆甲、乙類火災(zāi)危險性物品，要考慮這

些物品全部揮發(fā)并彌漫在整個室內(nèi)空間后，同空氣的混合比是否低于

其爆炸下限的5%。如低于該值，可以不確定為甲、乙類火災(zāi)危險性。

③固態(tài)（包括粉狀）甲、乙類火災(zāi)危險性物品。

對于金屬鉀、金屬鈉，黃磷、赤磷、賽璐珞板等固態(tài)甲、乙類火

災(zāi)危險性物品和鎂粉、鋁粉等乙類火災(zāi)危險性物品的單位容積的最大

允許量，參照了國外有關(guān)消防法規(guī)的規(guī)定。

2）廠房或?qū)嶒炇业仁覂?nèi)空間最多允許存放的總量。

對于容積較大的空間，單憑空間內(nèi)“單位容積的最大允許量”一

個指標來控制是不夠的。有時，盡管這些空間內(nèi)單位容積的最大允許

量不大于規(guī)定，也可能會相對集中放置較大量的甲、乙類火災(zāi)危險性

物品，而這些物品著火后常難以控制。

3）在應(yīng)用本條進行計算時，如空間內(nèi)存在兩種或兩種以上火災(zāi)危

險性的物品，原則上要以其中火災(zāi)危險性較大、兩項控制指標要求較

嚴格的物品為基礎(chǔ)進行計算。

2.0.7根據(jù)不同的生產(chǎn)火災(zāi)危險性類別，正確選擇廠房的耐火等級，

合理確定廠房的層數(shù)和建筑面積，可以有效防止火災(zāi)蔓延擴大，減少

損失。

甲類生產(chǎn)具有易燃、易爆的特性，容易發(fā)生火災(zāi)和爆炸，疏散和救援

困難，如層數(shù)多則更難撲救，嚴重者M對結(jié)構(gòu)有嚴重破壞。因此，本

條對甲類廠房層數(shù)及防火分區(qū)面積提出了較嚴格的規(guī)定。

為適應(yīng)生產(chǎn)發(fā)展需要建設(shè)大面積廠房和布置連續(xù)生產(chǎn)線工藝時，防火

分區(qū)采用防火墻分隔有時比較困難。對此，除甲類廠房外，規(guī)范允許

采用防火分隔水幕或防火卷簾等進行分隔。

廠房內(nèi)的操作平臺、檢修平臺主要布置在高大的生產(chǎn)裝置周圍，在車

間內(nèi)多為局部或全部鏤空，面積較小、操作人員或檢修人員較少，且

主要為生產(chǎn)服務(wù)的工藝設(shè)備而設(shè)置，這些平臺可不計入防火分區(qū)的建

筑面積。

2.0.8倉庫物資儲存比較集中，可燃物數(shù)量多，滅火救援難度大，一

旦著火，往往整個倉庫或防火分區(qū)就被全部燒毀,造成嚴重經(jīng)濟損失,

因此要嚴格控制其防火分區(qū)的大小。本條根據(jù)不同儲存物品的火災(zāi)危

險性類別，確定了倉庫的耐火等級、層數(shù)和建筑面積的相互關(guān)系。

本條強調(diào)倉庫內(nèi)防火分區(qū)之間的水平分隔必須采用防火墻進行分隔，

不能用其他分隔方式替代，這是根據(jù)倉庫內(nèi)可能的火災(zāi)強度和火災(zāi)延

續(xù)時間，為提高防火墻分隔的可靠性確定的。特別是甲、乙類物品，

著火后蔓延快、火勢猛烈，其中有不少物品還會發(fā)生爆炸，危害大。

要求甲、乙類倉庫內(nèi)的防火分區(qū)之間采用不開設(shè)門窗洞口的防火墻分

隔，且甲類倉庫應(yīng)采用單層結(jié)構(gòu)。這樣做有利于控制火勢蔓延，便于

撲救，減少災(zāi)害。對于丙、丁、戊類倉庫，在實際使用中確因物流等

使用需要開口的部位，需采用與防火墻等效的措施進行分隔，如甲級

防火門、防火卷簾，開口部位的寬度一般控制在不大于6.0m,高度

最好控制在4.0m以下，以保證該部位分隔的有效性。

設(shè)置在地下、半地下的倉庫，火災(zāi)時室內(nèi)氣溫高，煙氣濃度比較高和

熱分解產(chǎn)物成分復(fù)雜、毒性大，而且威脅上部倉庫的安全，所以要求

相對較嚴。本條規(guī)定甲、乙類倉庫不應(yīng)附設(shè)在建筑物的地下室和半地

下室內(nèi)；對于單獨建設(shè)的甲、乙類倉庫，甲、乙類物品也不應(yīng)儲存在

該建筑的地下、半地下。

隨著地下空間的開發(fā)利用，地下倉庫的規(guī)模也越來越大，火災(zāi)危險性

及滅火救援難度隨之增加。針對該種情況，明確了地下、半地下倉庫

或倉庫的地下、半地下室的占地面積要求。

2.0.9自動滅火系統(tǒng)能及時控制與撲滅防火分區(qū)內(nèi)的初火，有效控制

火勢蔓延。運行維護良好的自動滅火設(shè)施，能較大地提高廠房和倉庫

的消防安全性。因此，本條規(guī)定廠房和倉庫內(nèi)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)后，

防火分區(qū)的建筑面積及倉庫的占地面積可以按表2.0.7和表2.0.8

的規(guī)定增加。

一般，在防火分區(qū)內(nèi)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)時，需要整個防火分區(qū)全部設(shè)

置。但有時在一個防火分區(qū)內(nèi)，有些部位的火災(zāi)危險性較低，可以不

需要設(shè)置自動滅火設(shè)施，而有些部位的火災(zāi)危險性較高，需要局部設(shè)

置。對于這種情況，防火分區(qū)內(nèi)所增加的面積只能按該設(shè)置自動滅火

系統(tǒng)的局部區(qū)域建筑面積的一倍計入防火分區(qū)的總建筑面積內(nèi)，但局

部區(qū)域包括所增如的面積均要同時設(shè)置自動滅火系統(tǒng)。為防止系統(tǒng)失

效導(dǎo)致火災(zāi)的蔓延，還需在該防火分區(qū)內(nèi)采用防火隔墻與未設(shè)置自動

滅火系統(tǒng)的部分分隔C

2.0.10本條規(guī)定了不同火災(zāi)危險性類別廠房內(nèi)的最大疏散距離。本

條規(guī)定的疏散距離均為直線距離，即室內(nèi)最遠點至最近安全出口的直

線距離，未考慮因布置設(shè)備而產(chǎn)生的阻擋，但有通道連接或墻體遮擋

時，要按其中的折線距離計算。

通常，在火災(zāi)條件下人員能安全走出安全出口，即可認為到達安全地

點?？紤]單層、多層、高層廠房的疏散難易程度不同，不同火災(zāi)危險

性類別廠房發(fā)生火災(zāi)的可能性及火災(zāi)后的蔓延和危害不同，分別作了

不同的規(guī)定。

實際火災(zāi)環(huán)境往往比較復(fù)雜，廠房內(nèi)的物品和設(shè)備布置以及人在火災(zāi)

條件下的心理和生理因素都對疏散有直接影響，設(shè)計師應(yīng)根據(jù)不同的

生產(chǎn)工藝和環(huán)境，充分考慮人員的疏散需要來確定疏散距離以及廠房

的布置與選型，盡量均勻布置安全出口，縮短疏散距離，特別是實際

步行距離。

2.0.11現(xiàn)代的電子工業(yè)潔凈廠房具有生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大、連續(xù)性

生產(chǎn)、自動化傳輸?shù)忍攸c，潔凈室內(nèi)操作人員較少，人員密度極低，

技術(shù)支持區(qū)內(nèi)主要為人員流動巡查，因此當潔凈室與技術(shù)支持區(qū)位于

不同的防火分區(qū)時，可通過設(shè)置共用前室或安全通道共用疏散出口。

2.0.12避難走道主要用于解決大型建筑中疏散距離過長，或難以按

照規(guī)范要求設(shè)置直通室外的安全出口等問題。避難走道和防煙樓梯間

的作用類似，疏散時人員只要進入避難走道，就可視為進入相對安全

的區(qū)域。為確保人員疏散的安全，當避難走道服務(wù)于多個防火分區(qū)時,

規(guī)定避難走道直通地面的出口不少于2個，并設(shè)置在不同的方向；當

避難走道只與一個防火分區(qū)相連時，直通地面的出口雖然不強制要求

設(shè)置2個，但有條件時應(yīng)盡量在不同方向設(shè)置出口。

2.0.13泄漏自動報警裝置和事故通風(fēng)對于可能突然逸出大量有害氣

體或易造成急性中毒氣體的作業(yè)場所來說，是保證生產(chǎn)安全和人身安

全、健康的一項必要措施。

2.0.14有毒有害物質(zhì)包括氣態(tài)物、煙氣（蒸汽煙霧）、酸霧和粉塵

等，這些物質(zhì)通常有刺激性或有腐蝕性，有的有易燃性或易爆性，有

的有惡臭，有的可對人體產(chǎn)生急性或慢性疾患，有的可危害臭氧層或

造成溫室效應(yīng)，有的物質(zhì)會轉(zhuǎn)化成二次污染、復(fù)合型大氣污染，因此

應(yīng)經(jīng)過廢氣凈化處理后，才可以排放。

2.0.15電子材料廠房在生產(chǎn)過程中使用易燃易爆、有毒、酸、堿、

溶劑等化學(xué)品和氣體，屬于具有腐蝕性、易燃、易爆、毒性物質(zhì)，工

藝排風(fēng)系統(tǒng)起到了有效捕集有害物，阻止有害物向其他生產(chǎn)區(qū)擴散的

作用，通過排風(fēng)管道將其輸送至處理設(shè)備，處理達標后排放至室外。

如果在上述工藝排風(fēng)管道上安裝防火閥，防火閥關(guān)閉，將會造成排風(fēng)

中斷，工藝設(shè)備釋放的有害物就會擴散到室內(nèi)，造成室內(nèi)環(huán)境污染和

人員傷害。防火分隔是被動防火措施，含有易燃易爆氣體或粉塵、酸

性、堿性、劇毒的工藝排風(fēng)管道不得不穿越時，應(yīng)采用必要的補救措

施以阻止火災(zāi)從一個區(qū)域蔓延到相鄰的區(qū)域。NFPA318《潔凈室消防

標準》第9.3.5條規(guī)定：“防火閥不應(yīng)安裝在排風(fēng)管道系統(tǒng)中。"NFPA

318《潔凈室消防標準》第9.3.4條規(guī)定：“有害化學(xué)品排風(fēng)系統(tǒng)排

風(fēng)管道穿越有時限要求的建筑構(gòu)件處，緊鄰建筑構(gòu)件的風(fēng)管管道應(yīng)采

用與建筑構(gòu)件耐火時限相同的防火構(gòu)造進行封閉或保護，每側(cè)保護長

度不應(yīng)小于2m或者風(fēng)管直徑的兩倍，并以其中較大者為準。”因此,

規(guī)定了電子材料工廠含有易燃易爆氣體或粉塵、酸性、堿性、劇毒的

工藝排風(fēng)管道不應(yīng)安裝防火閥，并明確要求穿越防火分隔時采取有效

防火措施。

2.0.16廢水分類收集是方便后面的處理，以便滿足環(huán)保要求。

2.0.17電子材料工廠在生產(chǎn)中使用對環(huán)境有影響的酸、堿、有機等

化學(xué)品，且往往連續(xù)產(chǎn)生并排放至廢水處理系統(tǒng)，一旦廢水處理系統(tǒng)

運行異常，可能造成上述化學(xué)品的外泄，污染環(huán)境，故應(yīng)設(shè)置事故水

池對有害廢水進行臨時性儲存。如果事故水池太大，則占地面積和工

程造價都會大幅度增加；如果容積太小，一旦廢水處理系統(tǒng)出現(xiàn)問題,

來不及維修，必然造成生產(chǎn)線停產(chǎn)，使企業(yè)遭受經(jīng)濟損失，綜合國內(nèi)

外一些大廠的運行經(jīng)驗，規(guī)定事故水池的收集能力按照不小于最大單

個系統(tǒng)處理量的6小時排放量來設(shè)置。

2.0.18電子材料項目生產(chǎn)中會用到多種化學(xué)品，在生產(chǎn)區(qū)、儲存和

轉(zhuǎn)運區(qū)以及其他可能產(chǎn)生化學(xué)灼傷的場所，設(shè)置沖身洗眼器，可以防

止化學(xué)品的噴濺對人員產(chǎn)生化學(xué)灼傷。

2.0.19之所以規(guī)定“事故排風(fēng)及有毒有害排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)機必須設(shè)置

應(yīng)急電源”，是因為該系統(tǒng)風(fēng)機一旦停電，有毒、有害廢氣將得不到

及時排除，并可能會擴散至工作場所，對工作人員造成傷害。

2.0.20法蘭和螺紋部位發(fā)生泄漏的幾率相對較大，為避免腐蝕性、

有毒介質(zhì)意外泄漏時對人身安全及工廠設(shè)施造成較大影響，應(yīng)避免人

員較為密集的場所或在重要的動力設(shè)施處上面設(shè)置法蘭或螺紋等連

接裝置。

2.0.21對生產(chǎn)過程中涉及的物料分類設(shè)置存儲空間，避免因不同材

料的共同或鄰近存儲引發(fā)的次生危害。

2.0.22本條是關(guān)于電子工程危險廢物專用貯存區(qū)域的設(shè)置要求。

1廢液貯存區(qū)域應(yīng)設(shè)置在與生產(chǎn)工藝場所相對獨立且地勢相對較低

的區(qū)域，以避免發(fā)生意外事故時對生產(chǎn)工藝場所或周邊其他區(qū)域造成

污染；同時該貯存區(qū)域地勢不得低于地下水最高水位。

2由于電子工程廢液產(chǎn)生量一般較大，廢液應(yīng)采取罐體收集的方式,

從生產(chǎn)工藝場所直接通過管道依靠重力流將廢液輸送至地勢較低的

廢液收集罐，廢液罐區(qū)應(yīng)按照化學(xué)品貯存要求設(shè)置防滲漏設(shè)施，并應(yīng)

設(shè)置防滲漏液位監(jiān)測、漏液警報等在線監(jiān)測設(shè)施，防止?jié)B漏液滲入地

下，對地下水和土壤形成污染。

3為降低漏液事故發(fā)生時的損失，廢液區(qū)應(yīng)設(shè)有漏液收集系統(tǒng)、排

液泵、應(yīng)急貯存罐、事故排風(fēng)、吸附裝備等應(yīng)急設(shè)施。

4危險固體廢物的貯存場所宜設(shè)擋風(fēng)墻、遮雨棚等，以防止因刮風(fēng)

引起的揚塵和因下雨引起的雨水淋溶，避免形成新的污染。應(yīng)根據(jù)危

險固體廢物性質(zhì)進行分隔，并設(shè)有有效的防滲漏及事故收集等設(shè)施，

避免危險固體廢物污染事故的發(fā)生。

2.0.23生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的較強振動、高溫、深冷、腐蝕、油浸等

因素可能會對建（構(gòu)）筑物和人員造成不利影響。應(yīng)考慮采取相應(yīng)的

防治、防范措施。

2.0.24為使勞動者對職業(yè)病危害產(chǎn)生警覺，并采取相應(yīng)防護措施，

應(yīng)在相應(yīng)場所設(shè)置圖形標識、警示線、警示語句和文字等警示標志。

2.0.25電子材料廠使用多種化學(xué)品及特殊氣體，同時廢水、廢氣其

污染物種類較多，為明確責任分工，便于工廠日常運行管理以及應(yīng)對

突發(fā)各種安全及環(huán)保事件進行有效的組織保障，制定本條款。

2.0.26由于設(shè)備分期到貨而間隔時間較長，先期到達的設(shè)備已安裝

調(diào)試完成并已投入生產(chǎn)，或已生產(chǎn)的車間需要調(diào)整生產(chǎn)線或更換設(shè)

備，這時的安裝配管就處于生產(chǎn)安裝同時進行狀態(tài)。規(guī)定施工應(yīng)采取

措施，避免影響生產(chǎn)造成損失。

2.0.27本條列出生產(chǎn)設(shè)備單機和聯(lián)線試運行應(yīng)具備的環(huán)境、動力、

安全設(shè)施等通用技術(shù)條件，只有這些條件均具備時方可進行單機和聯(lián)

線試運行。

2.0.28電子材料廠使用多種化學(xué)品及特殊氣體，同時廢水、廢氣及

廢氣污染物種類較多，為明確責任分工，便于工廠日常運營管理以及

應(yīng)對突發(fā)各種安全及環(huán)保事件進行有效的組織保障，制定本條款。

2.0.29工廠運營維護要確保工廠各項環(huán)境及動力供應(yīng)指標滿足生產(chǎn)

以及安全、環(huán)保和職業(yè)健康的需要，必須落實細化各系統(tǒng)等的參數(shù)和

管控范圍，并制定完善的各項規(guī)章制度嚴格執(zhí)行。

2.0.30生產(chǎn)過程中使用有毒有害特殊氣體和化學(xué)品系統(tǒng)停止使用

后，會殘留部分氣體或化學(xué)品在系統(tǒng)的容器、閥門及管道中，如不徹

底清除及進行無害化處理，會對人體及環(huán)境造成傷害。

3.半導(dǎo)體材料廠

3.1一般規(guī)定

3.1.1本對半導(dǎo)體材料廠的經(jīng)濟規(guī)模作出定義。

3.1.2對硅材料廠不同工序的火災(zāi)危險性作出定義。

3.1.3本條對化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險性作出定義。

3.2生產(chǎn)設(shè)施

3.2.1隨著產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來越高，振動對產(chǎn)品的質(zhì)量有了一定的

影響，因此要求建筑設(shè)計時要根據(jù)產(chǎn)品的要求選擇合適的防微振允許

值。

3.2.2本條要求化合物半導(dǎo)體核心生產(chǎn)區(qū)應(yīng)按照化合物半導(dǎo)體的生產(chǎn)

工藝要求設(shè)置。

3.2.3本條說明晶片加工清洗各工序布局要求，是為了避免晶片污染

及破損。

3.3生產(chǎn)輔助設(shè)施

3.3.1冷卻水的穩(wěn)定性對于高溫設(shè)備如單晶爐來說非常重要，一旦停

掉會對工藝設(shè)備造成不可逆轉(zhuǎn)的損失，因此要求冷卻水必須連續(xù)穩(wěn)

定。

3.3.2儲存劇毒物品的庫間、工作間，為防止毒物聚集在室內(nèi)表面，

需經(jīng)常用水沖洗，故其墻壁、頂棚和地面應(yīng)采用不吸附毒物的材料，

并應(yīng)便于清洗和收集。為防止操作人員吸入有毒物質(zhì)，分發(fā)有毒物質(zhì)

的操作過程應(yīng)在通風(fēng)柜中進行。

3.3.3含珅廢物有毒有害，濃度較高，所以廢液需要集中處理。

4.平板顯示用玻璃基板廠

4.1一般規(guī)定

4.1.1本條對平板顯示用玻璃基板廠經(jīng)濟規(guī)模作出規(guī)定。

4.1.2對不同工序組成情況下的玻璃基板生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險性作

出定義，僅包含后加工工序的生產(chǎn)廠房因不包含熔爐等需要燃料的設(shè)

施，火災(zāi)危險性降低。

4.2生產(chǎn)設(shè)施

4.2.1熔爐內(nèi)的玻璃液溫度往往超過1000℃,如果發(fā)生意外泄漏，

不僅對周邊人員造成傷害，同時其高溫也會威脅廠房主體結(jié)構(gòu)安全，

因此需要設(shè)置玻璃液意外泄漏收集裝置，控制泄漏范圍，并配備冷卻

裝置將玻璃液迅速冷卻。

4.2.2熔爐屬重要的生產(chǎn)設(shè)備，烤窯升溫屬危險性較高的作業(yè)，必須

制定詳細操作規(guī)程并遵照執(zhí)行。

4.2.3熔爐屬重要的生產(chǎn)設(shè)備，泄料屬危險較高的作業(yè)，必須制定詳

細操作規(guī)程并遵照執(zhí)行。

4.2.4熔爐內(nèi)的玻璃液溫度往往超過1000℃,采取必要的保溫、隔

熱及冷卻措施是降低能源消耗和保證操作者安全的必要措施。

4.2.5隨著玻璃基板尺寸的增大，面研磨設(shè)備產(chǎn)生的振動也大幅增

加，需采取措施消除其對周邊設(shè)備、周圍環(huán)境產(chǎn)生的影響。

4.2.6熔爐等設(shè)備往往含有貴重金屬，拆除作業(yè)時操作不當或管理措

施不完備容易造成損壞或遺失，應(yīng)制定專項施工組織方案對貴金屬進

行有效管控。

4.3生產(chǎn)輔助設(shè)施

4.3.1冷卻水的穩(wěn)定性對于熔爐來說非常重要，一旦停掉會對熔爐造

成損壞并危及環(huán)境及人身安全，因此要求冷卻水必須連續(xù)供應(yīng)。

4.3.2熔爐通常采用耐火材料砌筑，且表面溫度較高，會影響管線系

統(tǒng)安全，一旦管道發(fā)生泄漏，容易造成熔爐損壞并危及環(huán)境及人身安

全。

5.偏光片廠

5.1一般規(guī)定

5.1.1本條對偏光片廠經(jīng)濟規(guī)模作出規(guī)定，具有多種幅寬生產(chǎn)線的工

廠可按其最小幅寬計。

5.1.2偏光片涂布液混合生產(chǎn)工序使用了大量的（數(shù)噸/日）甲乙類

混合溶劑，如乙酸乙酯（閃點-4.4℃）、丙酮（閃點-20℃）、丁酮

（閃點-9℃）等，火災(zāi)危險性較大，應(yīng)采取防火防爆分隔措施與其它

區(qū)域隔開。

5.2生產(chǎn)設(shè)施

5.2.1偏光片涂布作業(yè)系通過涂布頭將含有甲乙類