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光學(xué)儀器與測(cè)量技術(shù)作業(yè)指導(dǎo)書TOC\o"1-2"\h\u8206第1章光學(xué)基礎(chǔ)理論 4123211.1光的傳播與反射 4147571.1.1光的傳播 4272771.1.2反射現(xiàn)象 4162371.2光的折射與透鏡原理 4230981.2.1折射現(xiàn)象 433221.2.2透鏡原理 4156001.3光的波動(dòng)性與干涉 480301.3.1光的波動(dòng)性 4891.3.2干涉現(xiàn)象 5263741.4光的偏振與旋光現(xiàn)象 5283711.4.1光的偏振 5230051.4.2旋光現(xiàn)象 512187第2章光學(xué)儀器概述 5202882.1光學(xué)儀器的分類與原理 575222.2光學(xué)儀器的關(guān)鍵部件 5155502.3光學(xué)儀器的設(shè)計(jì)與制造 6201152.4光學(xué)儀器的功能評(píng)價(jià)與檢測(cè) 625027第3章望遠(yuǎn)鏡與顯微鏡 6176253.1望遠(yuǎn)鏡的工作原理與分類 785973.1.1工作原理 796263.1.2分類 716183.2顯微鏡的工作原理與分類 7111403.2.1工作原理 7319553.2.2分類 7167423.3望遠(yuǎn)鏡與顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng) 762973.3.1望遠(yuǎn)鏡光學(xué)系統(tǒng) 7309533.3.2顯微鏡光學(xué)系統(tǒng) 7266733.4望遠(yuǎn)鏡與顯微鏡的使用與維護(hù) 7255673.4.1使用方法 8260373.4.2維護(hù)保養(yǎng) 819780第4章光譜儀器 8113464.1光譜儀器的原理與分類 8305094.2分光光度計(jì)與熒光光度計(jì) 889514.2.1分光光度計(jì) 8279554.2.2熒光光度計(jì) 834914.3原子吸收光譜儀與原子熒光光譜儀 9141024.3.1原子吸收光譜儀 9168694.3.2原子熒光光譜儀 9219394.4紅外光譜儀與拉曼光譜儀 9247114.4.1紅外光譜儀 911594.4.2拉曼光譜儀 917794第5章光學(xué)測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ) 9195315.1光學(xué)測(cè)量概述 9104175.2測(cè)量誤差與數(shù)據(jù)處理 1060005.2.1測(cè)量誤差 10319525.2.2數(shù)據(jù)處理 10162635.3光學(xué)測(cè)量方法與儀器 10183845.3.1光學(xué)測(cè)量方法 107255.3.2光學(xué)測(cè)量?jī)x器 11180665.4光學(xué)測(cè)量中的標(biāo)準(zhǔn)與校準(zhǔn) 1129845.4.1標(biāo)準(zhǔn) 11326265.4.2校準(zhǔn) 1116163第6章長(zhǎng)度與角度測(cè)量 11169826.1光學(xué)顯微鏡測(cè)量 11306186.1.1顯微鏡原理 11189786.1.2顯微鏡測(cè)量方法 11119686.1.3顯微鏡測(cè)量誤差分析 1247876.2激光干涉儀測(cè)量 12322946.2.1激光干涉儀原理 12204366.2.2激光干涉儀測(cè)量方法 12207096.2.3激光干涉儀測(cè)量誤差分析 1253286.3全息干涉測(cè)量 12141856.3.1全息干涉原理 12311086.3.2全息干涉測(cè)量方法 1258086.3.3全息干涉測(cè)量誤差分析 12125816.4光柵測(cè)量技術(shù) 12303416.4.1光柵原理 12266496.4.2光柵測(cè)量方法 1337016.4.3光柵測(cè)量誤差分析 1310630第7章形貌與表面測(cè)量 13285667.1接觸式表面測(cè)量 13211357.1.1原理與分類 13228707.1.2測(cè)量系統(tǒng) 1321417.1.3測(cè)量步驟與方法 13312087.2非接觸式表面測(cè)量 1339257.2.1原理與分類 1379557.2.2測(cè)量系統(tǒng) 1354317.2.3測(cè)量步驟與方法 13169997.3光學(xué)輪廓儀 14197007.3.1原理與分類 14297317.3.2測(cè)量系統(tǒng) 14293147.3.3測(cè)量步驟與方法 145987.4三維掃描測(cè)量 14158587.4.1原理與分類 14261157.4.2測(cè)量系統(tǒng) 14185807.4.3測(cè)量步驟與方法 143652第8章光學(xué)功能參數(shù)測(cè)量 14153508.1光透過率與反射率測(cè)量 1486548.1.1測(cè)量原理 1486888.1.2測(cè)量方法 14207968.1.3測(cè)量步驟 1597728.2光譜特性測(cè)量 15268948.2.1測(cè)量原理 15237498.2.2測(cè)量方法 1521098.2.3測(cè)量步驟 15324918.3光束質(zhì)量與亮度測(cè)量 15186418.3.1測(cè)量原理 15219448.3.2測(cè)量方法 15209698.3.3測(cè)量步驟 1532228.4光學(xué)元件損傷閾值測(cè)量 16181768.4.1測(cè)量原理 16122598.4.2測(cè)量方法 16262418.4.3測(cè)量步驟 16448第9章光學(xué)成像系統(tǒng)測(cè)量 16312139.1成像系統(tǒng)MTF測(cè)量 16240949.1.1MTF測(cè)量原理 1630899.1.2MTF測(cè)量方法 16288199.1.3MTF測(cè)量結(jié)果分析 16159159.2焦距與像差測(cè)量 17208619.2.1焦距測(cè)量 1768889.2.2像差測(cè)量 1734429.2.3焦距與像差測(cè)量結(jié)果分析 17324189.3紅外成像系統(tǒng)測(cè)量 17289549.3.1紅外成像系統(tǒng)概述 1798039.3.2紅外成像系統(tǒng)測(cè)量方法 1712459.3.3紅外成像系統(tǒng)測(cè)量結(jié)果分析 17171229.4高分辨率成像系統(tǒng)測(cè)量 17161489.4.1高分辨率成像系統(tǒng)概述 1775319.4.2高分辨率成像系統(tǒng)測(cè)量方法 17267739.4.3高分辨率成像系統(tǒng)測(cè)量結(jié)果分析 1730648第10章光學(xué)測(cè)量技術(shù)在現(xiàn)代光學(xué)工程中的應(yīng)用 182018310.1光學(xué)測(cè)量技術(shù)在光學(xué)制造中的應(yīng)用 183086810.1.1概述 183072110.1.2光學(xué)測(cè)量技術(shù)在光學(xué)元件加工中的應(yīng)用 18972710.1.3光學(xué)測(cè)量技術(shù)在光學(xué)系統(tǒng)組裝中的應(yīng)用 182883010.2光學(xué)測(cè)量技術(shù)在光學(xué)檢測(cè)中的應(yīng)用 181808610.2.1概述 181838510.2.2光學(xué)元件檢測(cè) 18300110.2.3光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè) 181387910.3光學(xué)測(cè)量技術(shù)在光學(xué)研究與發(fā)展中的應(yīng)用 181197710.3.1概述 18329710.3.2光學(xué)測(cè)量技術(shù)在光學(xué)設(shè)計(jì)中的應(yīng)用 181929510.3.3光學(xué)測(cè)量技術(shù)在光學(xué)實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用 191357410.4光學(xué)測(cè)量技術(shù)在光學(xué)領(lǐng)域的發(fā)展趨勢(shì)與展望 191494110.4.1發(fā)展趨勢(shì) 19368010.4.2展望 19第1章光學(xué)基礎(chǔ)理論1.1光的傳播與反射1.1.1光的傳播光是一種電磁波,其在真空中的傳播速度為常數(shù),約為3×10^8m/s。光的傳播呈直線傳播,當(dāng)遇到介質(zhì)界面時(shí),將發(fā)生反射、折射等現(xiàn)象。1.1.2反射現(xiàn)象當(dāng)光線從一種介質(zhì)傳播到另一種介質(zhì)時(shí),在兩種介質(zhì)的分界面上,部分光線會(huì)返回原介質(zhì),這種現(xiàn)象稱為光的反射。根據(jù)反射定律,入射光線、反射光線和法線三者共面,且入射角等于反射角。1.2光的折射與透鏡原理1.2.1折射現(xiàn)象當(dāng)光線從一種介質(zhì)傳播到另一種具有不同折射率的介質(zhì)時(shí),光線的傳播方向會(huì)發(fā)生改變,這種現(xiàn)象稱為光的折射。根據(jù)斯涅爾定律,入射光線、折射光線和法線三者共面,且滿足折射率與入射角的正弦值成比例。1.2.2透鏡原理透鏡是一種利用光的折射原理來(lái)實(shí)現(xiàn)光線聚焦或發(fā)散的光學(xué)元件。根據(jù)透鏡的形狀和用途,可分為凸透鏡和凹透鏡。凸透鏡具有會(huì)聚作用,凹透鏡具有發(fā)散作用。透鏡的焦距、物距和像距之間的關(guān)系遵循透鏡公式。1.3光的波動(dòng)性與干涉1.3.1光的波動(dòng)性光具有波動(dòng)性,可以表現(xiàn)為干涉、衍射等現(xiàn)象。干涉是指當(dāng)兩束或多束相干光波相互疊加時(shí),光的強(qiáng)度分布呈現(xiàn)明暗相間的現(xiàn)象。1.3.2干涉現(xiàn)象干涉現(xiàn)象分為雙縫干涉、邁克爾遜干涉等。雙縫干涉實(shí)驗(yàn)表明,光波經(jīng)過兩個(gè)狹縫后,在光屏上形成明暗相間的條紋,條紋間距與光波長(zhǎng)成正比。邁克爾遜干涉儀是一種高精度的干涉測(cè)量?jī)x器,用于測(cè)量光的波長(zhǎng)、折射率等。1.4光的偏振與旋光現(xiàn)象1.4.1光的偏振光的偏振是指光波在傳播過程中,電場(chǎng)矢量在垂直于傳播方向的平面上振動(dòng)。偏振光具有方向性,可以通過偏振片來(lái)產(chǎn)生和控制。1.4.2旋光現(xiàn)象旋光現(xiàn)象是指光在通過某些介質(zhì)時(shí),其偏振面發(fā)生旋轉(zhuǎn)的現(xiàn)象。旋光現(xiàn)象廣泛應(yīng)用于光學(xué)儀器中,如旋光儀用于測(cè)量旋光角度,從而推斷物質(zhì)的濃度、純度等。第2章光學(xué)儀器概述2.1光學(xué)儀器的分類與原理光學(xué)儀器根據(jù)其工作原理和應(yīng)用領(lǐng)域的不同,可分為多種類型。主要分類如下:(1)折射式光學(xué)儀器:利用光的折射原理,通過透鏡、棱鏡等光學(xué)元件對(duì)光進(jìn)行聚焦、成像和分光。典型代表有顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡等。(2)反射式光學(xué)儀器:利用光的反射原理,通過反射鏡等元件對(duì)光進(jìn)行聚焦、成像。如牛頓望遠(yuǎn)鏡、卡塞格林望遠(yuǎn)鏡等。(3)全息光學(xué)儀器:利用全息原理,將光波的振幅和相位信息記錄在感光材料上,實(shí)現(xiàn)光的再現(xiàn)。如全息投影儀、全息顯微鏡等。(4)光纖光學(xué)儀器:利用光纖傳遞光信號(hào),實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的傳輸、放大、調(diào)制等功能。如光纖通信系統(tǒng)、光纖傳感器等。(5)光譜分析儀器:利用光譜分析原理,對(duì)光進(jìn)行分光、檢測(cè),獲取物體成分、結(jié)構(gòu)等信息。如光譜儀、色譜儀等。2.2光學(xué)儀器的關(guān)鍵部件光學(xué)儀器的關(guān)鍵部件主要包括以下幾部分:(1)光源:提供光能量,是光學(xué)儀器工作的基礎(chǔ)。光源分為自然光源和人造光源,如太陽(yáng)光、激光等。(2)光學(xué)元件:對(duì)光進(jìn)行傳播、聚焦、成像、分光等處理。主要包括透鏡、反射鏡、棱鏡、光柵等。(3)探測(cè)器:接收光信號(hào),將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)或其他形式的信息。如光電倍增管、光敏二極管等。(4)光學(xué)機(jī)械部件:支撐、調(diào)節(jié)光學(xué)元件,保證光學(xué)儀器正常工作。如鏡筒、支架、調(diào)整機(jī)構(gòu)等。(5)電子控制系統(tǒng):控制光學(xué)儀器的運(yùn)行,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)跟蹤等功能。2.3光學(xué)儀器的設(shè)計(jì)與制造光學(xué)儀器的設(shè)計(jì)與制造涉及以下環(huán)節(jié):(1)光學(xué)設(shè)計(jì):根據(jù)儀器功能需求,設(shè)計(jì)光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、參數(shù)和功能。光學(xué)設(shè)計(jì)主要包括透鏡設(shè)計(jì)、反射鏡設(shè)計(jì)、光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化等。(2)材料選擇:根據(jù)光學(xué)功能要求,選擇合適的光學(xué)材料。如光學(xué)玻璃、晶體、塑料等。(3)加工制造:采用高精度加工設(shè)備,如數(shù)控磨床、光學(xué)鍍膜機(jī)等,對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行加工制造。(4)裝配調(diào)試:將加工好的光學(xué)元件和機(jī)械部件進(jìn)行裝配,并進(jìn)行調(diào)試,保證光學(xué)儀器功能達(dá)到設(shè)計(jì)要求。2.4光學(xué)儀器的功能評(píng)價(jià)與檢測(cè)光學(xué)儀器的功能評(píng)價(jià)與檢測(cè)主要包括以下方面:(1)光學(xué)功能:評(píng)價(jià)光學(xué)儀器的成像質(zhì)量、分辨率、視場(chǎng)角等參數(shù)。(2)機(jī)械功能:評(píng)價(jià)光學(xué)儀器的穩(wěn)定性、抗振性、溫度適應(yīng)性等。(3)電子功能:評(píng)價(jià)光學(xué)儀器的信號(hào)處理速度、噪聲水平、功耗等。(4)環(huán)境適應(yīng)性:評(píng)價(jià)光學(xué)儀器在不同環(huán)境條件下的功能表現(xiàn),如溫度、濕度、海拔等。通過對(duì)光學(xué)儀器進(jìn)行功能評(píng)價(jià)與檢測(cè),可以保證其在實(shí)際應(yīng)用中滿足使用要求。第3章望遠(yuǎn)鏡與顯微鏡3.1望遠(yuǎn)鏡的工作原理與分類3.1.1工作原理望遠(yuǎn)鏡是一種用于觀察遠(yuǎn)處物體的光學(xué)儀器,主要由物鏡、目鏡和支架等部分組成。物鏡負(fù)責(zé)收集遠(yuǎn)處物體發(fā)出的光線,形成一個(gè)實(shí)像;目鏡則放大這個(gè)實(shí)像,使觀察者能夠看到清晰的遠(yuǎn)處物體圖像。3.1.2分類根據(jù)望遠(yuǎn)鏡的成像原理,可分為折射式望遠(yuǎn)鏡和反射式望遠(yuǎn)鏡兩大類。折射式望遠(yuǎn)鏡采用透鏡作為物鏡,如伽利略望遠(yuǎn)鏡和開普勒望遠(yuǎn)鏡;反射式望遠(yuǎn)鏡則使用曲面鏡作為物鏡,如牛頓望遠(yuǎn)鏡和卡塞格林望遠(yuǎn)鏡。3.2顯微鏡的工作原理與分類3.2.1工作原理顯微鏡是一種用于觀察微小物體的光學(xué)儀器,主要由物鏡、目鏡、支架和光源等部分組成。物體置于物鏡和目鏡之間,物鏡負(fù)責(zé)收集物體發(fā)出的光線,形成一個(gè)放大的實(shí)像;目鏡進(jìn)一步放大這個(gè)實(shí)像,使觀察者能夠看到清晰的微小物體圖像。3.2.2分類顯微鏡主要分為光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡兩大類。光學(xué)顯微鏡利用可見光作為光源,如普通光學(xué)顯微鏡和熒光顯微鏡;電子顯微鏡則使用電子束作為光源,如透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。3.3望遠(yuǎn)鏡與顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)3.3.1望遠(yuǎn)鏡光學(xué)系統(tǒng)望遠(yuǎn)鏡的光學(xué)系統(tǒng)主要包括物鏡和目鏡。物鏡通常采用凸透鏡或曲面鏡,負(fù)責(zé)收集和聚焦光線;目鏡也采用凸透鏡,用于放大物鏡形成的實(shí)像。光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)需考慮像差校正和視場(chǎng)角等因素,以保證觀察效果。3.3.2顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)主要包括物鏡和目鏡。物鏡有多種倍率,用于放大微小物體;目鏡則放大物鏡形成的實(shí)像。光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)需考慮分辨率、視場(chǎng)角和像差校正等因素,以滿足不同觀察需求。3.4望遠(yuǎn)鏡與顯微鏡的使用與維護(hù)3.4.1使用方法(1)望遠(yuǎn)鏡使用方法:調(diào)整支架,保證望遠(yuǎn)鏡穩(wěn)定;調(diào)節(jié)物鏡和目鏡,使觀察目標(biāo)清晰;適當(dāng)調(diào)整焦距,以獲得最佳觀察效果。(2)顯微鏡使用方法:打開光源,調(diào)整物鏡和目鏡;將待觀察樣本放置在載物臺(tái)上,調(diào)整焦距,使圖像清晰。3.4.2維護(hù)保養(yǎng)(1)望遠(yuǎn)鏡維護(hù):保持鏡片清潔,避免灰塵和污漬;使用后存放于干燥、清潔的環(huán)境中,避免潮濕和腐蝕;定期檢查支架和連接部件,保證穩(wěn)定性。(2)顯微鏡維護(hù):定期清潔鏡片,避免灰塵和污漬;使用后斷開電源,避免長(zhǎng)時(shí)間待機(jī);存放于干燥、清潔的環(huán)境中,防止光學(xué)部件受潮和腐蝕。第4章光譜儀器4.1光譜儀器的原理與分類光譜儀器是一種利用物質(zhì)的光譜特性進(jìn)行成分分析和性質(zhì)研究的儀器。其基本原理是利用光源發(fā)出的光經(jīng)過樣品后,根據(jù)樣品成分對(duì)光的吸收、發(fā)射或散射等作用,產(chǎn)生特征光譜,通過檢測(cè)器接收并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),最后經(jīng)信號(hào)處理后得到光譜圖。本章將根據(jù)光譜儀器的工作原理和特點(diǎn)進(jìn)行分類介紹。4.2分光光度計(jì)與熒光光度計(jì)分光光度計(jì)是基于光吸收原理,通過測(cè)量樣品對(duì)特定波長(zhǎng)光的吸光度,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品濃度或成分的分析。其主要分類有單光束分光光度計(jì)、雙光束分光光度計(jì)和陣列式分光光度計(jì)等。熒光光度計(jì)則是利用樣品對(duì)激發(fā)光的熒光發(fā)射特性,通過檢測(cè)熒光強(qiáng)度,實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的分析。4.2.1分光光度計(jì)分光光度計(jì)主要由光源、單色器、樣品室、檢測(cè)器和信號(hào)處理系統(tǒng)組成。光源發(fā)出寬帶光,經(jīng)單色器分解為單色光,單色光穿過樣品室,被樣品吸收后,剩余光強(qiáng)由檢測(cè)器檢測(cè),并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。通過比較樣品吸光度與標(biāo)準(zhǔn)溶液吸光度的關(guān)系,可以計(jì)算出樣品的濃度。4.2.2熒光光度計(jì)熒光光度計(jì)主要由激發(fā)光源、樣品室、濾光片、檢測(cè)器和信號(hào)處理系統(tǒng)組成。激發(fā)光源發(fā)出的光激發(fā)樣品產(chǎn)生熒光,熒光經(jīng)過濾光片后,由檢測(cè)器檢測(cè)熒光強(qiáng)度。通過比較樣品熒光強(qiáng)度與標(biāo)準(zhǔn)溶液熒光強(qiáng)度的關(guān)系,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的分析。4.3原子吸收光譜儀與原子熒光光譜儀原子吸收光譜儀和原子熒光光譜儀是基于原子對(duì)特定波長(zhǎng)光的吸收和熒光發(fā)射原理,用于元素分析的儀器。4.3.1原子吸收光譜儀原子吸收光譜儀主要由光源、火焰原子化器、單色器、檢測(cè)器和信號(hào)處理系統(tǒng)組成。光源發(fā)出的光通過火焰原子化器使樣品中的元素原子化,原子對(duì)特定波長(zhǎng)光產(chǎn)生吸收,通過檢測(cè)器檢測(cè)吸收強(qiáng)度,從而實(shí)現(xiàn)元素的分析。4.3.2原子熒光光譜儀原子熒光光譜儀主要由光源、火焰原子化器、濾光片、檢測(cè)器和信號(hào)處理系統(tǒng)組成。光源發(fā)出的光激發(fā)樣品中的元素產(chǎn)生熒光,熒光經(jīng)過濾光片后,由檢測(cè)器檢測(cè)熒光強(qiáng)度。通過比較樣品熒光強(qiáng)度與標(biāo)準(zhǔn)溶液熒光強(qiáng)度的關(guān)系,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)元素的定量分析。4.4紅外光譜儀與拉曼光譜儀紅外光譜儀和拉曼光譜儀是利用分子振動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)信息進(jìn)行物質(zhì)結(jié)構(gòu)分析的光譜儀器。4.4.1紅外光譜儀紅外光譜儀主要由光源、樣品室、單色器、檢測(cè)器和信號(hào)處理系統(tǒng)組成。光源發(fā)出的紅外光通過樣品室,樣品對(duì)特定波長(zhǎng)的紅外光產(chǎn)生吸收,通過檢測(cè)器檢測(cè)吸收強(qiáng)度,得到紅外光譜圖。紅外光譜圖反映了樣品分子的振動(dòng)信息,可以用于分子結(jié)構(gòu)和官能團(tuán)的鑒定。4.4.2拉曼光譜儀拉曼光譜儀是基于拉曼散射效應(yīng),利用激光作為激發(fā)光源,對(duì)樣品進(jìn)行非破壞性分析的光譜儀器。拉曼光譜儀主要由激光源、樣品室、單色器、檢測(cè)器和信號(hào)處理系統(tǒng)組成。激光照射到樣品上,樣品分子產(chǎn)生拉曼散射,散射光經(jīng)過單色器分離后,由檢測(cè)器檢測(cè)散射強(qiáng)度,得到拉曼光譜圖。拉曼光譜圖反映了樣品分子的振動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)等信息,可以用于物質(zhì)的鑒別和結(jié)構(gòu)分析。第5章光學(xué)測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)5.1光學(xué)測(cè)量概述光學(xué)測(cè)量技術(shù)是利用光學(xué)原理對(duì)被測(cè)物體的幾何尺寸、表面形狀、物理量及其他特性進(jìn)行非接觸式測(cè)量的方法。本章主要介紹光學(xué)測(cè)量的基本原理、技術(shù)特點(diǎn)及其在工程領(lǐng)域的應(yīng)用。5.2測(cè)量誤差與數(shù)據(jù)處理5.2.1測(cè)量誤差測(cè)量誤差是指測(cè)量結(jié)果與被測(cè)量的真實(shí)值之間的偏差。光學(xué)測(cè)量誤差主要來(lái)源于以下幾個(gè)方面:(1)儀器誤差:由于光學(xué)儀器本身的制造、安裝和使用過程中的不完善導(dǎo)致的誤差。(2)環(huán)境誤差:包括溫度、濕度、氣壓等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。(3)操作誤差:測(cè)量過程中操作人員的技術(shù)水平和操作方法對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。(4)物理誤差:光學(xué)測(cè)量中光波傳播、反射、折射等現(xiàn)象引起的誤差。5.2.2數(shù)據(jù)處理為了減小測(cè)量誤差,提高測(cè)量精度,需要對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。數(shù)據(jù)處理主要包括以下幾個(gè)步驟:(1)數(shù)據(jù)篩選:排除明顯錯(cuò)誤的測(cè)量數(shù)據(jù)。(2)數(shù)據(jù)校正:對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行系統(tǒng)誤差修正。(3)數(shù)據(jù)擬合:通過數(shù)學(xué)方法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合,得到更接近真實(shí)值的結(jié)果。(4)不確定度評(píng)定:對(duì)測(cè)量結(jié)果的不確定度進(jìn)行評(píng)估,以反映測(cè)量結(jié)果的可靠性和準(zhǔn)確性。5.3光學(xué)測(cè)量方法與儀器5.3.1光學(xué)測(cè)量方法光學(xué)測(cè)量方法主要包括以下幾種:(1)干涉測(cè)量:利用光的干涉現(xiàn)象進(jìn)行測(cè)量的方法,如干涉儀測(cè)量光學(xué)元件的表面形狀。(2)全息測(cè)量:利用全息光學(xué)原理進(jìn)行測(cè)量的方法,如全息干涉測(cè)量。(3)光柵測(cè)量:利用光柵原理進(jìn)行測(cè)量的方法,如光柵干涉儀。(4)光纖測(cè)量:利用光纖傳感器進(jìn)行測(cè)量的方法,如光纖位移傳感器。5.3.2光學(xué)測(cè)量?jī)x器光學(xué)測(cè)量?jī)x器包括以下幾類:(1)干涉儀:如邁克耳孫干涉儀、干涉顯微鏡等。(2)全息干涉儀:如激光全息干涉儀、數(shù)字全息干涉儀等。(3)光柵干涉儀:如橫向光柵干涉儀、縱向光柵干涉儀等。(4)光纖傳感器:如強(qiáng)度調(diào)制型光纖傳感器、相位調(diào)制型光纖傳感器等。5.4光學(xué)測(cè)量中的標(biāo)準(zhǔn)與校準(zhǔn)為了保證光學(xué)測(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性,需要進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)與校準(zhǔn)工作。5.4.1標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)主要包括:(1)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn):如米、厘米等長(zhǎng)度單位。(2)角度標(biāo)準(zhǔn):如度、分、秒等角度單位。(3)光波標(biāo)準(zhǔn):如波長(zhǎng)、頻率等光波參數(shù)。5.4.2校準(zhǔn)光學(xué)測(cè)量校準(zhǔn)主要包括以下內(nèi)容:(1)儀器校準(zhǔn):對(duì)光學(xué)儀器進(jìn)行校準(zhǔn),保證其測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。(2)環(huán)境校準(zhǔn):對(duì)測(cè)量環(huán)境進(jìn)行校準(zhǔn),減小環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。(3)操作校準(zhǔn):對(duì)測(cè)量操作進(jìn)行校準(zhǔn),提高操作人員的測(cè)量技術(shù)水平。通過以上內(nèi)容,本章對(duì)光學(xué)測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)進(jìn)行了詳細(xì)介紹,為光學(xué)儀器與測(cè)量技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。第6章長(zhǎng)度與角度測(cè)量6.1光學(xué)顯微鏡測(cè)量6.1.1顯微鏡原理光學(xué)顯微鏡是利用光學(xué)原理對(duì)微小物體進(jìn)行觀察和測(cè)量的儀器。本節(jié)主要介紹光學(xué)顯微鏡的工作原理、系統(tǒng)構(gòu)成及其在長(zhǎng)度與角度測(cè)量中的應(yīng)用。6.1.2顯微鏡測(cè)量方法光學(xué)顯微鏡測(cè)量主要包括以下幾種方法:光學(xué)放大法、光學(xué)投影法、干涉法等。本節(jié)將詳細(xì)介紹這些方法的基本原理、操作步驟及其在長(zhǎng)度與角度測(cè)量中的應(yīng)用。6.1.3顯微鏡測(cè)量誤差分析光學(xué)顯微鏡測(cè)量中可能出現(xiàn)的誤差包括:視差、畸變、色差等。本節(jié)將對(duì)這些誤差進(jìn)行分析,并提出相應(yīng)的校正方法。6.2激光干涉儀測(cè)量6.2.1激光干涉儀原理激光干涉儀是利用激光的相干性進(jìn)行長(zhǎng)度與角度測(cè)量的儀器。本節(jié)主要介紹激光干涉儀的工作原理、系統(tǒng)構(gòu)成及其在長(zhǎng)度與角度測(cè)量中的應(yīng)用。6.2.2激光干涉儀測(cè)量方法激光干涉儀測(cè)量方法包括:干涉條紋法、干涉相位法、全息干涉法等。本節(jié)將詳細(xì)闡述這些方法的基本原理、操作步驟及其在長(zhǎng)度與角度測(cè)量中的應(yīng)用。6.2.3激光干涉儀測(cè)量誤差分析激光干涉儀測(cè)量中可能出現(xiàn)的誤差包括:環(huán)境干擾、光學(xué)系統(tǒng)誤差、電子系統(tǒng)誤差等。本節(jié)將對(duì)這些誤差進(jìn)行分析,并提出相應(yīng)的校正與消除方法。6.3全息干涉測(cè)量6.3.1全息干涉原理全息干涉測(cè)量是利用全息技術(shù)記錄物體的光波相位信息,并通過干涉原理進(jìn)行長(zhǎng)度與角度測(cè)量的方法。本節(jié)主要介紹全息干涉的原理及其在長(zhǎng)度與角度測(cè)量中的應(yīng)用。6.3.2全息干涉測(cè)量方法全息干涉測(cè)量主要包括:全息干涉法、雙重曝光法、時(shí)間平均法等。本節(jié)將詳細(xì)闡述這些方法的基本原理、操作步驟及其在長(zhǎng)度與角度測(cè)量中的應(yīng)用。6.3.3全息干涉測(cè)量誤差分析全息干涉測(cè)量中可能出現(xiàn)的誤差包括:全息記錄與再現(xiàn)過程中的誤差、光學(xué)系統(tǒng)誤差、環(huán)境干擾等。本節(jié)將對(duì)這些誤差進(jìn)行分析,并提出相應(yīng)的校正方法。6.4光柵測(cè)量技術(shù)6.4.1光柵原理光柵測(cè)量技術(shù)是利用光柵的衍射原理進(jìn)行長(zhǎng)度與角度測(cè)量的方法。本節(jié)主要介紹光柵的原理、分類及其在長(zhǎng)度與角度測(cè)量中的應(yīng)用。6.4.2光柵測(cè)量方法光柵測(cè)量方法包括:光柵尺法、光柵干涉法、光柵編碼法等。本節(jié)將詳細(xì)闡述這些方法的基本原理、操作步驟及其在長(zhǎng)度與角度測(cè)量中的應(yīng)用。6.4.3光柵測(cè)量誤差分析光柵測(cè)量中可能出現(xiàn)的誤差包括:光柵自身誤差、安裝誤差、環(huán)境干擾等。本節(jié)將對(duì)這些誤差進(jìn)行分析,并提出相應(yīng)的校正與消除方法。第7章形貌與表面測(cè)量7.1接觸式表面測(cè)量7.1.1原理與分類接觸式表面測(cè)量是利用探針與被測(cè)表面直接接觸進(jìn)行測(cè)量的方法。根據(jù)測(cè)量原理,接觸式表面測(cè)量可分為機(jī)械式、電感式和電容式等類型。7.1.2測(cè)量系統(tǒng)接觸式表面測(cè)量系統(tǒng)主要由探針、傳感器、信號(hào)處理器和數(shù)據(jù)采集器等組成。探針負(fù)責(zé)與被測(cè)表面接觸,傳感器將表面形貌轉(zhuǎn)換為電信號(hào),信號(hào)處理器對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理,數(shù)據(jù)采集器完成數(shù)據(jù)采集。7.1.3測(cè)量步驟與方法接觸式表面測(cè)量的步驟主要包括:探針校準(zhǔn)、測(cè)量、數(shù)據(jù)采集與處理。在實(shí)際應(yīng)用中,應(yīng)根據(jù)被測(cè)表面的特點(diǎn)和測(cè)量要求選擇合適的測(cè)量方法。7.2非接觸式表面測(cè)量7.2.1原理與分類非接觸式表面測(cè)量是通過光學(xué)、聲學(xué)、電磁學(xué)等原理實(shí)現(xiàn)表面形貌測(cè)量的方法。根據(jù)測(cè)量原理,非接觸式表面測(cè)量可分為光學(xué)、激光、白光干涉等類型。7.2.2測(cè)量系統(tǒng)非接觸式表面測(cè)量系統(tǒng)主要包括光源、探測(cè)器、信號(hào)處理器和數(shù)據(jù)采集器等。光源照射被測(cè)表面,探測(cè)器接收反射或散射光信號(hào),信號(hào)處理器對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理,數(shù)據(jù)采集器完成數(shù)據(jù)采集。7.2.3測(cè)量步驟與方法非接觸式表面測(cè)量的步驟主要包括:系統(tǒng)校準(zhǔn)、測(cè)量、數(shù)據(jù)采集與處理。在實(shí)際應(yīng)用中,應(yīng)根據(jù)被測(cè)表面的特點(diǎn)和測(cè)量要求選擇合適的測(cè)量方法。7.3光學(xué)輪廓儀7.3.1原理與分類光學(xué)輪廓儀是利用光學(xué)原理對(duì)被測(cè)表面進(jìn)行輪廓測(cè)量的設(shè)備。根據(jù)測(cè)量原理,光學(xué)輪廓儀可分為干涉式、光學(xué)三角法和光學(xué)投影法等類型。7.3.2測(cè)量系統(tǒng)光學(xué)輪廓儀主要由光源、光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器、信號(hào)處理器和數(shù)據(jù)采集器等組成。光源照射被測(cè)表面,光學(xué)系統(tǒng)將光信號(hào)投射到探測(cè)器上,信號(hào)處理器對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理,數(shù)據(jù)采集器完成數(shù)據(jù)采集。7.3.3測(cè)量步驟與方法光學(xué)輪廓儀的測(cè)量步驟包括:系統(tǒng)校準(zhǔn)、測(cè)量、數(shù)據(jù)采集與處理。在實(shí)際應(yīng)用中,應(yīng)根據(jù)被測(cè)表面的特點(diǎn)和測(cè)量要求選擇合適的測(cè)量方法。7.4三維掃描測(cè)量7.4.1原理與分類三維掃描測(cè)量是利用光學(xué)、激光等原理對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行三維輪廓測(cè)量的方法。根據(jù)測(cè)量原理,三維掃描測(cè)量可分為光學(xué)三角法、激光三角法、結(jié)構(gòu)光法等類型。7.4.2測(cè)量系統(tǒng)三維掃描測(cè)量系統(tǒng)主要由光源、光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器、信號(hào)處理器、數(shù)據(jù)采集器和計(jì)算機(jī)等組成。光源照射被測(cè)物體,光學(xué)系統(tǒng)將光信號(hào)投射到探測(cè)器上,信號(hào)處理器對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理,數(shù)據(jù)采集器完成數(shù)據(jù)采集,計(jì)算機(jī)進(jìn)行三維重建。7.4.3測(cè)量步驟與方法三維掃描測(cè)量的步驟包括:系統(tǒng)校準(zhǔn)、掃描、數(shù)據(jù)采集與處理、三維重建。在實(shí)際應(yīng)用中,應(yīng)根據(jù)被測(cè)物體的特點(diǎn)和測(cè)量要求選擇合適的測(cè)量方法。第8章光學(xué)功能參數(shù)測(cè)量8.1光透過率與反射率測(cè)量8.1.1測(cè)量原理光透過率與反射率是評(píng)價(jià)光學(xué)元件光學(xué)功能的基本參數(shù)。透過率指光線穿過光學(xué)元件后,透射光與入射光之比;反射率指光線照射到光學(xué)元件表面后,反射光與入射光之比。8.1.2測(cè)量方法采用分光光度計(jì)進(jìn)行測(cè)量,將待測(cè)光學(xué)元件放置在分光光度計(jì)的光路中,分別測(cè)量其透射光和反射光的光強(qiáng)度,計(jì)算得到透過率和反射率。8.1.3測(cè)量步驟(1)將分光光度計(jì)調(diào)整至標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)。(2)將待測(cè)光學(xué)元件安裝到分光光度計(jì)的光路中。(3)測(cè)量并記錄透射光和反射光的光強(qiáng)度。(4)根據(jù)公式計(jì)算透過率和反射率。(5)重復(fù)步驟3和步驟4,求平均值,以提高測(cè)量精度。8.2光譜特性測(cè)量8.2.1測(cè)量原理光譜特性指光學(xué)元件對(duì)不同波長(zhǎng)光的透過率或反射率。通過測(cè)量光譜特性,可以了解光學(xué)元件對(duì)不同顏色光的處理能力。8.2.2測(cè)量方法采用光譜儀進(jìn)行測(cè)量,將待測(cè)光學(xué)元件放置在光譜儀的光路中,測(cè)量其在不同波長(zhǎng)下的光強(qiáng)度,得到光譜特性曲線。8.2.3測(cè)量步驟(1)將光譜儀調(diào)整至標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)。(2)將待測(cè)光學(xué)元件安裝到光譜儀的光路中。(3)測(cè)量并記錄不同波長(zhǎng)下的光強(qiáng)度。(4)繪制光譜特性曲線。(5)分析光譜特性曲線,得出光學(xué)元件的光譜特性。8.3光束質(zhì)量與亮度測(cè)量8.3.1測(cè)量原理光束質(zhì)量與亮度是評(píng)價(jià)光學(xué)系統(tǒng)功能的重要參數(shù)。光束質(zhì)量指光束在傳播過程中的發(fā)散角、束腰位置等特性;亮度指光束的光強(qiáng)度。8.3.2測(cè)量方法采用光束質(zhì)量分析儀進(jìn)行測(cè)量,通過測(cè)量光束的發(fā)散角、束腰位置等參數(shù),評(píng)價(jià)光束質(zhì)量;同時(shí)測(cè)量光束的光強(qiáng)度,得到亮度。8.3.3測(cè)量步驟(1)將光束質(zhì)量分析儀調(diào)整至標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)。(2)將待測(cè)光束引入光束質(zhì)量分析儀。(3)測(cè)量并記錄光束的發(fā)散角、束腰位置等參數(shù)。(4)測(cè)量光束的光強(qiáng)度,計(jì)算亮度。(5)重復(fù)步驟3和步驟4,求平均值,以提高測(cè)量精度。8.4光學(xué)元件損傷閾值測(cè)量8.4.1測(cè)量原理?yè)p傷閾值指光學(xué)元件在受到高能量光束照射時(shí),產(chǎn)生不可逆損傷的最小光強(qiáng)度。測(cè)量損傷閾值對(duì)于保證光學(xué)元件在安全范圍內(nèi)工作具有重要意義。8.4.2測(cè)量方法采用激光損傷測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量,通過逐漸增加光束強(qiáng)度,直至光學(xué)元件發(fā)生損傷,記錄此時(shí)的光強(qiáng)度。8.4.3測(cè)量步驟(1)將激光損傷測(cè)試系統(tǒng)調(diào)整至標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)。(2)將待測(cè)光學(xué)元件安裝到測(cè)試系統(tǒng)中。(3)逐漸增加光束強(qiáng)度,觀察光學(xué)元件的損傷情況。(4)記錄損傷時(shí)的光強(qiáng)度,作為損傷閾值。(5)重復(fù)步驟3和步驟4,求平均值,以提高測(cè)量精度。第9章光學(xué)成像系統(tǒng)測(cè)量9.1成像系統(tǒng)MTF測(cè)量9.1.1MTF測(cè)量原理成像系統(tǒng)調(diào)制傳遞函數(shù)(ModulationTransferFunction,MTF)是評(píng)價(jià)成像系統(tǒng)功能的重要指標(biāo)。MTF測(cè)量原理基于空間頻率響應(yīng)分析,通過測(cè)量不同空間頻率下的對(duì)比度傳遞,對(duì)成像系統(tǒng)的分辨率、清晰度等特性進(jìn)行評(píng)估。9.1.2MTF測(cè)量方法本節(jié)介紹基于傾斜法、點(diǎn)源法和刃邊法的MTF測(cè)量方法,包括實(shí)驗(yàn)裝置、操作步驟以及數(shù)據(jù)處理。9.1.3MTF測(cè)量結(jié)果分析分析MTF測(cè)量結(jié)果,探討不同因素(如光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、光學(xué)元件質(zhì)量、環(huán)境條件等)對(duì)成像系統(tǒng)功能的影響。9.2焦距與像差測(cè)量9.2.1焦距測(cè)量介紹焦距測(cè)量的基本原理,包括自準(zhǔn)直法、平行光管法和干涉法等。闡述各種方法的優(yōu)缺點(diǎn)及適用場(chǎng)合。9.2.2像差測(cè)量分析成像系統(tǒng)中的五大像差(球差、彗差、像散、場(chǎng)曲和畸變),并介紹相應(yīng)的測(cè)量方法。9.2.3焦距與像差測(cè)量結(jié)果分析分析焦距與像差測(cè)量結(jié)果,為光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、優(yōu)化和調(diào)整提供依據(jù)。9.3紅外成像系統(tǒng)測(cè)量9.
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