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第三章 金屬氧化物半導體場效應晶體管,Metal Oxide Semiconductor Filed Effect Transistor MOSFET,電子科學與技術系 張瑞智,本章內容,1、MOSFET的物理結構、工作原理和類型 2、MOSFET的閾值電壓 3、MOSFET的直流特性 4、MOSFET的動態(tài)特性 5、小尺寸效應,1、MOSFET的物理結構,MOSFET由一個MOS電容和靠近MOS柵控區(qū)域的兩個PN結組成。,NMOSFET的三維結構圖,柵 氧化層 硅襯底,源區(qū)溝道區(qū)漏區(qū),body,金屬 Al（Al 柵） 重摻雜的多晶硅（硅柵， Polycide（多晶硅/難融金屬硅化物）,MOSFET的三維結構簡化圖,

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