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文檔簡介
.,Confidential,Page1,MaterialandprocessofTO-CAN,.,WhyTO-CAN,Confidential,Page2,.,MainMaterialofTO-CAN,Confidential,Page3,金線,銀膠,.,TO管帽,Confidential,Page4,在光電子領域中,管帽實現(xiàn)了兩大基本功能。首先,它們對傳輸和接收應用領域中的光學元件提供了持久可靠的保護。其次,作為光學接口,它們還確保了光學信號的順利傳輸。因此,安裝在管帽中的窗口或透鏡的光學性質必須達到相當高的要求。,.,TO管座,Confidential,Page5,TO管座為安裝半導體、激光二極管或簡單電路等電子和光學元件提供了機械基礎,同時通過引線為封裝元件提供電信號。探測器和激光器等光學元件特別容易受到環(huán)境的破壞。尤其是濕度,可致使半導體元件迅速腐蝕,導致整個器件出現(xiàn)故障。因此這些元件需要被提供可靠持久的保護。,.,主動元件,Confidential,Page6,.,Submount,Confidential,Page7,客戶化定制材質:AluminumNitrideAuplating,.,金線(GoldenWire),Confidential,Page8,在大気中或在水中化學性穩(wěn)定及非氧化的性質。金屬中、展延性較好、可加工Bonding用Wire使用的直徑為程度的極細線。吸収Gas極其少具有對熱壓縮Bonding最適合的硬度具有耐樹脂Mold的Stress的機械性強度具有銀、銅其次的高電気傳導性電阻率()的比較Ag()Cu()Au()Al(),高純度(:)生金上添加特定的不純物、再經(jīng)過加工行程調質処理(熱処理:Anneal)、作成具備各種特性的Wire。,寸法的精度要高(用0.1um制御可能)表面要圓滑、金屬要有光澤表面不能有灰塵、污染具有拉伸強度、要有一定的彈性Curl(卷曲性)要小Wire前端形成的Ball的形狀要有一定的真圓性,.,銀膠(Silverepoxy),Confidential,Page9,可操作性能(HandlingProperties)流動性(Rheology)固膠條件(CureCondition)可裝配性能(AssemblyProperties)溢膠(Bleed)揮發(fā)(Outgassing)粘結(Adhesion)可靠性能(ReliabilityProperties)空洞(Voids)熱/電傳導(Thermal/ElectricalConductivity)離子污染(IonicContamination)應力(Stress),.,TO-CANPROCESS,Confidential,Page10,貼片(DIEATTACH)全自動貼片機貼片工具打線(WIREBOND)全自動打線機Plasma瓷嘴封帽(CANWelding)封帽機充填及測漏(LeakTest)氦氣充填機測漏機LIV測試(LIVTest)LIVtester老化測試(BurnIn)BurnIntester,.,全自動貼片機(FTandAccuratusDA),Confidential,Page11,.,Confidential,Page12,Wafer,Colletathomeposition,Dieready,Vacuumapply,Ejectorpinup,Colletlowerdowntopickposition,Ejectorpinbacktohome,Dieispickedup,Dieispickedup,Colletlowerdowntobondposition,DieisbondedontoL/F,x,x,L/F,EpoxydispensedonL/F,Pad,Vacuumtoholdsubstrate,Epoxydispensedfromsyringe,L/Findextobondposition,Vacuumtoholdsubstrate,Mylardelaminatefromdie,TypicalDieBondingSequence,.,Diebondtrainingfile,Confidential,Page13,.,全自動打線機(FTandKaijo),Confidential,Page14,.,TypicalWireBondingSequence,Confidential,Page15,.,Wirebondtrainingfile,Confidential,Page16,.,Plasma,Confidential,Page17,工作原理等離子清洗機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這時會發(fā)出輝光,故稱為輝光放電處理。輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大,另外影響與放電功率,氣體成分及流動速度、材料類型等因素也有關。電漿在真空條件下,將產(chǎn)品表面暴露在放電的氣體中,使氣體在產(chǎn)品表面反應.當所使用為非聚合性氣體(如N2,O2,Ar.)時,將使產(chǎn)品表面有被蝕刻其它化學性質之效果.,.,CanWelding,Confidential,Page18,.,CanWelding,Confidential,Page19,.,LeakTester,Confidential,Page20,.,Hedetector,Confidential,Page21,WhyHe?質量最輕的惰性氣體,能穿透微小的細縫大氣中背景值最低,只有5ppm沒有毒性,無可燃性,不會爆炸分子量小,被檢測出的速度快,.,LIVtester,Confidential,Page22,.,LIVtestparameter,Confidential,Page23,Ith:閾值電流Vf:正向電壓Vop:工作電壓Pf:正向光功率Pop:工作光功率Im-pf:正向光功率下的背光電流Im-pop:工作光功率下的背光電流Rs:電阻Iop:工作電流Ikink:彎折電流Pkink:彎折功率S.E.:斜度效率PD-Sensitivity:探測器響應度PD-Id:探測器暗電流PD-Vf:探測器正向電
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