半導(dǎo)體生產(chǎn)線無塵車間保潔流程

半導(dǎo)體生產(chǎn)線無塵車間保潔流程一、制定目的及范圍為確保半導(dǎo)體生產(chǎn)線無塵車間的環(huán)境潔凈，提升產(chǎn)品質(zhì)量，特制定本保潔流程。該流程適用于無塵車間的日常保潔、定期深度清潔及突發(fā)性清潔工作，涵蓋所有相關(guān)人員的職責(zé)與操作規(guī)范。二、保潔原則1.保潔工作必須遵循“安全、規(guī)范、高效”的原則，確保無塵車間的環(huán)境符合生產(chǎn)要求。2.所有清潔材料和設(shè)備需符合無塵車間標(biāo)準(zhǔn)，避免對(duì)生產(chǎn)環(huán)境造成污染。3.保潔人員需經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，熟悉無塵車間的操作規(guī)程和清潔要求。三、保潔流程1.日常保潔流程1.1清潔準(zhǔn)備：保潔人員在進(jìn)入無塵車間前，需更換無塵服、手套及鞋套，確保個(gè)人衛(wèi)生。1.2區(qū)域劃分：將無塵車間劃分為若干清潔區(qū)域，確保每個(gè)區(qū)域的清潔工作有序進(jìn)行。1.3清潔工具準(zhǔn)備：準(zhǔn)備專用的清潔工具，如無塵拖把、無塵布、吸塵器等，確保工具干凈且符合標(biāo)準(zhǔn)。1.4表面清潔：使用無塵布和適當(dāng)?shù)那鍧崉?duì)工作臺(tái)、設(shè)備表面進(jìn)行擦拭，確保無塵、無污垢。1.5地面清潔：使用無塵拖把對(duì)地面進(jìn)行清潔，確保無塵車間地面干凈整潔。1.6垃圾處理：定期清理垃圾，確保垃圾桶密閉，避免異味和污染。1.7清潔記錄：保潔人員需填寫日常清潔記錄，記錄清潔時(shí)間、區(qū)域及清潔人員信息。2.定期深度清潔流程2.1清潔計(jì)劃制定：根據(jù)生產(chǎn)情況，制定定期深度清潔計(jì)劃，通常每月進(jìn)行一次。2.2設(shè)備停機(jī)：在深度清潔前，需確保相關(guān)設(shè)備停機(jī)，避免清潔過程中對(duì)設(shè)備造成影響。2.3全面清潔：對(duì)無塵車間內(nèi)所有設(shè)備、墻面、天花板及地面進(jìn)行全面清潔，使用專用清潔劑和工具。2.4空氣過濾器更換：定期檢查并更換空氣過濾器，確保空氣質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)。2.5清潔效果檢查：深度清潔后，由專人對(duì)清潔效果進(jìn)行檢查，確保達(dá)到預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)。2.6清潔記錄歸檔：將深度清潔記錄歸檔，便于后續(xù)查閱和管理。3.突發(fā)性清潔流程3.1突發(fā)情況報(bào)告：如發(fā)現(xiàn)污染源或突發(fā)性污染事件，保潔人員需立即報(bào)告主管。3.2應(yīng)急處理：根據(jù)污染情況，迅速采取應(yīng)急清潔措施，確保污染源得到及時(shí)處理。3.3后續(xù)檢查：污染處理后，需對(duì)清潔效果進(jìn)行檢查，確保無塵車間恢復(fù)到正常狀態(tài)。3.4事件記錄：對(duì)突發(fā)性清潔事件進(jìn)行詳細(xì)記錄，包括事件發(fā)生時(shí)間、處理措施及結(jié)果。四、保潔人員職責(zé)1.保潔人員：負(fù)責(zé)日常清潔、定期深度清潔及突發(fā)性清潔，確保無塵車間環(huán)境符合標(biāo)準(zhǔn)。2.主管人員：負(fù)責(zé)監(jiān)督保潔工作，定期檢查清潔效果，確保保潔流程的有效實(shí)施。3.培訓(xùn)與考核：定期對(duì)保潔人員進(jìn)行培訓(xùn)，考核其清潔技能和對(duì)流程的理解，確保保潔工作專業(yè)化。五、清潔材料與設(shè)備管理1.清潔材料采購：所有清潔材料需從正規(guī)渠道采購，確